JP2008140917A - 窒化物系半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n型窒化ガリウム系半導体層15は基板13上に設けられ、例えばクラッド層である。発光層17は、n型窒化ガリウム系半導体層15上に設けられ、また量子井戸構造23を有する。p型窒化ガリウム系半導体層19は、発光層17上に設けられている。平坦化層21は、n型窒化ガリウム系半導体層15と発光層との間に設けられ、また窒化ガリウム系半導体領域からなる。窒化ガリウム系半導体領域もn型窒化ガリウム系半導体層と発光層との間に位置する。で表され、発光層19の炭素濃度NC1の炭素を含む。平坦化層の窒化ガリウム系半導体領域の平均炭素濃度NC2は発光層19の平均炭素濃度NC1より大きい。平坦化層21は、優れた平坦性の下地を発光層17のために提供できる。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施の形態に係る窒化物系半導体発光素子を示す図面である。窒化物系半導体発光素子11は、基板13と、n型窒化ガリウム系半導体層15と、発光層17と、p型窒化ガリウム系半導体層19と、平坦化層21とを備える。n型窒化ガリウム系半導体層15は基板13上に設けられており、例えばクラッド層である。発光層17は、n型窒化ガリウム系半導体層15上に設けられており、また量子井戸構造23を有する。量子井戸構造23は、井戸層23aおよび障壁層23bを含んでおり、井戸層23aの間には障壁層23bが設けられている。p型窒化ガリウム系半導体層19は、発光層17上に設けられており、例えばクラッド層である。平坦化層21は、n型窒化ガリウム系半導体層15と発光層との間に設けられている。また、窒化ガリウム系半導体領域もn型窒化ガリウム系半導体層と発光層との間に設けられている。本実施例では、平坦化層21は窒化ガリウム系半導体領域からなる。発光層19の平均炭素濃度は第1の炭素濃度NC1で表され、発光層19は第1の炭素濃度NC1の炭素原子を含む。平坦化層においては、窒化ガリウム系半導体領域の平均炭素濃度は第2の炭素濃度NC2で表され、窒化ガリウム系半導体領域は第2の炭素濃度の炭素原子を含む。第2の炭素濃度NC2は第1の炭素濃度NC1より大きい。
基板13:サファイア基板
n型窒化ガリウム系半導体層15:n型GaN(Siドープ)、5μm
平坦化層21:アンドープGaN、400nm、炭素濃度NC2=1×1018cm−3
発光層17(量子井戸構造23)平均炭素濃度NC1=5×1016cm−3以下
井戸層23a:In0.07Ga0.93N、
障壁層23b:In0.01Ga0.99N
p型窒化ガリウム系半導体層19:Al0.18Ga0.82N(Mgドープ)、20nm
コンタクト層25:p型GaN(Mgドープ)、50nm
アノード電極27:Ni/Au(オーミック)
カソード電極29:Ti/Al(オーミック)
である。
サファイア基板上にLEDを以下のように作製した。結晶成長は、有機金属気相成長(MOVPE)法を用いることができる。サファイア基板をMOVPE炉に導入する。サファイア基板を摂氏1100度の水素(H2)雰囲気中で10分間熱処理した。この熱処理は、基板表面のクリーニングのために行われる。引き続き、摂氏475度で低温バッファ層を成長する。この厚みは25nmである。この後に、摂氏1150度でn型GaN層を成長する。この厚みは5μmである。n型GaN上に、平坦化層のためのアンドープGaN層を成長する。このアンドープGaN層の炭素濃度は、約1×1018cm−3である。摂氏800度で、発光層のために井戸層および障壁層を交互に成長した。発光層の平均炭素濃度は、5×1016cm−3以下であった。その後、摂氏1100度の成長温度で電子ブロック層のためにp型Al0.18Ga0.82Nを成長し、次いで、コンタクト層のためにp型GaN層を成長する。炭素濃度の評価は、例えば2次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)を用いて行った。このエピタキシャル基板を成長炉から取り出した後に、コンタクト層、電子ブロック層、発光層、アンドープGaN層およびn型GaN層を順にドライエッチングして、n型GaN層の一部に露出面を形成する。p側電極としてNi/Auをコンタクト層上に蒸着すると共に、n側電極としてTi/Alを露出面上に蒸着して、LED1を作製した。
サファイア基板を摂氏1100度のH2雰囲気中で10分間クリーニングした。次いで、摂氏475度で低温GaN層を成長した。摂氏1150度で厚み1μmのアンドープGaN層を成長した。この後に、摂氏1150度の成長温度、10kPaの圧力で厚み500nmのアンドープGaN層(平坦化層)を成長して、エピタキシャル基板E1を作製した。この結果、図2(a)に示されるように、このエピタキシャル基板E1では、低温GaNバッファ層33、アンドープGaN層35および平坦化層37aがサファイア基板31上に順に成長される。この平坦化層37(アンドープGaN層)の炭素濃度は約1×1018cm−3であった。図2(b)は、エピタキシャル基板E1の平坦化層表面のノマルスキー顕微鏡写真を示す図面である。
図4は、本実施の形態に係る窒化物系半導体発光素子を示す図面である。窒化物系半導体発光素子11aは、基板13と、n型窒化ガリウム系半導体層15と、発光層41と、p型窒化ガリウム系半導体層17と、平坦化層43とを備える。発光層41は、n型窒化ガリウム系半導体層15上に設けられており、量子井戸構造45を有する。量子井戸構造45は、井戸層45aおよび障壁層45bを含んでおり、井戸層45aの間には障壁層45bが設けられている。発光層上41には、p型窒化ガリウム系半導体層17が設けられている。平坦化層43は、n型窒化ガリウム系半導体層15と発光層41との間に設けられており、また窒化ガリウム系半導体領域47を含む。窒化ガリウム系半導体領域47も、n型窒化ガリウム系半導体層15と発光層41との間に設けられている。平坦化層43はフォトニック結晶構造を含む。フォトニック結晶構造は一次元または二次元の周期的な屈折率分布を有する回折格子を含み、その構造に起因したフォトニックバンドギャップによって一次元方向あるいは二次元面内に渡って対応するエネルギーの光の伝播を禁止することができる微細構造である。発光層41の平均炭素濃度は第1の炭素濃度NC3で表され、発光層41は第1の炭素濃度NC3の炭素を含む。平坦化層43においては、窒化ガリウム系半導体領域47の平均炭素濃度は第2の炭素濃度NC4で表され、窒化ガリウム系半導体領域47は第2の炭素濃度の炭素を含む。第2の炭素濃度NC4は第1の炭素濃度NC3より大きい。
基板13:サファイア基板
n型窒化ガリウム系半導体層15:n型GaN(Siドープ)、5μm
平坦化層41
窒化ガリウム系半導体領域47:アンドープGaN、400nm、炭素濃度NC4=1×1018cm−3
埋設物49a:SiO2柱
発光層43(量子井戸構造45)平均炭素濃度NC3=5×1016cm−3以下
井戸層45a:In0.07Ga0.93N、
障壁層45b:In0.01Ga0.99N
p型窒化ガリウム系半導体層19:Al0.18Ga0.82N(Mgドープ)、20nm
コンタクト層25:p型GaN(Mgドープ)、50nm
アノード電極27:Ni/Au(オーミック)
カソード電極29:Ti/Al(オーミック)
である。
発光ダイオードを作製する。この発光ダイオードは平坦化層を有しており、平坦化層は、アンドープGaN層で埋め込まれた複数の絶縁物柱を含む。これらの絶縁物柱は、アレイ状に配置されている。絶縁物柱は、例えば、窒化ガリウムの屈折率と大きく異なる屈折率のシリコン酸化物からなる。
図5は、本実施の形態に係る窒化物系半導体発光素子を示す図面である。窒化物系半導体発光素子11bでは、発光層51は、n型窒化ガリウム系半導体層55上に設けられており、量子井戸構造61を有する。量子井戸構造61は、井戸層61aおよび障壁層61bを含んでいる。発光層上51には、p型窒化ガリウム系半導体層59が設けられている。p型窒化ガリウム系半導体層59は、例えば電子ブロック層として働く。平坦化層59は、n型窒化ガリウム系半導体層55と発光層51との間に設けられており、また窒化ガリウム系半導体領域63を含む。窒化ガリウム系半導体領域63も、n型窒化ガリウム系半導体層55と発光層51との間に設けられている。平坦化層57はフォトニック結晶構造を含む。フォトニック結晶構造は二次元回折格子を含む。発光層51の平均炭素濃度は第1の炭素濃度NC3で表され、発光層51は第1の炭素濃度NC3の炭素原子を含む。平坦化層57においては、窒化ガリウム系半導体領域63の平均炭素濃度は第2の炭素濃度NC4で表され、窒化ガリウム系半導体領域63は第2の炭素濃度の炭素原子を含む。第2の炭素濃度NC4は第1の炭素濃度NC3より大きい。III族窒化物系基板53上には、n型窒化ガリウム系半導体層55、平坦化層57、発光層51、およびp型窒化ガリウム系半導体層59が順に設けられている。
基板53:GaN基板
n型窒化ガリウム系半導体層65(n型バッファ層):n型GaN(Siドープ)、2μm
n型窒化ガリウム系半導体層55(n型クラッド層):n型Al0.07Ga0.93N(Siドープ)、600nm
平坦化層57
窒化ガリウム系半導体領域63:アンドープGaN、200nm、炭素濃度NC4=1×1018cm−3
埋設物49a:SiO2柱
発光層51(量子井戸構造61)平均炭素濃度NC3=5×1016cm−3以下
井戸層61a:In0.07Ga0.93N、
障壁層61b:In0.01Ga0.99N
p型窒化ガリウム系半導体層59(電子ブロック層):Al0.18Ga0.82N(Mgドープ)、20nm
p型窒化ガリウム系半導体層67(光ガイド層):p型GaN(Mgドープ)、100nm
p型窒化ガリウム系半導体層69(p型クラッド層):Al0.07Ga0.93N(Mgドープ)、400nm
コンタクト層71:p型GaN(Mgドープ)、50nm
カソード電極73:Ti/Al(オーミック)
アノード電極75:Ni/Au(オーミック)
である。
埋設物柱(例えばSiO2柱)がフォトニック結晶として働くように作製されると、GaN基板を用いた面発光レーザが得られる。窒化ガリウム系半導体面発光レーザは平坦化層を有しており、平坦化層は、アンドープGaN層で埋め込まれた複数の絶縁物柱を含む。これらの絶縁物柱は、アレイ状に配置されている。絶縁物柱は、窒化ガリウムの屈折率と大きく異なる屈折率の材料、例えば、シリコン酸化物からなる。
図6(a)に示されるように、実験例4と同じように、MOVPE炉において2枚のGaN基板81をアンモニアおよび水素(NH3+H2)を含む雰囲気中で、摂氏1050度、10分間のサーマルクリーニングを行う。摂氏1150度でSiドープn−型GaN膜83を成長する。GaN膜83の厚さは、例えば2マイクロメートルである。次いで、成長炉から取り出すと共に絶縁膜を成長した後に、電子ビーム露光を用いたフォトリソグラフィおよびエッチングにより、上記の実験例と同じように、各n型GaN膜83上に絶縁物柱のアレイ85を形成する。アレイの絶縁物柱85aは、複数の方向に同一の周期で配列されたシリコン酸化物柱である。一例のアレイは、高さ40nmのSiO2柱を含み、またこれらのSiO2柱は、一辺352nmの正三角形格子を形成するように配置されている。
Claims (10)
- 基板の主面上に設けられたn型窒化ガリウム系半導体層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体層上に設けられており量子井戸構造を有する発光層と、
前記発光層上に設けられたp型窒化ガリウム系半導体層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体層と前記発光層との間に設けられた窒化ガリウム系半導体領域を含む平坦化層と
を備え、
前記平坦化層はフォトニック結晶構造を含み、
前記発光層は、第1の炭素濃度の炭素を含み、
前記平坦化層の前記窒化ガリウム系半導体領域は、第2の炭素濃度の炭素を含み、
前記第2の炭素濃度は前記第1の炭素濃度より大きい、ことを特徴とする窒化物系半導体発光素子。 - 基板上に設けられたn型窒化ガリウム系半導体層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体層上に設けられており量子井戸構造を有する発光層と、
前記発光層上に設けられたp型窒化ガリウム系半導体層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体層と前記発光層との間に設けられた窒化ガリウム系半導体領域を含む平坦化層と
を備え、
前記発光層は、第1の炭素濃度の炭素を含み、
前記平坦化層の前記窒化ガリウム系半導体領域は、第2の炭素濃度の炭素を含み、
前記第2の炭素濃度は前記第1の炭素濃度より大きい、ことを特徴とする窒化物系半導体発光素子。 - 前記平坦化層の前記窒化ガリウム系半導体領域の膜厚は20nm以上であり、
前記平坦化層の前記窒化ガリウム系半導体領域の膜厚は500nm以下である、ことを特徴とする請求項2に記載された窒化物系半導体発光素子。 - 前記第2の炭素濃度は1×1017cm−3以上である、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された窒化物系半導体発光素子。
- 前記第2の炭素濃度は1×1019cm−3以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された窒化物系半導体発光素子。
- 前記発光層と前記平坦化層との間隔は150nm以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された窒化物系半導体発光素子。
- 前記平坦化層は複数の埋設部を含み、
前記複数の埋設部は、前記基板の前記主面に平行な基準面に沿って配列されると共に前記窒化ガリウム系半導体領域で覆われており、
前記埋設部の屈折率は前記窒化ガリウム系半導体領域の屈折率と異なり、
前記埋設部は空隙および絶縁体のいずれかであり、
前記発光層の転位密度は前記n型窒化ガリウム系半導体層の転位密度以下である、ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載された窒化物系半導体発光素子。 - 前記平坦化層は複数の埋設部を含み、
前記埋設部の前記配列はフォトニック結晶を構成し、
前記複数の埋設部は、前記基板の前記主面に平行な基準面に沿って配列されると共に前記窒化ガリウム系半導体領域で覆われており、
前記埋設部の前記配列はフォトニック結晶を構成し、
前記埋設部の屈折率は前記窒化ガリウム系半導体領域の屈折率と異なり、
前記埋設部は空隙および絶縁体のいずれかであり、
前記発光層の転位密度は前記n型窒化ガリウム系半導体層の転位密度以下である、ことを特徴とする請求項1に記載された窒化物系半導体発光素子。 - 前記平坦化層の前記窒化ガリウム系半導体領域は、前記埋設部の側面を覆う第1の部分と、前記埋設部の上面および前記第1の部分の表面を覆う第2の部分とを含む、ことを特徴とする請求項8に記載された窒化物系半導体発光素子。
- 前記発光層は、前記平坦化層上にエピタキシャル成長される、ことを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載された窒化物系半導体発光素子。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP (1) | JP2008140917A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110831 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120402 |
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A02 | Decision of refusal |
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