JPH10260382A - 光制御デバイス - Google Patents
光制御デバイスInfo
- Publication number
- JPH10260382A JPH10260382A JP6308497A JP6308497A JPH10260382A JP H10260382 A JPH10260382 A JP H10260382A JP 6308497 A JP6308497 A JP 6308497A JP 6308497 A JP6308497 A JP 6308497A JP H10260382 A JPH10260382 A JP H10260382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- converter
- control device
- electrical connector
- connector terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
- G02F1/0356—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic wave component in an electric waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
の反射/放射を抑圧して電気結合損失を低減する。 【解決手段】 本導波路型光制御デバイスは、変調駆動
信号が入力される電気コネクタ端子5bと給電線電極3
dの間に挿入された変換器4bと、外部のアースが接続
される電気コネクタ端子5a、5cと光導波路2上のア
ース電極3a、3cとの間に挿入される変換器4a、4
cとを有する。変換器4bは、外径が電気コネクタ端子
5bの外径から給電線電極3dの外径まで連続的に滑ら
かに変化し、かつ、電気コネクタ端子と光制御デバイス
の電極はインピーダンス整合される。また、特性インピ
ーダンスが一定となるように、電気コネクタ端子5bと
電気コネクタ端子5a,5cとの間に充填される誘電体
のスペーサ9a、9bとを有する。また誘電体のスペー
サは変換器4bと変換器4a、4c間にも挿入してもよ
い。
Description
の切替え等の制御を行なう光制御デバイスに関し、特に
導波路型光制御デバイスの電気コネクタの結合手段に関
する。
変調器、光スイッチ等の光制御デバイスでは、光波に対
して広帯域マイクロ波信号による変調が行なわれ、その
代表的な変調素子としては導波路型素子が用いられてい
る。
平面図、図15は図14のA−A断面図である。
うに、誘電体光導波路を形成するLiNbO3 基板1と、
この基板1上に金属Ti 等を熱拡散して形成される1本
以上の光導波路2と、光導波路2上に形成されるSiO2
等の絶縁体からなる光学バッファ層7と、さらにこの光
学バッファ層7上に形成されるコプレーナウエーブガイ
ド(Co-Planer Waveguide )電極、以下CPW電極とい
う、である変調駆動信号用の電極3bおよびアース電極
3a,3cとからなる。光学バッファ層7は、変調駆動
信号の電極3bおよびアース電極3a,3cによる導波
光の伝搬損失を抑圧するために形成される。信号電極3
bとアース電極3a,3cは、CPW電極の他、非対称
コプレーナストリップ線路やマイクロストリップ線路等
のマイクロ波線路も用いられている。
〜1.0mm、光学バッファ層7の厚さdは0.3〜
2.0μmである。変調駆動用の電極3bの電極幅は3
〜10μm、変調駆動用の電極3bとアース電極3a,
3cとの間のギャップは5〜30μm、電極膜厚は10
μm以上である。
て図14により説明する。光変調動作は、電界の変化に
伴って屈折率が変化する現象である誘電体基板の電気光
学効果を利用するものである。光入力12から光導波路
2に導かれた導波光は、先ず2分割され、その一方の変
調電極3b側の導波光は、変調電極3bとの結合領域L
(数mm〜十数cm)において変調電界による導波路の
屈折率変化のために位相変化を生じ、他方のアース電極
3a側の導波光は、導波路の屈折率変化がなく、従って
位相変化を生じない。そして、両導波光が合波されると
き、位相変化に応じて強度変調されて光出力13から出
力される。変調電極と変調信号駆動部との間には、電気
コネクタの端子サイズを変調電極3bに変換する給電線
3dが挿入されている。また、変調信号として変調電極
