JP2008195927A - 熱剥離型両面粘着テープ又はシートおよび被着体の加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 発泡剤含有粘着剤層と、しっかりと貼着させ、且つ引き剥がしにより容易に剥離できる発泡剤非含有粘着剤層を有している熱剥離型両面粘着テープ又シートを得る。
【解決手段】 熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、基材の一方の面に、発泡剤を含有していない粘着剤層（Ａ）を有し、且つ他方の面に、発泡剤を含有している粘着剤層（Ｂ）を有しており、粘着剤層（Ａ）が、可塑剤を、粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で含有しているとともに、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下である特性を有しており、且つ、両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下であることを特徴とする。
【選択図】 なし

Description

本発明は、熱剥離型両面粘着テープ又はシートおよび被着体の加工方法に関する。

従来、支持基材に熱膨張性微小球などの発泡剤を含有する粘着剤層（熱膨張性粘着層）を設けた熱剥離型粘着テープ又はシートが知られている（特許文献１参照）。熱剥離型粘着テープ又はシートは、物品の接着目的を達成した後、熱膨張性粘着層を加熱して発泡乃至膨張させて、熱膨張性粘着層の表面を凹凸状に変化させ、これにより、被着体との接着面積が減少して粘着力（接着力）が低減し、被着体である物品を容易に分離できるようにしたものであり、電子部品やその材料等の加工時における固定や、搬送等の物流など、多種多様な目的で用いられている。

このような熱剥離型粘着テープ又はシートとして、例えば、基材の片面に発泡剤を含有する粘着剤層（発泡剤含有感圧性接着剤層）を有し、且つ他面に発泡剤を含有しない粘着剤層（発泡剤非含有感圧性接着剤層）を有する両面粘着タイプの熱剥離型粘着テープ又はシート（熱剥離型両面粘着テープ又はシート）を用いた場合、通常、熱剥離型粘着層である発泡剤含有感圧性接着剤層の表面に、加工するための物品を貼り合わせ、一方、熱剥離型粘着層でない発泡剤非含有感圧性接着剤層を、台座面に固定した状態で、物品に加工を施し、加工後、熱を加えることにより、加工した物品を熱剥離型粘着テープ又はシートから剥離させ、その後、台座から、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを剥離している。なお、この場合、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを剥離した台座は、再利用することができる。

特開昭５６−６１４６８号公報

しかしながら、このような熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、台座に固定する側の感圧性接着剤層（すなわち、発泡剤非含有感圧性接着剤層）の粘着力が高すぎると、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを台座から剥離させるのに要する時間が長くかかり、しかも、場合によっては、台座を破損する恐れもある。一方、熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、発泡剤非含有感圧性接着剤層の粘着力が低すぎると、台座への固定性が低下し、物品を加工する際の加工性が低下してしまう。

なお、加工する物品が、電子部品やその材料である場合、加工時に汚染されないことが重要である。そのため、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを用いて加工する際には、熱剥離型両面粘着テープ又はシートとしては、電子部品やその材料に対する汚染を抑制又は防止することができるものを用いることが重要である。

従って、本発明の目的は、加熱により剥離させることが可能な発泡剤含有粘着剤層とともに、発泡剤非含有粘着剤層を有しており、該発泡剤非含有粘着剤層が、貼着させる際には、しっかりと貼着させることが可能であり、且つ剥離させる際には、引き剥がしにより容易に剥離させることが可能な粘着力を有している熱剥離型両面粘着テープ又シートを提供することにある。
本発明の他の目的は、さらに、発泡剤含有粘着剤層に貼り合わせる物品、又は該物品に加工を施して得られる加工品に対する汚染を抑制又は防止することができる熱剥離型両面粘着テープ又はシートを提供することにある。

本発明者は、前記目的を達成するため鋭意検討した結果、発泡剤非含有粘着剤層として、可塑剤を所定の割合で含有し、且つ特定の引張粘着力を有している発泡剤非含有粘着剤層を用いるとともに、両面粘着テープ又はシート自体の加熱減量を所定の大きさに調整すると、発泡剤非含有粘着剤層が可塑剤を含有することにより、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力を、貼着時にはしっかりと貼着させることができ、且つ剥離時には、引き剥がしにより容易に剥離させることができる程度に適度に低下させることができ、しかも、被着体に対する汚染も有効に抑制又は防止することができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。

すなわち、本発明は、基材の一方の面に、発泡剤を含有していない粘着剤層（Ａ）を有し、且つ他方の面に、発泡剤を含有している粘着剤層（Ｂ）を有する両面粘着テープ又はシートであって、粘着剤層（Ａ）が、可塑剤を、粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で含有しているとともに、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下である特性を有しており、且つ、両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下であることを特徴とする熱剥離型両面粘着テープ又はシートである。

前記可塑剤としては、下記の特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有する可塑剤を好適に用いることができる。
特性（Ｘ）：温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の減量が２重量％以下である特性
特性（Ｙ）：１００℃における飽和蒸気圧が０．０９Ｐａ以下であり且つ沸点が４００℃以上である特性

また、可塑剤としては、分子量又は重量平均分子量が５００以上の可塑剤が好適であり、特に、トリメリット酸エステル系可塑剤、またはピロメリット酸エステル系可塑剤を好適に用いることができる。

本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートでは、粘着剤層（Ａ）が、さらに、せん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）をＸ（Ｎ／ｃｍ²）とし、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）をＹ（Ｎ／２０ｍｍ幅）とした際に、「Ｘ／Ｙ」の値が２０以上である特性を有していることが好ましい。また、粘着剤層（Ａ）が、さらに、せん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１０（Ｎ／ｃｍ²）以上である特性を有していることが好適である。さらにまた、粘着剤層（Ａ）が、さらに、ゲル分率が７５重量％以上である特性を有していることが好ましい。

本発明は、また、両面粘着テープ又はシートを用いて被着体を加工する方法であって、前述の熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、粘着剤層（Ａ）を利用して台座に固定し、且つ粘着剤層（Ｂ）上に被着体を貼り合わせた状態で、被着体に加工処理を施すことを特徴とする被着体の加工方法を提供する。該被着体の加工方法では、被着体としては、電子系部品類を好適に用いることができる。また、被着体が、セラミックコンデンサ用のグリーンシートであり、且つグリーンシートの積層工程を有していてもよい。

本発明は、さらにまた、前述の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品や、積層セラミックコンデンサを提供する。

本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートによれば、加熱により剥離させることが可能な発泡剤含有粘着剤層とともに、発泡剤非含有粘着剤層を有しており、該発泡剤非含有粘着剤層が、貼着させる際には、しっかりと貼着させることが可能であり、且つ剥離させる際には、引き剥がしにより容易に剥離させることが可能な粘着力を有している。さらに、発泡剤含有粘着剤層に貼り合わせる物品、又は該物品に加工を施して得られる加工品に対する汚染を抑制又は防止することができる。

以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一の部材や部分などには同一の符号を付している場合がある。
［熱剥離型両面粘着テープ又はシート］
本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、図１（ａ）〜（ｂ）で示されるように、基材と、該基材の一方の面に形成された、発泡剤を含有していない粘着剤層（Ａ）［発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）］と、前記基材の他方の面に形成された、発泡剤を含有している粘着剤層［発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）］とを有しており、また、前記発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、可塑剤を、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で含有しており、さらに、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下となっており、さらにまた、この熱剥離型両面粘着テープ又はシート自体を、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下となっている。

図１（ａ）〜（ｂ）は、本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートの一例を部分的に示す概略断面図である。図１（ａ）〜（ｂ）において、１ａ、１ｂは熱剥離型両面粘着テープ又はシート、２は発泡剤を含有していない粘着剤層（Ａ）［発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）］、３は基材、４はゴム状有機弾性層、５は発泡剤を含有している粘着剤層［発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）］、６は両面が離型面となっているセパレータ（剥離ライナー）である。なお、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、可塑剤を、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で含有している。また、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下となっている。さらにまた、この熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下となっている。

