JP2009064048A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路3と、進行波電極4とを有し、進行波電極が、光の位相を変調するための相互作用部9と、入力用フィードスルー部7を具備する光変調器において、相互作用部9の特性インピーダンスと高周波電気信号を入力するためのコネクタ芯線が接続された入力用フィードスルー部7の特性インピーダンスとのインピーダンス不整合を低減するための少なくとも1つからなるインピーダンス変換部を具備し、インピーダンス変換部は、相互作用部9の特性インピーダンスとコネクタ芯線が接続された入力用フィードスルー部7の特性インピーダンスとの相乗平均と異なる特性インピーダンスを有しており、高周波電気信号が残留反射を生じつつ、かつインピーダンス変換部が無い場合と比較して電気的反射が小さくなって相互作用部9に伝搬する。
【選択図】図1
Description
このLN光変調器にはz−カット基板を使用するタイプとx−カット基板(あるいはy−カット基板)を使用するタイプがある。ここでは、第1の従来技術としてx−カットLN基板とコプレーナウェーブガイド(CPW)進行波電極を使用したx−カット基板LN光変調器をとり上げ、その斜視図を図15に示す。図16は図15のA−A'における断面図である。なお、以下の議論はz−カット基板でも同様に成り立つ。
S11=|(Rg−Zin)/(Rg+Zin)|2 (1)
また、反射された高周波電気信号が外部信号源5へ戻る際には、変調された光パルスのジッタを増加させてしまうという問題もある。
第1の従来技術における外部信号源5の特性インピーダンスRgと相互作用部IIIの特性インピーダンスZ3とのインピーダンス不整合を改善するための技術として、特許文献1として提案された第2の従来技術について説明する。ここで、図15から図25に示した第1の従来技術と同一番号は同一機能部に対応しているため、ここでは同一番号を持つ機能部の説明を省略する。
Z =(Zi・Zj)1/2 (2)
L = λ/4 (3)
が成り立つならば、ZiとZjの間にインピーダンス整合が成り立ち、電気的反射は無くなる。ここで、λは高周波電気信号の電気的波長である。ZiとZjの相乗平均で表されたZを整合インピーダンスと呼ぶ。
λ=λ0/nm' (4)
として与えられる。
図1に本発明の第1の実施形態に使用する中心導体4a、接地導体4b、4cからなるCPW進行波電極4の上面図を示す。この第1の実施形態においても第1の従来技術や第2の従来技術と同様に、Iは入力用フィードスルー部であり、不図示のコネクタの芯線に接続される。IIは入力側接続部、IIIは相互作用部、IVは出力側接続部、及びVは出力用フィードスルー部である。出力用フィードスルー部Vは不図示のコネクタの芯線(あるいは金リボンや金ワイヤー)もしくは終端抵抗に接続されるのも同じである。VIIは長さL7の第1インピーダンス変換部、VIIIは長さL8の第2インピーダンス変換部である。
図9に本発明の第2の実施形態に使用するCPW進行波電極4の上面図を示す。本実施形態において、IXは第1インピーダンス変換部、Xは第2インピーダンス変換部、XIは第3インピーダンス変換部である。
図11に本発明の第3の実施形態に使用するCPW進行波電極4の上面図を示す。本実施形態において、XIIは第1インピーダンス変換部、XIIIは第2インピーダンス変換部である。本実施形態の場合には、インピーダンス変換部XII、XIIIを相互作用部IIIに対して一旦逆方向に折り返して形成することにより、相互作用部IIIの長さを充分長く確保している。なお、この考え方は本発明の第2の実施形態を含め、その他の実施形態にも適用可能である。
図12に本発明の第4の実施形態に使用する中心導体4a、接地導体4b、4cからなるCPW進行波電極4の上面図を示す。本実施形態において、IXは第1インピーダンス変換部、Xは第2インピーダンス変換部である。本実施形態では図11に示した第3の実施形態と同様に、第1インピーダンス変換部IXと第2インピーダンス変換部Xを相互作用部IIIに対して一旦逆方向に折り返して形成しているが、相互作用部の始点から光入射用端面までの基板の長手方向における距離を、高周波電気信号の給電部から光入射用端面までの前記基板の長手方向における距離よりも短くすることにより、図11に示した第3の実施形態よりも相互作用部IIIの長さを長く確保している。ここで、光導波路3については、本発明と第1の従来技術と同じなので、光入射用端面については第1の従来技術として紹介した図15に30として記している。
図13に本発明の第5の実施形態に使用する中心導体4a、接地導体4b、4cからなるCPW進行波電極4の上面図を示す。この第5の実施形態は図12に示した第4の実施形態の改良版である。本実施形態において、IXは第1インピーダンス変換部、XIVは第2インピーダンス変換部である。図からわかるように、第1インピーダンス変換部IXの中心導体の幅と第2インピーダンス変換部XIVの中心導体の幅とを異ならしめている。そして、入力用フィードスルー部Iとの電磁界の整合を考慮し、この場合には第1インピーダンス変換部IXの中心導体の幅を第2インピーダンス変換部XIVの中心導体の幅よりも広く設定している。
以上の実施形態では、インピーダンス変換部が第1インピーダンス変換部、第2インピーダンス変換部、さらには第3インピーダンス変換部など複数のインピーダンス変換部から構成されていたが、1つのインピーダンス変換部を用いても同様の効果を発揮できる。その1つの実施形態を第6の実施形態として図14に示す。図中、XIがインピーダンス変換部である。
以上においては、進行波電極としてはCPW電極を例にとり説明したが、非対称コプレーナストリップ(ACPS)や対称コプレーナストリップ(CPS)などの各種進行波電極、あるいは集中定数型の電極でも良いことは言うまでもない。また、光導波路としてはマッハツェンダ型光導波路の他に、方向性結合器や直線など、その他の光導波路でも良いことは言うまでもない。また少なくとも相互作用部がリッジ構造であっても良い。
2:SiO2バッファ層(バッファ層)
3:光導波路
3a、3b:相互作用部の光導波路(光導波路)
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4c:接地導体
5:外部信号源
6:負荷抵抗
7:入力用フィードスルー部Iを表す線路
8:入力側接続部IIを表す線路
9:相互作用部IIIを表す線路
10:出力側接続部IVを表す線路
11:出力用フィードスルー部Vを表す線路
12:終端抵抗
13:外部信号源及び負荷抵抗と光変調器との境界
14:インピーダンス変換部VIを表す線路
15:相互作用部IIIを含んで合成した伝送線路
16:第1インピーダンス変換部VIIを表す線路
17:第2インピーダンス変換部VIIIを表す線路
18:第1インピーダンス変換部IXを表す線路
19:第2インピーダンス変換部Xを表す線路
20:第3インピーダンス変換部XIを表す線路
