JP2008043908A - 水素透過膜およびその製造方法、並びに、該水素透過膜を用いた水素透過用部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の上に、スパッタリング法を用いて、膜厚0.1〜1μmの水素のみを選択的に透過する金属膜からなる水素透過層を形成し、該水素透過層の外周シール部分に膜厚3μm以上の金属膜を積層したものを、基板から剥離することにより極薄膜の水素透過膜を得る。さらに、表面が粒径1〜10μmの球状金属粒子からなり、該表面上に膜厚0.01〜1μmのバリア層が形成された通気性多孔質金属支持体と重ね合わせて、接合し、水素透過用部材とする。
【選択図】図1
Description
水素透過層は、Pd膜またはPd合金膜により形成される。Pd合金としては、Pd−Ag合金、Pd−Y合金、Pd−希土類元素合金などがあげられる。
本発明では、水素透過層の外周シール部分に金属膜を形成する点に特徴がある。かかる金属膜を形成することにより、製造に際して、極薄膜からなる水素透過層を屈曲させたり、破ることなく、水素透過膜を基板から剥離させることが可能となる。また、水素透過膜を通気性多孔質金属支持体と接合し、水素透過用部材を形成する際、さらには、水素透過用部材を水素分離装置の継手に設置する際にも、シール接合部分が破れてしまうことが抑止される。
水素透過層および金属膜の形成には、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの真空成膜法ないしは湿式めっきを用いることができる。
基板より剥離して得られた水素透過膜を、通気性多孔質金属支持体などの膜の支持構造に接合することにより、水素透過用部材を得ることができる。支持構造としては、柱状構造膜など任意のものを選択しうるが、通過する水素ガスの圧力損失を抑制し、燃料電池における水素精製用の分離装置への適用が可能な優れた水素透過性能を付与しうる観点から、通気性多孔質金属支持体を支持構造として用いることが好ましい。
通気性多孔質金属支持体の材質としては、普通鋼、ステンレス鋼などのFe合金、Ni、Ni合金、Cr合金などがあげられる。その形状、大きさについては、適用される装置に応じて任意に選択される。かかる支持体は、金属粒子を焼結することにより貫通細孔を設けたり、金網、不織布、板状体またはパイプに、機械加工、打ち抜きまたはエッチングにより、貫通細孔を穿設することにより得られる。
通気性多孔質金属支持体の面のうち、水素透過膜が接合される側の表面には、バリア層を設けることが好ましい。通気性多孔質金属支持体の表面が球状金属粒子により形成されている場合には、バリア層は、該球状金属粒子の表面に形成される。
水素透過膜と外周シール部分の金属膜は、スパッタリング装置(ULVAC社製、SBH−2306RDE)を用いて、作製した。基板ホルダーに、26×76mmのクラウンガラス基板(松浪硝子工業株式会社製、S7213)を取り付けて、5×10-4Pa以下の圧力まで真空排気した後、Pd−23at%Ag合金ターゲットを使用し、Arガス圧1Pa、DC1.0Aのスパッタ電流を投入して、膜厚0.50μmのPd−23at%Ag合金の薄膜からなる水素透過層を形成した。次に、得られた水素透過層の上に、φ6mmのSUS430ステンレス鋼製のマスクを取り付けて、再び、5×10-4Pa以下の圧力まで真空排気した後、Cuターゲットを使用し、Arガス圧1Pa、DC1.0Aのスパッタ電流を投入して、水素透過層の上に、φ6mmの円形部分を除いた周囲に、外周シール部分となる膜厚5μmのCu膜を形成した。得られた外周シール部分とともに、水素透過層をクラウンガラス基板から剥離させ、水素透過膜を得た。剥離に際して、水素透過膜が、破れたり屈曲することはなかった。
基板を、膜厚0.02μmのAl2O3をバリア層にもつSUS304ステンレス鋼とし、Pdターゲットを使用して、膜厚0.90μmの水素透過層を形成し、外周シール部分として膜厚3μmのCu膜を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、破れたり屈曲することなく、剥離することにより、水素透過膜を得た。さらに、実施例1と同様にして、水素透過用部材を作製することができた。
