JP2008218746A - Iii族窒化物系半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】活性層17が設けられた半導体表面19は、(0001)面に等しい第1の面19aと、該第1の面19aに対して傾斜したファセット面から成る第2の面19bとを有する。InGaN井戸層21は、ファセット面19b上に位置する第1の部分21aと、第1の面19a上に位置する第2の部分21bとを含む。同様に、InGaN障壁層23は、ファセット面19b上に位置する第1の部分23aと、第1の面19a上に位置する第2の部分23bとを含む。InGaN井戸層21において、第2の部分21bの厚さd21bは第1の部分21aの厚さd21aより薄く、ファセット面を有する半導体表面19上に活性層17を成長することによってInGaN井戸層21が部分的に薄くなっている。半導体表面19におけるファセット面はVピットによって提供される。
【選択図】図1
Description
基板上に順に設けられたn型窒化物半導体層、活性層およびp型窒化物半導体層を有する。この窒化物半導体素子において、活性層は、Inを有する窒化物半導体井戸層を含む多重量子井戸構造を有する。井戸層又は障壁層の単一層中にn型不純物を変調ドープすることによって順方向電圧を低減する。
図2(b)に示される構造の発光ダイオードを作製した。有機金属気相成長炉内にサファイア基板53をセットした。摂氏1100度の温度で、10分間、水素(H2)雰囲気中で、サファイア基板53のC面53aをサーマルクリーニングを行った。クリーニングの後に、厚さ25nmのGaN層を摂氏475度で成長した。この後に、厚さ5μmのn型(シリコン添加)GaN膜55を成長した。n型GaN膜55は、多数の貫通転位(例えば、転位密度1×109cm−2程度)を含む。摂氏800度の成長温度で、厚さ500nmのn型(シリコン添加)In0.01Ga0.99N膜57をn型GaN膜55上に成長した。In0.01Ga0.99N膜57の表面57aには、貫通転位に対応した図2(a)に示されるVピットが形成される。In0.01Ga0.99N膜57上に活性層59を成長した。活性層59は、厚さ3nmのIn0.14Ga0.86N井戸層59aと厚さ15nmのIn0.01Ga0.99N障壁層59bが交互に配置された多重量子井戸構造を有する。InGaN多重量子井戸構造は、摂氏800度という低温であり、この温度では、原子のマイグレーションが抑制される。このような成長条件で、InGaN多重量子井戸構造が成長されるので、ファセットは維持されたまま成長が進行する。
InGaN層の膜厚に依存してVピットのサイズが変化する様子を調べるために、図5(a)に示される構造の評価試料を作製した。評価試料は、発光ダイオードAの作製工程において活性層の成長が完了した後に、成長炉がエピタキシャルウエハを取り出した。In0.01Ga0.99N層57の膜厚が、100nm、300nm、500nmの3種類の試料を作製し、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて活性層の表面を観察した。
GaN基板上に発光ダイオードを作製した。GaN基板の転位密度が、例えば106cm−2以下であるので、多数のVピットは形成されない。そこで、塩素およびアルゴンを含むエッチングガスで、マスクを用いてGaN基板のドライエッチング(反応性イオンエッチング)を行った。マスクのパターンは、ストライプ、円形等である。GaN基板をエッチングによって加工して、GaN基板の表面にファセット面を形成した。この加工により、溝や凹みといった形状によって提供される段差が形成される。段差の大きさは、例えば1μm程度である。
Claims (11)
- 第1導電型窒化ガリウム系半導体領域と第2導電型窒化ガリウム系半導体領域との間に設けられ、第1の面と該第1の面に対して傾斜したファセット面から成る第2の面とを有する半導体表面上に設けられた活性層を備え、
前記活性層は、InX1Ga1−X1N(0<X1<1)からなる井戸層およびInX2Ga1−X2Nからなる(0≦X2<X1)障壁層を含み、
前記井戸層は第1および第2の部分を含み、前記第1の部分は前記第1の面上に位置し、前記第2の部分は前記ファセット面上に位置し、
前記井戸層の前記第2の部分の厚さは、前記井戸層の前記第1の部分の厚さより薄い、ことを特徴とするIII族窒化物系半導体発光素子。 - 前記井戸層の前記第2の部分の厚さは、前記井戸層の前記第1の部分の厚さの0.75倍の厚さ以下である、ことを特徴とする請求項1に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
- 前記井戸層の前記第2の部分のインジウム組成は、前記井戸層の前記第1の部分のインジウム組成よりも小さい、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
- 前記障壁層は第1および第2の部分を含み、前記第1の部分は前記第1の面上に位置し、前記第2の部分は前記ファセット面上に位置し、
前記障壁層の前記第2の部分の厚さは、前記障壁層の前記第1の部分の厚さより薄い、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。 - 前記障壁層の前記第2の部分の厚さは、前記障壁層の前記第1の部分の厚さの0.2倍の厚さ以上である、ことを特徴とする請求項4に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
- 前記半導体表面に対して前記第1の面の割合が0.95以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
- 前記半導体表面に対して前記第1の面の割合が0.8以上である、ことを特徴とする、ことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
- 前記活性層の表面は、前記半導体表面の前記ファセット面に起因する段差を有しており、
前記III族窒化物系半導体発光素子は、前記活性層上に設けられており前記段差を埋め込む窒化ガリウム系半導体層を更に備える、ことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。 - 前記活性層における前記井戸層の数は3以上10以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
- 前記第1導電型窒化ガリウム系半導体領域、前記第2導電型窒化ガリウム系半導体領域および前記活性層を搭載する基板を更に備え、
前記基板はIII族窒化物半導体と異なる材料から成り、
前記半導体表面における前記ファセット面は、Vピットによって提供される、ことを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。 - 前記第1導電型窒化ガリウム系半導体領域、前記第2導電型窒化ガリウム系半導体領域および前記活性層を搭載する基板を更に備え、
前記半導体基板の主面は段差を有しており、
前記半導体表面における前記ファセット面は、前記基板の前記主面における前記段差に関連している、ことを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載されたIII族窒化物系半導体発光素子。
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