JP2002057127A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ダイシングのコストおよびダイシングの時間を
効果的に低減し、しかも容易にかつより高精度にダイシ
ングを行うようにする。 【解決手段】回転チャック台４の上面に、ホログラム
１,１,…が多面付けされた矩形状のガラス板２を載置さ
せるとともに、ガラス板２の左辺を一対のｘ軸方向位置
決めピン６,７に当接させ、かつガラス板２の下辺を一
対のｙ軸方向位置決めピン８,９に当接させる。これに
より、ガラス板２は回転チャック台４上にこの回転チャ
ック台４に対し高精度に位置決めされる。この状態で、
ガラス板２が回転チャック台４上に吸着固定される。ま
た、光学検知手段１０,１１により、回転チャック台４
に形成された回転位置決め基準直線ηが検出されて、こ
の基準直線ηがｘ軸方向に平行となるように回転チャッ
ク台４の回転方向の位置決めがされる。これにより、ガ
ラス板２がｘおよびｙ軸方向に高精度に位置決めされ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ホログラムが多面
付けされたガラス板、半導体ウェーハ、カラーフィルタ
等の平板状被切断物を所定の方向に沿って切断するため
のダイシング装置の技術分野に属するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばホログラムにおいては、図
７に示すように縦横に整列された所定数（図示例では縦
横とも３個）のホログラム１,１,…が矩形状の透明なガ
ラス板２の所定位置に多面付けされた後、図示しないダ
イシング装置で、ガラス板２を縦横に配列された切断ラ
インαに沿って個々のホログラム１毎に必要サイズに精
密に切断することにより、ホログラム１が形成されてい
る。

【０００３】ガラス板２を縦横に配列された切断ライン
αに沿って精密に切断するダイシング装置は、このよう
な所定数のホログラム１,１,…が多面付けされたガラス
板２の切断に限らず、半導体ウェーハ、カラーフィルタ
等の他の平板状被切断物を切断ラインに沿って切断する
場合にも多く利用されている。

【０００４】このようなダイシング装置の１つとして、
従来、特公平３ー１１６０１号公報に開示されているダ
イシング装置がある。この公告公報に開示されているダ
イシング装置は、切断方向であるｘ軸方向およびこのｘ
軸方向と水平面内で直交する方向であるｙ軸方向に移動
可能にかつ水平面内で回転可能に設けられるとともに、
被切断物である半導体ウェーハを真空によって吸着支持
する水平円板を有するウェーハ支持手段と、ｙ軸方向お
よび鉛直方向であるｚ軸方向に移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、半導体ウェーハの表面に縦横に配
列された切断ラインに沿ってこの半導体ウェーハを切断
する切断ブレード、および半導体ウェーハを切断ブレー
ドに対して位置決めするために半導体ウェーハの切断ラ
インを鉛直方向下向きに照射する落射照明によって光学
的に検出する顕微鏡からなる検知手段を備えている。

【０００５】そして、検知手段によって半導体ウェーハ
の切断ラインを検出し、この検出情報に基づいて、水平
円板が回転方向に位置決めされるとともに切断ブレード
が半導体ウェーハの切断ラインに一致するようにｙ軸方
向に位置決めされ、その後、ウェーハ支持手段をｘ軸方
向に移動させることで、切断ブレードにより半導体ウェ
ーハがその切断ラインに沿って切断されるようになって
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
な落射照明による検知手段は、前述の公告公報に開示さ
れているダイシング装置に限らず、従来の多くのダイシ
ング装置で採用されている。しかし、このように検知手
段により切断ラインを光学的に検出する場合、板に切断
ラインのパターンを予め形成する必要がある。特に、図
７に示すようなホログラム１,１,…が多面付けされた透
明なガラス板２を切断する場合、落射照明では切断ライ
ンαを十分にかつ確実に認識することが難しい。そのた
め、従来、ホログラム１,１,…が多面付けされたガラス
板２の切断においては、ガラス板２に切断ラインαをク
ロムパターンで形成し、このクロムパターンを落射照明
方式により検出することで、切断時のガラス板２の位置
決めを行っている。

