JP2008289948A - Pd系水素透過金属膜の製造方法 - Google Patents
Pd系水素透過金属膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008289948A JP2008289948A JP2007134903A JP2007134903A JP2008289948A JP 2008289948 A JP2008289948 A JP 2008289948A JP 2007134903 A JP2007134903 A JP 2007134903A JP 2007134903 A JP2007134903 A JP 2007134903A JP 2008289948 A JP2008289948 A JP 2008289948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- hydrogen
- permeable metal
- hydrogen permeable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【解決手段】 スパッタリング法により基板上にPd膜又はPd合金膜を形成し、真空中又は不活性ガス雰囲気中にて400〜700℃の温度で加熱処理した後、Pd膜又はPd合金膜を基板から剥離する。使用する基板は、ガラス板又はセラミックス板であるか、若しくは膜厚0.01〜1μmの密着防止用のバリア層で被覆されたシリコンウエハー又は金属板が好ましく、バリア層としてはAl、Cr、Si、及びTiから選ばれた少なくとも1種の酸化物又は窒化物が好ましい。
【選択図】 なし
Description
[数式1]
J=φ・(Ph0.5−Pl0.5)/d
50×50mmサイズのクラウンガラス基板をエタノール中で20分間超音波洗浄し、Pdターゲットを装着したスパッタリング装置(ULVAC社製、SBH2306RDE)に、基板として取り付けた。まず、スパッタリング装置内を5×10−4Pa以下に真空排気した後、Arガス圧1Paにおいて、PdターゲットにDC1.0Aのスパッタ電流を投入して、基板上に膜厚1μmのPd膜を形成した。
50×50mmサイズのクラウンガラス基板をエタノール中で20分間超音波洗浄し、Pd−23mol%Ag合金ターゲットとCuターゲットを装着したスパッタリング装置(ULVAC社製、SBH2306RDE)に取り付けた。まず、スパッタリング装置内を5×10−4Pa以下に真空排気した後、Arガス圧1Paにおいて、RF200Wで基板のスパッタエッチングを行った。
基板として熱酸化SiO2バリア層付きの直径75mmのSiウェハーを用いた以外は上記実施例1と同様にして、膜厚1μmのPd膜を形成した。このPd膜が付着している基板を真空加熱炉に入れ、5×10−3Paまで真空排気した後、真空中にて400℃で2時間の加熱処理を行った。
50×50mmサイズのクラウンガラス基板をエタノール中で20分間超音波洗浄し、Pdターゲットを付けたスパッタリング装置(ULVAC社製、SBH2306RDE)に取り付けた。スパッタリング装置内を5×10−4Pa以下に真空排気した後、Arガス圧1Paにおいて、PdターゲットにDC1.0Aのスパッタ電流を投入して、基板上に膜厚1μmのPd膜を形成した。
基板として50×50mmサイズのSUS316板を基板に用いた以外は上記実施例1と同様にして、スパッタリングにより膜厚1μmのPd膜を形成した。このPd基板を真空加熱炉に入れ、5×10−3Paまで真空排気した後、真空中で400℃にて2時間の加熱処理を行った。
真空中での加熱処理温度が900℃であった以外は上記実施例3と同様にして、SiO2バリア層付きのSiウェハー基板上にPd膜を形成した。このPd膜は、角をピンセットでつまんで剥離しようとしたが、剥離することができなかった。
Claims (4)
- スパッタリング法により基板上にPd膜又はPd合金膜を形成する工程と、前記Pd膜又はPd合金膜を形成した基板を真空中又は不活性ガス雰囲気中にて400〜700℃の温度で加熱処理する工程と、前記加熱処理したPd膜又はPd合金膜を基板から剥離する工程とを含むことを特徴とするPd系水素透過金属膜の製造方法。
- 前記Pd膜又はPd合金膜の膜厚が0.1〜5μmであることを特徴とする、請求項1に記載のPd系水素透過金属膜の製造方法。
- 前記基板は、ガラス板又はセラミックス板であるか、若しくは膜厚0.01〜1μmの密着防止用のバリア層で被覆されたガラス板、セラミックス板、シリコンウエハー、金属板から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする、請求項1に記載のPd系水素透過金属膜の製造方法。
- 前記バリア層が、Al、Cr、Si及びTiから選ばれた少なくとも1種の酸化物または窒化物からなることを特徴とする、請求項3に記載のPd系水素透過金属膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007134903A JP2008289948A (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | Pd系水素透過金属膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007134903A JP2008289948A (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | Pd系水素透過金属膜の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008289948A true JP2008289948A (ja) | 2008-12-04 |
Family
ID=40165242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007134903A Pending JP2008289948A (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | Pd系水素透過金属膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008289948A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2550378A1 (en) * | 2010-03-22 | 2013-01-30 | T3 Scientific LLC | Hydrogen selective protective coating, coated article and method |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000005580A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Nippon Metal Ind Co Ltd | 耐圧性を有する複合水素透過膜とその製造方法及び補修方法 |
