JP2008037687A - ガラス基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 所定の処理が施された大型矩形のガラス基板を複数枚の小型矩形のガラス基板に分割した場合に、直角度や直線性等の適正性の管理を容易化しつつ、分割後のガラス基板に対する後続処理を正確に行わせるようにする。
【解決手段】 複数箇所の分割前支持ポイントＡ１〜Ａ３で位置決め支持された矩形をなすガラス基板１に所定の処理Ｓａ〜Ｓｆを施した後、そのガラス基板１を複数枚の矩形をなすガラス基板に分割し、分割後のガラス基板を複数箇所の分割後支持ポイントで位置決め支持して所定の後続処理を施すガラス基板の製造方法であって、位置決め支持された状態にある分割前のガラス基板１における長辺２および／または短辺３に対して、分割後のガラス基板における分割後支持ポイントとなるべき箇所Ｂ１〜Ｂ４のみの適正性管理を行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス基板の製造方法に係り、詳しくは、所定の処理が施された矩形のガラス基板を複数枚に分割し、分割後のガラス基板に所定の後続処理を施すに際して、分割後のガラス基板を適正に位置決め支持するための技術に関する。

周知のように、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットディスプレイパネルに使用されるガラス基板は、その表面に微細な電極あるいは隔壁などの素子や構造体が形成される。この場合、フラットディスプレイパネルの映像表示部は矩形を呈すると共に、上記の素子や構造体も映像表示部の形状に合致するように形成する必要があることから、この種のガラス基板は矩形を呈している。

そして、ガラス基板に素子や構造体を形成するに際しては、当該ガラス基板を、その各辺（長辺および／または短辺）における所定の支持ポイントを基準として位置決め支持した状態で、ガラス基板に素子等を形成することが行われる。この場合、ガラス基板に対する素子等の形成は、複数の工程で行われるのが通例であり、ガラス基板は各工程毎に別々に位置決め支持されるようになっているのが実情である。このため、各工程間でガラス基板の位置決めに狂いが生じていると、素子等の形成が工程の別異に応じて相互間でズレを生じ、最終的にフラットパネルディスプレイが正常な映像を表示できなくなるという致命的な欠陥を招来する。

そこで、本発明者等は従来より、以下に示すような手法で、ガラス基板の位置決め支持を行っていた。すなわち、図４に示すように、ガラス基板１１の長辺１２と短辺１３との直角度を測定して管理すべく、長辺１２をＡ、Ｂで示す２点で支持する共に、短辺１３の最上端付近をＣで示す１点で支持しておき、このような状態の下で、Ａ点およびＢ点を結ぶ直線に対してＣ点から下ろした垂線が交わる点を零点とする理想直角座標を設定する。そして、Ｃ点とは反対側に存する最下端付近にポイントＤを設定し、このポイントＤの理想座標からのＸ方向のズレを直角度として管理している。したがって、このズレが管理範囲（許容範囲）に入っていれば、直角度が適正であると見做し、実際にガラス基板１１の長辺１２を２点、短辺１３を１点の所謂３点支持でガラス基板１１を位置決めしつつ、各工程毎に素子等を順次形成していくことが行われる。

更に、上記の直角度が管理範囲に入っていても、位置決め支持するに際して位置決めピン等が接触するガラス基板１１の長辺１２および短辺１３の直線性が適正でなければ、上記のようにガラス基板１１を３点支持した場合に、長辺１２上および短辺１３上の支持点が正規の位置から偏倚し、ガラス基板１１の姿勢に狂いが生じる。したがって、上記の直角度とは別に、長辺１２および短辺１３の直線性が適正と見做せるか否かの管理をも行っていた。

一方、近年においては、フラットディスプレイパネルの生産効率を向上させるため、大型の矩形をなすガラス基板に複数台分のフラットディスプレイパネルの素子や構造体を規則性をもって形成した後、この大型のガラス基板を矩形に分割するマルチ採りと称される手法が採用されるに至っている。加えて、この大型のガラス基板を分割するに際して、分割の工程（切断の工程）を減少させるために、分割前のガラス基板の端面（長辺および短辺）を分割後のガラス基板の端面として利用する所謂ジャストサイズによるマルチ採りの採用が増加の一途を辿っている（例えば、下記の特許文献１参照）。