30:光入射用端面
Claims (13)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するための光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光の位相を変調する高周波電気信号を印加するための中心導体及び接地導体からなる進行波電極とを有し、
前記進行波電極が、前記高周波電気信号を印加することにより前記光の位相が変調される領域である相互作用部と、外部回路から前記相互作用部に前記高周波電気信号を印加するための入力用フィードスルー部と前記相互作用部を通過して伝搬してくる前記高周波電気信号を出力するための出力用フィードスルー部を具備する光変調器において、
前記光変調器は、前記相互作用部の特性インピーダンスと前記高周波電気信号を入力するためのコネクタ芯線が接続された前記入力用フィードスルー部の特性インピーダンスとのインピーダンス不整合を低減するための少なくとも1つからなるインピーダンス変換部を具備し、
当該インピーダンス変換部は、前記相互作用部と前記入力用フィードスルー部の間の前記進行波電極、及び前記入力用フィードスルー部により構成されており、前記相互作用部の特性インピーダンスと前記コネクタ芯線が接続された前記入力用フィードスルー部の特性インピーダンスとの相乗平均と異なる特性インピーダンスを有しており、
前記外部回路から前記入力用フィードスルー部に印加された前記高周波電気信号が残留反射を生じつつ、かつ前記インピーダンス変換部が無い場合と比較して電気的反射が小さくなって、前記相互作用部に伝搬することを特徴とする光変調器。 - 前記インピーダンス変換部の前記中心導体の幅が前記相互作用部の前記中心導体の幅よりも広いことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部の前記中心導体の少なくとも一部が前記光導波路の長手方向に配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部は、前記相互作用部が形成されている前記基板とは別体の基板上に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記入力用フィードスルー部の中心導体は、前記高周波電気信号が給電される給電部を有し、前記出力用フィードスルー部の中心導体は、前記高周波電気信号が出力される出力部を有しており、前記相互作用部の長さが、前記給電部から前記出力部までの前記基板の長手方向における距離よりも長いことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記相互作用部における前記光の位相が変調される領域の始点から前記光導波路に光を入射するための光入射用端面までの前記基板の長手方向における距離が、前記高周波電気信号の前記給電部から前記光入射用端面までの前記基板の長手方向における距離よりも短いことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部のうちの少なくとも1つの前記中心導体と前記接地導体の間のギャップが、前記相互作用部の前記中心導体と前記接地導体の間のギャップよりも広いことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部が複数からなり、少なくとも2つの前記インピーダンス変換部の前記中心導体の幅が互いに異なることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部が複数からなり、前記相互作用部の特性インピーダンスと前記高周波電気信号を入力するための前記コネクタ芯線が接続された前記入力用フィードスルー部の特性インピーダンスとの相乗平均よりも大きな特性インピーダンスを有する前記インピーダンス変換部と、前記相乗平均よりも小さな特性インピーダンスを有する前記インピーダンス変換部の数が等しいことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部のうちの1つが、前記相互作用部の特性インピーダンスと前記高周波電気信号を入力するための前記コネクタ芯線が接続された前記入力用フィードスルー部の特性インピーダンスとの相乗平均と異なるとともに、その差が約±7Ω以内である特性インピーダンスを有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記インピーダンス変換部のうちの1つが、前記相互作用部の特性インピーダンスと前記高周波電気信号を入力するための前記コネクタ芯線が接続された前記入力用フィードスルー部の特性インピーダンスとの相乗平均と異なるとともに、その差が約±15Ω以内である特性インピーダンスを有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記基板がリチウムナイオベートからなることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記基板が半導体からなることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一つに記載の光変調器。
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JP4599434B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2010-12-15 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP4732539B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-07-27 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP6136363B2 (ja) * | 2013-02-27 | 2017-05-31 | 住友電気工業株式会社 | 光変調モジュール |
JP5690366B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2015-03-25 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
CN103777378B (zh) * | 2014-03-07 | 2017-03-29 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 提高铌酸锂高速光调制器工作频率及带宽的方法及装置 |
CN104977735B (zh) * | 2014-04-04 | 2018-06-15 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种聚合物电光芯片与微波匹配负载电路集成的方法 |
