JP5075292B2 - 電子素子、面発光レーザ、面発光レーザアレイ、光源、および光モジュール - Google Patents
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Description
特許文献1 米国特許第6750071号明細書
特許文献2 特開2004−103754号公報
非特許文献1 S.Sekiguchi, et al., Jpn. J. Appl. Phys., Vol.36, pp.2638-2639 (1997)
図1は、本発明の実施の形態1に係る光源100の構成を模式的に示した図である。図1に示すように、この光源100は、電子素子の一例である面発光レーザ101と、面発光レーザ101を制御する制御器102とを備える。図2は、図1に示す面発光レーザ101のA−A線要部断面図である。
つぎに、本実施の形態1に係る光源100の製造方法の一例について説明する。まず、MBE、ガスソースMBE、MOCVD等の公知の成長方法を用いて、表面にアンドープGaAsバッファ層を積層したn型GaAs基板1上に、下部DBRミラー2、n型コンタクト層3、n型クラッド層5、活性層6、p型クラッド層7、下部組成傾斜層8、電流狭窄層9を形成するためのAl1−xGaxAsからなるAl含有層、上部組成傾斜層10、p型スペーサ層11、p型高導電率層12、p型スペーサ層13、p型コンタクト層14を順次積層形成する。
つぎに、DBRミラーの容量についてより具体的に説明する。まず、Al0.9Ga0.1Asからなる低屈折率層とGaAsからなる高屈折率層との40.5ペアの周期構造で構成された、80μm×80μmのサイズのDBRミラーの容量を、キャリア濃度の設定値を変えながら計算した。この計算の際には、計算1として低屈折率層および高屈折率層の導電型が互いに異なる場合(すなわちいずれか一方がp型、もう一方がn型)と、計算2として低屈折率層および高屈折率層がいずれもp型である場合と、を計算した。なお、キャリア濃度については、ペアとなる低屈折率層および高屈折率層で同じキャリア濃度としている。また、各屈折率層の厚さについては、波長λを1100nmとして、λ/4nとしている。
つぎに、実施の形態1の変形例に係る光源100を説明する。実施の形態1の変形例に係る光源100は、図1及び図2に示した構成を有し、下部DBRミラー2以外は、実施の形態1に係る光源100と同じ構成を有する。実施の形態1の変形例に係る光源100の下部DBRミラー2は、n型GaAs基板1上にアンドープGaAsバッファ層を介して形成される。下部DBRミラー2は、半導体多層膜ミラーで形成される。下部DBRミラー2を形成する半導体多層膜ミラーは、p型のAl0.9Ga0.1Asで形成された第1低屈折率層である低屈折率層2a、及び、n型のGaAsで形成された第1高屈折率層である高屈折率層2bの、周期構造で形成される。下部DBRミラー2は、低屈折率層2aと高屈折率層2bとのペアを1ペアとすると、例えば、40.5ペアの低屈折率層2aと高屈折率層2bとを有する。また、低屈折率層2aおよび高屈折率層2bの厚さは、いずれも、λ/4n(λ:発振波長、n:屈折率)である。一例として、低屈折率層2aのp型キャリア濃度は1×1016cm−3であり、高屈折率層2bのn型キャリア濃度は1×1015cm−3である。低屈折率層2a及び高屈折率層2bは、いずれも、p型のドーパント及びn型のドーパントを意図的にドープせずに形成される。
つぎに、本発明の実施の形態2として、本発明の面発光レーザを用いた、光インターコネクション用の信号光源等に用いられる面発光レーザアレイ装置について説明する。図7は、実施の形態2に係る面発光レーザアレイ装置の模式的な斜視図である。図7に示すように、この面発光レーザアレイ装置200は、CLCC(Ceramic Leaded Chip Carrier)と呼ばれる周知のフラットパッケージ201に、面発光レーザアレイチップ210が実装されたものである。なお、面発光レーザアレイチップ210は、不図示の配線によって金属キャスター(電極)202と接続している。
本発明の実施の形態3として、本発明の面発光レーザを備えた光源であり、光インターコネクション用の信号光源等に用いられる面発光レーザパッケージについて説明する。図9は、本実施の形態3に係る面発光レーザパッケージの模式的な断面図である。図9に示すように、この面発光レーザパッケージ300は、本発明の面発光レーザ312、面発光レーザ312を載置する基板311、基板311に設けられた電極313、および面発光レーザ312と電極313とを接続するワイヤ314を備える面発光レーザモジュール310と、面発光レーザモジュール310を収容するハウジング320と、面発光レーザモジュール310の上方に設けられ、アーム324によってハウジング320に保持されたレンズ323と、ハウジング320上部に設けられた光ファイバマウント321と、光ファイバマウント321に挿通保持された光ファイバ322とを備えている。電極313は、面発光レーザモジュール310の発光状態を制御するための外部の制御回路(図示しない)に電気的に接続している。なお、面発光レーザ312としては、たとえば実施の形態1に係る面発光レーザ101を使用することができる。
つぎに、本発明の実施の形態4として、本発明の面発光レーザを備えた光源であり、光記憶媒体の書き込み/読み出し装置に用いられる光ピックアップについて説明する。図10は、本実施の形態4に係る光ピックアップの模式的な一部断面図である。図10に示すように、この光ピックアップ301は、本発明の面発光レーザ332、面発光レーザ332を載置する基板331、基板331に設けられた電極333、基板331に載置された駆動IC334、面発光レーザ332と駆動IC334と電極333とを順次接続するワイヤ335、およびこれらの要素を封止する樹脂336からなる面発光レーザモジュール330と、面発光レーザモジュール330の上方に設けられたハーフミラー340と、面発光レーザモジュール330とハーフミラー340との間に設けられた回折格子341と、ハーフミラー340と光記憶媒体360との間に設けられたレンズ342と、ハーフミラー340を挟んで光記憶媒体360とは反対側に設けられた光センサ350とを備えている。
本発明の面発光レーザおよび面発光レーザアレイは、光導波路と組み合わせて様々な光モジュールを構成することができる。以下では、本発明の実施の形態5として、本発明の面発光レーザを用いた光モジュールである光送受信モジュールについて説明する。図11は、本実施の形態5に係る2つの光送受信モジュール400A、400Bが、2本の光導波路410A、410Bを介して接続している状態を示す模式的な平面図である。図11において、光送受信モジュール400Aは、保持部材401Aと、保持部材401A上に設けられた各要素、すなわち、光ファイバ等の光導波路410A、410Bを載置してこれらの位置決めを行うためのスペーサ406A、光導波路410Aを介して光信号を送信する本発明の面発光レーザ402A、光導波路410Bを介して送信されてきた光信号を受信し電気信号に変換する受光素子403A、面発光レーザ402Aの発光状態を制御する駆動回路404A、および受光素子403Aが変換した電気信号を増幅する増幅回路405Aとで構成されている。面発光レーザ402Aは外部の制御部(図示しない)からの制御信号によって駆動回路404Aを介して発光制御される。また、受光素子403Aが変換した電気信号は増幅回路405Aを介して制御部へ送信される。なお、煩雑さを避けるために、駆動回路404Aと面発光レーザ402Aおよび増幅回路405Aと受光素子403Aのワイヤボンディングは記載を省略している。
つぎに、本発明の実施の形態6として、本発明の面発光レーザおよび面発光レーザアレイを用いた光通信システムについて説明する。図16は、本実施の形態6に係る波長多重伝送システムの模式的な構成図である。図16に示すように、この波長多重伝送システム500は、コンピュータ、ボードあるいはチップ等である信号生成処理手段501と、信号生成処理手段501と電気配線508A、508Bで接続し、CPU、MPU、波長制御回路等から構成される通信制御回路502と、通信制御回路502とそれぞれ電気配線509A、509Bで接続した面発光レーザアレイ503および受光素子集積部504と、面発光レーザアレイ503と光ファイバアレイ510Aで接続した波長多重光合波器505と、受光素子集積部504と光ファイバアレイ510Bで接続した波長多重光分波器506と、波長多重光合波器505および波長多重光分波器506のそれぞれと1本の光ファイバ511A、511Bで接続したネットワーク、PC、ボード、チップ等である通信対象507とを備える。なお、面発光レーザアレイ503は、発振波長が互いに異なる本発明の面発光レーザを1次元的または2次元的に配列したものである。
2 下部DBRミラー
2a 低屈折率層
2b 高屈折率層
3 n型コンタクト層
4 n側電極
5 n型クラッド層
6 活性層
6a 量子井戸層
6b 障壁層
7 p型クラッド層
8 下部組成傾斜層
9 電流狭窄層
9a 開口部
9b 選択酸化層
10 上部組成傾斜層
11、13 p型スペーサ層
12 p型高導電率層
14 p型コンタクト層
15 p側電極
16 上部DBRミラー
17 n側引出電極
18 p側引出電極
100 光源
101、206、312、332、402A、402B 面発光レーザ
102 制御器
200 面発光レーザアレイ装置
201 フラットパッケージ
202 金属キャスター
203 電極パッド
205 面発光レーザアレイ部
210 面発光レーザアレイチップ
300 面発光レーザパッケージ
301 光ピックアップ
310、330 面発光レーザモジュール
313、333 電極
314、335 ワイヤ
320 ハウジング
321 光ファイバマウント
322、511A、511B 光ファイバ
323、336a、342 レンズ
324 アーム
334 駆動IC
336 樹脂