【０００７】このようなクロムパターンを用いたダイシ
ング工程は、まず、素ガラス板に真空蒸着等によりクロ
ムの成膜を形成するとともに、このクロム成膜にレジス
トを塗布し、次に露光現像により製版を行った後、エッ
チング等によりクロムパターンを形成するとともにホロ
グラムパターンを形成し、次いでダイシング装置の落射
光でクロムパターンを照射し、このクロムパターンを見
てガラス板の位置決めをした後、ダイシング装置でこの
ガラス板を切断するという多くの工程からなっている。

【０００８】このように、従来の板状の被切断物のダイ
シングでは、切断ラインのためのパターンを被切断物に
予め形成しなければならなく、しかも、パターン形成の
ための多くの工程が余儀なくされているため、ダイシン
グ工程に多大なコストおよび多くの時間を要するという
問題がある。

【０００９】また、クロムパターン等の切断ラインに関
係して被切断物に不良が生じる場合があるという問題も
ある。

【００１０】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的は、ダイシングのコストおよ
びダイシングの時間を効果的に低減することができ、し
かも容易にかつより高精度にダイシングを行うことので
きるダイシング装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、被切断物支持台に支持固定し
た平板状の被切断物を所定の方向に沿って切断するダイ
シング装置において、前記被切断物支持台に、前記被切
断物の外形を基準として前記被切断物を位置決めする位
置決め手段が設けられていることを特徴としている。

【００１２】また、請求項２の発明は、前記位置決め手
段が、前記被切断物の外形の一部が当接することで前記
被切断物を位置決めする位置決め部材であることを特徴
としている。

【００１３】更に、請求項３の発明は、前記被切断物支
持台が回転可能に設けられているとともに、更に前記被
切断物支持台に、回転位置決め基準手段が設けられてい
ることを特徴としている。

【００１４】更に、請求項４の発明は、前記回転位置決
め基準手段が光学検知手段で検知可能に構成されている
ことを特徴としている。

【００１５】更に、請求項５の発明は、前記位置決め部
材が、一方向の前記被切断物の位置決めを行う第１の位
置決め部材と、前記一方向と直交する方向の前記被切断
物の位置決めを行う第２の位置決め部材とからなること
を特徴としている。

【００１６】更に、請求項６の発明は、前記被切断物
が、所定数のホログラムが縦横に整列されて多面付けさ
れた矩形状のガラス板であり、このガラス板の一辺が前
記第１の位置決め部材に当接するとともに、ガラス板の
隣接する他の一辺が前記第２の位置決め部材に当接する
ことにより、前記ガラス板が互いに直交する２方向に位
置決めされることを特徴としている。

【００１７】

【作用】このように構成された本発明のダイシング装置
においては、被切断物支持台に設けられた位置決め手段
により、平板状の被切断物の位置決めがこの被切断物の
外形を基準として高精度にかつ簡単に行われるようにな
る。

【００１８】また、従来のように平板状の被切断物に切
断ラインをいちいち形成する必要がなくなる。これによ
り、ダイシング工程が大幅に低減され、その結果、コス
トが低減するとともにダイシングに要する時間が短縮す
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。

【００２０】図１は、本発明にかかるダイシング装置の
実施の形態の一例におけるガラス板支持手段および切断
ブレードを模式的に示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）
はその正面図である。

【００２１】図１（ａ）および（ｂ）に示すように、こ
の例のダイシング装置は、後述するガラス板２を支持す
るガラス板支持手段３を備えているとともに、このガラ
ス板支持手段３はガラス板２が載置される回転チャック
台（本発明の被切断物支持台に相当）４を備えている。
この回転チャック台４は矢印ａで示すように回転軸５を
中心に回転可能となっているとともに、矢印ｂで示すよ
うに左右のｘ軸方向および矢印ｃで示すように上下のｙ
軸方向にそれぞれ移動可能となっている。また、図示し
ないが回転チャック台４には、上方に開口する所定数の
吸引孔が穿設されており、ガラス板２が回転チャック台
４の上面４ａに載置されたとき、これらの吸引孔を介し
てガラス板２が吸引されることにより、ガラス板２が回
転チャック台４に吸着固定されるようになっている。な
お、回転チャック台４の回転駆動手段、回転チャック台
４のｘおよびｙ軸方向の各移動手段および吸引手段は、
例えば前述の公告公報に記載されているダイシング装置
を始め、他の従来の一般的なダイシング装置と同様の手
段を用いることができるので、それらの説明は省略す
る。

