KR20070108597A

KR20070108597A - 기판 스크라이브 장치 및 그 방법

Info

Publication number: KR20070108597A
Application number: KR1020060040845A
Authority: KR
Inventors: 장희동
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2006-05-08
Filing date: 2006-05-08
Publication date: 2007-11-13
Also published as: KR100863439B1

Abstract

멀티 헤드로 구성된 스크라이브 장치를 이용하여 모기판을 신속 정확하게 절단하기 위한 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 다수의 자기판으로 분할되는 모기판을 반송하는 기판 반송수단; 상기 기판 반송수단 상에 XY방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 모기판에 다수의 스크라이브 라인을 형성하는 다수의 스크라이브 수단; 및 상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 상대적으로 이동시켜 주는 이동 수단으로 구성된다.

스크라이브 라인을 형성할 때에 교차하는 부분을 최소화함으로써 기판의 파티클 및 버르(Burr)의 발생량을 저감하고, 모기판에 형성되는 자기판이 이송 중에 패널 분리 최소화가 달성되어 픽업시 더미가 패널에 붙는 현상을 방지할 수 있다는 효과를 제공한다.

모기판, 자기판, 멀티 헤드

Description

기판 스크라이브 장치 및 그 방법{Apparatus And Method for Scribing Substrate}

도 1은 기판 절단 공정을 설명하기 위한 예시도.

도 2는 종래의 스크라이브 장치를 설명하기 위한 정면도.

도 3은 종래의 스크라이브 장치에 의한 기판의 절단 과정을 설명하기 위한 평면도.

도 4는 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치의 구성을 설명하기 위한 사시도.

도 5는 본 발명에 따라 기판의 절단 과정을 설명하기 위한 모기판의 평면도.

도 6은 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에서 헤드의 실시예를 설명하기 위한 정면도.

도 7은 본 발명에 따른 멀티 헤드를 이용한 스크라이브 방법을 설명하기 위한 순서도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

42 : 베이스 44 : 갠트리

46 : 헤드 48 : 커팅 휠

50 : 모기판 53 : 자기판

본 발명은 기판 스크라이브 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 멀티 헤드로 구성된 스크라이브 장치를 이용하여 모기판을 신속 정확하게 절단하기 위한 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device, LCD)는 비금속 기판, 즉 취성 기판을 이용한다.

상기 비금속 기판은 충격에 약하여 깨지기 쉬운 단점을 가지지만, 한 매의 대형 유리 기판에 복수개의 LCD 단위 셀을 형성한 후 개별화하기가 매우 쉬운 장점을 제공하는 양면성을 갖는다.

이와 같은 비금속 기판의 절단 기술은 제품의 양산성 및 제품 수율에 많은 영향을 미치는 요인으로 작용한다.

보다 구체적으로 상기 액정표시장치의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 모기판(mother board; 3)이라 불리는 대형 유리기판에 적어도 2개 이상의 LCD 단위셀(4)이 동시에 형성된다.

한 장의 모기판(3)에 적어도 2개 이상의 LCD 단위셀(4)의 제작이 완료된 후, LCD 단위셀(4)을 개별화 공정에 의하여 모기판(3)으로부터 개별화시킨다. 그런 다음, 완전한 액정표시장치가 되도록 어셈블리 공정이 진행된다.

개별화 공정은 다른 공정과 비교하였을 때, 매우 중요한 비중을 갖는다. 이는 개별화 공정이 제품 생산의 거의 마지막 단계에 속하므로 개별화 공정에서의 불량은 직접적으로 수율을 떨어뜨리는 결과를 초래한다.

즉, 액정표시장치에 사용되는 유리 기판은 비결정질 기판이기 때문에 취성(Brittleness)이 매우 높아 절단 과정에서 에지에 형성된 미세 크랙이 응력이 취약한 곳을 따라 급속히 전파되어 원하지 않는 부분이 절단되는 등 개별화 공정 중 불량이 속출하기 때문에 각별한 주의를 필요로 한다.

상기와 같이 모기판을 절단하기 위한 기술로 2004년 1월 31일에 공개된 특허공개번호 제 10-2004-10678호의 도 19에 소개되어 있다.

상기 특허공개번호 제 10-2004-10678호의 도 19에 소개되어 있는 스크라이브 장치는 도 2에 나타낸 바와 같이, 로딩된 기판(30)이 진공흡착수단과 같은 고정 수단에 의해 고정되어 회전하는 스테이지(20)와, 상기 스테이지(20)를 Y방향으로 이동시켜 주는 한 쌍의 안내 레일(21)과, 상기 안내 레일(21)을 따라 상기 스테이지(20)를 이동시켜 주는 볼 스크류(22)와, X 방향을 따라 상기 스테이지(20) 위에 가설된 가이드 바(23)와, X 방향으로 슬라이딩 가능하게 상기 가이드 바(23)에 설치된 다수의 스크라이브 헤드(26)와, 상기 스크라이브 헤드(26)를 슬라이딩시키는 모터(24)와, 상기 스크라이브 헤드(26)의 하부로 승강이동이 가능하고 동시에 좌우로 회전할 수 있도록 설치되는 팁 홀더(27)와, 상기 팁 홀더(27)의 하단에 회전 가능하게 장착되는 커터 휠 팁(28)과, 상기 가이드 바(23)의 상방에 설치되어 상기 스테이지(20) 상의 기판(30)에 형성되어 있는 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 인식하는 한 쌍의 카메라로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 스크라이브 장치로 도 3에 나타낸 바와 같은 2개의 블록(32, 36)으로 구분되며, 각각의 블록(32, 36)이 다수의 자기판(33)으로 분리되는 모기판(30)을 절단하기 위해서는, 먼저 1-A점과 1-H점을 표시하는 정렬 마크를 판독하고, 헤드의 커팅 좌표를 보정한 후에 상기 1-A점과 1-H점을 연결하는 스크라이브 라인(가로; 34)을 형성하고, 같은 방식으로 10-A점과 10-H점의 스크라이브 라인(34)을 형성하여 상기 모기판(30)에 다수의 가로줄을 형성한다.

그리고, 상기 스테이지(20)를 90도 회전시켜서 1-A점과 10-A점의 스크라이브 라인(세로; 35)을 형성하고, 같은 방식으로 1-H점과 10-H점의 스크라이브 라인(35)을 형성하여 상기 모기판(30)에 다수의 세로줄을 형성한다.

그런데, 상기와 같이 이루어진 종래의 스크라이브 장치는 가로 및 세로 스크라이브 라인이 교차하는 부분에서는 스크라이브 작업에 따른 다량의 유리 파티클이 발생하고, 각 블록(32, 36)이 상기 모기판(30)으로부터 분리되어 있기 때문에 브레이크 장치로 이송되는 도중에 자기판(33)이 분리되거나, 분리된 자기판(33)의 충돌로 인하여 깨지거나 다량의 유리 파티클이 발생되고, 파티클을 제거하기 위한 별도의 세정공정 및 건조공정을 필요로 하는 문제점이 있다.

상기와 같은 팁 휠을 이용한 스크라이브 장치의 문제점을 해소하기 위해 레이저 절단 장치들이 개발되어 사용되고 있으나, 레이저 절단 장치는 고가이면서 운용 비용이 증가되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 다수의 자기판으로 분할되는 모기판을 적당한 수의 자기판으로 구성되는 블록으로 구분하여 분할함으로써 절단 불량을 해소할 수 있는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 다수의 헤드를 이용하여 모기판을 최소의 공정수로 다수의 자기판으로 분할함으로써 생산성을 높여 주는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치는 다수의 자기판으로 분할되는 모기판을 반송하는 기판 반송수단, 상기 기판 반송수단 상에 XY방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 모기판에 다수의 스크라이브 라인을 형성하는 다수의 스크라이브 수단 및 상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 상대적으로 이동시켜 주는 이동 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이브 수단은 다수의 헤드 및 커팅 휠로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이브 수단은 일체화된 헤드와 상기 헤드에 장착된 다수의 커팅 휠로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제어부는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 상기 모기판에 형성된 정렬 마크를 판독하는 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제어부는 상기 카메라를 통해 상기 정렬 마크를 판독하여 상기 스크라이브 수단의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제어부는 상기 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하고, 상기 각 블록 내의 자기판 사이에서만 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제어부는 상기 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하고, 상기 다수의 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 다수의 스크라이브 라인을 어느 한 방향으로 형성하고, 상기 다수의 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 재설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 다수의 스크라이브 라인을 다른 한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 스크라이브 방법은 (a) 모기판을 미리 설정된 수의 자기 판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하는 단계, (b) 상기 모기판에 형성되는 다수의 스크라이브 라인의 정렬 마크에 맞게 다수의 스크라이브 수단의 간격을 설정하는 단계, (c) 다수의 스크라이브 라인이 상기 각 블록 내에서만 연장되게 X방향 또는 Y방향으로 스크라이브를 실행하는 단계, (d) 상기 다수의 스크라이브 수단이 X방향 또는 Y방향으로 스크라이브를 실행한 후 미리 설정된 간격으로 Y방향 또는 X방향으로 상기 다수의 스크라이브 수단을 재설정하는 단계 및 (e) 다수의 스크라이브 라인이 상기 각 블록 내에서만 연장되게 Y방향 또는 X방향으로 스크라이브를 실행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계 또는 상기 (d) 단계 및 상기 (e) 단계는 상기 모기판에 형성되는 상기 자기판의 수와 상기 스크라이브 수단의 수에 따라 적어도 1번 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 기판 스크라이브 장치는 다수의 자기판으로 분할되는 모기판을 반송하는 기판 반송수단; 상기 기판 반송수단 상에 XY방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 모기판에 다수의 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 수단; 상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 상대적으로 이동시켜 주는 이동 수단; 및 상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 스크라이브 수단은 하나의 헤드와 상기 헤드에 장착된 커팅 휠로 구성되고, 상기 제어부는 상기 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하고, 상기 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 설정하여 상기 각 블 록 내에서만 연장된 스크라이브 라인을 어느 한 방향으로 형성하고, 상기 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 재설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 스크라이브 라인을 다른 한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.

(실시예)

본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치 및 그 방법에 대하여 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

첨부한 도면, 도 4는 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치의 구성을 설명하기 위한 사시도, 도 5는 본 발명에 따라 기판의 절단 과정을 설명하기 위한 모기판의 평면도, 도 6은 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치에서 헤드의 실시예를 설명하기 위한 정면도, 도 7은 본 발명에 따른 멀티 헤드를 이용한 스크라이브 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치는 예를 들어 도 4에 나타낸 바와 같이, 베이스(42)에 마련되어 절단될 모기판(50)을 반송하는 기판 반송수단, 상기 기판 반송수단 위에 이동 가능하게 설치되는 갠트리(44), 상기 갠트리(44)에 XY방향으로 이동 가능하게 설치되는 다수의 헤드(46) 및 커팅 휠(48)로 구성되며, 상기 갠트리(44)는 상기 베이스(40)의 양측면에 설치된 갠트리 가이드를 통해 이동 가능하게 설치된다.

또한, 상기 기판 반송수단 위에는 상기 모기판(50)를 촬영하는 카메라(도시 생략)이 설치되고, 상기 카메라와 상기 기판 반송수단 그리고 상기 갠트리 및 상기 헤드(46)는 제어부(도시 생략)에 의해 제어된다.

그리고, 상기 기판 반송수단에 로딩되어 상기 다수의 커팅 휠(48)에 의해 스크라이브 라인이 형성되는 상기 모기판(50)에는 도 5에 나타낸 바와 같이, 좌우로 제 1블록(52)과 제 2블록(56)으로 구분되며, 상기 제 1블록(52)과 제 2블록(56)은 각각 2 ×5의 배열의 자기판(53)을 포함하고 있다.

물론, 상기 모기판(50)의 크기는 임의로 설정한 것이며, 경우에 따라서는 상기 블록(52)의 수와, 상기 블록(52)을 구성하는 자기판(53)의 수는 달라질 수 있다.

한편, 도 4 및 도 6에 예시한 갠트리(44), 헤드(46) 및 커팅 휠(48)은 도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이 각각 커팅 휠(48)이 장착된 상기 헤드(46)가 상기 갠트리(44)에 XY방향으로 이동 가능하게 장착되어 상기 제어부에 의해 각각의 위치 및 서로간의 간격이 제어된다.

반면, 도 6의 (B)에 나타낸 실시예는 다수의 커팅 휠(48a)이 XY방향으로 이동 가능하게 장착된 헤드(46a)가 갠트리(44a)에 장착된 구조로 이루어진다.

따라서, 도 6의 (A)에 나타낸 실시예는 갠트리(44)에 이동 가능하게 장착된 헤드(46)를 제어하여 각 커팅 휠(48)간의 간격을 조정하며, 도 6의 (B)에 나타낸 실시예는 일체로 이루어진 헤드(46a)에 이동 가능하게 장착된 각 커팅 휠(48a)의 간격을 조정한다.

도 6에 있어서는 헤드(46)(46a)를 5개로 나타낸 구성에 대해 도시하였지만 헤드(46)(46a)의 구조는 이에 한정되는 것이 아니며 자기판(53)의 형성조건에 따라 임의로 가감할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치를 이용하여 상기 모기판(50)을 절단하는 과정을 도 5 및 도 7을 참조하여 설명한다.

먼저, 상기 모기판(50)에는 자체 크기와 상기 자기판(53)의 크기를 고려하여 스크라이브 라인의 형성 위치를 미리 설정하기 위한 정렬 마크가 X축 방향과 Y축 방향으로 형성되어 있다.

상기와 같이 정렬 마크가 형성된 상기 모기판(50)이 상기 베이스(42)에 로딩되면(S 10), 상기 제어부는 상기 카메라를 통하여 상기 정렬 마크의 X축 방향 위치를 판독하여, 상기 헤드(46)의 간격을 도 5의 1, 2, 3, 4,5의 위치 및 간격을 보상하며 조정한다(S 11).

여기서, 상기 헤드(46)의 수와 구조는 도 4 및 도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이, 5개의 헤드(46) 및 5개의 커팅 휠(48)을 기준으로 설명한다.

그리고, 상기 제어부는 상기 헤드(46)와 상기 갠트리(44)를 제어하여, 도 5의 H-1점 H-2점, H-3점, H-4, H-5점부터 스크라이브 라인을 형성한다.

이때, 스크라이브 라인의 시작점은 상기 H-1점 H-2점, H-3점, H-4, H-5점으로부터 약간 좌측으로 벗어난 지점부터 시작하여 스크라이브 라인을 형성하는데, 상기 제 1블록(52)의 구역 내에서만 1차로 형성하고, 상기 제 1블록(52)과 제 2블 록(56) 사이에서는 스크라이브 라인을 형성하지 않고, 제 2블록(56)의 구역에서만 다시 스크라이브 라인을 2차로 형성한다(S12). 이후 상기 제어부는 상기 모기판(50)의 스크라이브 작업이 완료되었는가 판단한다(S13).

상기 모기판(50)의 절단이 완료되지 않으면 이어서, 상기 갠트리(44)를 X축의 H점으로 복귀시켜서 상기 헤드(46) 또는 (46a)의 위치 및 간격을 H-6점, H-7점, H-8점, H-9점, H-10점 위치로 조정하여 상기 과정과 같이 스크라이브 라인을 형성한다.

이때, 상기 설명과 같이 상기 갠트리(44)를 X축의 H점으로 이동시키지 않고, A-5점, A-6점, A-7점, A-8점, H-9점, H-10점 위치로 조정하여 스크라이브 라인을 형성할 수도 있다.

상기와 같은 과정을 통하여 상기 모기판(50)에는 X축 방향으로 스크라이브 라인(55)이 모두 형성된다. 즉, X축 방향의 패널 단위로 절단된다.

상기와 같이 X축 방향으로 스크라이브 라인이 모두 형성되면, 상기 제어부는 상기 헤드(46) 또는 (46a)를 90도 회전시키고, Y축 방향의 스크라이브 라인을 형성하기 위해 Y축 정렬 마크를 판독하여 상기 헤드(46)를 정렬 및 보상하여 조정한다(S 14).

그리고, Y축 방향의 스크라이브 라인은 먼저 제 1블록(52)의 H-1점, G-1점, F-1점, E-1점부터 시작하여 H-10점, G-10점, F-10점, E-10점까지 형성한다(S15). 이후 상기 제어부는 상기 모기판(50)의 스크라이브 작업이 완료되었는가 판단한다(S16).

상기 모기판(50)의 절단이 완료되지 않으면 이어서, 제 2블록(56)의 D-1점, C-1점, B-1점, A-1점부터 시작하여 D-10점, C-10점, B-10점, A-10점까지 형성한다.

물론, 상기 제 2블록(56)에 대한 스크라이브 라인은 상기와 달리, D-10점, C-10점, B-10점, A-10점에서 시작하여 D-1점, C-1점, B-1점, A-1점까지 형성할 수도 있다.

상기와 같은 과정을 통하여 도 5와 같은 형태로 스크라이브 라인이 모두 형성되면, 상기 모기판(50)을 상기 베이스(42)로부터 언로딩하여(S 16), 브레이크 처리부로 이송시켜 모기판(50)으로부터 자기판(53)을 분리한다.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.

즉 상기 실시예에 있어서는 X방향의 스크라이브를 형성한 후 Y방향의 스크라이브를 형성하는 과정에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 그 반대로 즉 Y방향의 스크라이브를 형성한 후 X방향의 스크라이브를 형성해도 좋다.

