JP2009064801A - ウエーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円形状のウエーハ基板の表面に複数のデバイスが形成されるデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハであって、ウエーハ基板の外周余剰領域の外周端部には表面から裏面にわたって断面形状が円弧面をなす面取り部が形成されており、面取り部にウエーハ基板の結晶方位を示すマークとして表面および裏面に直交する平坦面が形成され、平坦面にウエーハ基板を特定するための識別コードが印字されている。
【選択図】図2
Description
しかるに、ウエーハの厚さを50μm以下に形成すると破損し易くなり、ウエーハの搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。
また、識別コードをウエーハの表面に印字すると、デバイスを形成する領域が制限されるとともに、ウエーハを所定の厚みに形成するためにウエーハの裏面を研削する際に、ウエーハの表面にBGテープと呼ばれる保護テープを貼着すると、識別コードを認識することができないという問題がある。
また、ウエーハの外周面に識別コードを印字すると、ウエーハの外周面は円弧面からなる面取り部が形成されているので、識別コードの印字が難しいとともに、識別コードを読み取る際に誤認識する虞がある。
なお、ウエーハの外周に形成された結晶方位を示すオリエンテーションフラットに識別コードを印字すると、上述した問題は解消されるが、オリエンテーションフラットが向けられたウエーハはデバイスを形成する領域が減少するために、生産性の面で問題がある。特に、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成する場合には、オリエンテーションフラットに達しない範囲で環状の補強部を形成する必要があるため、デバイス領域が小さくなり形成できるデバイスが減少することになる。
ウエーハ基板の該外周余剰領域の外周端部には表面から裏面にわたって断面形状が円弧面をなす面取り部が形成されており、該面取り部にウエーハ基板の結晶方位を示すマークとして表面および裏面に直交する平坦面が形成され、該平坦面にウエーハ基板を特定するための識別コードが印字されている、
ことを特徴とするウエーハが提供される。
図1には、本発明によって構成されたウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図1に示す半導体ウエーハ2は、例えば厚さが700μmのシリコンからなるウエーハ基板20の表面2aに複数のストリート21が格子状に配列されているとともに、該複数のストリート21によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス22が形成されている。このように形成されるウエーハ基板20は、複数のデバイス22が形成されるデバイス領域220と、該デバイス領域220を囲繞する外周余剰領域230を備えている。また、ウエーハ基板20の外周端部、即ち外周余剰領域230の外周端部には、不用意に受ける衝撃によって割れや欠けが発生することを防ぐために、図2の(a)に示すように表面2aから裏面2bにわたって断面形状が円弧面をなす面取り部231が形成されている。この面取り部231には、図2の(b)に示すように所定個所にウエーハ基板20の結晶方位を示す結晶方位認識マークとしての平坦面232が形成されている。
ウエーハ基板20は、シリコン等の半導体材料からなる円柱状のインゴットを輪切りにスライスして製造されるが、スライスをする前のインゴットの外周面における結晶方位に対応した結晶方位認識マークを形成すべき周方向の所定個所に、軸方向に沿って帯状に延びる平坦面を所定の幅(上述した例では、約10mm)で形成する。次に、インゴットをスライスして円形状のウエーハ基板を形成した後、該ウエーハ基板の外周端部を面取り加工して断面形状が円弧面をなす面取り部231に形成する。この結果、円形状のウエーハ基板の外周面に形成された帯状の平坦面は、楕円形となる。
先ず、図3に示すように半導体ウエーハ2のウエーハ基板20の表面20aに保護部材3を貼着する(保護部材貼着工程)。従って、半導体ウエーハ2はウエーハ基板20の裏面20bが露出する形態となる。
20:ウエーハ基板
21:ストリート
22:デバイス
220:デバイス領域
230:外周余剰領域
231:面取り部
232:結晶方位認識マークとしての平坦面
220b:円形状の凹部
230b:環状の補強部
24:識別コード
3:保護部材
4:研削装置
41:研削装置のチャックテーブル
42:研削手段
423:研削ホイール
425:研削砥石
Claims (2)
- 円形状のウエーハ基板の表面に複数のデバイスが形成されるデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハであって、
ウエーハ基板の該外周余剰領域の外周端部には表面から裏面にわたって断面形状が円弧面をなす面取り部が形成されており、該面取り部にウエーハ基板の結晶方位を示すマークとして表面および裏面に直交する平坦面が形成され、該平坦面にウエーハ基板を特定するための識別コードが印字されている、
ことを特徴とするウエーハ。 - 該識別コードは、該平坦面におけるウエーハ基板の厚み方向中心から表面側に印字されている、請求項1記載のウエーハ。
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
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