JP2008004918A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 定盤上を非接触に移動可能なステージ可動部と、前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、前記ステージ可動部に接続された配管または配線を備えるステージ装置であって、
   前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように配置された断熱材または熱回収ユニットを備えることを特徴とするステージ装置。
2. 前記ステージ可動部の外部に引き出された配管または配線を保持する補助部材をさらに備え、
   前記断熱材または前記熱回収ユニットの少なくとも一部は、前記補助部材に配置されることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記熱回収ユニットは、前記補助部材に配置された高熱伝導材と、該高熱伝導材を冷却する冷却装置とを備えることを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
4. 前記熱回収ユニットは、前記補助部材を覆う包囲部材と、前記包囲部材の内部空間を排気する排気手段とを備えることを特徴とする請求項２または３に記載のステージ装置。
5. 前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように配置された熱回収ユニットと、
   前記ステージ可動部の外部に引き出された配管または配線を保持する補助部材をと備え、
   前記熱回収ユニットは、前記補助部材を覆う包囲部材と、前記包囲部材の内部空間を排気する排気手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
6. 前記配管または配線は複数の配管または配線を有し、
   内部に温調された冷媒が流れる配管が外側に配置するように束ねられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のステージ装置。
7. 前記配管および配線は前記ステージ可動部内の空間を通して前記ステージ可動部外に引き出され、
   前記熱回収ユニットは、前記ステージ可動部内の空間を排気する排気手段を有することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
8. 前記排気手段は、前記ステージ可動部内の空間と対向する排気口と、該排気口に接続され、前記ステージ可動部外に引き出された前記配管および配線を覆う包囲部材とを備えることを特徴とする請求項７に記載のステージ装置。
9. 前記ステージ可動部は第１ステージと、該第１ステージに搭載され、前記第１ステージの移動ストロークよりも短い移動ストロークで移動する第２ステージとを備え、
   前記排気手段によって排気される空間は、前記第１ステージと第２ステージの間の空間であることを特徴とする請求項７または８に記載のステージ装置。
10. 定盤と、
    前記定盤の表面に沿って移動可能なステージ可動部と、
    前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、
    前記ステージ可動部に接続された配管または配線と、
    前記配管または配線の少なくとも一部を包囲し、前記配線または配管の屈曲に応じて屈曲可能な、前記配線または配管を保持するための補助部材と
    前記補助部材によって保持され、前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように配置された断熱材と、
    を備えることを特徴とするステージ装置。
11. 定盤と、
    前記定盤の表面に沿って移動可能な第１ステージと、前記第１ステージ上に搭載され、前記第１ステージに対して移動可能な第２ステージと、を含むステージ可動部と、
    前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、
    前記第１または第２ステージに接続され、前記第１ステージと第２ステージの間の空間を介して前記ステージ可動部の外部に引きだされる配線または配管と、
    前記空間を排気する排気ユニットと、
    を備えることを特徴とするステージ装置。
12. 定盤と、
    前記定盤の表面に沿って移動可能なステージ可動部と、
    前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、
    前記ステージ可動部に接続された配管または配線と、
    前記配管または配線の少なくとも一部を包囲し、前記配線または配管の屈曲に応じて屈曲可能な、前記配線または配管を保持するための補助部材と、
    前記補助部材によって保持され、前記配管または配線の軸方向に熱を伝える熱伝導部材と、
    前記熱伝導部材から伝えられた熱を冷却する冷却ユニットと、
    を備えることを特徴とするステージ装置。
13. 請求項１乃至１２のいずれかに記載のステージ装置を用いて基板または原版を位置決めすることを特徴とする露光装置。
14. 請求項１３に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、前記露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。