基板を、膜厚0.5μmのSiO2をバリア層にもつSiウェハとし、Pdターゲットを使用して、膜厚0.23μmの水素透過層を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、破れたり屈曲することなく、剥離することにより、水素透過膜を得た。さらに、実施例1と同様にして、水素透過用部材を作製することができた。
基板を、ガラス(コーニングディスプレイテクノロジー社製、#7059)とし、Pd−6at%Y合金ターゲットを使用して、膜厚0.95μmの水素透過層を形成し、外周シール部分となる膜厚5μmのNi膜を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、破れたり屈曲することなく、剥離することにより、水素透過膜を得た。さらに、実施例1と同様にして、水素透過用部材を作製することができた。
基板を、合成石英(英興株式会社製)とし、Pd−53at%Cu合金ターゲットを使用して、膜厚0.48μmの水素透過層を形成し、外周シール部分として膜厚6μmのCu膜を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、破れたり屈曲することなく、剥離することにより、水素透過膜を得た。さらに、実施例1と同様にして、水素透過用部材を作製することができた。
外周シール部分に金属膜を成膜せずに、実施例1と同様にして、水素透過合金層のみからなる水素透過膜を形成し、該水素透過膜を基板から剥離しようとしたところ、水素透過膜は破れて、剥離することができなかった。
基板にバリア層を設けずに、SUS304ステンレス鋼からなる基板を用い、かつ、外周シール部分として膜厚5μmのNi膜を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、水素透過膜を形成した。得られた水素透過膜を基板から剥離しようとしたところ、水素透過膜を剥離することができなかった。
3、4 外周シール部分
Claims (10)
- 膜厚0.1〜1μmの水素透過層と、該水素透過層の外周シール部分に設けられ、該水素透過層の金属と金属間化合物を形成しない別の金属からなる膜厚3μm以上の金属膜とからなることを特徴とする水素透過膜。
- 前記水素透過層が、Pd膜またはPd合金膜からなることを特徴とする請求項1に記載の水素透過膜。
- 前記金属膜が、Cu、Ni、Ag、およびAuのうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の水素透過膜。
- 通気性多孔質金属支持体と、該通気性多孔質金属支持体の表面に形成された膜厚0.01〜1μmのバリア層と、該バリア層側で、該通気性多孔質金属支持体に接合される前記請求項1から3のいずれかに記載の水素透過膜とからなることを特徴とする水素透過用部材。
- 前記通気性多孔質金属支持体の表面が、粒径1〜10μmの球状金属粒子により形成されており、前記バリア層が、Al、Cr、Si、およびTiのうちの少なくとも1種の酸化物または窒化物からなることを特徴とする請求項4に記載の水素透過用部材。
- 基板上に、膜厚0.1〜1μmの水素透過層を形成し、得られた水素透過層の外周シール部分に、膜厚3μm以上の金属膜を形成し、得られた金属膜付きの水素透過層を前記基板上から剥離することを特徴とする水素透過膜の製造方法。
- 前記水素透過層を、PdまたはPd合金のターゲットを使用するスパッタリング法により、Pd膜またはPd合金膜として形成することを特徴とする請求項6に記載の水素透過膜の製造方法。
- 前記金属膜を、Cu、Ni、Ag、およびAuのうちの少なくとも1種を含む金属により形成することを特徴とする請求項6または7に記載の水素透過膜の製造方法。
- 前記基板として、酸化物ガラス、酸化物セラミックス、膜厚0.01〜1μmのバリア層を形成したシリコンウェハ、および膜厚0.01〜1μmのバリア層を形成した金属板のうちの少なくとも1種を用いることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の水素透過膜の製造方法。
- 前記バリア層を、Al、Cr、Si、およびTiのうちの少なくとも1種の酸化物または窒化物により形成することを特徴とする請求項9に記載の水素透過膜の製造方法。
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