このジャストサイズによるマルチ採り手法によれば、大型のガラス基板が上述のように長辺および短辺の計３点で位置決め支持された状態で、そのガラス基板に一度に複数台分のフラットディスプレイパネルの素子や構造体を形成することが行われる。そして、多くの場合、この大型のガラス基板が分割された後に、その分割後の矩形をなすガラス基板に対しても後続の素子や構造体の形成が行われる。

特開２０００−１６８４０号公報

ところで、上述のように、ジャストサイズによるマルチ採り手法を採用して、大型のガラス基板を分割することにより得られた分割後のガラス基板に対して、後続の素子や構造体を形成するには、その分割後のガラス基板についても、新たに位置決め支持する必要がある。この位置決め支持を行う際には、既に図４に基づいて説明した通り、分割後のガラス基板の長辺と短辺との直角度が管理範囲に入っているか否か、並びにその長辺および短辺のそれぞれの直線性が管理範囲に入っているか否かを測定する必要がある。

そのため、複数枚に増加した個々の分割後のガラス基板に係る直角度および直線性の測定管理をそれぞれ行うための作業が極めて面倒且つ煩雑になり、作業時間の長期化ひいては作業能率の大幅な悪化を招くと共に、作業設備或いは測定器具も増加させねばならず、製作コストの高騰を招くおそれがある。

しかも、分割前のガラス基板に対する位置決め支持態様と、分割後のガラス基板に対する位置決め支持態様との相互間には、何ら関連性がないため、分割前にガラス基板に形成された素子や構造体の位置と、分割後のガラス基板に形成される素子や構造体の位置とを、相互間で高精度に合致させることは、極めて困難なものとなる。

本発明は、上記事情に鑑み、所定の処理が施された大型矩形のガラス基板を複数枚の小型矩形のガラス基板に分割した場合に、直角度や直線性等の適正性の管理を容易化しつつ、分割後のガラス基板に対する後続処理を正確に行わせるようにすることを技術的課題とする。

上記技術的課題を解決するために創案された本発明は、複数箇所の分割前支持ポイントで位置決め支持された矩形をなすガラス基板に所定の処理を施した後、該ガラス基板を複数枚の矩形をなすガラス基板に分割し、分割後のガラス基板を複数箇所の分割後支持ポイントで位置決め支持して所定の後続処理を施すガラス基板の製造方法であって、前記位置決め支持された状態にある分割前のガラス基板における長辺および／または短辺に対して、分割後のガラス基板における分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理を行うことに特徴づけられる。ここで、「適正性管理」とは、分割前のガラス基板の長辺と短辺との直角度が管理範囲（許容範囲）内にあるか否かや、長辺および短辺のそれぞれの直線性が管理範囲（許容範囲）内にあるか否か等のような適正性の管理を意味する。

このような構成によれば、分割前支持ポイントで位置決め支持された状態にある分割前の大型のガラス基板について、分割に先立って、その長辺および／または短辺における分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理が行われる。換言すれば、分割前のガラス基板の長辺および／または短辺における分割後支持ポイントとなるべき箇所だけの適正性管理を行えば済むことになる。そして、分割前のガラス基板について、分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理を行った結果、その箇所が適正であれば、分割後のガラス基板はその箇所で位置決め支持される。したがって、分割後のガラス基板のそれぞれについて、新たに一から長辺や短辺に係る直角度および直線性等の適正性管理を行う必要がなくなるため、面倒且つ煩雑な作業が不要となり、作業能率が大幅に向上する。しかも、分割前のガラス基板に所定の処理（例えば、微細な電極や隔壁等の素子或いは構造体の形成）が行われる段階で分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理が行われ、分割後には、その箇所で分割後のガラス基板の位置決め支持が行われた状態で、所定の後続処理が施される。したがって、分割後のガラス基板に後続処理が施される際には、分割前にガラス基板に既に施されていた処理との間で、位置関係が正確に合致することになり、正常な機能を有する映像面を形成することが可能となる。尚、上記の適正性管理を行うことにより、適正でないとの結果が得られた場合には、そのガラス基板は不良品として廃棄処分される。