具体的には、図１（ａ）で示される熱剥離型両面粘着テープ又はシート１ａは、基材３の一方の面に発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）２が形成され、且つ基材３の他方の面に発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）５が形成された構成を有している。また、図１（ｂ）で示される熱剥離型両面粘着テープ又はシート１ｂは、基材３の一方の面に発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）２が形成され、且つ基材３の他方の面に、ゴム状有機弾性層４、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）５が、この順で形成された構成を有している。さらに、これらの熱剥離型両面粘着テープ又はシート（１ａ，１ｂ）は、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）５の表面が、両面が離型面となっているセパレータ６により保護されており、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）２の表面とセパレータ６の露出している表面とが接触する形態で重ね合わせてロール状に巻回させることにより、ロール状に巻回された形態の熱剥離型両面粘着テープが作製される。

このように、本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートでは、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）が、可塑剤を、ベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で含有しており、且つ発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下と適度な大きさとなっているので、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を利用して、台座などの支持体に貼着させる（特に、貼着により固定させる）際には、しっかりと貼着させることができ（貼着させて固定させることができ）、また、貼着させた支持体より剥離させる際には、引き剥がしにより容易に剥離させることができる。

なお、本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートでは、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）において、可塑剤が特定の割合で用いられていることにより、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力が適度な大きさにまで低減されてコントロールされている。

しかも、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の粘着力（引張粘着力）を適度に低下させるために、可塑剤を用いていても、この熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下となっているので、物品を熱剥離型粘着剤層である発泡剤含有粘着剤層の表面に貼着させて加工する（特に高温で加工する）際や、加工後に、加熱により発泡剤含有粘着剤層から剥離させる際などで、可塑剤の拡散や揮発が抑制又は防止されており、発泡剤含有粘着剤層に貼り合わせる物品、又は該物品に加工を施して得られる加工品に対する汚染を、効果的に抑制又は防止することができる。

なお、可塑剤として、例えば、下記の特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有する可塑剤を用いることにより、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量を２重量％以下にコントロールすることができる。
特性（Ｘ）：温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の減量が２重量％以下である特性
特性（Ｙ）：１００℃における飽和蒸気圧が０．０９Ｐａ以下であり且つ沸点が４００℃以上である特性

すなわち、本発明では、上記の特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有する可塑剤を、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で用いられた粘着剤組成物を用いて、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を形成することにより、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下であり、且つ、両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下である熱剥離型両面粘着テープ又はシートを得ることができる。

発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）としては、１Ｎ／２０ｍｍ幅以下であれば特に制限されないが、例えば、０．１〜１Ｎ／２０ｍｍ幅であり、好ましくは０．８Ｎ／２０ｍｍ幅以下（例えば、０．３〜０．８Ｎ／２０ｍｍ幅）である。発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅を超えていると、貼着させた支持体より剥離させる際の剥離性が低下し、引き剥がし難くなる。なお、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が０．１Ｎ／２０ｍｍ幅未満であると、粘着力が低すぎて、台座などの支持体に貼着させた際の固定性が低下して、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）に貼着している物品の加工時や、加工された加工品を剥離させる際の加熱時に、剥がれやすくなる。

本発明では、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）は、下記の［引張粘着力の測定方法］により測定された値として定義される。
［引張粘着力の測定方法］
熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、幅：２０ｍｍ×長さ：１４０ｍｍのサイズに切断して、この２０ｍｍ×１４０ｍｍの熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、３０ｍｍ幅のポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名「ルミラーＳ−１０」東レ社製；厚さ：２５μｍ）に、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）側の粘着面がポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に接触する形態で、温度：２３±２℃および湿度：６５±５％ＲＨの雰囲気下で、２ｋｇのローラーを１往復させる方法で圧着し（ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準じる）、温度：２３±２℃および湿度：６５±５％ＲＨの雰囲気下で３０分間放置した後、温度：２３±２℃および湿度：６５±５％ＲＨの雰囲気下、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／分の測定条件で、ポリエチレンテレフタレートフィルムを熱剥離型両面粘着テープ又はシートより引き剥がして剥離させ、この剥離の際の応力を測定して、応力の最大値（測定初期のピークトップを除いた最大値）を読み取り、該応力の最大値を粘着力（Ｎ／２０ｍｍ幅）とすることにより、測定される。

また、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際に、熱剥離型両面粘着テープ又はシート全体中に含まれている可塑剤の減量としては、２重量％以下であれば特に制限されないが、好ましくは１重量％以下（さらに好ましくは０．５重量％以下）であり、なかでも０．３重量％以下（特に０重量％）であることが好ましい。熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が、２重量％を超えていると、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）に貼り合わせられた物品を加工する際や、該加工された加工品を発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）より剥離させる際に、物品又は加工品を汚染する問題が生じる。

本発明では、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量は、下記の［加熱減量の測定方法］により測定された値として定義される。
［加熱減量の測定方法］
セパレータを剥がした後の熱剥離型両面粘着テープ又はシート［面積：１０ｃｍ²（幅：２０ｍｍ、長さ：５０ｍｍ）］をバイアル瓶に入れ、１６５℃の温度且つ１気圧の圧力の条件下で、１時間加熱させ、加熱状態のガス１．０ｍＬを、下記のガスクロマトグラフの測定条件下で、ガスクロマトグラフ測定装置に注入して、蒸発又は揮発した可塑剤の重量を測定し、熱剥離型両面粘着テープ又はシート中の可塑剤の減量（重量減少）を計算により求める。
（ガスクロマトグラフの測定条件）
・キャリアガス及びその流量：ヘリウム（Ｈｅ）ガス、７．９ｍＬ／ｍｉｎ
・カラムヘッド圧：３４．５ｋＰａ（ａｔ４０℃）
・注入口温度：２８０℃
・カラム温度：４０℃で５分、１０℃／ｍｉｎの割合で昇温させ、２６０℃で１３分
・検出器：ＦＩＤ（２８０℃）
・加圧時間：０．１２ｍｉｎ
・ループ充填時間：０．１２ｍｉｎ
・ループ平衡時間：０．１２ｍｉｎ
・注入時間：３．００ｍｉｎ
・サンプルループ温度：２００℃
・トランスファーライン温度：２２０℃

［発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）］
発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、発泡剤を含有していない粘着剤層であり、非熱膨張性または非発泡性の特性を有している。すなわち、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は熱剥離型粘着剤層ではない。この発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、粘着剤と、粘着剤のベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合である可塑剤とを少なくとも含有している。なお、可塑剤の含有量が、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）中のベースポリマー：１００重量部に対して５重量部未満であると、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の粘着力を低下させる効果が低く、一方、３０重量部を超えていると、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の表面に過剰に析出して汚染の原因となったり、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の粘着力が低くなりすぎて、台座等の被着体より浮いてしまったりするという問題が生じやすくなる。発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）中の可塑剤の含有量としては、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して８〜２５重量部であることが好ましい。

本発明では、可塑剤としては、前述の特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有している可塑剤を好適に用いることができる。

特性（Ｘ）において、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量としては、２重量％以下であれば特に制限されないが、好ましくは１重量％以下（さらに好ましくは０．５重量％以下）であり、なかでも０．３重量％以下（特に０重量％）であることが好ましい。

また、特性（Ｙ）において、１００℃における可塑剤の飽和蒸気圧としては、０．０９Ｐａ以下であれば特に制限されないが、好ましくは１．０×１０^-3Ｐａ以下（さらに好ましくは４．２×１０^-4Ｐａ以下）であり、特に１．０×１０^-4Ｐａ以下であることが好ましい。なお、１００℃における可塑剤の飽和蒸気圧の下限は特に制限されず、低ければ低いほど好ましい。

一方、特性（Ｙ）において、可塑剤の沸点としては、４００℃以上であれば特に制限されないが、好ましくは４１０℃以上（さらに好ましくは４２０℃以上）である。なお、可塑剤の沸点の上限は特に制限されず、高ければ高いほど好ましい。

なお、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）中の可塑剤の減量（温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の減量）は、下記の［粘着剤層（Ａ）中の加熱減量の測定方法］により測定された値として定義される。
［粘着剤層（Ａ）中の加熱減量の測定方法］
発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を約１０ｃｍ²採取し、これをバイアル瓶に入れ、１６５℃の温度且つ１気圧の圧力の条件下で、１時間加熱させ、加熱状態のガス１．０ｍＬを、前記の［加熱減量の測定方法］でのガスクロマトグラフの測定条件と同様の条件下で、ガスクロマトグラフ測定装置に注入して、蒸発又は揮発した可塑剤の重量を測定し、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）中の可塑剤の減量（重量減少）を計算により求める。

このように、可塑剤として、特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有する可塑剤を用いると、高温雰囲気中であっても、蒸発又は揮発が抑制又は防止されており、例えば、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）に貼着させた物品（被加工品）を加工したり、加工した加工品を剥離させるために加熱したりした際に、可塑剤が殆ど又は全く蒸発又は揮発せず、物品又は加工品の汚染を有効に抑制又は防止することができる。また、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを製造する際でも、粘着剤の塗工時や乾燥時に、可塑剤が殆ど又は全く蒸発又は揮発せず、エアーフィルターなどの汚染を抑制又は防止することができ、しかも、特性が安定した熱剥離型両面粘着テープ又はシートを製造することができる。

本発明では、可塑剤としては、特性（Ｘ）及び特性（Ｙ）を有している可塑剤が好適である。なお、可塑剤としては、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を形成するための粘着剤のベースポリマーと相溶性がよいものが好適である。

具体的には、可塑剤としては、例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤、アジピン酸系可塑剤などを用いることができ、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤を好適に用いることができる。可塑剤は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

トリメリット酸エステル系可塑剤やピロメリット酸エステル系可塑剤としては、例えば、特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有するトリメリット酸トリエステルや、特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有するピロメリット酸テトラエステルが好適である。このようなトリメリット酸トリエステルやピロメリット酸テトラエステルは、トリメリット酸やピロメリット酸と、１価のアルコール類（特に、１価の脂肪族アルコール類）とのエステル化反応により得られるエステル類である。前記１価のアルコール類としては、炭素数が８以上の１価の脂肪族アルコール類（例えば、ｎ−オクチルアルコール、２−エチルヘキシルアルコール、イソオクチルアルコール、ノニルアルコール、イソノニルアルコール、デシルアルコール、イソデシルアルコール、ウンデシルアルコール、ドデシルアルコールなど）が好ましく、さらには炭素数が８〜１２（なかでも炭素数が８〜１０、特に炭素数が８）の１価の脂肪族アルコール類が好適である。１価の脂肪族アルコール類などの１価のアルコール類は単独で又は２種以上が組み合わせられて用いられていてもよい。なお、１価の脂肪族アルコール類は、直鎖状または分岐鎖状のいずれの形態を有していてもよい。

具体的には、トリメリット酸エステル系可塑剤としては、例えば、トリメリット酸トリ（ｎ−オクチル）、トリメリット酸トリ（２−エチルヘキシル）、トリメリット酸トリイソオクチル、トリメリット酸トリイソノニル、トリメリット酸トリイソデシル等のトリメリット酸トリアルキルエステルなどが挙げられる。また、ピロメリット酸エステル系可塑剤としては、例えば、ピロメリット酸テトラ（ｎ−オクチル）、ピロメリット酸テトラ（２−エチルヘキシル）等のピロメリット酸テトラアルキルエステルなどが挙げられる。

本発明では、可塑剤の分子量［可塑剤がポリマータイプの可塑剤（ポリエステル系可塑剤など）である場合は、重量平均分子量］は、特に制限されないが、５００以上であることが好ましく、さらに好ましくは５２０以上であり、特に５４０以上であることが好ましい。

また、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）において用いられている粘着剤としては、特に制限されず、公知の粘着剤の中から適宜選択することができる。より具体的には、粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、これらの粘着剤に融点が約２００℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤などが挙げられる。また、粘着剤としては、放射線硬化型粘着剤（又はエネルギー線硬化型粘着剤）を用いることもできる。粘着剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。

粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤を好適に用いることができ、特にアクリル系粘着剤が好適である。アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系重合体（単独重合体又は共重合体）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤が挙げられる。前記アクリル系粘着剤における（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ_1-20アルキルエステル［好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ_4-18アルキル（直鎖状又は分岐鎖状のアルキル）エステル］などが挙げられる。

なお、前記アクリル系重合体は、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどの（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル類；Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、Ｎ−メチルビニルピロリドン、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピペリドン、Ｎ−ビニルピリミジン、Ｎ−ビニルピペラジン、Ｎ−ビニルピラジン、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルオキサゾール、Ｎ−（メタ）アクリロイル−２−ピロリドン、Ｎ−（メタ）アクリロイルピペリジン、Ｎ−（メタ）アクリロイルピロリジン、Ｎ−ビニルモルホリンなどの窒素含有複素環系モノマー；Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類；スチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン系モノマー；Ｎ−ビニルカプロラクタムなどのラクタム系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどの複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子などを有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ（メタ）アクリレート、ヘキシルジ（メタ）アクリレートなどの多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は１種又は２種以上使用できる。

なお、ゴム系粘着剤としては、天然ゴムや各種の合成ゴム［例えば、ポリイソプレンゴム、スチレン・ブタジエン（ＳＢ）ゴム、スチレン・イソプレン（ＳＩ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンや、これらの変性体など］をベースポリマーとしたゴム系粘着剤が挙げられる。

粘着剤は、粘着性成分（ベースポリマー）等のポリマー成分、可塑剤の他に、粘着剤の種類等に応じて、架橋剤、粘着付与剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。

なお、架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤の他、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられ、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤を好適に用いることができる。前記イソシアネート系架橋剤としては、例えば、１，２−エチレンジイソシアネート、１，４−ブチレンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネートなどの低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシアネ−ト、水素添加キシレンジイソシアネ−トなどの脂環族ポリイソシアネート類；２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、４，４´−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートなどの芳香族ポリイソシアネート類などが挙げられ、その他、トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物［日本ポリウレタン工業（株）製、商品名「コロネートＬ」］、トリメチロールプロパン／ヘキサメチレンジイソシアネート３量体付加物［日本ポリウレタン工業（株）製、商品名「コロネートＨＬ」］なども用いられる。前記エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル−トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール−Ｓ−ジグリシジルエーテルの他、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ系樹脂などが挙げられる。

また、粘着付与剤としては、例えば、ロジン誘導体［例えば、ロジン、重合ロジン、水添ロジンやこれらの誘導体（ロジンエステル系樹脂、水添ロジンエステル系樹脂など）など］、テルペン系樹脂（例えば、テルペン樹脂、芳香族変性テルペン樹脂、水添テルペン樹脂、テルペン−フェノール樹脂など）、フェノール系樹脂（例えば、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、アルキルフェノール−ホルムアルデヒド樹脂など）、石油系炭化水素樹脂［例えば、脂肪族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂を水添した脂環族系石油樹脂（脂環族系飽和炭化水素樹脂）など］、スチレン系樹脂、クロマン系樹脂（例えば、クマロンインデン樹脂など）などが挙げられる。

発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、例えば、粘着剤と、可塑剤と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合して、シート状の層に形成する慣用の方法により形成することができる。具体的には、粘着剤、可塑剤、および必要に応じて溶媒やその他の添加剤を含む混合物を、基材上に塗布し、必要に応じて乾燥や硬化させる方法、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記混合物を塗布して粘着剤層を形成し、これを基材上に転写（移着）させる方法などにより、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を形成することができる。なお、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は単層、複層の何れであってもよい。

発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の厚さは、特に制限されないが、例えば、５〜２００μｍ（好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍ）の範囲から適宜選択することができる。

本発明では、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）としては、せん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）をＸ（Ｎ／ｃｍ²）とし、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）をＹ（Ｎ／２０ｍｍ幅）とした際に、「Ｘ／Ｙ」の値（「Ｘ／Ｙ比」と称する場合がある）が２０以上である特性を有していることが好ましく、特に、Ｘ／Ｙ比が２５以上である特性を有していることが好適である。なお、Ｘ／Ｙ比が２０未満であると、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に貼着された被着体の加工処理中に、熱剥離型両面粘着テープ又はシートまたは被着体の横ズレが発生し、加工精度が低下する場合がある。

本発明では、また、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、せん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１０（Ｎ／ｃｍ²）以上である特性を有していることが好ましく、特に、該せん断粘着力が２０（Ｎ／ｃｍ²）以上である特性を有していることが好適である。なお、前記せん断粘着力が１０（Ｎ／ｃｍ²）未満であると、Ｘ／Ｙ比が２０未満である場合と同様に、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に貼着された被着体の加工処理中に、熱剥離型両面粘着テープ又はシートまたは被着体の横ズレが発生し、加工精度が低下する場合がある。

本発明では、さらにまた、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、ゲル分率が７５重量％以上である特性を有していることが好ましく、特に、ゲル分率が８０重量％以上である特性を有していることが好適である。なお、前記ゲル分率が７５重量％未満であると、たとえ、せん断粘着力が高くても、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に貼着された被着体の加工処理中に、熱剥離型両面粘着テープ又はシートまたは被着体の横ズレが発生してしまい、加工精度が低下する場合がある。

発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）のせん断粘着力は、次の［せん断粘着力の測定方法］により求められる。
［せん断粘着力の測定方法］
熱剥離型両面粘着テープ又はシートを幅２０ｍｍ、長さ２０ｍｍのサイズに切断し、常温（２３℃±２℃）且つ湿度：６５±５％ＲＨの条件下で、ＪＩＳ Ｚ ０２３７にある貼り付け方法に準じて、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）がＳＵＳ３０４ＢＡ板に接触する形態で、ＳＵＳ３０４ＢＡ板に、２０ｍｍ幅×２０ｍｍの接着面積で５ｋｇのローラーを１往復させる方法で圧着して貼り合わせるとともに、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）が他のＳＵＳ３０４ＢＡ板に接触する形態で、他のＳＵＳ３０４ＢＡ板に、２０ｍｍ幅×２０ｍｍの接着面積で２ｋｇのローラーを１往復させる方法で圧着して貼り合わせ、２３±２℃で０．５時間放置する。この時、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）は、ＳＵＳ３０４ＢＡ板に挟まれた状態となっている。放置後、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨの条件下、各ＳＵＳ３０４ＢＡ板を、それぞれ別の方向に（反対の方向に）、引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎの条件で引っ張った時の荷重（最大荷重）を測定し、せん断粘着力（Ｎ／ｃｍ²；対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）を求める。なお、せん断粘着力（Ｎ／ｃｍ²）は、貼付面積４ｃｍ²（２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ）の場合における測定値を換算して求める。

また、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）のＸ／Ｙ比は、次の［Ｘ／Ｙ比の測定方法］により求められる。
［Ｘ／Ｙ比の測定方法］
前記の［引張粘着力の測定方法］と同様にして、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）（Ｙ）を求める。また、前記の［せん断粘着力の測定方法］と同様にして、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）のせん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ；Ｎ／ｃｍ²）（Ｘ）を求める。そして、式［Ｘ／Ｙ］により、Ｘ／Ｙ比を算出する。

［基材］
基材は、熱剥離型両面粘着テープ又はシートの支持母体として用いられている。基材としては、例えば、紙などの紙系基材；布、不織布、ネットなどの繊維系基材；金属箔、金属板などの金属系基材；プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材；ゴムシートなどのゴム系基材；発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体（特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム（又はシート）同士の積層体など）等の適宜な薄葉体を用いることができる。基材としては、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材を好適に用いることができる。このようなプラスチックのフィルムやシートにおける素材としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα−オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などが挙げられる。これらの素材は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。

なお、基材として、プラスチック系基材が用いられている場合は、延伸処理等により伸び率などの変形性を制御していてもよい。また、基材としては、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）や発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）などに放射線硬化性の物質を使用する際は、放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。

基材の厚さは、強度や柔軟性、使用目的などに応じて適宜に選択でき、例えば、一般的には１０００μｍ以下（例えば、１〜１０００μｍ）、好ましくは１〜５００μｍ、さらに好ましくは３〜３００μｍ、特に好ましくは５〜２５０μｍ程度であるが、これらに限定されない。なお、基材は単層の形態を有していてもよく、積層された形態を有していてもよい。

基材の表面は、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）や発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）等との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよく、下塗り剤によるコーティング処理等が施されていてもよい。

［発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）］
発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）は、発泡剤を含有している粘着剤層であり、熱膨張性または発泡性の特性を有している。すなわち、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）は熱剥離型粘着剤層（または熱膨張性粘着剤層）である。発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）は、粘着剤と、発泡剤とを少なくとも含有している。そのため、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に、被加工品（被着体）を貼着させて固定して、被加工品に所望の加工を施す際には、被加工品が発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上にしっかりと固定されているので、加工を円滑に行うことができ、加工後には、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を加熱して、発泡剤を発泡及び／又は熱膨張させることにより、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）が膨張し、この膨張により、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）と、加工された加工品（被着体）との接着面積（接触面積）が減少し、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）による接着力が減少して、熱剥離型両面粘着テープ又はシートから加工品を、何ら損傷させることなく容易に剥離させることができる。

発泡剤としては、特に制限されないが、熱膨張性微小球を好適に用いることができる。発泡剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。熱膨張性微小球としては、公知の熱膨張性微小球から適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、マイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このような熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法などにより製造できる。なお、熱膨張性微小球には、例えば、商品名「マツモトマイクロスフェアー」［松本油脂製薬（株）製］などの市販品もある。

本発明では、発泡剤としては、熱膨張性微小球以外の発泡剤も用いることもできる。このような発泡剤としては、種々の無機系発泡剤や有機系発泡剤などの各種発泡剤を適宜選択して使用することができる。無機系発泡剤の代表的な例としては、例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウム、各種アジド類などが挙げられる。また、有機系発泡剤の代表的な例としては、例えば、水；トリクロロモノフルオロメタン、ジクロロモノフルオロメタンなどの塩フッ化アルカン系化合物；アゾビスイソブチロニトリル、アゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレートなどのアゾ系化合物；パラトルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン−３，３´−ジスルホニルヒドラジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、アリルビス（スルホニルヒドラジド）などのヒドラジン系化合物；ｐ−トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）などのセミカルバジド系化合物；５−モルホリル−１，２，３，４−チアトリアゾールなどのトリアゾール系化合物；Ｎ，Ｎ´−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ´−ジメチル−Ｎ，Ｎ´−ジニトロソテレフタルアミドなどのＮ−ニトロソ系化合物などが挙げられる。

加熱処理により、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の接着力を効率よく且つ安定して低下させるため、体積膨張率が５倍以上、なかでも７倍以上、特に１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有する発泡剤が好ましい。

発泡剤（熱膨張性微小球など）の配合量は、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の膨張倍率や接着力の低下性などに応じて適宜設定しうるが、一般には発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を形成する粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、例えば、１〜１５０重量部、好ましくは１０〜１３０重量部、さらに好ましくは２５〜１００重量部である。

発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）において用いられている粘着剤としては、特に制限されず、前記発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）において用いられている粘着剤として例示された粘着剤（例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、クリ−プ特性改良型粘着剤、放射線硬化型粘着剤など）等の公知乃至慣用の粘着剤の中から適宜選択して用いることができる。粘着剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。粘着剤としては、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を加熱させて膨張させる際に、発泡剤（熱膨張性微小球など）の発泡及び／又は膨張を可及的に拘束しないようなものが好ましい。

粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤を好適に用いることができ、特にアクリル系粘着剤が好適である。アクリル系粘着剤やゴム系粘着剤の具体例としては、前記発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の項で具体的に例示されたものなどが挙げられる。

粘着剤は、粘着性成分（ベースポリマー）等のポリマー成分などのほかに、粘着剤の種類等に応じて、架橋剤、粘着付与剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、可塑剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。なお、架橋剤や粘着付与剤の具体例としては、前記発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）の項で具体的に例示されたものなどが挙げられる。

発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）は、例えば、粘着剤と、発泡剤（熱膨張性微小球など）と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合して、シート状の層に形成する慣用の方法により形成することができる。具体的には、例えば、粘着剤、発泡剤（熱膨張性微小球など）、および必要に応じて溶媒やその他の添加剤を含む混合物を、基材やゴム状有機弾性層上に塗布し、必要に応じて乾燥や硬化させる方法、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記混合物を塗布して発泡剤含有粘着剤層を形成し、これを基材又はゴム状有機弾性層上に転写（移着）させる方法などにより、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を形成することができる。なお、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）は単層、複層の何れであってもよい。

発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の厚さは、接着力の低減性などにより適宜に選択することができ、例えば、５〜３００μｍ、好ましくは２０〜１５０μｍ程度である。但し、発泡剤として熱膨張性微小球が用いられている場合、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の厚さは、含まれている熱膨張性微小球の最大粒径よりも厚い方が好ましい。発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の厚さが薄すぎると、熱膨張性微小球の凹凸により表面平滑性が損なわれ、加熱前（未発泡状態）の接着性が低下する。また、加熱処理による発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の変形度が小さく、接着力が円滑に低下しにくくなる。一方、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の厚さが厚すぎると、加熱処理による発泡後に、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）に凝集破壊が生じやすくなる。

［ゴム状有機弾性層］
図１（ｂ）では、熱剥離型両面粘着テープ又はシートの変形性の付与や加熱後の剥離性の向上などの点より、基材と発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）との間にゴム状有機弾性層が設けられているが、ゴム状有機弾性層は、必要に応じて設けられる層であり、必ずしも設けられていなくてもよい。このように、ゴム状有機弾性層を設けることにより、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を利用して被着体（被加工品など）に接着させる際に、前記熱剥離型両面粘着テープ又はシートにおける発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の表面を被着体の表面形状に良好に追従させて、接着面積を大きくすることができ、また、前記熱剥離型両面粘着テープ又はシートを被着体から加熱剥離させる際に、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の加熱膨張を高度に（精度よく）コントロールし、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を厚さ方向へ優先的に且つ均一に膨張させることができる。すなわち、ゴム状有機弾性層は、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを被着体に接着させる際にその表面が被着体の表面形状に追従して大きい接着面積を提供する働きと、熱剥離型両面粘着テープ又はシートより被着体を剥離するために発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を加熱して発泡及び／又は膨張させる際に熱剥離型両面粘着テープ又はシートの面方向における発泡及び／又は膨張の拘束を少なくして発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）が三次元的構造変化することによるウネリ構造形成を助長する働きをすることができる。

ゴム状有機弾性層は、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の基材側の面に、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）に重畳させた形態で設けることが好ましい。なお、ゴム状有機弾性層は、基材と発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）との間以外にも設けることができる。ゴム状有機弾性層は、基材の片面又は両面に介在させることができる。

ゴム状有機弾性層は、例えば、ＡＳＴＭ Ｄ−２２４０に基づくＤ型シュアーＤ型硬度が、５０以下、特に４０以下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン系、アクリル系などの合成ゴム；ポリオレフィン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラストマー；エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのように本質的には硬質系ポリマーであっても、可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせによりゴム弾性が発現しうる。このような組成物も、前記ゴム状有機弾性層の構成材料として使用できる。また、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）や発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を構成する粘着剤等の粘着性物質などもゴム状有機弾性層の構成材料として用いることができる。

ゴム状有機弾性層は、例えば、前記天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂などのゴム状有機弾性層形成材を含むコーティング液を基材上に塗布する方式（コーティング法）、前記ゴム状有機弾性層形成材からなるフィルム、又は予め１層以上の発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に前記ゴム状有機弾性層形成材からなる層を形成した積層フィルムを基材と接着する方式（ドライラミネート法）、基材の構成材料を含む樹脂組成物と前記ゴム状有機弾性層形成材を含む樹脂組成物とを共押出しする方式（共押出し法）などの形成方法により形成することができる。

ゴム状有機弾性層の厚さは、例えば、５〜３００μｍ、好ましくは２０〜１５０μｍ程度である。なお、ゴム状有機弾性層の厚さが薄すぎると、加熱発泡後の３次元的構造変化を形成することができず、剥離性が悪化する場合がある。ゴム状有機弾性層は単層であってもよく、２以上の層で構成してもよい。

なお、ゴム状有機弾性層は、天然ゴムや合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂を主成分とする粘着性物質で形成されていてもよく、また、かかる成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていてもよい。発泡は、慣用の方法、例えば、機械的な攪拌による方法、反応生成ガスを利用する方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法、スプレーによる方法、シンタクチックフォームを形成する方法、焼結法などにより行うことができる。

また、ゴム状有機弾性層としては、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）や発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）などに放射線硬化性の物質を使用する際は、放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。

［他の層］
本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートでは、必要に応じて、他の層が設けられていてもよい。例えば、基材と発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）との間や、基材と発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）との間に、１層又は２層以上の中間層を有していてもよい。このような中間層としては、例えば、各種処理剤（剥離剤や下塗り剤など）のコーティング層や、各種特性（接着面積の増大性、接着力の増大性、被着体の表面形状に対する追従性、接着力を低減させる際の処理性、剥離性など）を目的とした層などが挙げられる。

［セパレータ］
図１（ａ）〜（ｂ）では、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）や発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）の表面（粘着面）の保護材として、セパレータ（剥離ライナー）が用いられているが、セパレータは、必要に応じて用いることができ、必ずしも用いられていなくてもよい。セパレータとしては、図１（ａ）〜（ｂ）で示されるように、両面が離型面となっているものであってもよく、一方の面（片面）のみが離型面となっているものであってもよい。本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートでは、セパレータとしては、両面が離型面となっているセパレータが１つのみ用いられていてもよく、片面又は両面が離型面となっているセパレータが２つ用いられていてもよい。

なお、セパレータは、該セパレータにより保護されている粘着剤層［発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）や、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）など］を利用する際に、剥がされる。

このようなセパレータとしては、公知乃至慣用の剥離紙などを使用できる。具体的には、セパレータとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離剤層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。もちろん、剥離剤層を有する基材では、剥離剤層表面が離型面であり、低接着性基材では、低接着性基材の表面が離型面である。

なお、セパレータは公知乃至慣用の方法により形成することができる。また、セパレータの厚さ等も特に制限されない。

本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、ロール状に巻回された形態で形成されていてもよく、シートが積層された形態で形成されていてもよい。例えば、図１（ａ）〜（ｂ）で示されるように、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）を、両面が離型面となっているセパレータにより保護した状態でロール状に巻回することにより、ロール状に巻回された状態又は形態の熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製することができる。もちろん、セパレータを２つ用い、各セパレータにより、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）をそれぞれ保護する場合であっても、ロール状に巻回された状態又は形態の熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製することができる。

このように、本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、シート状やテープ状などの形態を有することができる。

本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、前記構成を有しているので、被加工品を加工する際に、被加工品を固定するために用いられる粘着テープ又はシートとして好適に用いることができる。具体的には、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に加工する被加工品（被着体）を貼着し、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を支持体（台座など）に貼着することにより、被加工品を熱剥離型両面粘着テープ又はシートを介して支持体に固定し、この状態で、被加工品に加工処理を施すことができる。なお、被加工品に加工処理を施す際の工程としては、任意に選択することができ、例えば、グリーンシートへの電極印刷工程（パターン形成工程など）、積層工程、加圧工程（加圧プレス工程）、切断工程（研磨処理工程、ダイシング工程など）、焼成工程などが挙げられ、その他に、組み立て工程なども挙げられる。

そして、被加工品に加工処理を施した後（特に、粘着目的達成後、又は接着状態を解きたいとき）には、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）中の発泡剤の発泡開始温度以上の温度に加熱することにより、粘着力を低減させて、加工処理が施された被加工品を剥離乃至分離して、加工処理が施された被加工品（加工品）を単離することができる。なお、加工処理が施された被加工品を剥離乃至分離する際の加熱処理方法としては、例えば、ホットプレート、熱風乾燥機、近赤外線ランプ、エアードライヤーなどの適宜な加熱手段を利用して行うことができる。加熱温度は、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）中の発泡剤（熱膨張性微小球など）の熱膨張開始温度（発泡開始温度）以上であればよいが、加熱処理の条件は、被加工品の表面状態や発泡剤（熱膨張性微小球など）の種類等による接着面積の減少性、基材や被加工品の耐熱性、加熱方法（熱容量、加熱手段等）などにより適宜設定できる。一般的な加熱処理条件としては、温度１００〜２５０℃で、１〜９０秒間（ホットプレートなど）または５〜１５分間（熱風乾燥機など）である。なお、加熱処理は使用目的に応じて適宜な段階で行うことができる。また、加熱源としては、赤外線ランプや加熱水を用いることができる場合もある。

