JP2008190600A - 締結具とその製造方法及び真空装置の組立方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品1の雄ネジ部4の表面に1μm程度ポリイミド膜5を施し、200℃以上300℃以下で、30分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水のガス放出量の少ないボルト部品1にすることができる。このようにして製造されたボルト部品1は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。
【選択図】図1
Description
(A)被コーティング物となる脱脂洗浄したステンレス鋼ボルトをチャンバーの中に入れ、200℃まで加熱する工程;
(B)チャンバーを5.0×10-5Pa程度まで真空排気し、モノマー(無水ピロメリト酸、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル)を蒸着重合し、ステンレス鋼ボルトの表面にポリアミド酸膜を形成する工程;
(C)ポリアミド酸膜をイミド化してポリイミド膜を得る(ポリイミドコート)ため、300℃で1時間の大気加熱を行う工程;
(D)チャンバーを5.0×10-5Pa程度まで真空又は窒素雰囲気に排気し、脱ガスするため、ポリイミド膜をつけたステンレス鋼ボルト(ポリイミドコートボルト)を200℃〜300℃の間で30分以上加熱する工程;
からなる製造方法によって製造される。
実施例のガス放出量は、比較例の1/6程度に減少する結果となった。
実施例のガス放出量は比較例の1/8程度になっている結果となった。
Claims (8)
- ポリイミド膜で被覆されたネジ部を備えた締結具であって、
前記締結具が、真空加熱又は窒素雰囲気中の加熱により、脱ガスされていることを特徴とする締結具。 - 前記ネジ部の母材は、合金鋼、チタン、チタン合金、アルミニウム合金または鉄であることを特徴とする請求項1に記載の締結具。
- 前記ポリイミド膜は蒸着重合膜であることを特徴とする請求項1に記載の締結具。
- 当該締結具は、ボルト、ナット、またはタップ穴を有する板材であることを特徴とする請求項1に記載の締結具。
- 締結具のネジ部の表面にポリイミド膜を形成した後、減圧雰囲気中の加熱により脱ガスさせることを特徴とする締結具の製造方法。
- 前記減圧雰囲気中の加熱が、200℃以上300℃以下で30分以上の加熱であることを特徴とする請求項5に記載の締結具の製造方法。
- 前記減圧雰囲気が、不活性ガス、窒素ガスのいずれかの減圧雰囲気であることを特徴とする請求項5に記載の締結具の製造方法。
- 締結による真空装置の組立方法であって、
少なくともネジ部の表面にポリイミド膜を形成した締結具を、減圧雰囲気中の加熱により脱ガスさせた後、真空チャンバー内の構成品、配管部品、配線部品の設置に使用することを特徴とする真空装置の組立方法。
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