JP2002239352A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水素透過構造体およびその製造方法 |
JP2002292259A (ja) * | 2001-04-02 | 2002-10-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水素透過構造体およびその製造方法 |
JP2003182018A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Toyo Kohan Co Ltd | ガス透過層接合体の製造方法およびガス透過層接合体を用いた部品の製造方法 |
JP2005218963A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 水素透過用部材およびその製造方法 |
JP2006000722A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 水素透過合金膜及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-05-22 JP JP2007134903A patent/JP2008289948A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000005580A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Nippon Metal Ind Co Ltd | 耐圧性を有する複合水素透過膜とその製造方法及び補修方法 |
JP2002239352A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水素透過構造体およびその製造方法 |
JP2002292259A (ja) * | 2001-04-02 | 2002-10-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水素透過構造体およびその製造方法 |
JP2003182018A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Toyo Kohan Co Ltd | ガス透過層接合体の製造方法およびガス透過層接合体を用いた部品の製造方法 |
JP2005218963A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 水素透過用部材およびその製造方法 |
JP2006000722A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 水素透過合金膜及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2550378A1 (en) * | 2010-03-22 | 2013-01-30 | T3 Scientific LLC | Hydrogen selective protective coating, coated article and method |
EP2550378A4 (en) * | 2010-03-22 | 2014-02-19 | T3 Scient Llc | HYDROGEN SELECTIVE PROTECTIVE COATING, COATED ARTICLE, AND PROCESS |
US8900344B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-12-02 | T3 Scientific Llc | Hydrogen selective protective coating, coated article and method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4551429B2 (ja) | 燃料電池用セパレータの製造方法、燃料電池用セパレータおよび燃料電池 | |
CN1189237C (zh) | 氢渗透性结构体及其制造方法 | |
JPH11276866A (ja) | 水素透過膜及びその作製方法 | |
JP2008012495A (ja) | 水素透過合金膜 | |
US9260304B2 (en) | Hydrogen separation device and method for operating same | |
JP2008289948A (ja) | Pd系水素透過金属膜の製造方法 | |
JP2004074070A (ja) | 水素透過膜 | |
JP4064774B2 (ja) | 水素透過体とその製造方法 | |
JPWO2005068058A1 (ja) | 水素又はヘリウムの透過膜、貯蔵膜及びその形成方法 | |
JP5223240B2 (ja) | 水素透過膜およびその製造方法 | |
US6171712B1 (en) | Palladium and palladium/copper thin flat membranes | |
JP2006000722A (ja) | 水素透過合金膜及びその製造方法 | |
JP2008272605A (ja) | 水素透過膜およびその製造方法 | |
JP2008043907A (ja) | 水素透過複合膜およびその製造方法 | |
JP2008264740A (ja) | 水素透過金属膜の製造方法 | |
JP2008237977A (ja) | 水素透過金属膜の製造方法 | |
JP4946721B2 (ja) | 水素透過膜およびその製造方法 | |
JP2008279329A (ja) | Pd系水素透過膜の製造方法 | |
JP3342416B2 (ja) | 水素精製膜及び水素製造方法 | |
JP2005218963A (ja) | 水素透過用部材およびその製造方法 | |
JP2003095616A (ja) | 水素分離精製装置 | |
JP4029122B2 (ja) | 水素解離・分離性能向上補助膜が被覆されている水素解離・分離複合膜 | |
JPH01131002A (ja) | 水素吸蔵合金の製造方法 | |
JP2008043908A (ja) | 水素透過膜およびその製造方法、並びに、該水素透過膜を用いた水素透過用部材 | |
CN117737671A (zh) | 一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiNx保护层及其制备方法和应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090804 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110315 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111129 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120703 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |