JP2008130886A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ダイシングブレードを用いて、ダイシングストリート22における半導体ウエハ21の上面側をその上に形成されたバリ24と共に除去する。
【選択図】 図5
Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜は、BCB、フッ素化ポリイミド、ポリオレフィン、フィラーを加えたポリイミド樹脂、有機ポリマー系のLow−k材のいずれかからなることを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記レーザ加工により、前記ダイシングストリートおよびその両側の領域における前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜を除去して1本の前記溝を形成することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記バリを除去する工程は、ダイシングブレードを用いて、前記ダイシングストリートにおける前記半導体ウエハの上面側をその上に形成されたバリと共に除去する工程であることを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記レーザ加工により、前記ダイシングストリートおよびその両側の領域における前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜の両側を除去して2本の前記溝を形成することを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の発明において、前記バリを除去する工程は、ダイシングブレードを用いて、前記ダイシングストリートにおける前記半導体ウエハの上面側をその上に形成されたバリと共に除去し、且つ、前記2本の溝間に残存された前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜を除去する工程であることを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記封止膜を形成した後に、前記外部接続用電極上に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とするものである。
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図2に示すように、ウエハ状態のシリコン基板(以下、半導体ウエハ21という)上に、接続パッド2と、各4層の低誘電率膜4および配線5と、パッシベーション膜7とが設けられ、最上層の配線5の接続パッド部5aの中央部がパッシベーション膜7に設けられた開口部8を介して露出されたものを用意する。なお、図2において、符号22で示す領域はダイシングストリートに対応する領域である。
上記製造方法では、図5に示すように、レーザ照射によるレーザ加工により、ダイシングストリート22およびその両側の領域における保護膜9、パッシベーション膜7および4層の低誘電率膜4に1本の溝23を形成しているが、これに限定されるものではない。例えば、図14に示すように、レーザ照射によるレーザ加工により、ダイシングストリート22およびその両側の領域における保護膜9、パッシベーション膜7および4層の低誘電率膜4の両側に2本の溝23を形成するようにしてもよい。
2 接続パッド
3 低誘電率膜配線積層構造部
4 低誘電率膜
5 配線
7 パッシベーション膜
9 保護膜
11 下地金属層
12 上層配線
13 柱状電極
14 封止膜
15 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
23 溝
24 バリ
25 ダイシングブレード
Claims (7)
- 半導体ウエハと、前記半導体ウエハ上に積層された低誘電率膜と配線との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部と、前記低誘電率膜配線積層構造部を覆う絶縁膜とを備えたものを用意する工程と、
レーザ照射によるレーザ加工により、ダイシングストリートおよびその両側の領域における前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜の少なくとも一部を除去して溝を形成し、該溝を介して前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜および前記絶縁膜の側面と前記半導体ウエハの上面とを露出させる工程と、
前記溝を介して露出された前記半導体ウエハの上面に前記レーザ加工により形成されたバリを除去する工程と、
前記絶縁膜上に、上層配線を前記低誘電率膜配線積層構造部の前記配線の接続パッド部に接続させて形成する工程と、
前記上層配線の接続パッド部上に外部接続用電極を形成する工程と、
前記外部接続用間および前記溝内に封止膜を形成する工程と、
前記溝内の前記封止膜および前記半導体ウエハを前記ダイシングストリートに沿って切断して個々の半導体装置を複数個得る工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜は、BCB、フッ素化ポリイミド、ポリオレフィン、フィラーを加えたポリイミド樹脂、有機ポリマー系のLow−k材のいずれかからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記レーザ加工により、前記ダイシングストリートおよびその両側の領域における前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜を除去して1本の前記溝を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項3に記載の発明において、前記バリを除去する工程は、ダイシングブレードを用いて、前記ダイシングストリートにおける前記半導体ウエハの上面側をその上に形成されたバリと共に除去する工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記レーザ加工により、前記ダイシングストリートおよびその両側の領域における前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜の両側を除去して2本の前記溝を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項5に記載の発明において、前記バリを除去する工程は、ダイシングブレードを用いて、前記ダイシングストリートにおける前記半導体ウエハの上面側をその上に形成されたバリと共に除去し、且つ、前記2本の溝間に残存された前記絶縁膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の前記低誘電率膜を除去する工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記封止膜を形成した後に、前記外部接続用電極上に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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