3b上に進行波を発生させるために、変調信号駆動部5
0の反対側に終端用抵抗60が接続される。この終端抵
抗側にも電気コネクタに接続するための給電線3dが挿
入される。
クタと給電線との結合を示す平面図、図17は図16の
A−A断面図、図18はB−B断面図である。
は、従来から給電線3d上にAu リボン40を介して電
気コネクタ端子を接触させる方法が用いられていた。電
気コネクタは一定の特性インピーダンスZで設計されて
おり、導波路上でZと同等のインピーダンスを実現する
ために、電極3bの幅R1 と、電極3bとアース電極3
a,3cの間の間隔R2 ,R3 (R2 =R3 )との比
(R1 :R2 =R1 :R3)は、電極3b上で一定であ
る。同様に、給電線3dの区間においても、R5 :R4
=R5 :R6 が保たれている。
変調器の電気コネクタ接続方法は、電気コネクタ端子5
bと給電線3dとの間にAu リボン40を介して行なわ
れていた。電気コネクタ端子とリボンの接触は電気コネ
クタ端子をリボンで包むことにより、また、リボンと給
電線の接続は加熱してリボン側から圧着することにより
行なわれる。リボン材にAu が用いられるのは、Au が
ワイヤボンディングやリボンボンディングに適し、広帯
域な変調信号の損失を防ぐためであるが、Au リボンは
加工の際に表面に変形が発生しやすく、図17、図18
に示すように、給電線3dとAu リボン40の間に空隙
を生じる。
一の特性インピーダンスで設計され、整合が取れている
にもかかわらず、この空隙による特性インピーダンス不
整合のために、接触部分のリボンと電気コネクタの間、
及びリボンと給電線の間に変調信号の反射が発生し、こ
の反射によって変調信号に損失を生じる。変調信号の損
失は、光変調帯域特性を劣化させ、また、反射した変調
信号は信号駆動回路に悪影響を与える。
に生じた凹凸の突起部分から変調信号が放射され、信号
の損失をさらに大きくするという問題点があった。
電気結合間のインピーダンス不整合を小さく抑えるとと
もに、広帯域、かつ、低反射の光制御デバイスを提供す
ることにある。
は、電気コネクタ端子と光制御デバイスの導波路の電極
との間に挿入され、その外径が電気コネクタ端子の外径
から導波路側の電極の外径まで連続的に増加または減少
して滑らかに変化し、かつ、インピーダンス整合された
変換器を有する。
を有しない構造であることが望ましい。
サを挿入するのが望ましい。
と光導波路側電極との各結合部に設けられてもよい。
信号を伝達する電気コネクタと導波路給電線との間に生
じる反射/放射を抑えることができる。
することにより、同じく誘電体を絶縁体として用いてい
る電気コネクタ端子とのサイズの不整合を容易に防止す
ることができる。
て図面を参照して説明する。
平面図、図2はその主要部の拡大図、図3は外部駆動回
路との接続例を示す回路図である。
デバイスは、電気光学効果を有するLiNbO3 基板上に
設けられた1本以上の光導波路2と、導波路2上の電極
3bと、駆動電気信号を電極3bに伝達する給電線3d
と、駆動電気信号を入力する電気コネクタ端子5bと、
給電線3dと電気コネクタ端子5bとの間に挿入された
変換器4bと、アース制御電極3a,3cと電気コネク
タ端子5a,5cとの間に挿入された変換器4a,4c
とを有する。変換器4bは、その外径が電気コネクタ端
子5bの外径から給電線電極3dの外径まで連続的に滑
らかに変化し、かつ、電気コネクタ入力および光制御デ
バイスの電極にインピーダンス整合される。
においては、変調信号駆動回路から電気コネクタに伝達
された変調信号が電気結合部から反射されることを避け
るために、CPW電極の特性インピーダンスZcpw を電
気コネクタの特性インピーダンスZdと等しくなるよう
に設定する。光導波路上の制御電極の特性インピーダン
スZcpw (Ω)は、グプタ等(K.C.Gupta,Remesh Garg
and I.J.Bahl)の文献「MICROSTRIP LINES AND SLOT LIN
ES; PP.201-202; ARTECH HOUSE INC. 1979」によると、
給電線電極3bの幅R2 、給電線電極3bとアース制御
電極3cとの距離R1 、給電線電極3bとアース制御電
極3aとの距離R3 (ただし、R1 =R3)、基板の誘
電率εとするとき、次式で表される。
母数とする第1種完全楕円積分、K’(k)は
ネクタとの結合部分である給電線電極3d付近において
も、一定(通常、Zd=Zcpw =50Ω)になるよう
