JP5206315B2 - ステージ装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えばウエハ等のワークを載置して、面方向に正確に位置決めするステージ装置に関する。

半導体デバイスの製造装置等に用いられるステージ装置は、平面状のステージ（ステージ可動部）を非接触状態で水平アクチュエータによって水平面内の縦横方向に移動させるように構成されている。
ステージ可動部には水平アクチュエータやセンサ等のステージ設置部品が取り付けられており、これらのステージ設置部品に対しては外部電源やアクチュエータを冷却するための冷媒導通管や電気配線等の種々の配線（ケーブルあるいはハーネス）が接続されている。
これらのケーブルは、ステージ可動部上のステージ設置部品の移動に追従する必要があるため、屈曲しやすい素材で形成され十分な余長を有して構成されている。

ところで、例えば、半導体デバイスの製造装置は、埃塵の少ないクリーン空間や真空チャンバ内等の特殊な環境下でこれら空気清浄度や真空度を損なわずに動作することが求められることが多い。また、当然ながら半導体デバイスの製造装置に用いられるステージ装置には高度な位置決め精度が求められる。
したがって、ケーブルの構成はケーブル自身にかかる張力がステージ可動部に加わり外乱とならないよう柔和な柔軟性を持つとともに、ケーブルが自重により垂れ下がりを生じてステージ固定面と擦れて外乱とならないようケーブル自身に張りを持たせて（ある程度の張力を与えて）姿勢を維持するよう構成される。

このようにケーブルは柔和な柔軟性と垂れ下がりを抑制する程度の剛性を併せ持つという相反する機能を両立する必要がある。
このため、特許文献１には、ケーブル自身を補助部材で部分的もしくは全体的に包囲するなどしてケーブルを補強した上で補助部材にスリットを入れるなどしてケーブル自身の剛性を調節したケーブル構成が開示されている。
特許文献１の技術によれば、ケーブルがステージの面と平行な方向へは十分な柔軟性を有してステージの移動に追従可能な上、ケーブルの自重による垂れ下がりを抑制することができる。
特開２００８−４９１８

しかしながら、特許文献１の技術においても、可動するケーブルが接続部から離れるほどケーブルの垂れ下がり量も大きくなる。また、ケーブルの補強部材の劣化等によりケーブルの剛性が低下してケーブルが垂れ下がることが考えられる。ケーブルが垂れ下がることにより装置固定ステージ装置の固定部分に面と擦れ接触することで発塵や摺動抵抗が生じ、ステージ装置の性能を低下させる虞があるといった課題が残る。

このようなケーブルの垂れ下がりを抑制するために補強部材等でケーブルをさらに補強してケーブルの剛性を高めると、これによりケーブルの張力あるいは応力が大きくなり、これがステージ装置に対する外乱抵抗となって、やはりステージ装置の性能を低下させることが考えられる。
本発明は、このような問題に鑑みなされたもので、ケーブルの張力による抵抗を低減して高性能に位置決めできるようにしたステージ装置を提供することを目的とする。

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
ステージ装置にかかる本願発明は、ベース部材と、前記ベース部材上に設置されて面方向に移動して位置決めされるステージと、前記ステージ上に設置されるステージ設置部品と、前記ステージ設置部品に接続され前記ステージの前記移動に追従する複数のケーブルとを有するステージ装置であって、前記複数のケーブルは、前記ステージ設置部品に接続される第１ケーブルと、前記ステージの中心に対して対称に前記第１のケーブルと対向するように、かつ、張力が前記第１ケーブルの張力と打ち消し合うように前記ステージ設置部品に接続される第２ケーブルとを有し、前記ステージ装置は、前記ステージの移動時に前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルにかかる張力がそれぞれ均等となるように調整する張力調整手段を備えることを特徴としている。
即ち、面方向（ステージ平面上の任意の方向）に自在に移動するステージ上に設置されるステージ設置部品に接続されステージの移動に追従して動きまわる第１ケーブル及び第２ケーブルが、ステージの中心を基準として互いに対向するように配され、各ケーブル同士のテンションを打ち消しあうように構成したものである。なお、第１ケーブル及び第２ケーブルはそれぞれ単一のケーブルに限るものではなく、複数の配線部材の群（グループ）を第１ケーブル、第２ケーブルとしてそれぞれが対向してテンションを相殺しあうように構成されてもよい。
また、ステージ装置にかかる本願発明は、ベース部材と、前記ベース部材上に設置されて面方向に移動して位置決めされるステージと、前記ステージ上に設置されるステージ設置部品と、前記ステージ設置部品に接続され前記ステージの前記移動に追従する複数のケーブルとを有するステージ装置であって、前記複数のケーブルは、前記ステージ設置部品に接続される第１ケーブルと、前記ステージの中心に対して対称に前記第１のケーブルと対向するように前記ステージ設置部品に接続される第２ケーブルとを有し、前記ステージ装置は、前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルにかかる張力を調整する張力調整手段を備え、前記張力調整手段は、前記第１ケーブルに当接する第１ガイド部と、前記ベース部材に固定的に配置され、前記第１ガイド部を前記面方向に移動可能に支持する第１調整部と、前記第２ケーブルに当接する第２ガイド部と、前記ベース部材に固定的に配置され、前記第２ガイド部を前記面方向に移動可能に支持する第２調整部と、を有することを特徴としている。

