JP2009135421A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 シリコン基板および該シリコン基板上に設けられた低誘電率膜と配線との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部を備えた半導体装置において、低誘電率膜が剥離しにくいようにする。
【解決手段】 シリコン基板1の上面の周辺部を除く領域には低誘電率膜4と配線5との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部3が設けられている。低誘電率膜配線積層構造部3の上面にはパッシベーション膜7が設けられている。パッシベーション膜7および低誘電率膜配線積層構造部3の側面は金属膜14および封止膜18によって覆われている。これにより、低誘電率膜4が剥離しにくい構造となっている。この場合、低誘電率膜配線積層構造部3の側面と封止膜18との金属膜14を介在させているのは、耐湿環境からの保護を十分とするためである。
【選択図】 図1
【解決手段】 シリコン基板1の上面の周辺部を除く領域には低誘電率膜4と配線5との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部3が設けられている。低誘電率膜配線積層構造部3の上面にはパッシベーション膜7が設けられている。パッシベーション膜7および低誘電率膜配線積層構造部3の側面は金属膜14および封止膜18によって覆われている。これにより、低誘電率膜4が剥離しにくい構造となっている。この場合、低誘電率膜配線積層構造部3の側面と封止膜18との金属膜14を介在させているのは、耐湿環境からの保護を十分とするためである。
【選択図】 図1
Description
この発明は半導体装置およびその製造方法に関する。
携帯型電子機器等に代表される小型の電子機器に搭載される半導体装置として、半導体基板とほぼ同じ大きさ(サイズ&ディメンション)を有するCSP(Chip Size Package)が知られている。CSPの中でも、ウエハ状態でパッケージングを完成させ、ダイシングにより個々の半導体装置に分離されたものは、WLP(Wafer Level Package)とも言われている。
従来のこのような半導体装置(例えば、特許文献1参照)では、半導体基板に形成された接続パッドを覆う絶縁膜の上面に配線が延出され、延出された配線の一端に形成された接続パッド部上面に多数の柱状電極が設けられ、絶縁膜の上面における柱状電極間に配線を覆って封止膜が形成されている。封止膜はその上面が柱状電極の上面と面一となるように設けられ、柱状電極の上面に半田ボールが設けられている。
ところで、上記のような半導体装置には、半導体基板の一面に形成される集積回路に、層間絶縁膜と配線との積層構造からなる層間絶縁膜配線積層構造部を設けたものがある。この場合、微細化に伴って層間絶縁膜配線積層構造部の配線間の間隔が小さくなると、当該配線間の容量が大きくなり、当該配線を伝わる信号の遅延が増大してしまう。
この点を改善するために、層間絶縁膜の材料として、誘電率が層間絶縁膜の材料として一般的に用いられている酸化シリコンの誘電率4.2〜4.0よりも低いlow−k材料等と言われる低誘電率材料が注目されている。low−k材料としては、酸化シリコン(SiO2)に炭素(C)をドープしたSiOCやさらにHを含むSiOCH等が挙げられる。また、誘電率をさらに低くするため、空気を含んだポーラス(多孔性)型の低誘電率膜の検討も行われている。
しかしながら、上述した低誘電率膜を備えた半導体装置では、特に、中空構造を有するポーラス型の低誘電率膜に代表されるように、機械的強度が低く、また水分の影響を受けやすく、ひいては下地層から剥離しやすいという問題がある。
そこで、この発明は、低誘電率膜の剥離を大幅に改善することができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板の一面上の周辺部を除く領域に設けられ、比誘電率が3.0以下である低誘電率膜と配線との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部と、前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆うように設けられた金属膜と、前記低誘電率膜配線積層構造部上に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に前記低誘電率膜配線積層構造部の最上層の配線の接続パッド部に接続されて設けられた電極用接続パッド部と、前記電極用接続パッド部上に設けられた外部接続用バンプ電極と、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜上および前記半導体基板の周辺部上に前記金属膜を覆うように設けられた有機樹脂からなる封止膜とを備えていることを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜のガラス転移温度は400℃以上であることを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記金属膜は前記電極用接続パッド部と同一の材料によって形成されていることを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記絶縁膜は無機材料からなるパッシベーション膜とその上に設けられた有機材料からなる保護膜とを含むことを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係る半導体装置は、請求項4に記載の発明において、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面は、実質的に一面を形成し、前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係る半導体装置は、請求項5に記載の発明において、前記保護膜の側面は前記パッシベーション膜の側面よりも内側に配置され、前記パッシベーション膜の上面周辺部は前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る半導体装置は、請求項4に記載の発明において、前記保護膜、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面は、実質的に一面を形成し、前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記保護膜の上面周辺部は前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を有する上層配線が形成されていることを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明に係る半導体装置は、請求項9に記載の発明において、前記上層配線の接続パッド部上に形成された前記外部接続用バンプ電極は柱状電極であることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明に係る半導体装置は、請求項10に記載の発明において、前記柱状電極上に半田ボールが設けられていることを特徴とするものである。
請求項12に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜は、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料、炭素添加酸化シリコン、有機ポリマー系のlow−k材料のいずれかを含み、あるいは、フッ素添加酸化シリコン、ボロン添加酸化シリコン、酸化シリコンのいずれかであってポーラス型のものを含むことを特徴とするものである。
請求項13に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体ウエハの一面上に、比誘電率が3.0以下である低誘電率膜と配線とが積層された低誘電率膜配線積層構造部が形成されたものを準備する工程と、ダイシングストリート上およびその両側の領域における前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成する工程と、前記低誘電率膜配線積層構造部上に電極用接続パッド部を前記低誘電率膜配線積層構造部の最上層の配線の接続パッド部に接続させて形成し、且つ、前記溝から露出された前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う金属膜を形成する工程と、前記電極用接続パッド部上に外部接続用バンプ電極を形成する工程と、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記低誘電率膜配線積層構造部および前記金属膜を覆う封止膜を形成する工程と、前記封止膜および前記半導体ウエハを前記ダイシングストリートに沿って切断して、個々の半導体装置を複数個得る工程と、を含むことを特徴とするものである。
請求項14に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項13に記載の発明において、前記低誘電率膜配線積層構造部上にパッシベーション膜を形成し、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成し、前記パッシベーション膜上に有機樹脂からなる絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を形成し、前記溝から露出された前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う前記金属膜を形成し、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜および前記金属膜を覆う前記封止膜を形成することを特徴とするものである。
請求項15に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項13に記載の発明において、前記低誘電率膜配線積層構造部上にパッシベーション膜を形成し、前記パッシベーション膜上に有機樹脂からなる絶縁膜をパターン形成し、前記絶縁膜間において前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成し、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を形成し、前記溝から露出された前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う前記金属膜を形成し、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜および前記金属膜を覆う前記封止膜を形成することを特徴とするものである。
請求項16に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記低誘電率膜のガラス転移温度は400℃以上であることを特徴とするものである。
請求項17に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記金属膜は前記電極用接続パッド部と同一の材料によって同時に形成することを特徴とするものである。
請求項18に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記ダイシングストリート上およびその両側の領域における前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去する工程は、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部にレーザビームを照射する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項19に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記絶縁膜はフォトリソグラフィ技術を用いて形成することを特徴とするものである。
