JP2008198658A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ソースセル102,103とドレインセル104,105が、それぞれ、コンタクトプラグ31,32によって、平坦化された第1配線層41,42に接続されてなり、コンタクト31bで示されたソースコンタクトプラグが、コンタクト32aで示されたドレインコンタクトプラグのコンタクト面内における最小幅W2より小さな最小幅W1を有するコンタクト31b1〜31b5で示された小コンタクトプラグの複数個の組み合わせからなる半導体装置110とする。
【選択図】図2
Description
91,101,111,121,201 横型MOSトランジスタ(LDMOS)
92,93,102,103 ソースセル
94,95,104,105 ドレインセル
30〜32 コンタクトプラグ
31a〜31c (ソース)コンタクト
31b1〜31b5,31c1〜31c5 小コンタクト
32a (ドレイン)コンタクト
40〜42 第1配線層
50〜52,51a〜51c,52a〜52c 第2配線層
60〜62,61a〜61c,62a〜62c 第3配線層
70a,70b,71〜78,80a,80b ビアホールプラグ
Claims (15)
- 半導体基板にソースセルとドレインセルが市松模様状に配置された横型MOSトランジスタを有してなる半導体装置であって、
前記ソースセルとドレインセルが、それぞれ、コンタクトプラグによって、平坦化された第1配線層に接続されてなり、
前記ソースセルに接続するソースコンタクトプラグが、前記ドレインセルに接続するドレインコンタクトプラグのコンタクト面内における最小幅より小さな最小幅を有する小コンタクトプラグの複数個の組み合わせからなることを特徴とする半導体装置。 - 前記ドレインコンタクトプラグのコンタクト面内における形状と前記小コンタクトプラグのコンタクト面内における形状が、いずれも、正方形状であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ソースコンタクトプラグが、前記小コンタクトプラグの5個の組み合わせからなることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ソースコンタクトプラグが、分離して配置された前記小コンタクトプラグの複数個の組み合わせからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ソースコンタクトプラグが、連結して配置された前記小コンタクトプラグの複数個の組み合わせからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層上に、平坦化された第2配線層と第3配線層が形成されてなり、
前記第2配線層と第3配線層が、ビアホールプラグによって接続されてなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - ソースに対応した前記第2配線層と第3配線層およびドレインに対応した前記第2配線層と第3配線層が、前記市松模様状に配置されたソースセルとドレインセルからなるセル領域を2分するようにして、当該セル領域を覆ってなることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記ビアホールプラグの接続面内における形状が、ストライプ形状であり、
前記ソースとドレインのそれぞれに対応した第2配線層と第3配線層の間で、複数本並んで配置されてなることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記ビアホールプラグの接続面内における形状が、格子形状であり、
前記ソースとドレインのそれぞれに対応した第2配線層と第3配線層の間に配置されてなることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記ビアホールプラグの接続面内における形状が、ストライプ形状であり、
前記ソースとドレインのそれぞれに対応した第2配線層と第3配線層の間で、放射状に配置されてなることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記セル領域の外部に、前記ソースとドレインのそれぞれに対応した第3配線層を露出するパッド部が設けられてなることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置。
- 前記セル領域の内部に、前記ソースとドレインのそれぞれに対応した第3配線層を露出するパッド部が設けられてなることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記横型MOSトランジスタが、パワー素子であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の横型MOSトランジスタ。
- 前記半導体基板における前記横型MOSトランジスタと別位置に、ICが配置されてなることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置が、車載用であることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか一項に記載の横型MOSトランジスタ。
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