JP5141421B2 - 配管構造及びステージ装置 - Google Patents
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ステージ可動部には水平アクチュエータやセンサ等のステージ設置部品が取り付けられており、これらのステージ設置部品に対しては外部電源やアクチュエータを冷却するための冷媒導通管や電気配線等の種々の配管が接続されている。
これらの配管は、ステージ可動部上のステージ設置部品の移動に追従する必要があるため、屈曲しやすい素材で形成され十分な余長を有して構成されている。
配管と他の部材とが接触し擦れると、接触部分からパーティクル(埃塵)が発生し、空間のクリーン度の低下の一因となる。また、摩擦による抵抗により水平アクチュエータに予期しない負荷(摺動抵抗)が生じ、ステージ装置の応答性の低下や精度の低下を招く虞もある。
そこで、特許文献1には、図6に示すように、ステージ装置のステージ設置部品に接続される配管102を補助部材103で被覆することで配管部101全体の剛性を高め、配管の自重による垂れ下がり量を低減する技術が提案されている。
したがって、引用文献1の技術では、配管部101が追従するための変形にかかる反力がステージ装置を駆動させる際の負荷となり、ステージ装置における精密な位置決めをおこなう場合、水平アクチュエータによるステージの位置制御の応答性が低下したり、位置決め精度が低下したりする虞がある。
このような不具合を防止するためには、例えば、補助部材103にスリットを形成する等して配管部101のステージ面方向に対する追従性を十分に確保する必要があり、その分配線部101が複雑な構成となり、コストが増加するという課題もある。
本願発明の配管構造は、面方向に移動可能な平面状のステージと、前記ステージ上に設置されるステージ設置部品とを有するものにおいて、前記ステージ設置部品に接続される配管の構造であって、前記ステージ設置部品の移動に追従しうる余長を有する曲げ変形可能な部材によって形成される配管と、断面の長手方向が前記ステージと垂直な方向となるように前記配管に沿って設けられる可撓性を有する帯状の補強部材と、を有していることを特徴としている。
アクチュエータに冷媒を循環させることで、真空環境下であってもアクチュエータを確実に冷却することができる。また、管部の内側に帯状の補強部材を設けることにより、管部のステージ方向への曲げ変形を効果的に低減することができる。
例えば、比較的軽量な樹脂によって管部を形成した場合、軽量である分配管の自重による曲げ変形が小さくなる反面、真空環境では管部内の冷媒成分が管部を比較的多く透過して、真空環境の汚染の一因となるが、物質の透過性が低い金属(鋼)によって管部を被覆することにより管部内の冷媒成分の管部外への透過を低減することができ、真空環境においても真空環境の汚染を抑制することができる。
換言すれば、管部として比較的重量が大きい金属製(鋼製)の蛇腹配管を用いた場合でも、十分に配管の変形を低減することができ、配管の自重による変形によって生じる不都合を低減することができる。
これにより、管部の内壁と補強部材との接触による部材同士の擦れによって生じる摺動抵抗を減らし、異音または熱の発生を最小限に抑制することができる。
また、前複数の前記配管と前記補強部材とが結束部材により結束されていることが好ましい。
複数の配線を束ねて結うという簡便な構成により、例えば多数必要な電気配線をコンパクトにまとめることができる。
また、ステージ装置は、真空環境を形成する真空チャンバ内に設置されるものが好ましく、清浄空間を形成するクリーンルーム内に設置されるものも好ましい。
図1〜図5は、いずれも本発明の一実施形態にかかる位置決めステージの構成を示す図であり、図1はステージ装置を模式的に示す斜視図、図2は配管の配索状態を模式的に示す側面図、図3は管部の構成を模式的に示す斜視図,図4は管部を端部から見た模式的な側面図,図5は電気配線を補強部材と共に束ねて結ったハーネスの構成を模式的に示す斜視図である。
また、ステージ装置10は、チャンバ(真空チャンバ)11に内蔵されており、チャンバ11は清浄空間を形成するクリーンルーム12に設置されている。
チャンバ11は、図示しない上部覆い部材によってステージ装置10を密閉するようになっており、図示しないポンプの駆動によってチャンバ11内部が真空排気され、真空環境を形成するようになっている。
位置決めステージ1は、方形の平面状をなすステージ部(ステージ)1Aを有しており、ステージ部1AがXY平面と平行(即ち、水平)になるように、本体ベース2上の四隅に設置された磁気軸受8A〜8Dによって浮上し、非接触に支持されている。なお、軸受8A〜8Dは磁気軸受の替わりに空気軸受を用いて構成してもよい。
また、水平駆動モータ3Xは、位置決めステージ1のステージ部1Aに固定された可動子3XAと本体ベース2に固定された固定子3XBとを有しており、位置決めステージ1をX方向に水平に駆動するようになっている。
つまり、位置決めステージ1は、2つの水平駆動モータ3X,3YによってX方向及びY方向(即ち、ステージ部の面方向)に移動するようになっている。
図2に示すように、冷媒用配管4は、ステージ部1Aと所定の間隔を有して略平行に配索されて可動子3XAに接続されており、チャンバ11の壁部のフィードスルーと可動子3XAとによって支持されている。冷媒用配管6についても同様に構成されている。
これら冷媒用配管4,6及びハーネス5の線状部品は、位置決めステージ1の移動による接続先の移動に追従して曲げ変形が可能であり、そのための十分な余長が設けられている。
また、冷媒用配管4の冷媒供給用の配管と冷媒回収用の配管とも同様に構成されているため、ここでは冷媒供給用の配管について説明し、冷媒回収用の配管については図示省略して説明する。
被覆部21は、鋼製(金属製)の配管であり、管部22を覆っている。被覆部21には、冷媒用配管4の延在方向に直交するように複数のリブが設けられて蛇腹状に形成されている。即ち、蛇腹状に形成することにより被覆部21の曲げ剛性が小さくなるように構成されている。管部22は、管状に形成されており、管部22の内部を冷媒が通過できるようになっている。
なお、ここでは、被覆部21と管部22とが別体であるものとして説明しているが、被覆部21と管部22とを一体に構成してもよい。
帯状ガイド23の両端にはそれぞれ潤滑部材24が嵌装されている。そして、帯状ガイド23と潤滑部材24とを併せて形成される補強部材は、断面の長手方向(図4の破線Qで示す方向)がステージ部1Aに対して垂直な方向(即ち、重力方向)となるように配設されている。
帯状ガイド23は、樹脂や金属等の可撓性を有する素材で帯状に形成されている。ここでは、帯状ガイド23は弾性のよいバネ鋼薄板(スチールベルト)で形成されており、その断面の長手方向の長さLに対して断面の短手方向の長さBが十分に小さく形成されている。即ち、帯状ガイド23は短手方向(水平方向)の曲げ剛性は小さく、長手方向(重力方向)の曲げ剛性が大きくなるように断面形状が設定されている。
ガイド部材32は、樹脂や金属等の可撓性を有する素材で帯状に形成されている。ここでは、ガイド部材32は弾性のよいバネ鋼薄板(スチールベルト)で形成されており、その断面の長手方向の長さLに対して断面の短手方向の長さBが十分に小さく形成され、短手方向の曲げ剛性は小さく、長手方向の曲げ剛性が大きくなるようになっている。
このとき、冷媒用配管4,6及びハーネス5は、位置決めステージ1の移動に応じて帯状ガイド23あるいはガイド部材32の短手方向(ここでは水平方向)に屈曲されてそれぞれの接続先の移動に伴って追従して動きまわる。
すなわち、冷媒配管4,6及びハーネス5に対して水平方向への屈曲性を損なわずに、垂直方向への配管の垂れ下がりにおいてのみ抑制する効果を発揮する。
これにより、現有の配線・配管構成のままで帯形ガイドを付加するだけで垂れ下がりを抑制しつつ、容易かつ有効に冷媒用配管4,6及びハーネス5の姿勢を保持することができる。
また、冷媒用配管4,6は、管部22を覆うように鋼性で屈曲性のよい蛇腹状の被覆部21が設けられているので、管部22の内部を通過する循環流体(冷媒)の成分が透過して冷媒用配管4,6の外部に放出されること防止することができる。
また、帯状ガイド23の両端に管部22の内壁との摩擦抵抗を低減させる潤滑部材24が設けられているので、冷媒用配管4,6が屈曲等する際に帯状ガイド23と冷媒用配管4,6の内部との摩擦抵抗(摺動抵抗)や接触などによる異音を最小限に抑えることができる。
これにより、配線類31の線積における占有率を最小限にした上で水平方向への屈曲性は損なわずに、垂直方向への配線の垂れ下がりおいて有効な配線保持効果を得ることができる。
例えば、実施形態ではステージ装置に設けられる配管構造を例に説明したが、本発明の配管構造はステージ装置に限らず、どのような装置に適用してもよい。
また、設置される空間環境についてもクリーンルーム内や真空チャンバ内等の特殊な環境下に限定されることはなく、通常の環境下で本発明を適用しても配管の他の部材を接触を低減して配管の磨耗や摩擦抵抗等を低減させることができる。また、クリーンや真空のいずれか一つのみの環境下に適用することもできる。
実施形態では、帯状ガイドと潤滑部材とを別々に構成しているが、潤滑部材については省略して補強部材を構成してもよい。また、帯状ガイドと潤滑部材とを一体に形成してもよく、このとき補強部材の素材についても摩擦係数の小さい素材により構成して、管部の内壁との摩擦抵抗を低減するように構成してもよい。
1A ステージ部(ステージ)
2 本体ベース(ベース部材)
3X,3Y 水平駆動モータ
3XA,3YA 可動子
3XB,3YB 固定子
4,6 冷媒用配管(配管)
5 ハーネス(配管)
7 (静電)チャック面
8A〜8D 磁気軸受
9 センサ
10 ステージ装置
11 チャンバ(真空チャンバ)
12 クリーンルーム
21 被覆部
22 管部
23 帯状ガイド(補強部材)
24 潤滑部材
31 電気配線
32 ガイド部材(補強部材)
33 結束部材
Claims (6)
- 面方向に移動可能な平面状のステージと、前記ステージ上に設置されるステージ設置部品とを有するものにおいて、前記ステージ設置部品に接続される配管の構造であって、
前記ステージ設置部品の移動に追従しうる余長を有する曲げ変形可能な部材によって形成される配管と、
断面の長手方向が前記ステージと垂直な方向となるように前記配管に沿って設けられる可撓性を有する帯状の補強部材と、を有しており、
前記ステージ設置部品には前記ステージを駆動させるアクチュエータが含まれ、
前記配管は前記アクチュエータに循環させる冷媒を導通しうる管部を有し、
前記管部の内側に設けられた前記補強部材の帯状の両端には、前記管部の内壁に対する摩擦抵抗を低減する潤滑部が設けられている
ことを特徴とする、配管構造。 - 前記配管は、前記管部を被覆するように蛇腹状に形成された金属製の被覆部を有している
ことを特徴とする、請求項1に記載の配管構造。 - 複数の前記配管と、前記配管の外側に設けられた前記補強部材とが結束部材により結束されている
ことを特徴とする、請求項1または2に記載の配管構造。 - ベース部材と、
前記ベース部材上を面方向に移動可能な平面状のステージと、
前記ステージ上に設置されるステージ設置部品と、
請求項1、2または3に記載の配管構造とを有している
ことを特徴とする、ステージ装置。 - 真空環境を形成する真空チャンバ内に設置される
ことを特徴とする、請求項4に記載のステージ装置。 - 清浄空間を形成するクリーンルーム内に設置される
ことを特徴とする、請求項4に記載のステージ装置。
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