この場合、分割後のガラス基板の位置決めに、分割前支持ポイントを分割後支持ポイントとして使用することができる。

このようにすれば、適正性管理を行う箇所が、分割前支持ポイントを分割後支持ポイントとして使用した箇所の数だけ減少することになり、更なる作業能率の向上が図られる。すなわち、分割前のガラス基板に対する適正性管理は、分割前支持ポイントで当該ガラス基板を位置決め支持した状態で行われるため、分割前支持ポイントに該当する箇所については適正性管理を行う必要がない。したがって、この分割前支持ポイントが分割後支持ポイントとして使用された場合には、その使用された分割前支持ポイントの数だけ適正性管理を行う箇所が削減されることになる。

また、分割前のガラス基板または分割後のガラス基板に対して、複数の工程で処理が施される場合には、当該ガラス基板は、全ての工程において同一の支持ポイントで位置決め支持されるものとすることができる。

このようにすれば、複数の工程でガラス基板に対して各種処理をそれぞれ別々に施す場合であっても、当該ガラス基板は常に同一の支持ポイントで位置決め支持されるため、ガラス基板上の処理を行う領域が工程の別異に応じてズレを生じることはなく、極めて適正な映像面を形成することが可能となる。

以上の製造方法において、分割前のガラス基板および分割後のガラス基板は、長辺の２箇所と短辺の１箇所との計３箇所の支持ポイントでそれぞれ位置決め支持されることが好ましい。

このようにすれば、ガラス基板を必要最小限の支持ポイントでガタツキなく安定した状態で位置決め支持することが可能となる。

また、以上の製造方法において、ガラス基板は、フラットディスプレイ用ガラス基板であることが好ましい。

このようにすれば、フラットディスプレイ用ガラス基板、特にＰＤＰ用のガラス基板やＬＣＤ用のガラス基板の近年における大型化に的確に対処することが可能となる。

以上のように本発明に係るガラス基板の製造方法によれば、分割前支持ポイントで位置決め支持された状態にある分割前のガラス基板について、分割に先立って、その長辺および／または短辺における分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理が行われた結果、その箇所が適正であれば、分割後のガラス基板はその箇所で位置決め支持される。したがって、分割後のガラス基板のそれぞれについて、新たに一から長辺や短辺に係る直角度および直線性等の適正性管理を行う必要がなくなるため、面倒且つ煩雑な作業が不要となり、作業能率が大幅に向上する。しかも、分割前のガラス基板に所定の処理が行われた段階で分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理が行われ、分割後には、その箇所で分割後のガラス基板の位置決め支持が行われた状態で所定の後続処理が施される。したがって、分割後のガラス基板に後続処理が施される際には、分割前にガラス基板に既に施されていた処理との間で、位置関係が正確に合致することになり、正常な機能を有する映像面を形成する上で極めて有利となる。

以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係るガラス基板の製造方法の実施状況を示す概略図である。尚、本実施形態は、矩形をなす１枚のガラス基板（例えば、ＰＤＰ用のマザーガラス）を６枚に分割する所謂６面採りを行う際に本発明を適用したものであり、図１に示す仮想線Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３は、切断すべきラインを示すものである。

同図に示すように、矩形をなす大型（例えば、横方向寸法が２０００ｍｍ、縦方向寸法が１７００ｍｍ）のガラス基板１は、長辺２が点Ａ１および点Ａ２で位置決めピンに接触し且つ短辺３が点Ａ３で位置決めピンに接触することにより、計３点で位置決め支持された状態にある。そして、このガラス基板１は、６つの領域１ａ〜１ｆに区分されている。

詳述すると、このガラス基板１は、長辺２については、左側最下段の領域１ａにおける左側寄り部位の点Ａ１と、右側最下段の領域１ｂにおける右側寄り部位の点Ａ２に接触支持され、短辺３については、左側最上段の領域１ｅにおける上側寄り部位の点Ａ３に接触支持されている。したがって、これらの３箇所の点Ａ１、Ａ２、Ａ３が、分割前支持ポイントとなる。

一方、このガラス基板１は、長辺２における２箇所の点Ｂ１、Ｂ２と、短辺３における２箇所の点Ｂ３、Ｂ４とのみが、適正性管理を受けるようになっている。そして、これらの適正性管理を受ける点Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４は、このガラス基板１を６枚に分割してなる分割後ガラス基板を位置決め支持する分割後支持ポイントとなるべき箇所に設定されている。

詳述すると、このガラス基板１は、長辺２については、左側最下段の領域１ａにおける右側寄り部位の点Ｂ１と、右側最下段の領域１ｂにおける左側寄り部位の点Ｂ２において適正性管理を受け、短辺３については、左側最下段の領域１ａにおける上側寄り部位の点Ｂ３と、左側中段の領域１ｃにおける上側寄り部位の点Ｂ４とにおいて適正性管理を受ける。

この場合において、上記の分割後支持ポイントに対応する各点Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４の適正性管理は、例えば以下のようにして行われる。

すなわち、ガラス基板１の長辺２における２点Ｂ１、Ｂ２の適正性管理については、長辺２における上述の分割前支持ポイントとなる２点Ａ１、Ａ２を結ぶ直線を基準として、この直線から２点Ｂ１、Ｂ２の上下方向のズレ量が管理範囲（許容範囲）内にあるか否かが測定される。これにより、ガラス基板１の長辺２における直線性の適否が、この２点Ｂ１、Ｂ２のみで管理される。また、ガラス基板１の直角度については、長辺２における上述の分割前支持ポイントとなる２点Ａ１、Ａ２を結ぶ直線に対して、短辺３の分割前支持ポイントとなる１点Ａ３から下ろした垂線が交わる点を零点とする理想直角座標を設定する。そして、短辺３における管理すべき２点Ｂ３、Ｂ４の理想座標からの横方向（同図左右方向）のズレ量が管理範囲（許容範囲）内にあるか否かが測定され、これにより直角度の適否が管理される。これと同時に、直角度が適正である場合には、短辺３の分割前支持ポイントとなる１点Ａ３から下ろした垂線（直線）に対する２点Ｂ３、Ｂ４の横方向のズレ量が管理範囲（許容範囲）内にあるか否かに応じて、短辺３の直線性の適否も管理される。

このような管理が行われた結果、ガラス基板１の長辺２および短辺３のそれぞれの直線性、並びに長辺２と短辺３との直角度が適正でなければ、そのガラス基板は不良品として取り扱われる。一方、これらが全て適正である場合には、６つの領域１ａ〜１ｆに、例えば透明電極パターン等の素子Ｓａ〜Ｓｆが形成され、然る後、ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３に沿って切断されることにより、６枚のガラス基板に分割される。

この分割後においては、ガラス基板１の左側最下段の領域１ａに存在していた分割後のガラス基板は、分割前支持ポイントであった点Ａ１が分割後支持ポイントとして共有されると共に、適正性管理がなされた長辺２の点Ｂ１および短辺３の点Ｂ３も分割後支持ポイントとして使用される。したがって、この分割後のガラス基板は、３点Ａ１、Ｂ１、Ｂ３によって位置決め支持される。

また、ガラス基板１の右側最下段の領域１ｂに存在していた分割後のガラス基板は、分割前支持ポイントであった点Ａ２が分割後支持ポイントとして共有されると共に、適正性管理がなされた長辺２の点Ｂ２も分割後支持ポイントとして使用される。更に、ガラス基板１の左側最上段の領域１ｅに存在していた分割後のガラス基板は、分割前支持ポイントであった点Ａ３が分割後支持ポイントとして共有されると共に、ガラス基板１の左側中段の領域１ｃに存在していた分割後のガラス基板は、適正性管理がなされた短辺３の点Ｂ４が分割後支持ポイントとして使用される。