JP2018036399A (ja) | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社フジクラ | 基板型光導波路及び基板型光変調器 |
JP2018036398A (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社フジクラ | 基板型光導波路及び基板型光変調器 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0798442A (ja) * | 1993-06-15 | 1995-04-11 | Nec Corp | 導波路型光デバイス |
JPH10260382A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Nec Corp | 光制御デバイス |
JP2000047159A (ja) * | 1998-07-28 | 2000-02-18 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 導波路型光デバイス |
JP2003015096A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-15 | Hitachi Ltd | 光変調器 |
JP2003140099A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Opnext Japan Inc | 光伝送装置 |
JP2004163859A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-06-10 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
JP2005037547A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
WO2006107000A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Ngk Insulators, Ltd. | 進行波形光変調器 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03195049A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-26 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
US5278924A (en) * | 1993-02-04 | 1994-01-11 | Hughes Aircraft Company | Periodic domain reversal electro-optic modulator |
US5572610A (en) * | 1993-06-15 | 1996-11-05 | Nec Corporation | Waveguide-type optical device and impedance matching method thereof |
KR100322813B1 (ko) * | 1994-03-30 | 2002-06-26 | 내쉬 로저 윌리엄 | 무선주파수피변조광학방사원및이를포함하는파이버를통한무선통신시스템 |
US6236772B1 (en) * | 1997-08-01 | 2001-05-22 | Advanced Photonics Technology, Inc. | Linearized Y-fed directional coupler modulators |
US6192167B1 (en) * | 1998-07-24 | 2001-02-20 | Uniphase Telecommunications Products | Differential drive optical modulator |
TW589795B (en) * | 2003-07-14 | 2004-06-01 | Realtek Semiconductor Corp | High-to-low level shift circuit |
US7174059B2 (en) * | 2004-03-26 | 2007-02-06 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical device |
JP2005338678A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Opnext Japan Inc | 光変調器モジュール |
KR100688072B1 (ko) * | 2005-08-12 | 2007-03-02 | 전자부품연구원 | 집적형 광변조기 및 그 제작 방법 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0798442A (ja) * | 1993-06-15 | 1995-04-11 | Nec Corp | 導波路型光デバイス |
JPH10260382A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Nec Corp | 光制御デバイス |
JP2000047159A (ja) * | 1998-07-28 | 2000-02-18 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 導波路型光デバイス |
JP2003015096A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-15 | Hitachi Ltd | 光変調器 |
JP2003140099A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Opnext Japan Inc | 光伝送装置 |
JP2004163859A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-06-10 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
JP2005037547A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
WO2006107000A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Ngk Insulators, Ltd. | 進行波形光変調器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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