請求項20に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程は、前記封止膜を前記溝内に充填する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項21に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記低誘電率膜は、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料、炭素添加酸化シリコン、有機ポリマー系のlow−k材料のいずれかを含み、あるいは、フッ素添加酸化シリコン、ボロン添加酸化シリコン、酸化シリコンのいずれかであってポーラス型のものを含むことを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜のガラス転移温度は400℃以上であることを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記金属膜は前記電極用接続パッド部と同一の材料によって形成されていることを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記絶縁膜は無機材料からなるパッシベーション膜とその上に設けられた有機材料からなる保護膜とを含むことを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係る半導体装置は、請求項4に記載の発明において、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面は、実質的に一面を形成し、前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係る半導体装置は、請求項5に記載の発明において、前記保護膜の側面は前記パッシベーション膜の側面よりも内側に配置され、前記パッシベーション膜の上面周辺部は前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る半導体装置は、請求項4に記載の発明において、前記保護膜、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面は、実質的に一面を形成し、前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記保護膜の上面周辺部は前記金属膜によって覆われていることを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を有する上層配線が形成されていることを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明に係る半導体装置は、請求項9に記載の発明において、前記上層配線の接続パッド部上に形成された前記外部接続用バンプ電極は柱状電極であることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明に係る半導体装置は、請求項10に記載の発明において、前記柱状電極上に半田ボールが設けられていることを特徴とするものである。
請求項12に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜は、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料、炭素添加酸化シリコン、有機ポリマー系のlow−k材料のいずれかを含み、あるいは、フッ素添加酸化シリコン、ボロン添加酸化シリコン、酸化シリコンのいずれかであってポーラス型のものを含むことを特徴とするものである。
請求項13に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体ウエハの一面上に、比誘電率が3.0以下である低誘電率膜と配線とが積層された低誘電率膜配線積層構造部が形成されたものを準備する工程と、ダイシングストリート上およびその両側の領域における前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成する工程と、前記低誘電率膜配線積層構造部上に電極用接続パッド部を前記低誘電率膜配線積層構造部の最上層の配線の接続パッド部に接続させて形成し、且つ、前記溝から露出された前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う金属膜を形成する工程と、前記電極用接続パッド部上に外部接続用バンプ電極を形成する工程と、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記低誘電率膜配線積層構造部および前記金属膜を覆う封止膜を形成する工程と、前記封止膜および前記半導体ウエハを前記ダイシングストリートに沿って切断して、個々の半導体装置を複数個得る工程と、を含むことを特徴とするものである。
請求項14に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項13に記載の発明において、前記低誘電率膜配線積層構造部上にパッシベーション膜を形成し、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成し、前記パッシベーション膜上に有機樹脂からなる絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を形成し、前記溝から露出された前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う前記金属膜を形成し、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜および前記金属膜を覆う前記封止膜を形成することを特徴とするものである。
請求項15に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項13に記載の発明において、前記低誘電率膜配線積層構造部上にパッシベーション膜を形成し、前記パッシベーション膜上に有機樹脂からなる絶縁膜をパターン形成し、前記絶縁膜間において前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成し、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を形成し、前記溝から露出された前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う前記金属膜を形成し、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜および前記金属膜を覆う前記封止膜を形成することを特徴とするものである。
請求項16に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記低誘電率膜のガラス転移温度は400℃以上であることを特徴とするものである。
請求項17に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記金属膜は前記電極用接続パッド部と同一の材料によって同時に形成することを特徴とするものである。
請求項18に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記ダイシングストリート上およびその両側の領域における前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去する工程は、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部にレーザビームを照射する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項19に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記絶縁膜はフォトリソグラフィ技術を用いて形成することを特徴とするものである。
請求項20に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程は、前記封止膜を前記溝内に充填する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項21に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項14または15に記載の発明において、前記低誘電率膜は、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料、炭素添加酸化シリコン、有機ポリマー系のlow−k材料のいずれかを含み、あるいは、フッ素添加酸化シリコン、ボロン添加酸化シリコン、酸化シリコンのいずれかであってポーラス型のものを含むことを特徴とするものである。
この発明によれば、半導体基板上の周辺部を除く領域に比誘電率が3.0以下である低誘電率膜と配線との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部を設け、この低誘電率膜配線積層構造部の側面を金属膜および封止膜によって覆っているので、低誘電率膜の剥離を大幅に改善することができる。この場合、低誘電率膜配線積層構造部の側面と封止膜との金属膜を介在させているのは、耐湿環境からの保護を十分とするためである。
(第1実施形態)
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置はシリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面には所定の機能の集積回路、特に、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の素子(図示せず)が形成され、上面周辺部には、上記集積回路の各素子に接続されたアルミニウム系金属等からなる接続パッド2が設けられている。接続パッド2は2個のみを図示するが実際にはシリコン基板1の上面に多数配列されている。
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置はシリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面には所定の機能の集積回路、特に、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の素子(図示せず)が形成され、上面周辺部には、上記集積回路の各素子に接続されたアルミニウム系金属等からなる接続パッド2が設けられている。接続パッド2は2個のみを図示するが実際にはシリコン基板1の上面に多数配列されている。
シリコン基板1の上面において接続パッド2の外側の周辺部を除く領域には低誘電率膜配線積層構造部3が設けられている。低誘電率膜配線積層構造部3は、複数層例えば4層の低誘電率膜4と同数層の銅やアルミニウム系金属等からなる配線5とが交互に積層された構造となっている。
低誘電率膜4の材料としては、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料(HSQ:Hydrogen silsesquioxane、比誘電率3.0)、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料(MSQ:Methyl silsesquioxane、比誘電率2.7〜2.9)、炭素添加酸化シリコン(SiOC:Carbon doped silicon oxide、比誘電率2.7〜2.9)、有機ポリマー系のlow−k材料等が挙げられ、比誘電率が3.0以下でガラス転移温度が400℃以上であるものを用いることができる。
有機ポリマー系のlow−k材料としては、Dow Chemical社製の「SiLK(比誘電率2.6)」、Honeywell Electronic Materials社製の「FLARE(比誘電率2.8)」等が挙げられる。ここで、ガラス転移温度が400℃以上であるということは、後述する製造工程における温度に十分に耐え得るようにするためである。なお、上記各材料のポーラス型も用いることができる。
また、低誘電率膜4の材料としては、以上のほかに、通常の状態における比誘電率が3.0よりも大きいが、ポーラス型とすることにより、比誘電率が3.0以下でガラス転移温度が400℃以上であるものを用いることができる。例えば、フッ素添加酸化シリコン(FSG:Fluorinated Silicate Glass、比誘電率3.5〜3.7)、ボロン添加酸化シリコン(BSG:Boron-doped Silicate Glass、比誘電率3.5)、酸化シリコン(比誘電率4.0〜4.2)である。
低誘電率膜配線積層構造部3において、各層の配線5は層間で互いに接続されている。最下層の配線5の一端部は、最下層の低誘電率膜4に設けられた開口部6を介して接続パッド2に接続されている。最上層の配線5の接続パッド部5aは最上層の低誘電率膜4の上面周辺部に配置されている。
最上層の配線5を含む最上層の低誘電率膜4の上面には酸化シリコン等の無機材料からなるパッシベーション膜7が設けられている。最上層の配線5の接続パッド部5aに対応する部分におけるパッシベーション膜7には開口部8が設けられている。パッシベーション膜7の上面の周辺部を除く領域には主成分がポリイミド、エポキシ、フェノール、ビスマレイミド、アクリル、合成ゴム、ポリベンゾオキサイド等の有機材料からなる保護膜(絶縁膜)9が設けられている。この状態では、保護膜9の側面はパッシベーション膜7の側面よりも内側に配置されている。パッシベーション膜7の開口部8に対応する部分における保護膜9には開口部10が設けられている。
保護膜9の上面には上層配線11が設けられている。上層配線11は、保護膜9の上面に設けられた銅等からなる下地金属層12と、下地金属層12の上面に設けられた銅からなる上部金属層13との2層構造となっている。上層配線11の一端部は、パッシベーション膜7および保護膜9の開口部8、10を介して最上層の配線5の接続パッド部5aに接続されている。
低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面、低誘電率膜配線積層構造部3の周囲におけるシリコン基板1の上面およびパッシベーション膜7の上面周辺部には、上層配線11と同様に、銅等からなる下地金属層15および銅からなる上部金属層16からなる2層構造の金属膜14が設けられている。この状態では、低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面は、実質的に一面を形成し、金属膜14によって覆われている。
上層配線11の接続パッド部(電極用接続パッド部)上面には銅からなる柱状電極(外部接続用バンプ電極)17が設けられている。上層配線11を含む保護膜9の上面、パッシベーション膜7の周辺部近傍の上面および金属膜14を含むシリコン基板1の周辺部上面にはエポキシ系樹脂等の有機材料からなる封止膜18がその上面が柱状電極17の上面と面一となるように設けられている。この状態では、金属膜14の側面は封止膜18によって覆われている。柱状電極17の上面には半田ボール19が設けられている。
以上のように、この半導体装置では、シリコン基板1上の周辺部を除く領域に低誘電率膜4と配線5との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部3を設け、低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面を金属膜14および封止膜18によって覆っており、シリコン基板1から低誘電率膜配線積層構造部3が剥離しにくい構造となっている。この場合、パッシベーション膜7の上面周辺部も金属膜14によって覆われている。
ところで、金属膜14を設けずに、低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面を封止膜18によって直接覆うことが考えられている。低誘電率膜4の空乏率が比較的小さくて誘電率が2.8〜3.0と比較的大きい場合には、低誘電率膜4の側面を有機材料からなる封止膜18によって直接覆っても、耐湿環境からの保護は十分である。
しかるに、低誘電率膜配線積層構造部3の配線5間の間隔がより一層小さくなり、例えば65nm以下、特に45nm以下と小さくなると、配線5間の容量がより一層大きくなってしまう。これに対応するには、低誘電率膜4の空乏率を比較的大きくして誘電率を2.6以下と比較的小さくする必要がある。
しかしながら、このような低誘電率膜4の側面を有機材料からなる封止膜18によって直接覆うと、耐湿環境からの保護が不十分となってしまう。これに対し、図1に示すように、低誘電率膜4の側面を金属膜14および封止膜18によって覆うと、金属膜14で低誘電率膜4への水分の浸透を確実に防止することができ、耐湿環境からの保護を十分とすることができる。
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図2に示すように、ウエハ状態のシリコン基板(以下、半導体ウエハ21という)上に、接続パッド2と、各4層の低誘電率膜4および配線5と、パッシベーション膜7とが設けられ、最上層の配線5の接続パッド部5aの中央部がパッシベーション膜7に設けられた開口部8を介して露出されたものを準備する。
低誘電率膜4の材料としては、上記のようなものが挙げられ、ポーラス型となったものを含めて、比誘電率が3.0以下でガラス転移温度が400℃以上であるものを用いることができる。なお、図2において、符号22で示す領域はダイシングストリートに対応する領域である。
次に、図3に示すように、レーザビームを照射するレーザ加工により、ダイシングストリート22およびその両側の領域におけるパッシベーション膜7および4層の低誘電率膜4に溝23を形成する。ここで、低誘電率膜4は脆いため、ブレードにより切断して溝23を形成する場合には、切断面において低誘電率膜4に多数の切欠け、破損が生じてしまうので、溝23の形成はレーザビームの照射により低誘電率膜4を切断する方法が推奨される。
レーザビームの照射により溝23を加工する場合、レーザビームがシリコン基板1の上面に照射されるとシリコン基板1の上面が溶融し、この溶融したものがシリコン基板1から跳ね上がってからシリコン基板1上に落下するため、溝23の底面は図3に図示の如く凹凸となる。
この状態では、ダイシングストリート22およびその両側の領域における半導体ウエハ21の上面は溝23を介して露出されている。また、半導体ウエハ21上に積層された4層の低誘電率膜4、パッシベーション膜7および保護膜9が溝23により分離されることにより、図1に示す低誘電率膜配線積層構造部3が形成されている。
次に、図4に示すように、パッシベーション膜7の上面の周辺部を除く領域に、ポリイミド系樹脂等の有機材料からなる保護膜9をパターン形成する。この場合、まず、パッシベーション膜7の開口部を介して露出された最上層の配線5の接続パッド部5aを含むパッシベーション膜7の上面および溝23を介して露出された半導体ウエハ21の上面に、スクリーン印刷法、スピンコート法等により、ポリイミド系樹脂等からなる有機材料膜を成膜する。次に、この成膜された有機材料膜をフォトリソグラフィ技術を用いてパターニングすると、パッシベーション膜7の開口部8に対応する部分に開口部10を有する保護膜9が形成される。
ここで、図2に示す状態において、パッシベーション膜7の上面にポリイミド系樹脂等からなる有機材料膜を成膜し、次いで、レーザビームの照射により、有機材料膜、パッシベーション膜7および4層の低誘電率膜4に溝23を形成することが考えられる。しかしながら、有機材料膜の材料が、ポリイミド系樹脂等のように、レーザエネルギーを吸収しやすく、レーザビームの照射で切断しにくいものである場合には、好ましくない。そこで、限定する意味ではないが、保護膜9はフォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする方が好ましい。
次に、図5に示すように、パッシベーション膜7および保護膜9の開口部8、10を介して露出された最上層の配線5の接続パッド部5aの上面を含む保護膜9の上面、パッシベーション膜7の周辺部上面および溝23を介して露出された半導体ウエハ21の上面に下地金属層24を形成する。この場合、下地金属層24は、無電解メッキにより形成された銅層のみであってもよく、またスパッタにより形成された銅層のみであってもよく、さらにスパッタにより形成されたチタン等の薄膜層上にスパッタにより銅層を形成したものであってもよい。ここで、各図面において、溝23の底面上に形成される下地金属層24を溝23の底面の凹凸にほぼ平行に描いているが、実際は、多少、溝23の底面の凹凸を緩やかにするように成膜される。
次に、下地金属層24の上面にメッキレジスト膜25をパターン形成する。この場合、上部金属層13、16形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜25には開口部26、27が形成されている。次に、下地金属層24をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうことにより、メッキレジスト膜25の開口部26、27内の下地金属層24の上面に上部金属層13、16を同時に形成する。次に、メッキレジスト膜25を剥離する。
次に、図6に示すように、上部金属層13、16を含む下地金属層24の上面にメッキレジスト膜28をパターン形成する。この場合、上部金属層13の接続パッド部(柱状電極17形成領域)に対応する部分におけるメッキレジスト膜28には開口部29が形成されている。次に、下地金属層24をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行うことにより、メッキレジスト膜28の開口部29内の上部金属層13の接続パッド部上面に高さ50〜150μmの柱状電極17を形成する。
次に、メッキレジスト膜28を剥離し、次いで、上部金属層13、16をマスクとして下地金属層24の不要な部分をエッチングして除去すると、図7に示すように、上部金属層13、16下にのみ下地金属層12、17が残存される。この状態では、下地金属層12および上部金属層13により2層構造の上層配線11が形成され、下地金属層17および上部金属層16により2層構造の金属膜14が形成されている。
次に、図8に示すように、スクリーン印刷法、スピンコート法等により、上層配線11、柱状電極17を含む保護膜9の上面、パッシベーション膜7の周辺部近傍の上面、金属膜14の上面および溝23を介して露出された半導体ウエハ21の上面にエポキシ系樹脂等の有機材料からなる封止膜18をその厚さが柱状電極17の高さよりも厚くなるように形成する。したがって、この状態では、柱状電極17の上面は封止膜18によって覆われている。また、金属膜14の側面は封止膜18によって覆われている。
次に、封止膜18の上面側を適宜に研削し、図9に示すように、柱状電極17の上面を露出させ、且つ、この露出された柱状電極17の上面を含む封止膜18の上面を平坦化する。この封止膜18の上面の平坦化に際し、封止膜18と共に柱状電極17の上面部を数μm〜十数μm研削してもよい。
次に、図10に示すように、柱状電極17の上面に半田ボール19を形成する。次に、図11に示すように、封止膜18および半導体ウエハ21を溝23内の中央部のダイシングストリート22に沿って切断する。すると、図1に示すように、パッシベーション膜7および低誘電率膜配線積層構造部3の側面が金属膜14および封止膜18によって覆われた構造の半導体装置が複数個得られる。
(製造方法の他の例)
次に、図1に示す半導体装置の製造方法の他の例について説明する。図2に示すものを準備した後に、図12に示すように、パッシベーション膜7の開口部8を介して露出された最上層の配線7の接続パッド部5aを含むパッシベーション膜7の上面全面に保護膜9を成膜する。
次に、図1に示す半導体装置の製造方法の他の例について説明する。図2に示すものを準備した後に、図12に示すように、パッシベーション膜7の開口部8を介して露出された最上層の配線7の接続パッド部5aを含むパッシベーション膜7の上面全面に保護膜9を成膜する。
次に、成膜された保護膜9をフォトリソグラフィ技術を用いてパターニングすると、図13に示すように、パッシベーション膜7の開口部8に対応する部分に開口部10を有する保護膜9が形成される。次に、レーザビームを照射して、パッシベーション膜7および4層の低誘電率膜4を加工すると、図4に示すように、溝23が形成される。以下の工程は上記製造方法の一例の場合と同じであるので、省略する。
(第2実施形態)
図14はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図1に示す半導体装置と異なる点は、パッシベーション膜7の上面全体に保護膜9を設け、保護膜9、低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面、低誘電率膜配線積層構造部3の周囲におけるシリコン基板1の上面および保護膜9の上面周辺部に金属膜14を設けた点である。
図14はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図1に示す半導体装置と異なる点は、パッシベーション膜7の上面全体に保護膜9を設け、保護膜9、低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面、低誘電率膜配線積層構造部3の周囲におけるシリコン基板1の上面および保護膜9の上面周辺部に金属膜14を設けた点である。
このように、この半導体装置では、保護膜9、低誘電率膜配線積層構造部3およびパッシベーション膜7の側面を金属膜14および封止膜18によって覆っているので、シリコン基板1から低誘電率膜配線積層構造部3が剥離しにくい構造となっており、また耐湿環境からの保護を十分とすることができる。この場合、保護膜9の上面周辺部も金属膜14によって覆われている。
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図12に示すように、パッシベーション膜7の上面全体に保護膜9を成膜する。次に、成膜された保護膜9をフォトリソグラフィ技術を用いてパターニングすると、図15に示すように、パッシベーション膜7の開口部8に対応する部分に開口部10を有する保護膜9が形成される。この場合、パターニングされた保護膜9のサイズは、図13に示す保護膜9のサイズよりも所定の量だけ大きくなっている。
次に、図16に示すように、レーザビームを照射するレーザ加工により、ダイシングストリート22およびその両側の領域つまりパターニングされた保護膜9間におけるパッシベーション膜7および4層の低誘電率膜4に溝23を形成する。この状態では、保護膜9、パッシベーション膜9および低誘電率膜配線積層構造部3の側面は、実質的に一面を形成している。以下の工程は上記説明から容易に理解し得るので、省略する。
(その他の実施形態)
なお、上記実施形態において、半導体ウエハ21の上面が溝23の底部の如く図示されているが、レーザビームの照射により半導体ウエハ21の上面が除去されるように溝23を形成し、溝23の底部が半導体ウエハ21の上面より陥没するようにしてもよい。また、半導体ウエハ23の上面に、フィールド酸化膜等の絶縁膜が形成されている場合には、このフィール酸化膜の上面あるいはその膜厚の中間部が溝23の底部となるようにして、溝23の底部が、半導体ウエハ21の上面よりも上方に位置するようにすることもできる。
なお、上記実施形態において、半導体ウエハ21の上面が溝23の底部の如く図示されているが、レーザビームの照射により半導体ウエハ21の上面が除去されるように溝23を形成し、溝23の底部が半導体ウエハ21の上面より陥没するようにしてもよい。また、半導体ウエハ23の上面に、フィールド酸化膜等の絶縁膜が形成されている場合には、このフィール酸化膜の上面あるいはその膜厚の中間部が溝23の底部となるようにして、溝23の底部が、半導体ウエハ21の上面よりも上方に位置するようにすることもできる。
また、上記実施形態では、保護膜9上に上層配線11を形成し、この上層配線11の接続パッド部上に柱状電極17を形成した構造を有するものであるが、この発明は、保護膜9上に接続パッド部のみを形成し、この接続パッド部上に半田ボール19等の外部接続用バンプ電極を形成する構造に適用することもできる。
1 シリコン基板
2 接続パッド
3 低誘電率膜配線積層構造部
4 低誘電率膜
5 配線
7 パッシベーション膜
9 保護膜
11 上層配線
14 金属膜
17 柱状電極
18 封止膜
19 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
23 溝
2 接続パッド
3 低誘電率膜配線積層構造部
4 低誘電率膜
5 配線
7 パッシベーション膜
9 保護膜
11 上層配線
14 金属膜
17 柱状電極
18 封止膜
19 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
23 溝
Claims (21)
- 半導体基板と、前記半導体基板の一面上の周辺部を除く領域に設けられ、比誘電率が3.0以下である低誘電率膜と配線との積層構造からなる低誘電率膜配線積層構造部と、前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆うように設けられた金属膜と、前記低誘電率膜配線積層構造部上に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に前記低誘電率膜配線積層構造部の最上層の配線の接続パッド部に接続されて設けられた電極用接続パッド部と、前記電極用接続パッド部上に設けられた外部接続用バンプ電極と、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜上および前記半導体基板の周辺部上に前記金属膜を覆うように設けられた有機樹脂からなる封止膜とを備えていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜のガラス転移温度は400℃以上であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記金属膜は前記電極用接続パッド部と同一の材料によって形成されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記絶縁膜は無機材料からなるパッシベーション膜とその上に設けられた有機材料からなる保護膜とを含むことを特徴とする半導体装置。