또한 상기 실시예에 있어서는 일체화된 멀티 헤드와 멀티 헤드의 각각에 장착된 다수의 커팅 휠로 구성되는 실시예에 대해 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 하나의 헤드와 이에 작장착 커팅 휠의 이동에 의해 실현될 수도 있다.

즉, 하나의 헤드가 도 5에 도시된 바와 같은 커팅을 실현하도록 제어되고, 하나의 헤드에 의해 각각의 자기판에 대해 X방향의 스크라이브를 형성한 후, 각각 의 자기판에 대해 Y방향의 스크라이브를 형성하도록 구성하여도 된다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명에 의하면 스크라이브 라인을 형성할 때에 교차하는 부분을 최소화함으로써 기판의 파티클 및 버르의 발생량을 저감할 수 있게 한다.

그리고, 본 발명은 모기판에 형성되는 자기판이 이송 중에 더미를 커팅하지 않으므로, 패널 분리 최소화가 달성되어 픽업시 더미가 패널에 붙는 현상을 방지할 수 있다는 효과를 제공한다.

Claims

다수의 자기판으로 분할되는 모기판을 반송하는 기판 반송수단;

상기 기판 반송수단 상에 XY방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 모기판에 다수의 스크라이브 라인을 형성하는 다수의 스크라이브 수단; 및

상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 상대적으로 이동시켜 주는 이동 수단;

을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 1항에 있어서,

상기 스크라이브 수단은 다수의 헤드 및 커팅 휠로 구성되는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 1항에 있어서,

상기 스크라이브 수단은 일체화된 헤드와 상기 헤드에 장착된 다수의 커팅 휠로 구성되는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 2항 또는 제3항에 있어서,

상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 4항에 있어서,

상기 제어부는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 상기 모기판에 형성된 정렬 마크를 판독하는 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 5항에 있어서,

상기 제어부는 상기 카메라를 통해 상기 정렬 마크를 판독하여 상기 스크라이브 수단의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 4항에 있어서,

상기 제어부는 상기 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하고, 상기 각 블록 내의 자기판 사이에서만 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
제 4항에 있어서,

상기 제어부는 상기 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하고, 상기 다수의 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 다수의 스크라이브 라인을 어느 한 방향으로 형 성하고, 상기 다수의 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 재설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 다수의 스크라이브 라인을 다른 한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드 기판 스크라이브 장치.
(a) 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하는 단계;

(b) 상기 모기판에 형성되는 다수의 스크라이브 라인의 정렬 마크에 맞게 다수의 스크라이브 수단의 간격을 설정하는 단계;

(c) 다수의 스크라이브 라인이 상기 각 블록 내에서만 연장되게 X방향 또는 Y방향으로 스크라이브를 실행하는 단계;

(d) 상기 다수의 스크라이브 수단이 X방향 또는 Y방향으로 스크라이브를 실행한 후 미리 설정된 간격으로 Y방향 또는 X방향으로 상기 다수의 스크라이브 수단을 재설정하는 단계; 및

(e) 다수의 스크라이브 라인이 상기 각 블록 내에서만 연장되게 Y방향 또는 X방향으로 스크라이브를 실행하는 단계;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드를 이용한 스크라이브 방법.
제 9항에 있어서,

상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계 또는 상기 (d) 단계 및 상기 (e) 단계는 상기 모기판에 형성되는 상기 자기판의 수와 상기 스크라이브 수단의 수에 따라 적어 도 1번 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티 헤드를 이용한 스크라이브 방법.
다수의 자기판으로 분할되는 모기판을 반송하는 기판 반송수단;

상기 기판 반송수단 상에 XY방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 모기판에 다수의 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 수단;

상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 상대적으로 이동시켜 주는 이동 수단; 및

상기 기판 반송수단과 상기 스크라이브 수단을 제어하는 제어부를 포함하고,

상기 스크라이브 수단은 하나의 헤드와 상기 헤드에 장착된 커팅 휠로 구성되고,

상기 제어부는 상기 모기판을 미리 설정된 수의 자기판으로 이루어진 다수의 블록으로 설정하고, 상기 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 스크라이브 라인을 어느 한 방향으로 형성하고, 상기 스크라이브 수단을 미리 설정된 간격으로 재설정하여 상기 각 블록 내에서만 연장된 스크라이브 라인을 다른 한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 기판 스크라이브 장치.