以上のように、ガラス基板１を６枚に分割した後においては、その分割された全てのガラス基板について一から直角度や直線性等の測定管理をせずとも、分割前支持ポイントＡ１、Ａ２、Ａ３および既に適正性管理がなされた点Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４を有効利用して、分割後のガラス基板を位置決め支持できることになる。

尚、以上の説明では、分割前のガラス基板１の下辺となる長辺２および左辺となる短辺３のみに、適正性管理を行う計４点Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４を設定したが、図１に鎖線丸印で示すように、上辺となる長辺４の４点Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４および右辺となる短辺５の３点Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７においても追加的に、適正性管理をするようにしてもよい。また、以上の説明では、ガラス基板１を垂直姿勢で位置決め支持するようにしたが、これに代えて、ガラス基板１を水平姿勢で位置決め支持するようにしてもよい。

図２は、本発明の第２実施形態に係るガラス基板の製造方法の実施状況を例示している。この第２実施形態は、ガラス基板１を２枚に分割する所謂２面採りを行う際に、分割前支持ポイントとなる点Ａ１、Ａ２、Ａ３および適正性管理を行う点Ｂ５を設定したものである。この場合にも、ガラス基板１を２枚に分割した後に、３つの分割前支持ポイントＡ１、Ａ２、Ａ３を分割後支持ポイントとして使用できると共に、適正性管理を行った点Ｂ５を分割後支持ポイントとして使用することができる。

図３は、本発明の第３実施形態に係るガラス基板の製造方法の実施状況を例示している。この第３実施形態は、ガラス基板１を３枚に分割する所謂３面採りを行う際に、分割前支持ポイントとなる点Ａ１、Ａ２、Ａ３および適正性管理を行う点Ｂ６、Ｂ７、Ｂ８を設定したものである。この場合には、ガラス基板１を３枚に分割した後に、２つの分割前支持ポイントＡ１、Ａ３を分割後支持ポイントとして使用し、３つの適正性管理を行った点Ｂ６、Ｂ７、Ｂ８を分割後支持ポイントとして使用するものである。したがって、１つの分割前支持ポイントＡ２は、分割後支持ポイントとして使用しないが、本発明は、このような場合をも含むものである。

本発明の第１実施形態に係るガラス基板の製造方法の実施状況を示す概略図である。 本発明の第２実施形態に係るガラス基板の製造方法の実施状況を示す概略図である。 本発明の第３実施形態に係るガラス基板の製造方法の実施状況を示す概略図である。 従来例を示す概略図である。

符号の説明

１ ガラス基板
２ 長辺
３ 短辺
４ 長辺
５ 短辺
Ａ１〜Ａ３ 分割前支持ポイントおよび分割後支持ポイント
Ｂ１〜Ｂ８ 分割後支持ポイント
Ｃ１〜Ｃ７ 分割後支持ポイント
Ｌ１〜Ｌ３ 分割ライン
Ｓａ〜Ｓｆ 処理（素子）

Claims (5)

1. 複数箇所の分割前支持ポイントで位置決め支持された矩形をなすガラス基板に所定の処理を施した後、該ガラス基板を複数枚の矩形をなすガラス基板に分割し、分割後のガラス基板を複数箇所の分割後支持ポイントで位置決め支持して所定の後続処理を施すガラス基板の製造方法であって、
   前記位置決め支持された状態にある分割前のガラス基板における長辺および／または短辺に対して、分割後のガラス基板における分割後支持ポイントとなるべき箇所の適正性管理を行うことを特徴とするガラス基板の製造方法。
2. 分割後のガラス基板の位置決めに、分割前支持ポイントを分割後支持ポイントとして使用することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
3. 分割前のガラス基板または分割後のガラス基板は、複数の工程で処理が施されると共に、当該ガラス基板は、全ての工程において同一の支持ポイントで位置決め支持されることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板の製造方法。
4. 分割前のガラス基板および分割後のガラス基板は、長辺の２箇所と短辺の１箇所との計３箇所の支持ポイントでそれぞれ位置決め支持されることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のガラス基板の製造方法。
5. 前記ガラス基板は、フラットディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のガラス基板の製造方法。

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