【００２２】ところで、この例のダイシング装置では、
図１（ａ）および（ｂ）に示すように、回転チャック台
４の上面４ａの所定位置に、ガラス板２のｘ軸方向位置
決めを行う一対のｘ軸方向位置決めピン（本発明の第１
の位置決め部材に相当）６,７が所定の間隔を置いて突
設されている。その場合、一対のｘ軸方向位置決めピン
６,７はそれらの側面でｘ軸方向位置決め仮想基準直線
βを構成するようになっている。また、同様に回転チャ
ック台４の上面４ａの他の所定位置に、ガラス板２のｙ
軸方向位置決めを行う一対のｙ軸方向位置決めピン（本
発明の第２の位置決め部材に相当）８,９が所定の間隔
を置いて突設されており、これらのｙ軸方向位置決めピ
ン８,９もそれらの側面で、前述の仮想のｘ軸方向位置
決め仮想基準直線βと直交するｙ軸方向位置決め仮想基
準直線γを構成するようになっている。これらのｘおよ
びｙ軸方向位置決めピン６,７;８,９により、本発明の
位置決め手段が構成されている。なお、これらのｘおよ
びｙ軸方向位置決め仮想基準直線β,γは回転チャック
台４に実際に形成されるものではないが、実際に、仮想
ではなくｘおよびｙ軸方向位置決め基準直線β,γとし
て回転チャック台４に形成してもよい。また、前述の例
では、ｘおよびｙ軸方向位置決めピン６,７;８,９は任
意の数設けることができるし、ガラス板２のｘおよびｙ
軸方向の位置決めを行うものであれば、ピン以外のどの
ようなものでもよい。

【００２３】図２は、この例のダイシング装置によって
ダイシングされる被切断物の一例のガラス板２を示す図
である。図２に示すように、ガラス板（本発明の平板状
の被切断物に相当する）２は従来と同様に矩形状に形成
され、その上面の所定位置に所定数のホログラム１,１,
…が縦横に配置されて多面付けされており、その場合、
このガラス板２の形状寸法およびホログラム１,１,…の
多面付け位置がいずれも高精度に管理されている。そし
て、隣接するホログラム１の間には所定の間隙δが形成
されている。この間隙δの領域内でガラス板２が切断さ
れるようになっており、説明の便宜上、その切断する部
分をガラス板２に仮想切断ラインε,ζとして図示する
（これらの仮想切断ラインε,ζはガラス板２に実際に
形成されるものではないことは言うまでもない）。な
お、図示例では、ガラス板２に多面付けされたホログラ
ム１,１,…は、縦に２個および横に３個配列されている
が、これに限定されることなく、ホログラムは縦横とも
任意の数だけ配置することができる。

【００２４】そして、このように構成されたガラス板２
は、図３（ａ）および（ｂ）に示すようにダイシング時
にその左辺が一対のｘ軸方向位置決めピン６,７に当接
されかつその下辺が一対のＹ軸方向位置決めピン８,９
に当接されて回転チャック台４の上面４ａに載置される
ようになっている。この状態では、矩形状のガラス板２
のｘ軸方向の仮想切断ラインεがｙ軸方向位置決め仮想
基準直線γと平行になっているとともに、ガラス板２の
ｙ軸方向の仮想切断ラインζ,ζがｘ軸方向位置決め仮
想基準直線βと平行になっている。

【００２５】更に、回転チャック台４の上面４ａの更に
他の所定位置に、回転チャック台４の回転位置決めを行
うための基準となる黒色の回転位置決め基準直線（本発
明の回転位置決め基準手段に相当）ηがｙ軸方向位置決
め仮想基準直線γと平行でかつ所定間隔を置いて形成さ
れている。なお、回転チャック台４の回転位置決めを行
うための基準となりかつ後述する光学検知手段で光学的
に検出可能であれば、回転位置決め基準直線ηは他の色
でもよく、また、基準直線ηに代えて、突起、刻印等の
どのような他の回転位置決め基準でもよい。