また、前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルは、それぞれ、前記ステージ設置部品に接続される配線を張力が均等となるように束ねたハーネスとして構成されていることが好ましい。

前記ステージ設置部品に接続される前記ケーブルの中間部を重力方向に対して支持するとともに、前記面方向への前記ケーブルの移動を許容するケーブル保持機構を備えていることが好ましい。
特に、ケーブルが自重により最も垂れ下がる箇所もしくはそれに近い箇所にケーブルの動きに従順に追従するリンク機構を備えたケーブル保持機構を設けることで確実にケーブルの垂れ下がりを抑制でき、ケーブル自身の張り具合に依存することなく恒久的にケーブルの垂れ下がりを抑制することができる。
さらに、前記ケーブル保持機構は、重力方向と平行な回転軸を有する関節部と、前記関節部によって前記面方向に自在に揺動するリンク部材とを有していることが好ましい。

また、前記ベース部材上に固設され、前記ステージの端部を非接触状態で前記面方向に移動可能に支持する非接触軸受を有していることも好ましい。
また、本発明にかかるステージ装置は、真空環境を形成する真空チャンバ内に配設されるものであることが好ましい。
また、本発明にかかるステージ装置は、内部に清浄空間を形成するクリーンルーム内に配設されるものであることが好ましい。

本願発明によれば、第１ケーブルと第２ケーブルとが互いに対向してステージ設置部品に接続されるので、第１ケーブルと第２ケーブルとのそれぞれにかかる張力（テンション）が互いに打ち消しあい、ステージを面方向に移動させる際にアクチュエータにかかるケーブルの張力による抵抗が低減される。これにより、かかるケーブルの抵抗による位置決め精度の低下を抑制して高精度に位置決めを行なうことができる。即ち、ステージ装置の制御の応答性に影響を与えうるケーブルの張力による外乱抵抗を最小限に抑制することができる。
換言すると、ケーブルの張力による位置決め精度の低下が抑制されるので、ケーブルの垂れ下がりを抑制するために第１ケーブル及び／又は第２ケーブルに十分な張力を与えることができ、位置決め精度を十分に確保した上でケーブルの垂れ下がりによるベース部材等との接触を防止することができる。これにより、ケーブルとその他の部材との接触によるパーティクルの発生や摺動抵抗の発生を防止することができる。

また、本願発明によれば、第１ケーブルと第２ケーブルとがステージの中心に対して対称となることにより、ステージに作用する第１ケーブル及び第２ケーブルの張力をより効果的に打ち消すことができ、ステージの移動にかかるケーブルの張力による抵抗を低減することができる。
即ち、ステージの移動に追従して動きまわる複数の配線を束ねたハーネスをステージの中心を基準としてシンメトリになるよう配して構成されるため、対向するケーブルのテンションが互いに相殺され、つりあった状態で保持される。

また、本願発明によれば、第１ケーブル及び第２ケーブルにかかる張力（あるいは剛性）がそれぞれ等しくなるようにハーネスを形成することでステージに作用する第１ケーブル及び第２ケーブルの張力をより効果的に打ち消すことができ、ステージの移動にかかるケーブルの張力による抵抗を低減することができる。

また、本願発明によれば、第１ケーブル及び／又は第２ケーブルにかかる張力が等しくなるように張力調整手段によって積極的に微調整することによって、第１ケーブルと第２ケーブルとの張力のつりあいを図り、より効果的にケーブルの張力による抵抗を相殺することができる。
また、本願発明によれば、第１ケーブル及び／又は第２ケーブルの垂れ下がりを防止するために必要な張力を低減することができるのでステージに作用する第１ケーブル及び第２ケーブルの張力をより効果的に打ち消すことができ、ステージの移動にかかるケーブルの張力による抵抗を低減することができる。

また、本願発明によれば、ケーブル保持機構により重力方向についてケーブルを確実に支持するとともに、ステージの移動にケーブルを十分に追従させることができる。
また、本願発明によれば、ステージを非接触状態で支持することによりステージの移動時に軸受との接触により生じるパーティクルや摺動抵抗をなくし、より高精度な位置決めを行なうことができる。
また、本願発明によれば真空チャンバ内やクリーンルーム内のアクセスが困難な特殊環境下においても高性能なステージ装置を得ることができる。

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図１〜図３は、いずれも本発明の一実施形態にかかるステージ装置を説明するためのものであって図１はステージ装置の模式的な斜視図、図２は張力調整手段の構成を示す模式的な図、図３はケーブル保持機構の構成を示す模式的な図である。

図１に示すように、ステージ装置１０は、ステージ１，本体ベース（ベース部材）２、水平駆動モータ（アクチュエータ）３Ｘ，３Ｙ，複数のハーネス（ケーブル）４〜７，ウエハ等のワークを電荷により吸引する（静電）チャック部（ステージ設置部品）８、エアベアリング（非接触軸受）９Ａ〜９Ｄ，ハーネステンショナ（張力調整手段）１３Ａ〜１３Ｄ及びケーブル保持機構１４Ａ〜１４Ｄを有して構成されている。
また、ステージ装置１０は、チャンバ（真空チャンバ）１１に内蔵されており、チャンバ１１は清浄空間を形成するクリーンルーム１２に設置されている。
なお、本実施形態にかかる加工装置はステージ装置１０，チャンバ１１及びクリーンルーム１２を含んで構成されている。
チャンバ１１は、図示しない上部覆い部材によってステージ装置１０を密閉するようになっており、図示しないポンプの駆動によってチャンバ１１内部が真空排気され、真空環境を形成するようになっている。

なお、図１において、Ｘ方向及びＹ方向は互いに直交している。また、Ｘ方向とＹ方向とで形成される平面ＸＹは重力方向Ｇに対して直交している。
ステージ１は、矩形の平面状に形成されており、ＸＹ平面と平行（即ち、水平）になるように、エアベアリング９Ａ〜９Ｄによって非接触状態で面方向に移動可能に支持されている。
エアベアリング９Ａ〜９Ｄはそれぞれエアベアリング本体が本体ベース２上の四隅に固定されており、圧縮空気によってステージ１の端部（ここでは隅部）を下部から支持するようになっている。なお、エアベアリング９Ａ〜９Ｄはエアベアリングの替わりにステージ１を非接触状態で支持する磁気軸受等を用いて構成してもよい。

水平駆動モータ３Ｘは、ステージ１に固定された可動子（ステージ設置部品）３ＸＡと本体ベース２に固定された固定子３ＸＢとを有しており、ステージ１をＸ方向に水平方向（ここでは面方向）に駆動するようになっている。
水平駆動モータ３Ｙは、ステージ１に固定された可動子（ステージ設置部品）３ＹＡと本体ベース２に固定された固定子３ＹＢとを有しており、位置決めステージ１をＹ方向に水平に駆動するようになっている。
つまり、ステージ１は、２つの水平駆動モータ３Ｘ，３ＹによってＸ方向及びＹ方向（即ち、ステージ１と平行な平面上任意の方向であり面方向）に移動し、所望の位置に位置決めされるようになっている。なお、水平駆動モータ３Ｘ，３Ｙはそれぞれ図示省略のモータコントローラによって動作制御されるようになっている。

ハーネス４〜７は、いずれも複数の電気配線（配線）あるいはモータへの冷媒供給用の配管や冷媒回収用の配管及び電気配線（配線）とが一組となって束ねられて形成されており、それぞれにかかる張力（剛性）が等しくなるように設定される。
ハーネス４，５は、それぞれチャンバ１１の壁部からフィードスルー１１Ａ，１１Ｃを通して配索され、その端部はそれぞれ水平駆動モータ３Ｘ，３Ｙの可動子３ＸＡ，３ＹＡに接続されている。
ここでは、ハーネス４，５の一方が第１ケーブルとして構成され、他方が第２ケーブルとして構成されている。即ち、ハーネス５はステージ１に対してハーネス４に対向するように接続されている。