また、被加工品に加工処理を施して、加工品を発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）から剥離させた後は、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）により支持体に貼着された状態の熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、引き剥がしにより、容易に支持体より剥離させることができる。そのため、支持体は、容易に再利用することができる。

もちろん、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下であるので、被加工品が、半導体ウエハや半導体チップなどの電子系部品類であっても、被加工品の汚染を効果的に抑制又は防止することができる。

このように、本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、被加工品を加工する際に用いられる熱剥離型両面粘着テープ又はシートとして好適に用いることができる。なお、熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、被着体を搬送する際の保護材としても用いることもできる。

なお、本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートにより保持する物品（被着体または被加工品）は、任意に選択することができる。具体的には、被着体としては、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）や半導体チップなどの電子系部品類；セラミックコンデンサや発振子などの電気系物品類；液晶セルなどの表示デバイス類の他、サーマルヘッド、太陽電池、プリント基板（積層セラミックシートなど）、いわゆる「グリーンシート」などの種々の物品が挙げられる。被着体は単独であってもよく、又は２種以上組み合わせられていてもよい。

このように、熱剥離型両面粘着テープ又はシートに被着体（被加工品）を貼着させた後、加工処理を施すことにより各種加工品（加工された被着体）を得ることができる。例えば、被着体として、半導体ウエハなどの電子系部品類を用いた場合、加工品として電子部品や回路基板などを得ることができる。また、被着体として、セラミックコンデンサ用のグリーンシートを用いた場合、加工品として積層セラミックコンデンサなどを得ることができる。

［被着体の加工方法］
本発明の被着体（被加工品）の加工方法では、前記の熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を利用して台座に固定し、且つ発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に被着体を貼り合わせた状態で、被着体に加工処理を施すことにより、被着体を加工している。被着体の加工処理する際の工程としては、任意に選択することができ、電子部品の製造時の加圧工程（加圧プレス工程）、積層工程、切断工程や、半導体部品の製造時の研削工程、切断工程を有していてもよい。より具体的には、被着体の加工処理する際の工程としては、グリーンシートへの電極印刷工程（パターン形成工程など）、積層工程、加圧工程（加圧プレス工程）、切断工程（研磨処理工程、ダイシング工程など）、研削工程（バックグラインド工程など）、焼成工程などが挙げられ、その他に、組み立て工程なども挙げられる。

また、積層工程後や切断工程後に、台座（例えば、金属製の台座など）から、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを剥がすことが必要な場合には、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）層上に貼着されている被着体又は加工品に損傷を与えずに、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを台座から容易に剥離させることも可能である。

そして、被着体に加工処理を施した後（特に、粘着目的達成後、又は接着状態を解きたいとき）には、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）中の熱膨張性微小球の発泡開始温度又はそれ以上の温度に加熱することにより、粘着力を低減させて、加工処理が施された被着体（加工品）を剥離乃至分離して、加工処理が施された被着体を単離することができる。

なお、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、加工処理が施された被着体（加工品）より剥離乃至分離する際の加熱処理は、例えば、ホットプレート、熱風乾燥機、近赤外線ランプ、エアードライヤーなどの適宜な加熱手段を利用して行うことができる。加熱温度は、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）中の熱膨張性微小球の熱膨張開始温度（発泡開始温度）以上であればよいが、加熱処理の条件は、被着体の表面状態や、熱膨張性微小球の種類等による接着面積の減少性、基材や被着体の耐熱性、加熱方法（熱容量、加熱手段等）などにより適宜設定できる。一般的な加熱処理条件としては、温度１００〜２５０℃で、１〜９０秒間（ホットプレートなど）または５〜１５分間（熱風乾燥機など）である。かかる加熱条件で、通例、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）中の熱膨張性微小球が膨張及び／又は発泡して発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）が膨張変形することにより凹凸状変形し、接着力が低下ないし喪失する。なお、加熱処理は使用目的に応じて適宜な段階で行うことができる。また、加熱源としては、赤外線ランプや加熱水を用いることができる場合もある。

本発明において、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、発泡剤非含有粘着剤層（Ａ）を利用して貼り合わせる台座（支持台座）としては、発泡剤含有粘着剤層（Ｂ）上に貼着されている被着体を支持することができるものであれば特に制限されず、前記被着体を加工する際に用いられている公知乃至慣用の台座を用いることができる。具体的には、台座としては、例えば、ステンレス板、ガラス板、ダミーウエハなどが挙げられる。台座は、被着体の種類、被着体の加工方法などに応じて適宜選択することができる。

［被着体］
本発明では、前記熱剥離型両面粘着テープ又はシートにより接着保持する物品（被着体又は被加工物）は、任意に選択することができる。具体的には、被着体（被加工物）としては、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）や半導体チップなどの電子系部品類；セラミックコンデンサや発振子などの電気系物品類；液晶セルなどの表示デバイス類の他、サーマルヘッド、太陽電池、プリント基板（積層セラミックシートなど）、いわゆる「グリーンシート」などの種々の物品が挙げられる。被着体は単独であってもよく、又は２種以上組み合わせられていてもよい。

［加工された被着体；加工品］
また、本発明では、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを介して、被着体として被加工物（被加工体）を台座に貼着させた後、加工を施すことにより各種加工品を得ることができる。例えば、被着体（被加工品）として、半導体ウエハなどの電子系部品類を用いた場合、加工品として電子部品や回路基板などを得ることができる。また、被着体として、セラミックコンデンサ用のグリーンシートを用いた場合、加工品として積層セラミックコンデンサなどを得ることができる。すなわち、本発明では、電子部品や、積層セラミックコンデンサは、前記の熱剥離型両面粘着テープ又はシートを用いて製造されており、また、前述のような被着体の加工方法を利用して製造されている。

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。

（実施例１）
アクリル系共重合体（アクリル酸エチル：７０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル：３０重量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：５重量部、アクリル酸：３重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体）：１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）：３重量部と、架橋触媒（商品名「エンビライザーＯＬ−１」東京ファインケミカル社製）：０．０５重量部と、可塑剤としてのトリメリット酸エステル系可塑剤（商品名「モノサイザーＷ７００」大日本インキ工業社製；分子量：５４６、沸点：４３０℃、１００℃における飽和蒸気圧：０．０８７Ｐａ、１６５℃且つ大気圧の条件下で１時間加熱した際の減量：０．１重量％以下）：１０重量部と、溶媒としてトルエンとを含む樹脂組成物（混合物）を、乾燥後の厚さが１０μｍとなるように、基材としてのポリエステルフィルム（厚さ：１００μｍ）上に塗布し、１２０℃で２分間加熱乾燥して、粘着剤層（発泡剤非含有粘着剤層）を形成し、該発泡剤非含有粘着剤層上にセパレータを積層した。

次に、基材における発泡剤非含有粘着剤層が形成された面に対して反対側の面に、アクリル系共重合体（アクリル酸エチル：７０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル：３０重量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：５重量部、アクリル酸：３重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体）：１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）：２重量部と、架橋触媒（商品名「エンビライザーＯＬ−１」東京ファインケミカル社製）：０．０５重量部と、発泡剤としての熱膨張性微小球（商品名「マツモトマイクロスフェアーＦ−８０ＳＤ」松本油脂製薬社製；発泡開始温度：１５０℃）：３０重量部と、溶媒としてトルエンとを含む樹脂組成物（混合物）を、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、７０℃で３分間加熱乾燥して、熱剥離型粘着剤層としての粘着剤層（発泡剤含有粘着剤層）を形成し、該発泡剤含有粘着剤層上にセパレータを積層して、「発泡剤非含有粘着剤層／基材／発泡剤含有粘着剤層」の層構成を有する熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製した。

（実施例２）
発泡剤非含有粘着剤層を構成する樹脂組成物において、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）の使用量を、３重量部に代えて、２重量部とし、且つトリメリット酸エステル系可塑剤（商品名「モノサイザーＷ７００」大日本インキ工業社製）の使用量を、１０重量部に代えて、２０重量部としたこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製した。

（比較例１）
発泡剤非含有粘着剤層を構成する樹脂組成物において、トリメリット酸エステル系可塑剤（商品名「モノサイザーＷ７００」大日本インキ工業社製）の使用量を、１０重量部に代えて、０重量部とした（すなわち、可塑剤を添加しなかった）こと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製した。

（比較例２）
発泡剤非含有粘着剤層を構成する樹脂組成物において、トリメリット酸エステル系可塑剤（商品名「モノサイザーＷ７００」大日本インキ工業社製）の使用量を、１０重量部に代えて、７０重量部としたこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製した。

（比較例３）
発泡剤非含有粘着剤層を構成する樹脂組成物において、トリメリット酸エステル系可塑剤（商品名「モノサイザーＷ７００」大日本インキ工業社製）に代えて、フタル酸エステル系可塑剤（商品名「ＤＯＰ」株式会社ジェイ・プラス四日市社製；分子量：３９０、沸点：３８６℃、１００℃における飽和蒸気圧：５Ｐａ、１６５℃且つ大気圧の条件下で１時間加熱した際の減量：１０重量％以下）を１０重量部用いたこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型両面粘着テープ又はシートを作製した。

（評価）
実施例１〜２および比較例１〜３で得られた熱剥離型両面粘着テープ又はシートについて、以下の測定方法又は評価方法により、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力、発泡剤非含有粘着剤層のせん断粘着力、発泡剤非含有粘着剤層のＸ／Ｙ比、発泡剤非含有粘着剤層のゲル分率、台座剥離性、横ズレ防止性、加熱減量を測定又は評価した。

（粘着力の測定方法）
熱剥離型両面粘着テープ又はシートを幅２０ｍｍ、長さ１４０ｍｍのサイズに切断し、発泡剤非含有粘着剤層側のセパレータを剥離した後、発泡剤非含有粘着剤層上に、被着体としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名「ルミラーＳ−１０」東レ社製；厚さ：２５μｍ、幅３０ｍｍ）を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準じて貼り合わせた後（具体的には、温度：２３±２℃および湿度：６５±５％ＲＨの雰囲気下で、２ｋｇのローラーを１往復させて圧着して貼り合わせる）、２３℃に設定された恒温槽付き引張試験機（商品名「島津オートグラフＡＧ−１ ２０ｋＮ」島津製作所社製）にセットし、３０分間放置する。放置後、被着体を、ピール角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、熱剥離型両面粘着テープ又はシートから引き剥がした時の荷重の最大荷重（測定初期のピークトップを除いた荷重の最大値）を測定し、この最大荷重を粘着力として、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力（Ｎ／２０ｍｍ幅）を求める。なお、該粘着力の測定結果は、表１の「粘着力（Ｎ／２０ｍｍ幅）」の欄に示した。

（せん断粘着力の測定方法）
熱剥離型両面粘着テープ又はシートを幅２０ｍｍ、長さ２０ｍｍのサイズに切断し、発泡剤非含有粘着剤層側のセパレータを剥離した後、発泡剤非含有粘着剤層上に、被着体としてのＳＵＳ３０４ＢＡ板（サンドペーパーＮｏ．３６０により研磨済み）を、２０ｍｍ幅×２０ｍｍの接着面積で５ｋｇのローラーを１往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、２３±２℃で０．５時間放置する。放置後、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨの条件下、熱剥離型両面粘着テープ又はシートと、ＳＵＳ３０４ＢＡ板とを、図２で示されるように、それぞれ別の方向に（反対の方向に）、引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎの条件で引っ張った時の荷重（最大荷重）を測定し、発泡剤非含有粘着剤層のせん断粘着力（Ｎ／ｃｍ²）を求める。

なお、図２は、熱剥離型両面粘着テープ又はシートのせん断粘着力を測定する際の引張方向を示す概略図である。図２において、７は熱剥離型両面粘着テープ又はシート、７ａは熱剥離型両面粘着テープ又はシート７の引張方向、８はＳＵＳ３０４ＢＡ板、８ａはＳＵＳ３０４ＢＡ板８の引張方向である。図２では、熱剥離型両面粘着テープ又はシート７の発泡剤非含有粘着剤層上に、ＳＵＳ３０４ＢＡ板８が、貼付面積２０ｍｍ×２０ｍｍで貼り合わせられており、引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎの条件で、熱剥離型両面粘着テープ又はシート７を引張方向７ａの方向（すなわち、図２では右側の方向）に引っ張り、一方、ＳＵＳ３０４ＢＡ板８を引張方向８ａの方向（すなわち、図２では左側の方向）に引っ張っている。

（Ｘ／Ｙ比の測定方法）
熱剥離型両面粘着テープ又はシートについて、前記の（粘着力の測定方法）と同様にして、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）（Ｙ）を求める。また、前記の（せん断粘着力の測定方法）と同様にして、発泡剤非含有粘着剤層のせん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ；Ｎ／ｃｍ²）（Ｘ）を求める。そして、式［Ｘ／Ｙ］により、Ｘ／Ｙ比を算出する。

（ゲル分率の測定方法）
発泡剤非含有粘着剤層を形成するための粘着剤組成物を剥離ライナー上に塗工した後、１２０℃で２分間加熱乾燥して、発泡剤非含有粘着剤層を形成する。そして、発泡剤非含有粘着剤層を秤量して、その重量を測定し、該重量を浸漬前重量（Ａ）とする。次に、この発泡剤非含有粘着剤層を、トルエン中に常温（２３±２℃）で７２時間浸漬させた後、未溶解部分を取り出し、オーブン等を用いてトルエンを完全に蒸発させ、乾燥された未溶解部分を秤量して、その重量を測定し、該重量を浸漬後重量（Ｂ）とする。
そして、下記の式からゲル分率を算出する。
ゲル分率（重量％）＝（Ｂ／Ａ）×１００ （１）
（式（１）において、Ａは浸漬前重量であり、Ｂは浸漬後重量である。）

（台座剥離性の評価方法）
熱剥離型両面粘着テープ又はシートを幅１００ｍｍ、長さ１００ｍｍのサイズに切断してサンプルを作製し、該サンプルを、ＳＵＳ３０４ＢＡ板に、発泡剤非含有粘着剤層がＳＵＳ３０４ＢＡ板に接触する形態で、２ｋｇのローラーを１往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、発泡剤含有粘着剤層上に、市販のアルミホイル（８０ｍｍ×８０ｍｍ）をシワが形成されないように貼り合わせる。その後、６０℃で２時間加熱し、常温（２３±２℃）まで冷却させ、サンプル（熱剥離型両面粘着テープ又はシート）の４方の一端を台座に対して垂直に、５０ｍｍ／ｍｉｎの速さで引き剥がした時のアルミホイルの折れ又はシワの有無を目視で観察し、下記の評価基準により、台座剥離性を評価した。
・台座剥離性の評価基準
○：アルミホイルに折れやシワが生じていない。
×：アルミホイルに折れやシワが生じている。

（横ズレ防止性の評価方法）
熱剥離型両面粘着テープ又はシートを幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍのサイズに切断してサンプルを作製し、該サンプルを、ＳＵＳ３０４ＢＡ板に、幅１０ｍｍ×長さ２０ｍｍの接着面積で、発泡剤非含有粘着剤層がＳＵＳ３０４ＢＡ板に接触する形態で、２ｋｇのローラーを１往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、４０±４℃の雰囲気下で貼り合わせた部分に５Ｎの荷重をのせ、さらに、熱剥離型両面粘着テープ又はシートのＳＵＳ３０４ＢＡ板に貼着されていない端部側に、５Ｎの力でせん断方向に荷重をかけ、この状態で１時間放置した後、熱剥離型両面粘着テープ又はシートのズレ量（ｍｍ）を測定する。そして、下記の評価基準により、横ズレ防止性を評価した。
・横ズレ防止性の評価基準
○：ズレ量が０．２ｍｍ未満である。
×：ズレ量が０．２ｍｍ以上である。

（加熱減量の測定方法）
２つのセパレータを剥離させた熱剥離型両面粘着テープ又はシート（幅：２０ｍｍ、長さ：５０ｍｍ）をバイアル瓶に入れ、１６５℃の温度且つ１気圧の圧力の条件下で、１時間加熱させ、加熱状態のガス１．０ｍＬを、下記のガスクロマトグラフの測定条件下で、ガスクロマトグラフ測定装置に注入して、蒸発又は揮発した可塑剤の重量を測定し、熱剥離型両面粘着テープ又はシート中の可塑剤の減量（重量減少）を計算により求める。なお、該加熱減量（１６５℃且つ大気圧の条件下で１時間加熱した際の減量）の測定結果は、表１の「加熱減量」の欄に示した。
（ガスクロマトグラフの測定条件）
・キャリアガス及びその流量：ヘリウム（Ｈｅ）ガス、７．９ｍＬ／ｍｉｎ
・カラムヘッド圧：３４．５ｋＰａ（ａｔ４０℃）
・注入口温度：２８０℃
・カラム温度：４０℃で５分、１０℃／ｍｉｎの割合で昇温させ、２６０℃で１３分
・検出器：ＦＩＤ（２８０℃）
・加圧時間：０．１２ｍｉｎ
・ループ充填時間：０．１２ｍｉｎ
・ループ平衡時間：０．１２ｍｉｎ
・注入時間：３．００ｍｉｎ
・サンプルループ温度：２００℃
・トランスファーライン温度：２２０℃

表１より明らかなように、実施例１〜２に係る熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、比較例１に係る熱剥離型両面粘着テープ又はシートと比較して、発泡剤非含有粘着剤層中に可塑剤が所定量の割合で含まれているので、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力が適度に低下されて、適度な大きさを有しており、支持体等の被着体から熱剥離型両面粘着テープ又はシートを容易に剥離させることが可能となっている。しかも、実施例１〜２に係る熱剥離型両面粘着テープ又はシートは、発泡剤非含有粘着剤層中に可塑剤が含まれていても、１６５℃で且つ大気圧下で１時間加熱させた際の可塑剤の加熱減量が２重量％以下となっているので、発泡剤含有粘着剤層上に貼着させた被着体（被加工品）を高温で加工する際や、加工後に加工品を発泡剤含有粘着剤層から加熱により剥離させる際などで、可塑剤の蒸発又は揮発が少なく、被着体の汚染が抑制又は防止されている。

これに対して、比較例１に係る熱剥離型両面粘着テープ又はシートのように、発泡剤非含有粘着剤層中に可塑剤が含有されていない場合では、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力が高すぎ、支持体等の被着体より熱剥離型両面粘着テープ又はシートを剥離させる際の作業性に問題がある（作業性が低い）。また、比較例２に係る熱剥離型両面粘着テープ又はシートのように、発泡剤非含有粘着剤層中に可塑剤を過剰に含有させた場合は、発泡剤非含有粘着剤層の粘着力が低くなりすぎ、発泡剤含有粘着剤層上に貼着させた被着体（被加工品）を加工する際に、発泡剤非含有粘着剤層が支持体より剥がれてしまう場合がある。さらに、比較例３に係る熱剥離型両面粘着テープ又はシートのように、可塑剤としてフタル酸エステル系可塑剤を用いた場合は、可塑剤の加熱減量が大きく、発泡剤含有粘着剤層上に貼着させた被着体（被加工品）を高温で加工する際や、加工後に加工品を発泡剤含有粘着剤層から加熱により剥離させる際などで、可塑剤が蒸発又は揮発し、被着体を汚染させるという問題が生じてしまう場合がある。

従って、例えば、可塑剤として、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の減量が２重量％以下である特性、及び／又は、１００℃における飽和蒸気圧が０．０９Ｐａ以下であり且つ沸点が４００℃以上である特性を有する可塑剤を用いることにより、支持体に貼り合わせる側の粘着剤層である発泡剤非含有粘着剤層の粘着力を、引き剥がしにより容易に剥離させることが可能な程度に適度に低減させることができ、しかも、汚染の問題が殆ど又は全くない熱剥離型両面粘着テープ又はシートを得ることが可能なことが確認された。

本発明の熱剥離型両面粘着テープ又はシートの一例を部分的に示す概略断面図である。 熱剥離型両面粘着テープ又はシートのせん断粘着力を測定する際の引張方向を示す概略図である。

符号の説明

1a、1b 熱剥離型両面粘着テープ又はシート
２ 発泡剤を含有していない粘着剤層（Ａ）（発泡剤非含有粘着剤層）
３ 基材
４ ゴム状有機弾性層
５ 発泡剤を含有している粘着剤層（発泡剤含有粘着剤層）
６ 両面が離型面となっているセパレータ
７ 熱剥離型両面粘着テープ又はシート
７ａ 熱剥離型両面粘着テープ又はシート７の引張方向
８ ＳＵＳ３０４ＢＡ板
８ａ ＳＵＳ３０４ＢＡ板８の引張方向

Claims (12)

1. 基材の一方の面に、発泡剤を含有していない粘着剤層（Ａ）を有し、且つ他方の面に、発泡剤を含有している粘着剤層（Ｂ）を有する両面粘着テープ又はシートであって、粘着剤層（Ａ）が、可塑剤を、粘着剤層（Ａ）を構成するベースポリマー：１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で含有しているとともに、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１Ｎ／２０ｍｍ幅以下である特性を有しており、且つ、両面粘着テープ又はシートを、温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の可塑剤の減量が２重量％以下であることを特徴とする熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
2. 可塑剤が、下記の特性（Ｘ）及び／又は特性（Ｙ）を有する可塑剤である請求項１記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
   特性（Ｘ）：温度：１６５℃且つ圧力：１気圧の条件下で１時間加熱した際の減量が２重量％以下である特性
   特性（Ｙ）：１００℃における飽和蒸気圧が０．０９Ｐａ以下であり且つ沸点が４００℃以上である特性
3. 可塑剤が、分子量又は重量平均分子量が５００以上の可塑剤である請求項１又は２記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
4. 可塑剤が、トリメリット酸エステル系可塑剤、またはピロメリット酸エステル系可塑剤である請求項１〜３の何れかの項に記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
5. 粘着剤層（Ａ）が、さらに、せん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）をＸ（Ｎ／ｃｍ²）とし、引張粘着力（対ポリエチレンテレフタレートフィルム、剥離角度：１８０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）をＹ（Ｎ／２０ｍｍ幅）とした際に、「Ｘ／Ｙ」の値が２０以上である特性を有している請求項１〜４の何れかの項に記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
6. 粘着剤層（Ａ）が、さらに、せん断粘着力（対ＳＵＳ３０４ＢＡ板、貼付面積：２０ｍｍ幅×２０ｍｍ長さ、せん断方向への引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎ、温度：２３±２℃、湿度：６５±５％ＲＨ）が１０（Ｎ／ｃｍ²）以上である特性を有している請求項１〜５の何れかの項に記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
7. 粘着剤層（Ａ）が、さらに、ゲル分率が７５重量％以上である特性を有している請求項１〜６の何れかの項に記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシート。
8. 両面粘着テープ又はシートを用いて被着体を加工する方法であって、請求項１〜７の何れかの項に記載の熱剥離型両面粘着テープ又はシートを、粘着剤層（Ａ）を利用して台座に固定し、且つ粘着剤層（Ｂ）上に被着体を貼り合わせた状態で、被着体に加工処理を施すことを特徴とする被着体の加工方法。
9. 被着体が、電子系部品類である請求項８記載の被着体の加工方法。
10. 被着体が、セラミックコンデンサ用のグリーンシートであり、且つグリーンシートの積層工程を有する請求項８記載の被着体の加工方法。
11. 請求項９記載の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品。
12. 請求項１０記載の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。

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