- 請求項4に記載の発明において、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面は、実質的に一面を形成し、前記金属膜によって覆われていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項5に記載の発明において、前記保護膜の側面は前記パッシベーション膜の側面よりも内側に配置され、前記パッシベーション膜の上面周辺部は前記金属膜によって覆われていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項4に記載の発明において、前記保護膜、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面は、実質的に一面を形成し、前記金属膜によって覆われていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7に記載の発明において、前記保護膜の上面周辺部は前記金属膜によって覆われていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を有する上層配線が形成されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項9に記載の発明において、前記上層配線の接続パッド部上に形成された前記外部接続用バンプ電極は柱状電極であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項10に記載の発明において、前記柱状電極上に半田ボールが設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記低誘電率膜は、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料、炭素添加酸化シリコン、有機ポリマー系のlow−k材料のいずれかを含み、あるいは、フッ素添加酸化シリコン、ボロン添加酸化シリコン、酸化シリコンのいずれかであってポーラス型のものを含むことを特徴とする半導体装置。
- 半導体ウエハの当該一面上に、比誘電率が3.0以下である低誘電率膜と配線とが積層された低誘電率膜配線積層構造部が形成されたものを準備する工程と、
ダイシングストリート上およびその両側の領域における前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成する工程と、
前記低誘電率膜配線積層構造部上に電極用接続パッド部を前記低誘電率膜配線積層構造部の最上層の配線の接続パッド部に接続させて形成し、且つ、前記溝から露出された前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う金属膜を形成する工程と、
前記電極用接続パッド部上に外部接続用バンプ電極を形成する工程と、
前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記低誘電率膜配線積層構造部および前記金属膜を覆う封止膜を形成する工程と、
前記封止膜および前記半導体ウエハを前記ダイシングストリートに沿って切断して、個々の半導体装置を複数個得る工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項13に記載の発明において、前記低誘電率膜配線積層構造部上にパッシベーション膜を形成し、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成し、前記パッシベーション膜上に有機樹脂からなる絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を形成し、前記溝から露出された前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う前記金属膜を形成し、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜および前記金属膜を覆う前記封止膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項13に記載の発明において、前記低誘電率膜配線積層構造部上にパッシベーション膜を形成し、前記パッシベーション膜上に有機樹脂からなる絶縁膜をパターン形成し、前記絶縁膜間において前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去して、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を露出する溝を形成し、前記絶縁膜上に前記電極用接続パッド部を形成し、前記溝から露出された前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部の側面を覆う前記金属膜を形成し、前記外部接続用バンプ電極の周囲における前記絶縁膜および前記金属膜を覆う前記封止膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14または15に記載の発明において、前記低誘電率膜のガラス転移温度は400℃以上であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14または15に記載の発明において、前記金属膜は前記電極用接続パッド部と同一の材料によって同時に形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14または15に記載の発明において、前記ダイシングストリート上およびその両側の領域における前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部を除去する工程は、前記パッシベーション膜および前記低誘電率膜配線積層構造部にレーザビームを照射する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14または15に記載の発明において、前記絶縁膜はフォトリソグラフィ技術を用いて形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14または15に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程は、前記封止膜を前記溝内に充填する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14または15に記載の発明において、前記低誘電率膜は、Si−O結合とSi−H結合を有するポリシロキサン系材料、Si−O結合とSi−CH3 結合を有するポリシロキサン系材料、炭素添加酸化シリコン、有機ポリマー系のlow−k材料のいずれかを含み、あるいは、フッ素添加酸化シリコン、ボロン添加酸化シリコン、酸化シリコンのいずれかであってポーラス型のものを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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