【００２６】一方、図１（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、この例のダイシング装置の本体（不図示）には、回
転チャック台４の上方に位置して、一対の光学検知手段
１０,１１が所定の間隔を置いてｘ軸方向に高精度に並
んで配設されており、これらの光学検知手段１０,１１
は回転チャック台４上の回転位置決め基準直線ηを光学
的に検知するようになっている。また、光学検知手段１
０,１１は矢印ｄで示すようにｙ軸方向におよび矢印ｅ
で示すようにｚ軸方向にそれぞれ一体に移動可能に設け
られている。なお、光学検知手段１０,１１、光学検知
手段１０,１１のｙおよびｚ軸方向の各移動手段も、例
えば前述の公告公報に記載されているダイシング装置を
始め、他の従来の一般的なダイシング装置と同様の手段
を用いることができるので、それらの説明は省略する。

【００２７】更に、図１（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、ガラス板２をダイシングするための切断ブレード１
２が矢印ｆで示すようにｙ軸方向におよび矢印ｇで示す
ようにｚ軸方向に移動可能に設けられている。この切断
ブレード１２の刃先１２ａの方向はｘ軸方向に一致する
ように高精度に設定されている。また、図３（ｂ）に示
すように、切断ブレード１２の刃先１２ａの最下端１２
ｂは、回転チャック台４の上面４ａより若干上方に位置
しかつ回転チャック台４に載置されたガラス板２の上面
２ａより所定量下方に位置するように設定されている。
なお、切断ブレード１２の材質および構造、切断ブレー
ド１２の回転駆動手段、切断ブレード１２のｙおよびｚ
軸方向の各移動手段も、同様に、例えば前述の公告公報
に記載されているダイシング装置を始め、他の従来の一
般的なダイシング装置と同様の手段を用いることができ
るので、それらの説明は省略する。

【００２８】前述の各移動手段、各回転駆動手段および
光学検知手段１０,１１は、いずれも図示しないＣＰＵ
等の制御装置に接続され、この制御装置によって駆動制
御されるようになっている。また、制御装置には、ｘ軸
方向位置決め仮想基準直線βがｘ軸と平行であるとき、
ｘ軸方向位置決め仮想基準直線βのｘ軸方向の位置（つ
まりｘ軸方向位置決めピン６,７のｘ軸方向の位置）お
よびｙ軸方向位置決め仮想基準直線γのｙ軸方向の位置
（つまりｙ軸方向位置決めピン８,９のｙ軸方向の位
置）がメモリされている。

【００２９】次に、このように構成されたこの例のダイ
シング装置によるガラス板２をダイシングする作動につ
いて説明する。

【００３０】図４（ａ）に示すように、回転チャック台
４の上面に、図２に示すホログラム１,１,…が多面付け
された矩形状のガラス板２を載置させるとともに、ガラ
ス板２の左辺を一対のｘ軸方向位置決めピン６,７に当
接させ、かつガラス板２の下辺を一対のｙ軸方向位置決
めピン８,９に当接させる。これにより、ガラス板２の
左辺がｘ軸方向位置決め仮想基準直線βと一致するとと
もに、ガラス板２の下辺がｙ軸方向位置決め仮想基準直
線γと一致し、ガラス板２は回転チャック台４上にこの
回転チャック台４に対し高精度に位置決めされて載置さ
れる。この状態で、回転チャック台４に設けられた吸引
孔を通してガラス板２を吸引することで、このガラス板
２が回転チャック台４上に吸着固定される。

【００３１】このとき、図４（ａ）に実線で示すように
ｘ軸方向位置決め仮想基準直線βがｙ軸と平行である
（この場合、ｙ軸方向位置決め仮想基準直線γがｘ軸と
平行であることは言うまでもない）と、一対の光学検知
手段１０,１１がともにそれらの中心位置で回転チャッ
ク台４上の黒色の回転位置決め基準直線ηを検知するの
で、制御装置は回転チャック台４の回転駆動手段を駆動
しない。したがって、回転チャック台４は回転すること
なくその回転位置に保持され、ガラス板２の仮想の各切
断ラインは、ｘ軸またはｙ軸に平行となる。回転チャッ
ク台４のこの状態では、ガラス板２がｘおよびｙ軸方向
にともに高精度に位置決めされるようになる。こうし
て、ガラス板２はその左辺および下辺を基準としてつま
りその外形を基準としてｘおよびｙ軸方向にともに位置
決めされることになる。

【００３２】また、図４（ａ）に点線で示すようにｘ軸
方向位置決め仮想基準直線βがｙ軸に対して交差してい
る（この場合、ｙ軸方向位置決め仮想基準直線γがｘ軸
に対して交差している）と、一対の光学検知手段１０,
１１がともにそれらの中心位置から偏心した位置で回転
チャック台４上の回転位置決め基準直線ηを検知するよ
うになる。このため、制御装置は光学検知手段１０,１
１からの検知信号に基づいて回転チャック台４の回転駆
動手段を駆動して、回転チャック台４を矢印ｈで示す時
計方向に回転させる。そして、光学検知手段１０,１１
がともにそれらの中心位置で回転位置決め基準直線ηを
検知すると、ガラス板２は前述と同様の図４（ａ）に実
線で示す位置となり、ガラス板２の仮想の各切断ライン
εおよびζは、それぞれｘ軸およびｙ軸に平行となる。

【００３３】また、制御装置には、ダイシングしようと
するガラス板２の諸寸法およびこのガラス板２に多面付
けされたホログラム１の諸寸法が入力される。なお、制
御装置にダイシング装置でダイシングされる主なガラス
板２およびホログラム１の諸寸法を各ガラス板の種類
（タイプ）毎に予め記憶させておき、ダイシングしよう
とするガラス板２の種類を選択するようにすることもで
きる。

【００３４】ガラス板２の仮想切断ラインεは、ガラス
板２の下辺位置からの距離が予め決まっていることから
一対のｙ軸方向位置決めピン８,９からの距離θ｛図３
（ａ）に図示｝が既知となっているので、ガラス板２が
図４（ａ）の実線位置に設定されると、制御装置は切断
ブレード１２をｙ軸方向に移動させる移動手段を駆動し
て切断ブレード１２の刃先１２ａを仮想切断ラインεと
ｙ軸方向において一致するように切断ブレード１２をｙ
軸方向に移動する。

【００３５】次いで、制御装置は切断ブレード１２を所
定の回転速度で回転させるとともに、回転チャック台４
をｘ軸方向に移動させる移動手段を駆動制御して所定の
速度で矢印ｉに示す左方へ移動させる。これにより、回
転チャック台４およびガラス板２はともに切断ブレード
１２の方へ移動し、回転チャック台４が切断ブレード１
２の真下に進入するようになる。このとき、切断ブレー
ド１２の最下点１２ｂが回転チャック台４の上面４ａよ
り若干上方に位置しているので、切断ブレード１２は回
転チャック台４と干渉しないとともに、二対のｘおよび
ｙ軸方向位置決めピン６,７;８,９も、それらのｙ軸方
向の位置が切断ブレード１２のｙ軸方向の位置とずれて
いるので、これらのピン６,７;８,９とも干渉しない。

【００３６】そして、図４（ｂ）に示すようにガラス板
２の左辺が回転している切断ブレード１２に当接する
と、切断ブレード１２によるガラス板２のダイシング動
作が開始する。このとき、切断ブレード１２の刃先１２
ａは仮想切断ラインγに一致する。そして、回転チャッ
ク台４がｘ軸に沿って更に左方へ移動することで、ガラ
ス板２にダイシングラインが仮想切断ラインγに沿って
形成される。このダイシングラインは、切断ブレード１
２の刃先１２ａの最下端１２ｂが回転チャック台４に干
渉しないので、ガラス板２の厚み方向の下側部分はダイ
シングされず、切断部分は溝状に形成されている。

【００３７】回転チャック台４が更に左方へ移動して、
図４（ｃ）に示すように、ガラス板２の右辺が切断ブレ
ード１２を通過してこの切断ブレード１２から離れる
と、制御装置は回転チャック台４のｘ軸方向の移動手段
を停止するとともに、切断ブレード１２の回転駆動手段
を停止する。こうして、仮想切断ラインεに沿ったガラ
ス板２のダイシングが終了する。これにより、図４
（ｃ）に実線ε₁で示すダイシングラインが形成され
る。次に、制御装置は切断ブレード１２のｚ軸方向の移
動手段を駆動して、切断ブレード１２を図４（ｃ）に矢
印ｊで示すように所定量上昇させた後、ｚ軸方向の移動
手段を停止させる。次いで、制御装置はｘ軸方向の移動
手段を逆方向に駆動して、回転チャック台４を矢印ｋで
示すようにｘ軸に沿って右方へ移動させ、図５（ａ）に
示す初期位置に戻すとともに、切断ブレード１２を図５
（ａ）に矢印ｍで示すように所定量下降上昇させて初期
位置に戻す。

