JP2008081451A - 高純度トリアルキルガリウム及びその製法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トリアルキルガリウム(アルキル基の炭素数は1〜6)とトリアルキルアミンを反応させて錯体を形成させ、これを蒸留によって精製した後、トリアルキルアミンを解離させることにより、遊離のトリアルキルガリウムを回収する。これによりケイ素原子の含有量が0.1質量ppm以下であることを特徴とする、高純度トリアルキルガリウムが得られる。
【選択図】なし
Description
で示されるトリアルキルガリウムと一般式(2)
で示されるトリアルキルアミンとを反応させてガリウム−アミン錯体を形成させ、次いで、反応混合物を蒸留して該ガリウム−アミン錯体を取得した後、該ガリウム−アミン錯体からトリアルキルアミンを解離させて、遊離のトリアルキルガリウムを得ることを特徴とする、高純度トリアルキルガリウムの製法によっても解決される。
J.Am.Chem.Soc.,84,3605(1962)
攪拌装置、ヴィグリュー型蒸留塔(2つの受器を付属)及び滴下漏斗を備えた内容積100mlの反応容器に、窒素雰囲気にて、トリ-n-オクチルアミン45g(126mmol)を加え、トリメチルガリウム(ケイ素原子を1質量ppm含む)18g(156mmol)をゆるやかに加え、攪拌しながら40℃で0.5時間攪拌させて、ガリウム−アミン錯体を形成させた。次いで、得られた反応混合物を減圧下で蒸留(100℃、7kPaA)し、低沸点成分(不純物)をドライアイスで冷却した受器に捕集し、ガリウム−アミン錯体を反応容器内に取得した。その後、ガリウム−アミン錯体を130〜200℃に加熱して減圧蒸留(40kPaA)し、流出物として、トリメチルガリウム12gを受器に得た(回収率;67%)。なお、得られたトリメチルガリウムは、ケイ素原子が0.05質量ppm以下、ケイ素原子以外の金属原子の合計含有量が0.56質量ppm以下(アルミニウム原子;0.09質量ppm以下、カルシウム原子;0.02質量ppm以下、カドミウム原子;0.03質量ppm以下、クロム原子;0.05質量ppm以下、銅原子;0.03質量ppm以下、鉄原子;0.05質量ppm以下、マグネシウム原子;0.02質量ppm以下、マンガン原子;0.02質量ppm以下、ナトリウム原子;0.1質量ppm未満、カリウム原子:0.1質量ppm未満、亜鉛原子;0.05質量ppm以下)しか混入していない高純度品であった。
実施例1において、トリ-n-オクチルアミンの代わりに、トリ‐n-ブチルアミン26g(127mmol)を使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルガリウムの合成を行った。その結果、得られたトリメチルガリウムは、ケイ素原子が0.3質量ppm混入している低純度品であった。
実施例1において、トリ-n-オクチルアミンの代わりに、N,N-ジメチルアニリン17g(140mmol)を使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルガリウムの合成を行った。その結果、ガリウム−アミン錯体は形成したものの、N,N-ジメチルアニリンは解離せずに、遊離のトリメチルガリウムを得ることはできなかった。
実施例1において、トリメチルガリウムの代わりにトリエチルガリウムを用いたこと以外、実施例1と同様に反応を行うと、ケイ素原子が0.1質量ppm以下の高純度トリエチルガリウムが得られる。
Claims (4)
- ケイ素原子の含有量が0.1質量ppm以下であることを特徴とする、高純度トリアルキルガリウム。
- トリアルキルガリウムが、トリメチルガリウム又はトリエチルガリウムである請求項1乃至2記載の高純度トリアルキルガリウムの製法。
- トリアルキルアミンが、トリ-n-オクチルアミンである請求項1乃至2記載の高純度トリアルキルガリウムの製法。
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