JP2008190044A - 基板ホルダ及びめっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定保持部材54とシール部材を取付けた可動保持部材58との間に基板を介在させ、可動保持部材58を固定保持部材54に向けて押圧して基板を保持するようにした基板ホルダにおいて、固定保持部材54には、可動保持部材58と固定保持部材54で保持した基板の裏面側にめっき液が漏れたとき、この漏れためっき液を介して短絡する液漏れ検知用の少なくとも一対の導電体130が設けられている。
【選択図】図15
Description
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の基板ホルダを有することを特徴とするめっき装置である。
図1は、基板ホルダを備えためっき装置の全体配置図を示す。図1に示すように、このめっき装置には、半導体ウエハ等の基板Wを収納したカセット10を搭載する2台のカセットテーブル12と、基板Wのオリフラやノッチなどの位置を所定の方向に合わせるアライナ14と、めっき処理後の基板Wを高速回転させて乾燥させるスピンドライヤ16が備えられている。更に、この近くには、基板を着脱自在に保持する基板ホルダ18を載置して基板Wの該基板ホルダ18との着脱を行う基板着脱部20が設けられ、これらのユニットの中央には、これらの間で基板Wを搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置22が配置されている。
なお、導電体86の表面の、少なくとも電気接点88との当接面に、例えば金または白金めっきを施して被覆することが好ましい。
尚、可動保持部材と固定保持部材はヒンジで連結されている必要はなく、完全に分離された構造であっても構わないのは勿論である。
なお、基板ホルダ18に備えられていた基板と接点との接触状態を確認するセンサで、この接触状態が不良であると判断した時には、その信号をコントローラ(図示せず)に入力する。
12 カセットテーブル
14 アライナ
16 スピンドライヤ
18 基板ホルダ
20 基板着脱部
22 基板搬送装置
24 ストッカ
26 プリウェット槽
28 プリソーク槽
30a,30b 水洗槽
32 ブロー槽
34 めっき槽
36 オーバーフロー槽
38 めっきユニット
40 基板ホルダ搬送装置
42,44 トランスポータ
46 パドル駆動装置
54 固定保持部材
56 ヒンジ
58 可動保持部材
58a 基部
58b 支持部
60 押えリング
62 内側シール部材
66 シール溝
68 外側シール部材
70 保持部材
74 クランパ
80 支持面
82 突条部
82a テーパ部
86 導電体
88 電気接点
90 テーパ部
94 吸着パッド
96 カップ部
98 真空部
110 ロック・アンロック機構
112 回転ピン
114 回転板
116 押圧ロッド
122a,122b 板体
124 重ね板ばね
128 多重シール構造体
130 導電線(導電体)
132 電気抵抗測定器
140 板ばね部材
142 導電板(導電体)
Claims (4)
- 固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧して基板を保持するようにした基板ホルダにおいて、
前記固定保持部材には、前記可動保持部材と前記固定保持部材で保持した基板の裏面側にめっき液が漏れたとき、この漏れためっき液を介して短絡する液漏れ検知用の少なくとも一対の導電体が設けられていることを特徴とする基板ホルダ。 - 前記一対の導電体は、漏れためっき液が溜まる固定保持部材の下部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板ホルダ。
- 前記一対の導電体は、前記シール部材の内部にループ状に全周に亘って位置していることを特徴とする請求項1記載の基板ホルダ。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の基板ホルダを有することを特徴とするめっき装置。
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