【００３８】次いで、図５（ａ）に示すように制御装置
は回転チャック台４を矢印ｎで示す時計方向に高精度に
９０°回転させ、その位置に保持する。この状態では、
ガラス板２の仮想切断ラインζ,ζがともにｘ軸と平行
になっている。そして、前述の仮想切断ラインεの場合
と同様に一対のｘ軸方向位置決めピン６,７から１つの
仮想切断ラインζまでの距離κが既知となっているの
で、制御装置は切断ブレード１２ｙ軸方向の移動手段を
駆動して切断ブレード１２を矢印ｏで示すｙ軸方向に移
動し、切断ブレード１２の刃先１２ａをその仮想切断ラ
インζと一致するように切断ブレード１２のｙ軸方向の
位置決めをする。その後、前述の仮想切断ラインεに沿
うダイシングの場合と同様に回転チャック台４をｘ軸方
向に沿って再び左方に移動させる。

【００３９】図５（ｂ）に示すようにガラス板２の左辺
（回転チャック台４が９０°回転したことで、図４の下
辺から左辺になっている）が回転している切断ブレード
１２に当接することで、切断ブレード１２による仮想切
断ラインζに沿うガラス板２のダイシングが開始する。
そして、図５（ｃ）に示すようにガラス板２の右辺が切
断ブレード１２を通過してこの切断ブレード１２から離
れることで、切断ブレード１２によるガラス板２の仮想
切断ラインζに沿うダイシングが終了する。これによ
り、図５（ｃ）に実線ζ₁で示すダイシングラインが形
成される。

【００４０】次に、前述と同様に制御装置は切断ブレー
ド１２を所定量上昇させた後、回転チャック台４を右方
へ移動して初期位置に戻す。次いで、切断ブレード１２
を下降させて高さ方向の初期位置に戻すとともに、ｙ軸
方向に移動させて、切断ブレード１２の刃先１２ａが次
の仮想切断ラインζに一致させる。以後、同様にして次
の仮想切断ラインζに沿うダイシングラインζ₁がガラ
ス板上に形成される。

【００４１】ガラス板２に対するすべてのダイシングが
終了すると、制御装置は切断ブレード１２の回転を停止
するとともに、回転チャック台４へのガラス板２の吸着
を停止する。そして、ガラス板２を回転チャック台４か
ら取り外し、従来と同様にしてガラス板２に形成された
ダイシングラインε₁,ζ₁に沿ってガラス板２を折るこ
とで、ガラス板２が各ホログラム毎に切断される。

【００４２】このようにこの例のダイシング装置によれ
ば、予め所定寸法に形成された矩形状のガラス板２の一
辺を一対のｘ軸方向位置決めピン６,７に、また、ガラ
ス板２の隣の一辺を一対のｙ軸方向位置決めピン８,９
にそれぞれ当接させることで、ガラス板２を回転チャッ
ク台４に対し位置決めするとともに、回転チャック台４
に形成された回転位置決め基準直線ηを光学検知手段１
０,１１で検出して、回転チャック台４の回転方向の位
置決めを行うことにより、ガラス板２をｘおよびｙ軸方
向にともに高精度にかつ簡単に位置決めすることができ
る。

【００４３】また、切断ラインのためのクロムパターン
をガラス板にいちいち形成する必要がないので、切断用
のクロム蒸着、レジスト塗布、製版およびエッチング等
のクロムパターンを形成するための工程が不要となる。
したがって、ダイシング工程を大幅に低減でき、その結
果、コストを低減できるとともにダイシングに要する時
間を短縮できる。

【００４４】更に、クロムパターンによる不良が発生す
ることがないので、ガラス板２に形成された高品質のホ
ログラムを効率よく得ることができる。

【００４５】なお、前述の例では、回転チャック台４に
１本の回転位置決め基準直線ηを設けるものとしている
が、図６に示すように回転チャック台４に更にもう１
本、回転位置決め基準直線ηと直交する回転位置決め直
線μを設け、この回転位置決め直線を光学検知手段１
０,１１で検知することで、これらの光学検知手段１０,
１１の検知信号に基づいて、一方向のダイシングが終わ
った後の回転チャック台４の９０°回転を行うようにす
ることもできる。

