JP2008047717A - 高周波特性が改善された表面発光型半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 VCSEL10のコプレーナ電極構造は、基板主面にp側コンタクト電極26とn側コンタクト電極34を有する。n側コンタクト電極34がn型の半導体体操反射膜と電気的に接続するコンタクト部40は、ポストPの開口部28の中央、すなわち発光中心から、近端半径r1、遠端半径r2の弧線に挟まれた領域に形成され、両弧線のなす角度がπ/2ラジアン以上、かつπラジアンより小さく設定されている。
【選択図】 図2
Description
16:下部多層反射膜 18:スペーサ層
20:量子井戸層を含む活性層 22:上部多層反射膜
24:層間絶縁膜 24a,24b:コンタクトホール
26:p側電極 28:開口部
30:電流狭窄層 30a:酸化領域
32:開口 34:n側電極
40:コンタクト部 42a、42b:電極パッド
44:電極パッド 50:半導体レーザ装置
52:基台 54:キャップ
56:リード 58:サブマウント
60:モニター用受光素子 62:窓
70a、70b、72:マイクロストリップ線路
74a、74b、74:ボンディングワイヤ
P:ポスト(メサ)
Claims (17)
- 基板と、
基板上に形成された第1導電型の第1の半導体層と、
第1の半導体層上に形成された活性層と、
活性層上に形成された第2導電型の第2の半導体層と、
基板主面上に形成され、第1の半導体層と電気的に接続される第1の電極配線と、
基板主面上に形成され、第2の半導体層と電気的に接続される第2の電極配線と、
基板上に形成され、レーザ光を発光する発光部とを含み、
第1の電極配線が第1の半導体層に電気的に接続される接触部は、発光部を中心とするπ/2ラジアン以上、πラジアン未満の範囲内に形成される、表面発光型半導体レーザ素子。 - 前記接触部は、発光部の中心から第1の距離だけ離間された近端半径r1と、発光部の中心から第2の距離だけ離間された遠端半径r2との略弧線に囲まれた領域である、請求項1に記載表面発光型半導体レーザ素子。
- 前記接触部は、交差する角度がπ/2ラジアンの略L字型を有する、請求項1に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 第1の電極配線は、前記接触部の略L字型に対応した略L字型の形状を有する、請求項3に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 第1の電極配線は、第1の電極パッドに接続され、第2の電極配線は、第2の電極パッドに接続され、第1の電極パッドと第2の電極パッドの中心間距離が100ミクロン以下であって、第1および第2の電極パッドが互いに基板主面上において重ならない、請求項1ないし4いずれか1つに記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 第1の電極配線が少なくとも4層以上の金属多層膜からなる、請求項1ないし5いずれか1つに記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 第1の半導体層は、Al組成の異なるAlGaAs層を積層した第1の反射層を含み、第2の反射層は、Al組成の異なるAlGaAs層を積層した第2の反射層を含む、請求項1に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 前記接触部は、第1の半導体層に形成された開口を含み、第1の電極配線は、当該開口を介して第1の反射層のAlGaAs層に電気的に接続される、請求項7に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 第1の半導体層は、AlGaAs層よりも不純物濃度が高い第1導電型のGaAsバッファ層を含み、第1の電極配線は、前記開口を介してバッファ層に電気的に接続される、請求項8に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 発光部は、円筒状のメサを含み、メサ頂部には中央に開口部を含む電極が形成され、当該電極は第2の電極配線に接続される、請求項1に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- メサは、少なくとも第2の半導体層を含み、第2の半導体層は、メサ側面から酸化された酸化領域と当該酸化領域によって囲まれた導電領域を有する電流狭窄層を含む、請求項9に記載の表面発光型半導体レーザ素子。
- 請求項1ないし10いずれか1つに記載の表面発光型半導体レーザ素子と、表面発光型半導体レーザ素子を搭載するマウント部材と、マウント部材を搭載する基台とを有し、マウント部材上には第1および第2の伝送線路が形成され、第1および第2の伝送線路がそれぞれ第1および第2の電極パッドに電気的に接続される、半導体レーザ装置。
- 請求項12に記載された半導体レーザ装置と光学部材を実装したモジュール。
- 請求項13に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を光媒体を介して送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項13に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項13に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信システム。
- 請求項13に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
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