JP5473575B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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図1は、本実施形態による走査型露光装置の概略構成を示す図である。レチクルステージ11は、レチクル定盤10に支持される。また、レチクルステージ11上のレチクル12のパターンを投影光学系4を通してウエハステージ1上のウエハ7に露光する露光光は、光源装置13から発生される。本体構造体5は、レチクルステージ11とウエハステージ1の間に投影光学系4を支持する。レチクルステージ11は不図示のアクチュエータによってレチクル定盤10上を移動する。ステージ定盤3は床6に固定されている。ウエハステージ1は、ウエハステージ1に連結されたステージアクチュエータ8により、ステージ定盤上をXY方向に移動可能である。
次に上述した露光装置を利用したデバイス製造方法を説明する。半導体集積回路素子、液晶表示素子等のデバイスは、上述の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラス基板等)を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
2 反力カウンタ
3 ステージ定盤
4 投影光学系
5 本体構造体
6 床
8 ステージアクチュエータ
9 反力カウンタアクチュエータ
14 装置制御部
15 質量体
51〜54 センサ
Claims (8)
- 定盤と、
前記定盤上で移動可能なステージと、
前記ステージを駆動するアクチュエータと、
質量体と前記質量体を移動させるアクチュエータとを有し前記ステージの移動に起因して前記定盤に発生する振動を低減するための反力カウンタと、
前記定盤を支持する床に設けられ、前記床の加速度を検出するセンサと、
前記センサからの出力に基づいて、前記定盤の振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御する制御手段と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記制御手段は、ステージ位置指令値に基づいて反力カウンタ位置指令値を生成する反力カウンタ位置指令値生成部と、前記センサからの出力に基づいて前記反力カウンタの推力を補正するための推力補正値を生成する推力補正値生成部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御手段は、ステージ推力指令値に基づいて反力カウンタ推力指令値を生成する反力カウンタ推力指令値生成部を含むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 投影光学系と、
前記投影光学系を支持する構造体と、
前記構造体に設けられ、前記構造体と前記定盤との相対位置、相対速度、相対加速度のいずれかを検出する第2センサをさらに備え、
前記制御手段は、前記センサ及び前記第2センサからの出力に基づいて、前記定盤の振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 投影光学系と、
前記投影光学系を支持する構造体と、
前記構造体の加速度を検出する第2センサをさらに備え、
前記制御手段は、前記センサ及び前記第2センサからの出力に基づいて、前記定盤の振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記投影光学系の加速度を検出する第3センサをさらに備え、
前記制御手段は、前記センサ、前記第2センサ、及び前記第3センサからの出力に基づいて、前記定盤の振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御することを特徴とする請求項5に記載の露光装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光する工程と、
露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。 - 定盤と、
前記定盤上で移動可能なステージと、
前記ステージを駆動するアクチュエータと、
質量体と前記質量体を移動させるアクチュエータとを有し前記ステージの移動に起因して前記定盤に発生する振動を低減するための反力カウンタと、
前記定盤を支持する床に設けられ、前記床の加速度を検出するセンサと、
前記センサからの出力に基づいて、前記定盤の振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御する制御手段と、を備えることを特徴とする装置。
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