【００４６】また、前述の例では、本発明をホログラム
が多面付けされたガラス板のダイシング装置として説明
しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば半導体ウェーハやカラーフィルタ等の他の平板状
の被切断物にも適用できる。

【００４７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のダイシング装置によれば、被切断物支持台に設けられ
た位置決め手段により平板状の被切断物の外形を基準と
してこの被切断物の位置決めを行うようにしているの
で、平板状の被切断物の位置決めを高精度にかつ簡単に
行うことができるようになる。

【００４８】また、従来のような平板状の被切断物に切
断ラインのパターンをいちいち形成しなくても済むよう
になるので、ダイシング工程を大幅に低減でき、その結
果、コストをより効果的に低減できるとともにダイシン
グに要する時間をより効果的に短縮できる。

【００４９】また、平板状の被切断物に形成された切断
ラインのパターンに基づく不具合がなくなるので、ダイ
シング後の被切断物の品質を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明にかかるダイシング装置の実施の形態
の一例におけるガラス板支持手段および切断ブレードを
模式的に示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面
図である。

【図２】 図２は、この例のダイシング装置によってダ
イシングされる被切断物の一例のガラス板２を示す図で
ある。

【図３】 図１に示す例のダイシング装置のガラス板支
持手段に図２に示すガラス板をセットした状態を模式的
に示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図であ
る。

【図４】 図１に示す例のダイシング装置により図２に
示すガラス板を一方向に沿ってダイシングする動作を説
明し、（ａ）はガラス板支持手段にガラス板をセットし
たダイシング開始前の状態を示す図、（ｂ）はガラス板
のダイシング開始を示す図、（ｃ）はガラス板のダイシ
ング終了を示す図である。

【図５】 図１に示す例のダイシング装置により図２に
示すガラス板を図４に示す方向と直交する方向に沿って
ダイシングする動作を説明し、（ａ）はガラス板のダイ
シング開始前の状態を示す図、（ｂ）はガラス板のダイ
シング開始を示す図、（ｃ）はガラス板のダイシング終
了を示す図である。

【図６】 本発明の実施の形態の他の例におけるガラス
板支持手段を模式的に示す、図３（ａ）と同様の図であ
る。

【図７】 ホログラムがガラス板に多面付けされた従来
の一例を示す図である。

【符号の説明】 １…ホログラム、２…ガラス板、３…ガラス板支持手
段、４…回転チャック台、６,７…ｘ軸方向位置決めピ
ン、８,９…ｙ軸方向位置決めピン、１０,１１…光学検
出手段、１２…切断ブレード、η…回転位置決め基準直
線

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被切断物支持台に支持固定した平板状の
   被切断物を所定の方向に沿って切断するダイシング装置
   において、 前記被切断物支持台に、前記被切断物の外形を基準とし
   て前記被切断物を位置決めする位置決め手段が設けられ
   ていることを特徴とするダイシング装置。
2. 【請求項２】 前記位置決め手段は、前記被切断物の外
   形の一部が当接することで前記被切断物を位置決めする
   位置決め部材であることを特徴とする請求項１記載のダ
   イシング装置。
3. 【請求項３】 前記被切断物支持台が回転可能に設けら
   れているとともに、更に前記被切断物支持台に、回転位
   置決め基準手段が設けられていることを特徴とする請求
   項１または２記載のダイシング装置。
4. 【請求項４】 前記回転位置決め基準手段は光学検知手
   段で検知可能に構成されていることを特徴とする請求項
   ３記載のダイシング装置。
5. 【請求項５】 前記位置決め部材は、一方向の前記被切
   断物の位置決めを行う第１の位置決め部材と、前記一方
   向と直交する方向の前記被切断物の位置決めを行う第２
   の位置決め部材とからなることを特徴とする請求項１な
   いし４のいずれか１記載のダイシング装置。
6. 【請求項６】 前記被切断物は、所定数のホログラムが
   縦横に整列されて多面付けされた矩形状のガラス板であ
   り、このガラス板の一辺が前記第１の位置決め部材に当
   接するとともに、ガラス板の隣接する他の一辺が前記第
   ２の位置決め部材に当接することにより、前記ガラス板
   が互いに直交する２方向に位置決めされることを特徴と
   する請求項５記載のダイシング装置。