JP5328297B2 - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、用力ケーブルから露光動作中のステージに伝達される振動を低減し、ステージ位置決め精度の劣化および解像力の劣化を低減する露光装置を提供することを目的とする。
投影光学系10を挟んで垂直方向の上側にマスク(原版)23を移動させるマスクステージ(原版ステージ)20が配置され、下側にプレート(基板)を移動させるプレートステージ(基板ステージ)30が配置されている。投影光学系10は、マスク23のパターンの像をプレートに投影する光学系である。これらマスクステージ20とプレートステージ30はそれぞれ個別に移動可能であり、これらの移動位置はともにレーザ干渉測長器50により計測制御可能である。
11 配管
12 電力供給・信号ケーブル
2 本体構造体
3 反力板
4、5 減衰材
20 マスクステージ
30 プレートステージ
Claims (3)
- 原版を移動させる原版ステージと、
基板を移動させる基板ステージと、
前記原版のパターンの像を前記基板に投影する投影光学系とを有する露光装置において、
前記原版ステージおよび前記基板ステージの少なくとも1つと本体構造体とを接続する反力板と複数の用力ケーブルとを含むムービングケーブルと、
前記複数の用力ケーブルの振動を減衰する第1および第2の減衰材と、を有し、
前記ムービングケーブルの屈曲の内側から、前記反力板、複数の用力ケーブル、前記第1の減衰材、複数の用力ケーブル、前記第2の減衰材の順に積層して配置され、
前記第2の減衰材は前記第1の減衰材よりも厚いことを特徴とする露光装置。 - 前記第1の減衰材および第2の減衰材は、シート状であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 請求項1または2に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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