に、電極幅R5 と電極間の間隔R4 ,R6 が設計されて
いる。
に、電気コネクタの変調信号電極端子5bの幅C2 から
変調電極3bの電極幅R2 と同等の値になるまで単純増
加または単純減少して連続的に変化している。R5 の変
化に対応して、(1)式から得られる一定の特性インピ
ーダンスが給電線上に確保されるように電極間の間隔R
4 及びR6 を変化させる。また、電気コネクタ端子5b
も光導波路の特性インピーダンスと等しい特性インピー
ダンスで設計されたものを用いる。
子5bと光導波路上の給電線3dの間の電気接続におけ
る特性インピーダンスの不整合を極少化するために、一
定の特性インピーダンスを保持しながら給電線3dの幅
R5 と電気コネクタ端子5bの幅C2 のサイズの違いを
連続的に変換する構造である。電気コネクタ端子と給電
線の間のサイズ変換領域LにおけるC1 、C2 、C3 の
値は、(1)式において誘電体として空気を仮定したも
のを用いて設計される。また、本実施例の変換器は、電
気コネクタ端子5bの表面を全て包含し、給電線3d側
の変換器の断面サイズは、給電線3dの外側の一部と接
触する程度の場合から、給電線3dの面積より大きくて
全面に接触しているような場合まで含まれる。電気コネ
クタ側の結合部では、電気コネクタ端子5bの形状に対
応した断面が円筒、または直方体の窪みを設け、コネク
タとの接触抵抗、寄生容量が発生しない構造を有し、給
電線3d側の結合部では、図2に示すように、給電線3
dと相似形の断面構造を有する。
して説明する。変調信号を導波路2の電極上で進行波と
して用いる場合、変調信号を導波路上の変調光と同一方
向にして駆動回路50から変調電極3bに入力する。駆
動回路50より入力された変調信号は、先ず電気コネク
タを介して変換器4bに伝達される。この電気コネクタ
5bと変換器4b間の等価回路が等価回路16aであ
る。変換器4bに伝達された変調駆動信号は、導波路2
上の電極3b(給電線)に導かれる。変換器4bと給電
線電極3bの間の等価回路を等価回路16bとする。光
入力12から入力された導波光は、2つに分岐して給電
線電極3b上とアース制御電極3a上に導かれ、給電線
電極3b上の導波光は、基板1の電気光学効果によって
位相変化を受ける。このようにして位相変化を受けた電
極3b上(図3の下側)の導波光と、位相変化を受けて
いない電極3a上(図3の上側)の導波光とを合波し
て、強度変調された光波信号を光出力13から出力す
る。電極3bと電極3d上を伝播した変調信号は、変換
器4bを介して電気コネクタ5bに伝達され、終端抵抗
70によって無反射終端される。終端抵抗側の電気コネ
クタ5bと変換器4bの間、及び変換器4bと給電線3
bの間にも、駆動回路側と同様に、電気コネクタ5bと
変換器4b間の等価回路16a、変換器4bと電極3b
間の等価回路16bが存在する。
変換器4b間と、変換器4bと給電線3d間の各特性イ
ンピーダンスは整合され、等価回路16aと16bの値
は極めて小さい値となり、変換器4bと給電線3d間の
特性インピーダンスも整合されているので、変調信号の
反射が抑圧され極めて小さくなる。
間の結合面積は、電気コネクタ端子5b幅と同等であ
り、電気コネクタ端子表面を包む構造で、突起部分が無
く、変換器4bの断面は楕円形である。従って、従来は
電気コネクタ端子表面の突起部分やAu リボンと電気コ
ネクタ間の空隙から発生していた変調信号の放射が抑圧
される。
照して説明する。
は図4のA−A断面図、図6はB−B断面図である。
路から変調信号が金属パッケージ8bを介して入力され
る電気コネクタ端子5bと、給電線である電極3dと、
電気コネクタ端子5bと電極3dの間に介在する変換器
4bと、外部のアースが電気コネクタパッケージ8a、
8cを介して接続される電気コネクタ端子5a、5c
と、導波路上のアース電極3a、3cと、電気コネクタ
端子5a、5cとアース電極3a、3cの間に介在する
変換器4a、4cと、信号入力線である金属パッケージ
8bとアース電極3a、3cに接続される金属パッケー
ジ8a,8cとの間に特性インピーダンスが一定となる
ように充填される誘電体のスペーサ9a、9bとを有す
る。
ピーダンスは、電気コネクタの特性インピーダンスが等
しくなるように設計されている。変換器4a、4b、4
cの材質は、Ag 、Al 、Au 、Pt 等の貴金属であっ
ても、あるいは他の金属の表面にこれらの貴金属を0.
1μm以上の膜厚となるようにメッキ、蒸着等によって
形成したものであっても、本発明の効果は同等である。
の円筒形状の場合、変換器4bに電気コネクタ端子の円
筒形の窪みを形成し、窪みと端子を結合して端子表面を
全て覆う。このとき、半田や銀ペースト等を用いて結合
面に隙間が生じないように結合する。
換領域Lでは、変換器4bの電極サイズを電気コネクタ
端子5bのサイズから給電線3dの幅まで連続的に変化
させる。変換領域Lは、2mm以下で、変換器4bの給
電線3dと結合する側の断面は、図5に示すように、給
電線3dの表面と同一平面で結合するような相似形であ
る。
9により説明する。
に、電気コネクタ端子と光導波路の電極間でサイズの違
いによる特性インピーダンスの不整合が主として変調マ
イクロ波入力の信号線で発生することに着目して、変換
器の特性インピーダンス整合の設計を省略して、変調信
号の放射抑制に主眼をおいたものである。
基本的な構成は第1、第2の実施例と同じであるが、ア
ース電極3a,3cと電気コネクタ端子5a,5cとは
銀ペースト、または半田等で直接結合し、変調電極3d
と電気コネクタ端子5bの間の結合のみに変換器4を挿
入している。変換器4は、図示のように、形状が給電線
3dと相似形で、かつ、電気コネクタ端子5bの全表面
を覆い、変換器4と電気コネクタ端子5bの間に空隙を
生じないようにしている。また、図9の断面図に示すよ
うに、半楕円形の表面には鋭角の突起部分がない。これ
らによって変調信号の放射損失が抑制される。
子5bの間の結合のみに変換器4を挿入した場合、電気
コネクタ端子5bと給電線3dの結合部を伝播する変調
信号の放射は変換器4によって抑圧され、かつ、変換器
の実装数が第1、第2の実施例の1/3となるので、実
装作業が1/3に短縮される。
0の断面図により説明する。
らに向上するために、図示のように、変換器4を給電線
3dと1点で結合するものである。この変換器4によっ
て電気コネクタ端子5bと給電線3dの結合部を通る変
調マイクロ波の放射損失を抑圧することができる。この
ように、変換器4と給電線3dを1点で結合することに
より、変換器4と給電線3dの実装作業時間は著しく短
縮される。しかし、サイズ変換領域がないため、変換器
4と給電線3dとの間にインピーダンス不整合が発生す
ることは避けられないので、実装時間の短縮が優先する
場合にのみ適用される方法である。
1の平面図及び図12、図13の断面図により説明す
る。
4b間、及び変換器4b、4c間に誘電率εが1より大
きい誘電体、例えば誘電率εが2.3のポリエチレン、
3.0のポリカーボネイト、4.8のガラスエポキシ、
10.0のアルミナ等、のスペーサ10a,10bを挿
入し、変換器4a〜4cと電気コネクタ間の特性インピ
ーダンス、及び変換器4a〜4cと給電線3d間の特性
インピーダンスの整合を図るものである。
との間に誘電体のスペーサ10a,10bを挿入するこ
とにより、(1)式を用いたZcpw 一定の条件の設計が
可能となり、間隔が空気として設計した場合より給電線
電極3dと電極3a,3c間の間隔を広くすることがで
き、従って、変換器4a,4b,4cの実装作業が容易
になる。また、適当な誘電体を選択することにより、変
換器のサイズを調節できるので、実装作業時間の短縮を
図ることができる。
電気コネクタとの結合の特性と実装作業性の向上を図る
ものであるが、これらは電極の構造には依存せず、非対
称コプレーナストリップ線路、スロット線路等のマイク
ロ波線路の場合にも本発明を適用して同様の効果を得る
ことができる。
電気光学効果を有する強誘電体(LiNb03 、LiTa0
3 )、半導体、あるいは有機材料等を用い、電気信号に
よって光出力を制御する、光変調器、光スイッチ、偏波
制御器等のあらゆる光制御デバイスにおいて、伝播損
失、放射損失が特に問題となるマイクロ波、ミリ波等の
高周波信号により光制御を行なう場合、本発明を適用す
ることにより、電気コネクタ端子と導波路電極との電気
結合部の反射及び放射を抑圧することができる。
ンスを一定に保ったまま、導波路上の電極幅と電気コネ
クタ端子サイズの間の外径サイズを連続的に変換するこ
とにより、光制御デバイスに変調マイクロ波信号を伝達
する電気コネクタと導波路給電線との間に生じる変調マ
イクロ波の反射を抑えることができる効果がある。
しない構造であることにより、電気コネクタと導波路給
電線との間からの放射を抑えることができる効果があ
る。
気コネクタ端子相互間の絶縁体とすることにより、変換
器のサイズを調節して実装作業時間の短縮を図ることが
できる効果がある。
コネクタと導波路給電線との間にのみ変換器を挿入する
ことにより、変換器の実装作業を大幅に低減しながらサ
イズの違いによる特性インピーダンス不整合の発生を抑
圧できる効果がある。
る。
る。
ある。
ある。
る。
面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 光波の導波路に電気コネクタ端子から電
気信号を入力して光波の変調や光路の切替え等の制御を
行なう光制御デバイスにおいて、 電気コネクタ端子と光制御デバイスの導波路側の電極と
の間に挿入され、その外径が電気コネクタ端子の外径か
ら光制御デバイスの電極の外径まで連続的に滑らかに変
化し、かつ、電気コネクタ入力および光制御デバイスの
電極にインピーダンス整合された変換器を有することを
特徴とする光制御デバイス。 - 【請求項2】 前記変換器は表面に鋭角の突起形状を有
しない構造である請求項1に記載の光制御デバイス。 - 【請求項3】 電気コネクタ端子相互間に誘電体の絶縁
体を有する請求項1または2に記載の光制御デバイス。 - 【請求項4】 複数の電気コネクタ端子と導波路側の電
極との間にそれぞれ変換器を有する請求項1乃至3のい
ずれか1項に記載の光制御デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9063084A JP2885218B2 (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | 光制御デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9063084A JP2885218B2 (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | 光制御デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10260382A true JPH10260382A (ja) | 1998-09-29 |
JP2885218B2 JP2885218B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=13219124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9063084A Expired - Fee Related JP2885218B2 (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | 光制御デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2885218B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1202105A2 (en) * | 2000-10-27 | 2002-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical signal transmission system and magneto-optical modulator |
WO2007145144A1 (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-21 | Anritsu Corporation | 光変調器 |