また、各ハーネス４，５は、ステージ１と所定の間隔を有して略平行に配索されてそれぞれ可動子３ＸＡ，３ＹＡに接続されており、チャンバ１１の壁部のフィードスルー１１Ａ，１１Ｃと可動子３ＸＡ，３ＹＡとによって重力方向Ｇに対して支持されている。
ハーネス４，５はそれぞれモータへの冷媒供給用の配管や冷媒回収用の配管及び電気配線（配線）とが一組となって構成されており、冷媒供給用の配管から供給各可動子３ＸＡ，３ＹＡの内部に水や冷却空気等の流体である冷媒を供給し、冷却に用いられた冷媒を冷媒回収用の配管を通じて回収して冷媒を循環させるようになっている。

即ち、ハーネス（第１のケーブル）６は、外部からフィードスルー１１Ｂを介してチャンバ１１の内部に導入されてチャック部８に接続されている。また、ハーネス（第２のケーブル）７は、外部からフィードスルー１１Ｂを介してチャンバ１１の内部に導入され、ステージ１の中心（重心）Ｏに対して対称となるようにハーネス６に対向してチャック部８の反対側に接続されている。
ハーネス６，７は、ステージ１と所定の間隔を有して略平行に配索されてチャンバ１１の壁部のフィードスルー１１Ｂ，１１Ｄとチャック部８とによって両端を重力方向Ｇに対して支持されている。
これらハーネス４〜７の各ケーブルはそれぞれ可撓性を有しており、ステージ１の移動に追従して曲げ変形するための十分な余長が設けられている。

チャック部８は、ウエハ等のワークを載置して保持する静電チャックとして構成されている。
また、各エアベアリング９Ａ〜９Ｄのエアベアリング本体の上部には、それぞれ
複数のハーネス６はエアベアリング３の固定側上に各々、ハーネステンショナ１３Ａ〜１３Ｄが固設されている。
ハーネステンショナ１３Ａは、図２に示すように、ガイド部２０と調整部２１とが設けられており、ガイド部２０がハーネス４に押し付けられることによりハーネス４に張力を付加できるようになっている。また、調整部２１は、エアベアリング９Ａに固定されるとともにガイド部２０をスライド移動させてガイド部２０の位置を調整できるようになっている。そして、ガイド部２０の位置を微調整することにより、ハーネス４に付加する張力を調整できるようになっている。
なお、各ハーネステンショナ１３Ａ〜１３Ｄはいずれも同様に構成されており、各ハーネス４〜７にかかる張力がそれぞれ等しくなるようにそれぞれに付加する張力が調整されている。

ケーブル保持機構１４Ａ〜１４Ｄは、それぞれ図３に示すように複数の関節１５を有し各関節１５はそれぞれ水平方向に自在に揺動屈曲可能なリンク機構として構成されており、支持部１６に挿通された各ケーブル４〜７の中間部をそれぞれ重力方向下側から支持するようになっている。
また、ケーブル保持機構１４Ａ〜１４Ｄは、リンク機構が屈曲することによりケーブル４〜７の面方向への移動を許容するようになっている。

ここで、各ケーブル４〜７の中間部とは、各ケーブル４〜７が接続されるステージ設置部品との接続部と各フィードスルー１１Ａ〜１１Ｄとの間の部分であり、ケーブル保持機構はケーブルの垂れ下がりが最も大きい箇所もしくはその近辺において各ケーブル４〜７を支持している。

本発明の一実施形態にかかるステージ装置はこのように構成されているので、クリーンルーム１２内の清浄空間で且つチャンバ１１内の真空という環境において、位置決めステージ１は２つの水平駆動モータ３Ｘ，３Ｙのそれぞれの駆動によって、Ｘ方向及びＹ方向（面方向）の所望の位置に移動して位置決めステージ１に載置されるウエハ等が正確に位置決めされる。
このとき、各ケーブル４〜７は、位置決めステージ１の移動に応じて水平方向に屈曲されてそれぞれの接続先の移動に追従して動きまわる。

ハーネス６，７は、ステージ１の中心Ｏを基準としてシンメトリに配されることにより向かい合った互いのテンション（張力）が相殺されてチャック部８及びステージ１は、ハーネス６，７（さらにハーネス４，５）のテンションがつりあった箇所で静止状態となる。
ここで、ハーネス６，７の張力の微差等の要因によってステージ１にかかるテンションが相殺しきれなかった場合はステージ１が中心線（Ｘ軸及びＹ軸）に対して偏った状態となり、これが外乱抵抗となりステージ制御の応答性が低下する一因となりうる。しかし、エアベアリング９Ａ〜９Ｄ上に固定されるハーネステンショナ１３Ａ〜１３Ｄにより各ハーネス４〜７にかかる張力を微調整して各ハーネス４〜７によりステージ１に加わる外力が互いにつりあった状態が確保される。

また、各ハーネス４〜７は本体ベース２に固設されたケーブル保持機構１４Ａ〜１４Ｄによって支持され、垂れ下がりによるステージ固定面との擦れが防止される。ケーブル保持機構１４Ａ〜１４Ｄの複数の関節１５を有する水平多関節なリンク機構により、各ハーネス４〜７が支持された状態で水平方向に従順につれまわり、ステージ１に張力による抵抗を与えることなく各ハーネス４〜７の重力による垂れ下がりが防止される。
なお、複数の関節１５は低発塵グリースを充填したベアリングにより構成され抵抗なく自在に旋回することができる。
このようにハーネス４〜７が機械的に保持されるので、真空環境下やクリーン環境下といった特殊環境下においても接触によるパーティクルの発生（発塵）やケーブル４〜７経時的な劣化等による垂れ下がりを防止して、精度及び信頼性の高いステージ装置を得ることができる。

このように、本実施形態にかかるステージ装置１０によれば、ハーネス４とハーネス５及びハーネス６とハーネス７が互いに対向してステージ設置部品に接続されるので、それぞれにかかる張力が互いに打ち消しあってステージ１にかかる力がつりあい、水平駆動モータ３Ｘ，３Ｙによりステージ１を面方向に移動させる際の予想外の動作抵抗が低減され、位置決め精度の低下を抑制して高精度に位置決めを行なうことができる。
また、ハーネス４〜７を補助部材などで補強することなくハーネス４〜７の垂れ下がりによる接触を防止することができる。ケーブル４〜７の垂れ下がりによるベース部材２等との接触を防止することができる。これにより、ケーブルとその他の部材との接触によるパーティクルの発生が外乱抵抗の発生を防止することができる。

また、ハーネス６とハーネス７とがステージの中心Ｏに対して対称に配置されるとともに、ハーネス６とハーネス７との剛性がそれぞれ等しくなるようにハーネスを形成するとなることにより、ステージ１に作用する張力による抵抗をより効果的に打ち消すことができる。
さらに、ハーネステンショナ１３Ａ〜１３Ｄにより各ケーブル４〜７のいずれの張力も等しくなるように各ハーネス４〜７にかかる張力を積極的に微調整することによって、ステージ１にかかる張力のつりあいがとれ、より効果的にケーブルの張力による抵抗を相殺することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、実施形態では、アクチュエータの可動子及びチャック部をステージ設置部品の例として説明したが、ステージ設置部品についてはこれに限らず、ステージに設置されてケーブルが接続されるものであればどのようなものであってもよい。

第１のケーブル及び第２のケーブルについても実施形態のものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態において、ステージ設置部品に接続される第１ケーブルを電気配線（配線）等のステージ設置部品への供給又は回収ようの配線で形成し、第２ケーブルは、単に可撓性の部材をステージ設置部品に接続して第１ケーブルの張力を相殺するためにのみ第２ケーブルを配設するように構成してもよい。このように構成すれば、本発明の効果を奏しながらも電気配線等を１箇所にまとめて配線することができるので、配線上の設計の自由度を確保することができる。
また、第１ケーブル、第２ケーブルはそれぞれ複数のケーブルによるケーブル組として構成してもよい。即ち、上述の実施形態のものにおいて、ステージ設置部品に接続されるハーネス４〜７は、それぞれの張力によってステージ１の重心に作用する力（ベクトル）の和がゼロに近づくようにそれぞれ剛性・余長・ステージ設置部品に対する接続方向が設定されるように構成してもよい。

また、設置される空間環境についてもクリーンルーム内や真空チャンバ内等の特殊な環境下に限定されることはなく、通常の環境下で本発明を適用してもケーブルと他の部材同士の接触を低減して摩擦抵抗やケーブルの磨耗等による劣化を抑制することができる。また、クリーンや真空のいずれか一つのみの環境下に適用することもできる。

本発明は、例えば真空やクリーンといった特殊環境下でウエハ搬送やレチクル搬送といった精密な位置決めが要求される半導体製造のステージ装置等に特に有用である。

本発明の第１実施形態にかかるステージ装置のハーネス構成図である。 本発明の第１実施形態にかかるステージ装置の張力調整手段の構成を示す模式図である。 本発明の第１実施形態にかかるステージ装置のケーブル保持機構の構成を示す模式図である。

符号の説明

１ ステージ
２ 本体ベース（ベース部材）
３Ｘ，３Ｙ 水平駆動モータ（アクチュエータ）
３ＸＡ，３ＹＡ 可動子（ステージ設置部品）
３ＸＢ，３ＹＢ 固定子
４〜７ ハーネス（ケーブル，第１のケーブル，第２のケーブル）
８ （静電）チャック部（ステージ設置部品）
９Ａ〜９Ｄ エアベアリング（非接触軸受）
１０ ステージ装置
１１ チャンバ（真空チャンバ）
１１Ａ〜１１Ｄ フィードスルー
１２ クリーンルーム
１３Ａ〜１３Ｄ ハーネステンショナ（張力調整手段）
１４Ａ〜１４Ｄ ケーブル保持機構
１５ 関節
１６ 支持部
２０ ガイド部
２１ 調整部

Claims (8)

1. ベース部材と、前記ベース部材上に設置されて面方向に移動して位置決めされるステージと、前記ステージ上に設置されるステージ設置部品と、前記ステージ設置部品に接続され前記ステージの前記移動に追従する複数のケーブルとを有するステージ装置であって、
   前記複数のケーブルは、
   前記ステージ設置部品に接続される第１ケーブルと、
   前記ステージの中心に対して対称に前記第１のケーブルと対向するように、かつ、張力が前記第１ケーブルの張力と打ち消し合うように前記ステージ設置部品に接続される第２ケーブルとを有し、
   前記ステージ装置は、
   前記ステージの移動時に前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルにかかる張力がそれぞれ均等となるように調整する張力調整手段を備える
   ことを特徴とする、ステージ装置。
2. ベース部材と、前記ベース部材上に設置されて面方向に移動して位置決めされるステージと、前記ステージ上に設置されるステージ設置部品と、前記ステージ設置部品に接続され前記ステージの前記移動に追従する複数のケーブルとを有するステージ装置であって、
   前記複数のケーブルは、
   前記ステージ設置部品に接続される第１ケーブルと、
   前記ステージの中心に対して対称に前記第１のケーブルと対向するように前記ステージ設置部品に接続される第２ケーブルとを有し、
   前記ステージ装置は、
   前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルにかかる張力を調整する張力調整手段を備え、
   前記張力調整手段は、
   前記第１ケーブルに当接する第１ガイド部と、
   前記ベース部材に固定的に配置され、前記第１ガイド部を前記面方向に移動可能に支持する第１調整部と、
   前記第２ケーブルに当接する第２ガイド部と、
   前記ベース部材に固定的に配置され、前記第２ガイド部を前記面方向に移動可能に支持する第２調整部と、
   を有する
   ことを特徴とする、ステージ装置。
3. 前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルは、それぞれ張力が均等となるように複数の配線を束ねたハーネスとして構成されている
   ことを特徴とする、請求項１又は２記載のステージ装置。
4. 前記ステージ設置部品に接続される前記ケーブルの中間部を重力方向に対して支持するとともに、前記面方向への前記ケーブルの移動を許容するケーブル保持機構を備えている
   ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のステージ装置。
5. 前記ケーブル保持機構は、
   重力方向と平行な回転軸を有する関節部と、前記関節部によって前記面方向に自在に揺動するリンク部材とを有している
   ことを特徴とする、請求項４記載のステージ装置。
6. 前記ベース部材上に固設され、前記ステージの端部を非接触状態で前記面方向に移動可能に支持する非接触軸受を有している
   ことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のステージ装置。
7. 真空環境を形成する真空チャンバ内に配設される
   ことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載のステージ装置。
8. 内部に清浄空間を形成するクリーンルーム内に配設される
   ことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のステージ装置。

Images