JP5001672B2 - 締結具とその製造方法 - Google Patents
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Description
前記締結具が、真空加熱又は窒素雰囲気中の加熱により、脱ガスされていることを特徴とする締結具によって解決できる。
少なくともネジ部の表面に貴金属の被覆を形成した締結具を、減圧雰囲気中の加熱により脱ガスさせた後、真空チャンバー内の構成品、配管部品、配線部品の設置に使用することを特徴とする真空装置の組立方法によって解決できる。
ここで、金の被覆5は電気メッキ法により形成された金の被膜からなる。
先ず比較のため、従来、真空層内で使うステンレス鋼ボルト(例えば、六角ボルトM8×20L)に、金メッキ(膜厚1μm)したボルトを用意し、エタノールで超音波洗浄(5分×2回)したものを用意した。その後、昇温脱離法によりガス放出量を測定した(比較例)。このとき、昇温パターンは、昇温速度:0.083℃/s、到達温度:300℃、保持温度:1分間とした。
そこで、この金メッキしたボルトを大気暴露し、その後、再び昇温離脱法によりガス放出測定を行った(実施例)。昇温パターンは、昇温速度:0.083℃/s、到達温度:300℃、保持温度:1分間とした。
実施例のガス放出量は、比較例の1/2以下に減少する結果となった。
実施例のガス放出量は比較例の1/3程度になっている結果となった。
Claims (4)
- 真空装置の組み立てに使用される締結具であって、
ステンレス鋼製のネジ部と、
前記ネジ部の表面に0.5μm〜5μmの厚みで形成され、真空加熱又は窒素雰囲気中の加熱により脱水素された金メッキからなる被覆層とを備えたことを特徴とする締結具。 - 当該締結具は、ボルト、ナット、またはタップ穴を有する板材であることを特徴とする請求項1に記載の締結具。
- ステンレス鋼製の締結具のネジ部の表面を厚みが0.5μm〜5μmの金メッキで被覆した後、減圧雰囲気中で、150℃以上300℃以下、30分以上の加熱により、脱水素させることを特徴とする締結具の製造方法。
- 前記減圧雰囲気が、不活性ガス、窒素ガスのいずれかの減圧雰囲気であることを特徴とする請求項3に記載の締結具の製造方法。
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