CN100383610C (zh) * | 2004-03-18 | 2008-04-23 | 日本电信电话株式会社 | 光调制器和光调制方法 |
JP2008152206A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Anritsu Corp | 光変調器 |
JP2009139843A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路素子 |
EP2482120A1 (en) * | 2009-09-25 | 2012-08-01 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide element module |
-
1997
- 1997-03-17 JP JP9063084A patent/JP2885218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1202105A3 (en) * | 2000-10-27 | 2003-12-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical signal transmission system and magneto-optical modulator |
EP1640790A2 (en) * | 2000-10-27 | 2006-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical modulator |
EP1640790A3 (en) * | 2000-10-27 | 2006-04-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical modulator |
EP1202105A2 (en) * | 2000-10-27 | 2002-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical signal transmission system and magneto-optical modulator |
CN100383610C (zh) * | 2004-03-18 | 2008-04-23 | 日本电信电话株式会社 | 光调制器和光调制方法 |
JP2009064048A (ja) * | 2006-06-14 | 2009-03-26 | Anritsu Corp | 光変調器 |
WO2007145144A1 (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-21 | Anritsu Corporation | 光変調器 |
JP2008152206A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Anritsu Corp | 光変調器 |
JP2009139843A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路素子 |
US7639913B2 (en) | 2007-12-10 | 2009-12-29 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical waveguide element |
JP4650482B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2011-03-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 光導波路素子 |
EP2482120A1 (en) * | 2009-09-25 | 2012-08-01 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide element module |
EP2482120A4 (en) * | 2009-09-25 | 2014-09-17 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | OPTICAL FIBER ELEMENTS MODULE |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2885218B2 (ja) | 1999-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101652704B (zh) | 光控制元件 | |
US5675673A (en) | Integrated optic modulator with segmented electrodes and sloped waveguides | |
JP2001209017A (ja) | 光電変換半導体装置 | |
US20030151793A1 (en) | Optical modulator having element for varying optical phase by electrooptic effect | |
US8774566B2 (en) | Optical waveguide element module | |
JPH03203716A (ja) | 電気光学変調器 | |
US6909817B2 (en) | Electro-optic modulators with internal impedance matching | |
US5671302A (en) | Linearized optic modulator with segmented electrodes | |
JP2885218B2 (ja) | 光制御デバイス | |
JP2018173543A (ja) | 光デバイス | |
EP1369741B1 (en) | Resonant electro-optical modulator for optical short pulse generation | |
JP3559170B2 (ja) | 導波路型光デバイス | |
US5696855A (en) | Integrated optic modulator with reduced capacitance electrode configuration | |
US6677830B2 (en) | Broadband matching network for an electroabsorption optical modulator | |
JPH06308437A (ja) | 光制御素子 | |
JP2871645B2 (ja) | 導波路型光デバイス | |
JP7037116B2 (ja) | 光変調器 | |
EP1065550A1 (en) | Electro-optic modulators with integrated impedance matching | |
JPH05264937A (ja) | 光制御デバイス | |
JP2008224740A (ja) | 光変調デバイス | |
JP4666425B2 (ja) | 共振型光変調器の光変調方法及び共振型光変調器 | |
IE911467A1 (en) | Optical modulators | |
JP2002350793A (ja) | 光電変換半導体装置 | |
JP2849369B2 (ja) | 導波路型光デバイスの実装構造 | |
JP3731622B2 (ja) | 光導波路デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090212 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110212 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140212 Year of fee payment: 15 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |