JP5572418B2 - 積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート - Google Patents
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Description
(2)熱膨張性粘着層のガラス転移温度(Tg)が−40℃〜30℃である
本発明では、前記熱膨張性粘着層を形成する粘着剤のベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを好適に用いることができる。また、熱膨張性粘着層を形成する粘着剤は、さらに、架橋剤を含有していることが好ましい。
前記の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シートに積層セラミックシートを貼り合わせる工程
積層セラミックシートに切断加工処理を施す工程
を具備することを特徴とする積層セラミックシートの切断加工方法を提供する。
基材(支持基材)は熱膨張性粘着層等の支持母体として用いることができる。基材としては、例えば、紙などの紙系基材;布、不織布、フェルト、ネットなどの繊維系基材;金属箔、金属板などの金属系基材;プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材;ゴムシートなどのゴム系基材;発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体[特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム(又はシート)同士の積層体など]等の適宜な薄葉体を用いることができる。基材としては、熱膨張性粘着層の加熱処理温度で溶融しない耐熱性に優れるものが、加熱後の取扱性等の点より好ましい。本発明では、基材としては、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材を好適に用いることができる。このようなプラスチック材における素材としては、例えば、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、エチレン−プロピレン共重合体等のオレフィン系樹脂;エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、アイオノマー樹脂、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル(ランダム、交互)共重合体等のエチレンをモノマー成分とする共重合体;ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等のポリエステル;アクリル系樹脂;ポリ塩化ビニル(PVC);ポリウレタン;ポリカーボネート;ポリフェニレンスルフィド(PPS);ポリアミド(ナイロン)、全芳香族ポリアミド(アラミド)等のアミド系樹脂;ポリエーテルエーテルケトン(PEEK);ポリイミド;ポリエーテルイミド;ポリ塩化ビニリデン;ABS(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体);セルロース系樹脂;シリコーン樹脂;フッ素樹脂などが挙げられる。また基材の材料としては、前記樹脂の架橋体等のポリマーも用いることができる。これらの素材は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。
熱膨張性粘着層は、少なくとも、粘着性を付与するための粘着剤と、熱膨張性を付与するための発泡剤とを含有している。本発明では、熱膨張性粘着層は、下記の(1)、(2)の構成又は特性を有していることが重要である。このように、熱膨張性粘着層のゲル分率と、熱膨張性粘着層を形成する粘着剤のガラス転移温度とを調整することにより、熱膨張性粘着層の粘着性と加熱剥離性とをコントロールすることができる。
(2)熱膨張性粘着層のガラス転移温度(Tg)が−40℃〜30℃である
(ゲル分率)
熱膨張性粘着層のゲル分率は、50重量%以上であり、好ましくは60重量%以上(更に好ましくは80重量%以上)である。熱膨張性粘着層のゲル分率が50重量%以上であると、被着体より剥離させる際に、加熱によって容易に剥離させることができる。すなわち、熱膨張性粘着層のゲル分率が50重量%以上であると、加熱させて剥離させる際に、熱剥離型粘着シート上に被着体が残存せず、加熱だけによる剥離(自然剥離)を有効に行うことができる。具体的には、熱膨張性粘着層のゲル分率が50重量%以上であると、熱膨張性粘着層に加熱処理を施した後、熱剥離型粘着シートを、空中で上下が反対になるように裏返しにする(熱膨張性粘着層上の切断加工されたチップが下方向に向くようにする)だけで、切断加工されたチップを剥離させることができる。しかも、被着体(又は切断加工されたチップ)の表面への汚染も抑制又は防止することができる。
熱膨張性粘着層(熱膨張のための加熱処理は行っていない)から約0.1gをサンプリングして精秤し(試料の重量)、該サンプルをメッシュ状シートで包んだ後、約50mlのトルエン中に室温で1週間浸漬させた。その後、溶剤不溶分(メッシュ状シートの内容物)をトルエンから取り出し、130℃で約2時間乾燥させ、乾燥後の溶剤不溶分を秤量し(浸漬・乾燥後の重量)、下記式(a)よりゲル分率(重量%)を算出する。
なお、熱膨張性粘着層のゲル分率は、熱膨張性粘着層を形成するための粘着剤のベースポリマーの組成、粘着剤に添加する架橋剤の種類や含有量、粘着付与剤の種類や含有量などを調節することによりコントロールすることができる。
本発明では、前述のように、熱膨張性粘着層のガラス転移温度(Tg)が−40℃〜30℃(好ましくは−30℃〜25℃、更に好ましくは−20℃〜20℃、特に好ましくは−15℃〜15℃)である。該熱膨張性粘着層のガラス転移温度が−40℃〜30℃であると、高温でも被着体に対して高い粘着性を示し、積層セラミックシートの切断加工時のチップ飛びを有効に抑制又は防止することができるとともに、被着体に対する初期タック性が良好であり、被着体への貼付け作業性が高く、被着体を効果的に保持させることができる。また、加熱させて剥離させる際には、熱剥離型粘着シート上に被着体が残存せず、加熱だけによる剥離(自然剥離)を有効に行うことができる。
熱剥離型粘着シート同士を貼り合わせ(熱剥離型粘着シートの熱膨張性粘着層を他の熱剥離型粘着シートの基材に貼り合わせる)、熱膨張性粘着層の総厚が2mm厚みとなるようなものを作製し、これを直径7.9mmのポンチで円盤状に打ち抜いて、サンプル(試料)を作製する。このサンプル(直径7.9mmで厚さが2mm以上の円盤状サンプル)を、ステンレススチール製の直径8mmのパラレルプレート(ティエーインスツルメンツ社製;型式:708.0157)で挟み込み、粘弾性スペクトロメーター(Rheometric Scientific社製;製品名「ARES」)を用いて、チャック圧:100g重、周波数:1Hzでせん断歪を与えながら、温度領域:−70℃〜150℃、昇温速度:5℃/minで、且つせん断モードで粘弾性を測定し、損失正接(tanδ)の極大値温度を求め、該損失正接の極大値温度をガラス転移温度(Tg)とする。
熱膨張性粘着層を形成するための粘着剤としては、熱膨張性粘着層を形成した際のゲル分率とガラス転移温度が所定の値となるような粘着剤を用いることが重要であり、加熱時に発泡剤(熱膨張性微小球など)の発泡及び/又は膨張を可及的に拘束しないようなものを好適に用いることができる。具体的には、粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、これらの粘着剤に融点が約200℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤などの公知の粘着剤(例えば、特開昭56−61468号公報、特開昭61−174857号公報、特開昭63−17981号公報、特開昭56−13040号公報等参照)の中から、前記特性を有する粘着剤を適宜選択して用いることができる。また、粘着剤としては、放射線硬化型粘着剤(又はエネルギー線硬化型粘着剤)を用いることもできる。粘着剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。なお、粘着剤が2種以上の粘着剤により構成されている場合は、もちろん、2種以上の粘着剤により構成された粘着剤が、前記特性を有していることが重要である。
熱膨張性粘着層において用いられている発泡剤としては、特に制限されないが、熱膨張性微小球を好適に用いることができる。発泡剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。熱膨張性微小球としては、公知の熱膨張性微小球から適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、マイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このような熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法などにより製造できる。
図1では、熱剥離型粘着シートの変形性の付与や加熱後の剥離性の向上などの点より、基材と熱膨張性粘着層との間にゴム状有機弾性層が設けられているが、ゴム状有機弾性層は、必要に応じて設けられる層であり、必ずしも設けられていなくてもよい。このように、ゴム状有機弾性層を設けることにより、熱剥離型粘着シートを被着体に接着させる際に、前記熱剥離型粘着シートの表面(熱膨張性粘着層の表面)を被着体の表面形状に良好に追従させて、接着面積を大きくすることができ、また、前記熱剥離型粘着シートを被着体から加熱剥離させる際に、熱膨張性粘着層の加熱膨張を高度に(精度よく)コントロールし、熱膨張性粘着層を厚さ方向へ優先的に且つ均一に膨張させることができる。すなわち、ゴム状有機弾性層は、熱剥離型粘着シートを被着体に接着させる際にその表面が被着体の表面形状に追従して大きい接着面積を提供する働きと、熱剥離型粘着シートより被着体を剥離するために熱膨張性粘着層を加熱して発泡及び/又は膨張させる際に熱剥離型粘着シートの面方向における発泡及び/又は膨張の拘束を少なくして熱膨張性粘着層が三次元的構造変化することによるウネリ構造形成を助長する働きをすることができる。
本発明の熱剥離型粘着シートとしては、基材の少なくとも一方の面に、熱膨張性粘着層が形成されていればよく、例えば、基材の片面に熱膨張性粘着層が形成された形態の熱剥離型粘着シート、基材の両面に熱膨張性粘着層が形成された形態の熱剥離型粘着シート、基材の一方の面に熱膨張性粘着層が形成され且つ他方の面に非熱膨張性粘着層(熱膨張性を有していない粘着層)が形成された形態の熱剥離型粘着シートなどが挙げられる。なお、基材の両面に熱膨張性粘着層が形成されている場合、少なくとも一方の熱膨張性粘着層が、前記特性を有していればよい。また、本発明の熱剥離型粘着シートでは、基材と熱膨張性粘着層の間に1層又は2層以上の中間層(ゴム状有機弾性層など)を有していてもよい。
非熱膨張性粘着層を形成するための粘着剤としては、特に制限されず、上記熱膨張性粘着層において用いられる粘着剤として例示された粘着剤(例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、クリ−プ特性改良型粘着剤、放射線硬化型粘着剤など)等の公知乃至慣用の粘着剤を用いることができる。これらの粘着剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。なお、該非熱膨張性粘着層のゲル分率は、特に制限されない。また、非熱膨張性粘着層のガラス転移温度も、特に制限されない。また、非熱膨張性粘着層を形成するための粘着剤には、例えば、粘着付与剤、着色剤、増粘剤、増量剤、充填剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、架橋剤などの公知乃至慣用の添加剤が配合されていてもよい。
また、本発明の熱剥離型粘着シートでは、前述のように、基材と熱膨張性粘着層との間に中間層を有していてもよい。このような中間層としては、剥離性の付与を目的とした剥離剤のコーティング層や、密着力の向上を目的とした下塗り剤のコーティング層などが挙げられる。なお、剥離剤のコーティング層や下塗り剤のコーティング層以外の中間層としては、例えば、良好な変形性の付与を目的とした層、被着体への接着面積の増大を目的とした層、接着力の向上を目的とした層、被着体の表面形状に良好に追従させることを目的とした層、加熱による接着力低減の処理性の向上を目的とした層、加熱後の被着体よりの剥離性の向上を目的とした層などが挙げられる。前記ゴム状有機弾性層も中間層の1種である。
熱剥離型粘着シートを幅:20mm、長さ:140mmのサイズに切断し、熱膨張性粘着層上に、被着体としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(商品名「ルミラーS−10」東レ社製;厚さ:25μm、幅:20mm)を、JIS Z 0237に準じて貼り合わせた後(具体的には、温度:23±2℃および湿度:65±5%RHの雰囲気下で、2kgのローラーを1往復させて圧着して貼り合わせる)、23℃に設定された恒温槽付き引張試験機にセットし、30分間放置する。放置後、23℃の温度下で、被着体を、剥離角度:180°、剥離速度(引張速度):300mm/minの条件で、熱剥離型粘着シートから引き剥がした時の荷重を測定し、その際の最大荷重(測定初期のピークトップを除いた荷重の最大値)を求め、この最大荷重を熱膨張性粘着層の粘着力(N/20mm幅)とする。
熱剥離型粘着シートを幅:20mm、長さ:140mmのサイズに切断し、熱膨張性粘着層上に、被着体としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(商品名「ルミラーS−10」東レ社製;厚さ:25μm、幅:20mm)を、JIS Z 0237に準じて貼り合わせた後(具体的には、温度:23±2℃および湿度:65±5%RHの雰囲気下で、2kgのローラーを1往復させて圧着して貼り合わせる)、予め80℃に設定された恒温槽付き引張試験機にセットし、30分間放置する。放置後、80℃の雰囲気下で、被着体を、剥離角度:180°、剥離速度(引張速度):300mm/minの条件で、熱剥離型粘着シートから引き剥がした時の荷重を測定し、その際の最大荷重(測定初期のピークトップを除いた荷重の最大値)を求め、この最大荷重を熱膨張性粘着層の粘着力(N/20mm幅)とする。
本発明では、セパレータとしては、慣用の剥離紙などを使用できる。セパレータは熱膨張性粘着層の保護材として用いられており、熱剥離型粘着シートを被着体に貼着する際に剥がされる。セパレータは必ずしも設けられていなくてもよい。セパレータとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材;ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材;オレフィン系樹脂(例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど)等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。なお、セパレータは、熱膨張性粘着層を支持するための基材として用いることも可能である。
本発明の熱剥離型粘着シートは、積層セラミックシートの切断加工時における仮固定用として好適に用いられる。本発明の熱剥離型粘着シートを用いた積層セラミックシートの切断加工方法は、下記の工程を具備している。
積層セラミックシートに切断加工処理を施す工程
具体的には、熱剥離型粘着シートの熱膨張性粘着層上に、加工する被加工品(被着体)として積層セラミックシートを貼着しており、この際に、熱剥離型粘着シートの他方の面を支持体(台座など)に固定させることにより、積層セラミックシートを支持体(台座など)にしっかりと固定させることができる。このようにして、積層セラミックシートを熱剥離型粘着シートを介して支持体に固定させた状態で、積層セラミックシートに切断加工処理(研磨処理工程、ダイシング工程など)を施すことができる。
アクリル酸エチル−アクリル酸n−ブチル−アクリル酸(アクリル酸エチル/アクリル酸n−ブチル/アクリル酸=20部/80部/10部)からなるポリマー:100部に、エポキシ系架橋剤(商品名「Tetrad−C」三菱ガス化学社製):1部、ロジン系粘着付与剤(商品名「タマノル361」荒川化学工業社製):5部、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、およびトルエンを均一に混合し、溶解した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布し乾燥して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート1」と称する場合がある)を得た。
アクリル酸2−エチルヘキシル−アクリル酸n−ブチル−アクリル酸(アクリル酸2−エチルヘキシル/アクリル酸n−ブチル/アクリル酸=50部/50部/5部)からなるポリマー:100部に、エポキシ系架橋剤(商品名「Tetrad−C」三菱ガス化学社製):2部、テルペンフェノール系粘着付与剤(商品名「YSポリスターU115」ヤスハラケミカル社製):10部、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、およびトルエンを均一に混合し、溶解した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布し乾燥して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート2」と称する場合がある)を得た。
アクリル酸2−エチルヘキシル−アクリル酸(アクリル酸2−エチルヘキシル/アクリル酸=97部/3部)からなるポリマー:100部に、エポキシ系架橋剤(商品名「Tetrad−C」三菱ガス化学社製):0.5部、ロジン系粘着付与剤(商品名「タマノル361」荒川化学工業社製):5部、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、およびトルエンを均一に混合し、溶解した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布し乾燥して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート3」と称する場合がある)を得た。
アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸エチル、アクリル酸及び光重合開始剤を、アクリル酸2−エチルヘキシル/アクリル酸エチル/アクリル酸/光重合開始剤=30部/70部/5部/0.05部の割合で混合し、それを窒素雰囲気下で、紫外線照射により部分重合させたポリマー(このポリマーの重量平均分子量は10000以上である)のシロップ:100部に、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、トリメチロールプロパントリアクリレート:0.2部、ロジン系粘着付与剤(商品名「タマノル361」荒川化学工業社製):7部、および前記と同様の光重合開始剤:0.05部を添加混合し、該混合した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥乃至硬化後の厚さが50μmとなるように塗布し、液体窒素充填装置下で光強度5mV/cm2の高圧水銀ランプを介して、紫外線を700mj/cm2(波長:352nm)照射して光重合処理して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート4」と称する場合がある)を得た。
アクリル酸n−ブチル−アクリル酸エチル−アクリル酸(アクリル酸n−ブチル/アクリル酸エチル/アクリル酸=30部/70部/5部)からなるポリマー:100部に、エポキシ系架橋剤(商品名「Tetrad−C」三菱ガス化学社製):1部、テルペンフェノール系粘着付与剤(商品名「YSポリスターU115」ヤスハラケミカル社製):40部、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、およびトルエンを均一に混合し、溶解した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布し乾燥して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート5」と称する場合がある)を得た。
アクリル酸2−エチルヘキシル−アクリル酸2−ヒドロキシエチル(アクリル酸2−エチルヘキシル/アクリル酸2−ヒドロキシエチル=100部/3部)からなるポリマー:100部に、イソシアネート系架橋剤(商品名「コロネートL」日本ポリウレタン社製):0.8部、ロジン系粘着付与剤(商品名「タマノル361」荒川化学工業社製):5部、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、およびトルエンを均一に混合し、溶解した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布し乾燥して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート6」と称する場合がある)を得た。
アクリル酸2−エチルヘキシル−アクリル酸(アクリル酸2−エチルヘキシル/アクリル酸=90部/7部)からなるポリマー:100部に、エポキシ系架橋剤(商品名「Tetrad−C」三菱ガス化学社製):0.3部、テルペンフェノール系粘着付与剤(商品名「YSポリスターU115」ヤスハラケミカル社製):25部、発泡剤(熱膨張性微小球;商品名「マツモトマイクロスフェアーF−501D」松本油脂製薬株式会社製;120℃発泡膨張タイプ):30部、およびトルエンを均一に混合し、溶解した塗工液を、支持基材(商品名「ルミラーS10」東レ社製;厚さ:100μm)の片面に、乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布し乾燥して熱剥離型粘着シート(「熱剥離型粘着シート7」と称する場合がある)を得た。
実施例1〜4、及び比較例1〜3で作製した熱剥離型粘着シート1〜7について、熱膨張性粘着層のゲル分率、熱膨張性粘着層のガラス転移温度(Tg)、23℃における粘着力、80℃における粘着力を、下記の測定方法により測定するとともに、積層セラミックシートを貼着させて高温雰囲気下で押切切断加工を行ってチップ化した際のチップ飛び防止性と、加熱剥離性と、汚染防止性を、下記の評価方法により評価し、その結果を表1に示した。
各熱剥離型粘着シートにおける熱膨張性粘着層(熱膨張のための加熱処理は行っていない)から約0.1gをサンプリングして精秤し(試料の重量)、該サンプルをメッシュ状シート(テフロン(登録商標)製)で包んだ後、約50mlのトルエン中に室温で1週間浸漬させた。その後、溶剤不溶分(メッシュ状シートの内容物)をトルエンから取り出し、130℃で約2時間乾燥機に投入して乾燥させ、乾燥後の溶剤不溶分を秤量し(浸漬・乾燥後の重量)、下記式(a)よりゲル分率(重量%)を算出する。なお、該ゲル分率の測定結果は、表1の「ゲル分率(重量%)」の欄に示した。
(ガラス転移温度の測定方法)
各実施例及び各比較例に関して、熱剥離型粘着シート同士(熱膨張のための加熱処理は行っていない)を貼り合わせ(熱剥離型粘着シートの熱膨張性粘着層を他の熱剥離型粘着シートの基材に貼り合わせる)、熱膨張性粘着層の総厚が2mm厚みとなるようなものを作製する。これを直径7.9mmのポンチで円盤状に打ち抜いて、ガラス転移温度を測定するためのサンプル(試料)を作製する。このサンプル(直径7.9mmで厚さが2mm以上の円盤状サンプル)を、ステンレススチール製の直径8mmのパラレルプレート(ティエーインスツルメンツ社製;型式:708.0157)で挟み込み、粘弾性スペクトロメーター(Rheometric Scientific社製;製品名「ARES」)を用いて、チャック圧:100g重、周波数:1Hzでせん断歪を与えながら、温度領域:−70℃〜150℃、昇温速度:5℃/minで、且つせん断モードで粘弾性を測定し、損失正接(tanδ)の極大値温度を求め、該損失正接の極大値温度をガラス転移温度(Tg)とする。該ガラス転移温度の測定結果は、表1の「ガラス転移温度(Tg)(℃)」の欄に示した。
各熱剥離型粘着シートを幅:20mm、長さ:140mmのサイズに切断し、熱膨張性粘着層上に、被着体としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(商品名「ルミラーS−10」東レ社製;厚さ:25μm、幅:20mm)を、JIS Z 0237に準じて貼り合わせた後(具体的には、温度:23±2℃および湿度:65±5%RHの雰囲気下で、2kgのローラーを1往復させて圧着して貼り合わせる)、23℃に設定された恒温槽付き引張試験機(商品名「島津オートグラフAG−120kN」島津製作所社製)にセットし、30分間放置する。放置後、23℃の温度下で、被着体を、剥離角度:180°、剥離速度(引張速度):300mm/minの条件で、熱剥離型粘着シートから引き剥がした時の荷重を測定し、その際の最大荷重(測定初期のピークトップを除いた荷重の最大値)を求め、この最大荷重を熱膨張性粘着層の粘着力(N/20mm幅)とする。なお、該粘着力の測定結果は、表1の「23℃粘着力(N/20mm)」の欄に示した。
各熱剥離型粘着シートを幅:20mm、長さ:140mmのサイズに切断し、熱膨張性粘着層上に、被着体としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(商品名「ルミラーS−10」東レ社製;厚さ:25μm、幅:20mm)を、JIS Z 0237に準じて貼り合わせた後(具体的には、温度:23±2℃および湿度:65±5%RHの雰囲気下で、2kgのローラーを1往復させて圧着して貼り合わせる)、予め80℃に設定された恒温槽付き引張試験機(商品名「島津オートグラフAG−1 20kN」島津製作所社製)にセットし、30分間放置する。放置後、80℃の雰囲気下で、被着体を、剥離角度:180°、剥離速度(引張速度):300mm/minの条件で、熱剥離型粘着シートから引き剥がした時の荷重を測定し、その際の最大荷重(測定初期のピークトップを除いた荷重の最大値)を求め、この最大荷重を熱膨張性粘着層の粘着力(N/20mm幅)とする。なお、該粘着力の測定結果は、表1の「80℃粘着力(N/20mm)」の欄に示した。
各熱剥離型粘着シートの熱膨張性粘着層上に、積層セラミックシート(サイズ:100mm×100mm×厚さ2mm;表面に20μmの凹凸が形成されている;焼成前)を貼着させ(仮固定)、それをダイシングリングに装着固定して押切刃を介し、0.6mm×0.3mmのサイズのチップにフルカットし(押切加工による切断加工処理を施し)、このカットの際に、チップ剥がれの発生の有無を目視で確認する。切断加工されたチップが熱剥離型粘着シートから剥がれている個数の割合(チップ飛び率)(%)を求め、チップ飛び防止性(切断加工性)を評価する。なお、すべてのチップが熱剥離型粘着シートに貼着しており剥がれていない場合は、チップ飛び率は0%(すなわち、チップ飛び率は0%)となる。従って、チップが剥がれている割合(チップ飛び率)が小さいほど、チップ飛び防止性が良好であることを意味している。該チップ飛び防止性の評価結果は、表1の「チップ飛び防止性(%)」の欄に示した。
○:チップ表面に糊残りによる汚染がない
×:チップ表面に糊残りによる汚染がある
2 基材
3 ゴム状有機弾性層
4 熱膨張性粘着層
5 セパレータ
Claims (12)
- 基材の少なくとも一方の面に粘着性を付与するための粘着剤と熱膨張性を付与するための発泡剤とを含有する熱膨張性粘着層が形成された構成を有し、積層セラミックシート切断時に仮固定用として用いられる熱剥離型粘着シートであって、
前記粘着剤のベースポリマーが、アクリル系ポリマーであり、
前記熱膨張性粘着層のゲル分率が60重量%以上であるとともに、熱膨張性粘着層のガラス転移温度が−20℃〜20℃であることを特徴とする積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。 - 熱膨張性粘着層を形成する粘着剤が、さらに、架橋剤を含有している請求項1記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 23℃でポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み:25μm)に貼着させた後に23℃の雰囲気下で30分間放置した際の23℃における熱膨張性粘着層の粘着力(剥離角度:180°、引張速度:300mm/min)が2N/20mm幅〜20N/20mm幅であり、且つ23℃でポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み:25μm)に貼着させた後に80℃の雰囲気下で30分間放置した際の80℃における熱膨張性粘着層の粘着力(剥離角度:180°、引張速度:300mm/min)が1N/20mm幅〜15N/20mm幅である請求項1又は2に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記発泡剤が、熱膨張性微小球である請求項1〜3の何れかの項に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記熱膨張性微小球が、加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球である請求項4に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記発泡剤が、無機系発泡剤である請求項1〜3の何れかの項に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記無機系発泡剤が、水、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウムまたはアジド類である請求項6に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記発泡剤が、有機系発泡剤である請求項1〜3の何れかの項に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記有機系発泡剤が、塩フッ化アルカン系化合物、アゾ系化合物、ヒドラジン系化合物、セミカルバジド系化合物、トリアゾール系化合物またはN−ニトロソ系化合物である請求項8に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記発泡剤の配合量が、熱膨張性粘着層を形成するベースポリマー100重量部に対して、1重量部〜150重量部である請求項1〜9の何れかの項に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記熱膨張性微小球の平均粒子径が、100μm以下である請求項4〜10の何れかの項に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
- 前記熱膨張性粘着層のガラス転移温度が、−15℃〜15℃である請求項1〜11の何れかの項に記載の積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート。
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