JP7422524B2 - ステージ装置、露光装置、および物品製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、物体を保持して移動可能なステージ装置に関する。対象とする物体は、例えば、露光装置に用いられる原版、基板等でありうる。図1は、本発明のステージ装置が適用される露光装置100の構成を示す図である。本明細書および図面においては、水平面をXY平面とするXYZ座標系において方向が示される。一般には、被露光基板である基板107はその表面が水平面(XY平面)と平行になるように基板ステージ上に置かれる。よって以下では、基板107の表面に沿う平面内で互いに直交する方向をX軸およびY軸とし、X軸およびY軸に垂直な方向をZ軸とする。また、以下では、XYZ座標系におけるX軸、Y軸、Z軸にそれぞれ平行な方向をX方向、Y方向、Z方向という。
ステップS302で、制御部211は、入力されたジョブ条件に応じたステージ駆動プロファイルをメモリから読み出す。
ステップS303で、制御部211は、メモリ内のテーブルを参照して、ステージ駆動プロファイルに対応する距離A1を決定する。
ステップS304で、制御部211は、第1接続部203の位置からステップS303で決定された距離A1離れた位置を第2接続部202の目標位置を決定し、接続部ドライバ209にこの目標位置を指令値として出力する。
ステップS306で、接続部ドライバ209は、位置センサ207を用いて第2接続部202のX方向における現在位置を計測し、第2接続部202が目標位置に来るように接続部ステージ208をX方向に移動させる。
第2接続部202の移動が完了すると、ステップS307で、制御部211は、ステップS302で読み出したステージ駆動プロファイルに従って露光処理を実行する。露光処理を終え、ジョブが完了すれば(S309でYES)し、本処理は終了する。
図7は、第2実施形態における第2接続部の構成例を示す図である。第1実施形態では、接続部ステージ208(すなわち第2接続部202)は、ベース部104の案内面P上で案内面Pに沿ってY方向と交差する方向(例えばX方向)に移動可能に構成されていた。これに対し図7では、第2接続部202の、案内面Pと直交するZ軸周りの回転方向を調整する。第2接続部202のZ軸周りの回転駆動は、アクチュエータ801によって行われる。なお、アクチュエータ801は第2接続部202を直接駆動するように構成されていてもよいし、接続部ステージ208のZ軸周りの回転方向を調整するように構成されていてもよい。
第3実施形態では、用力線201のX方向への動きを規制する規制部材が使用される。図8(a)は、そのような規制部材がない場合の、第1接続部203をY方向に往復駆動させたときの用力線201の挙動の例を示している。図8(a)において、第1接続部203が停止しているときの用力線201は実線で示され、第1接続部203がY方向に往復運動しているときの用力線201は破線で示されている。また、第1接続部203が停止しているときの第1接続部203と第2接続部202との間のX方向における最大幅をL1とする。第1接続部203がY方向に往復駆動しているときの用力線201の第1接続部203と第2接続部202との間のX方向における最大幅をL2とする。
次に、規制部材を有する基板ステージ装置について説明する。基板ステージ装置は、X、Yの2軸駆動の装置であるが、ここでは、第2接続部202をX方向に駆動する部分について説明する。
次に、図11を参照して、複数のステージ駆動プロファイルが連続的に切り替えられたときの、第2接続部202の移動タイミングについて説明する。
上述の各実施形態では、ステージ駆動プロファイルに対応した接続部間の距離A1をあらかじめ求めておき、露光時にその条件を読み出すことで第2接続部202を移動させるようにした。ただし、用力線201の位置計測部や、用力線201の加速度検出部を露光装置内に組み込むことで、露光中にリアルタイムで距離A1を求め、第2接続部202を移動させるようにしてもよい。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (10)
- 案内面を有するベース部と、
物体を保持して前記ベース部の前記案内面の上で該案内面に沿って第1方向に移動する第1可動部と、
用力線の一端側を接続して前記第1可動部に固定される第1接続部と、
前記用力線の他端側を接続する第2接続部と、
前記第2接続部を保持して、前記ベース部の前記案内面の上で該案内面に沿って前記第1方向とは異なる第2方向に移動する第2可動部と、
前記第1可動部および前記第2可動部の駆動を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記第1可動部が前記第1方向に往復駆動する間の前記用力線の変形量が小さくなるように、前記第1可動部による前記往復駆動の駆動条件に応じて、前記第2方向における前記第2接続部の目標位置を決定し、該決定された目標位置に基づき前記第2可動部の駆動を制御する
ことを特徴とするステージ装置。 - 前記用力線の位置を検出するセンサを有し、
前記制御部は、前記センサにより検出された、前記第1可動部が前記第1方向に往復駆動する間の前記用力線の駆動振幅を最小にする前記第2方向における前記第2接続部の位置を前記目標位置として決定することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記第2方向は、前記案内面に沿う前記第1方向と交差する方向であることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記第2方向は、前記案内面と直交する軸周りの回転方向であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記用力線の、前記案内面に沿う前記第1方向と直交する方向の可動範囲を制限する規制部材を更に有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記用力線は、可撓性を有するフレキシブルフラットケーブルであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 案内面を有するベース部と、
物体を保持して前記ベース部の前記案内面の上で該案内面に沿って移動する第1可動部と、
用力線の一端側を接続して前記第1可動部に固定される第1接続部と、
前記用力線の他端側を接続する第2接続部と、
前記第2接続部を保持して前記ベース部の前記案内面の上で該案内面に沿って移動する第2可動部と、
前記第1可動部および前記第2可動部の駆動を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記第1可動部が前記案内面に沿って往復駆動する間の前記用力線の変形量が小さくなるように、前記第1可動部による前記往復駆動の駆動条件に応じて、前記第2接続部の目標位置を決定し、該決定された目標位置に基づき前記第2可動部の駆動を制御する、ことを特徴とするステージ装置。 - 前記物体は、露光装置に用いられる原版または基板であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 請求項8に記載のステージ装置を備えることを特徴とする露光装置。
- 請求項9に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を含み、前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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