340 ハーフミラー
341 回折格子
350 光センサ
360 光記憶媒体
400A、400B 光送受信モジュール
401A、401B 保持部材
403A、403B 受光素子
404A、404B 駆動回路
405A、405B 増幅回路
406A、406B スペーサ
410A、410B 光導波路
411A 反射膜
412A 溝
420 ミラーアセンブリ
421 反射面
431 光ファイバ心線
500 波長多重伝送システム
501 信号生成処理手段
502 通信制御回路
503 面発光レーザアレイ
504 受光素子集積部
505 波長多重光合波器
506 波長多重光分波器
507 通信対象
508A、508B、509A、509B 電気配線
510A、510B 光ファイバアレイ
l1〜l3 線
L1〜L3 レーザ信号光
L4 反射信号光
L6 光信号
P 経路
Claims (15)
- 第1半導体層と第2半導体層との周期構造で構成される半導体多層構造を備える電子素子であって、前記半導体多層構造の少なくとも一部において、前記第1半導体層と前記第2半導体層とが互いに異なる導電型を有し、
前記第1半導体層と前記第2半導体層とが互いに異なる屈折率を有しており、前記半導体多層構造は多層膜反射鏡として機能することを特徴とする電子素子。 - 第1低屈折率層と該第1低屈折率層より高い屈折率を有する第1高屈折率層との周期構造で構成される下部半導体多層膜反射鏡と、第2低屈折率層と該第2低屈折率層より高い屈折率を有する第2高屈折率層との周期構造で構成される上部多層膜反射鏡と、
前記下部半導体多層膜反射鏡と前記上部多層膜反射鏡との間に設けられた活性層と、
前記活性層と前記下部半導体多層膜反射鏡との間に設けられ、前記活性層に電流を供給するための下部電極が形成された下部コンタクト層と、
を備え、
前記下部半導体多層膜反射鏡の少なくとも一部において、前記第1低屈折率層と前記第1高屈折率層とが互いに異なる導電型を有することを特徴とする面発光レーザ。 - 前記互いに異なる導電型を有する第1低屈折率層と第1高屈折率層とにおけるp型およびn型のキャリア濃度が、いずれも1×1017cm−3より小さいことを特徴とする請求項2に記載の面発光レーザ。
- 前記下部半導体多層膜反射鏡は、炭素を取り込む性質を有する元素を含むことを特徴とする請求項2または3に記載の面発光レーザ。
- 前記炭素を取り込む性質を有する元素はアルミニウム(Al)であることを特徴とする請求項4に記載の面発光レーザ。
- 前記下部半導体多層膜反射鏡において、前記第1低屈折率層がAlGaAsからなり、前記第1高屈折率層が(Al)GaAsからなることを特徴とする請求項2から5のいずれか一つに記載の面発光レーザ。
- 前記下部半導体多層膜反射鏡において、前記第1低屈折率層がAlGaInPからなり、前記第1高屈折率層が(Al)GaInPからなることを特徴とする請求項2から5のいずれか一つに記載の面発光レーザ。
- 前記下部半導体多層膜反射鏡において、前記第1低屈折率層がInPからなり、前記第1高屈折率層がAlGaInAsからなることを特徴とする請求項2から5のいずれか一つに記載の面発光レーザ。
- 前記上部多層膜反射鏡と前記活性層との間に設けられ、Al1−xGaxAs(0≦x<0.2)からなる電流注入部と選択酸化によって形成された(Al1−xGax)2O3からなる電流狭窄部とを有する電流狭窄層と、
前記上部多層膜反射鏡と前記電流狭窄層との間に設けられ、前記活性層に電流を供給するための上部電極が形成された上部コンタクト層と、
前記上部コンタクト層と前記電流狭窄層との間に設けられ、前記上部コンタクト層より高い導電率を有する高導電率層と、
を備えることを特徴とする請求項2から8のいずれか一つに記載の面発光レーザ。 - カットオフ周波数が20GHz以上であることを特徴とする請求項2から9のいずれか一つに記載の面発光レーザ。
- 前記第1低屈折率層および前記第1高屈折率層は、いずれも、p型のドーパント及びn型のドーパントを意図的にドープせずに形成された請求項3から10のいずれか一項に記載の面発光レーザ。
- 前記第1低屈折率層および前記第1高屈折率層のうち、n型の導電型を有する層は、n型のドーパントを意図的にドープして形成された請求項3から10のいずれか一項に記載の面発光レーザ。
- 請求項2から12のいずれか一つに記載の面発光レーザが1次元または2次元のアレイ状に配列されたものであることを特徴とする面発光レーザアレイ。
- 請求項2から12のいずれか一つに記載の面発光レーザまたは請求項13に記載の面発光レーザアレイと、
前記面発光レーザまたは前記面発光レーザアレイに変調信号を印加する制御器と、
を備えることを特徴とする光源。 - 請求項2から12のいずれか一つに記載の面発光レーザ、請求項13に記載の面発光レーザアレイ、または請求項14に記載の光源を備えることを特徴とする光モジュール。
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