JP2018538570A - 振動絶縁デバイス、リソグラフィ装置、および振動絶縁システムを調節する方法 - Google Patents
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- F16F2228/00—Functional characteristics, e.g. variability, frequency-dependence
- F16F2228/06—Stiffness
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Abstract
【解決手段】本発明は、構造物STを支持するように構成された振動絶縁デバイスVIであって、基準構造物に設置されたベース部BPと振動絶縁部VIPとを有するエアマウントAMと、倒立振子デバイスIPとを備え、倒立振子デバイスの下端がエアマウントの振動絶縁部に設置され、倒立振子デバイスの上端が支持されるべき構造物を支持し、振動絶縁デバイスは、倒立振子デバイスの剛性を調整するように構成された剛性調整デバイスSAを備える振動絶縁デバイスを提供する。
【選択図】図2
Description
本出願は、2015年11月23日に出願された欧州出願第15195756.0号の優先権を主張し、その全体が本明細書に援用される。
cneg=−m*g*α/l*α=−m*g/l
と記述されてもよく、ここで、mは倒立振子デバイスIPによって支持される質量であり、gは重力定数であり、αはz方向に対する倒立振子デバイスIPの角度であり、lは倒立振子デバイスIPの実効長さである。
Claims (15)
- 構造物を支持するように構成された振動絶縁デバイスであって、
ベース構造物に設置されたベース部と振動絶縁部とを有するエアマウントと、
倒立振子デバイスとを備え、前記倒立振子デバイスの下端が前記エアマウントの前記振動絶縁部に設置され、前記倒立振子デバイスの上端が支持されるべき前記構造物を支持し、
前記振動絶縁デバイスは、前記倒立振子デバイスの剛性を調整するように構成された剛性調整デバイスを備える振動絶縁デバイス。 - 前記倒立振子デバイスは、負の剛性及び正の剛性を有し、前記剛性調整デバイスは、前記負の剛性を増加させ及び/または前記正の剛性を減少させるように構成されている請求項1に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記剛性調整デバイスは、前記倒立振子デバイスの内部に力を印加するように構成された力印加デバイスを備える請求項1に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記力印加デバイスは、調整可能な力を印加するように構成されている請求項3に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記力印加デバイスは、調整可能なスプリング、ピエゾアクチュエータ、空気圧アクチュエータ、または電磁アクチュエータである請求項3に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記倒立振子デバイスは、単一の振子ロッドを備え、前記力印加デバイスは、中心軸まわりに均等に分布する力を印加するように構成されている請求項3に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記倒立振子デバイスは、中心軸まわりに等しく配列された多数の振子ロッドを備え、前記力印加デバイスは、中心軸と同軸の力を印加するように構成されている請求項3に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記剛性調整デバイスは、機械的なスプリングと、前記スプリングによって前記倒立振子デバイスの内部に印加される力を調整するように構成された可動調整要素と、を備える請求項1に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記剛性調整デバイスは、アクチュエータと、前記振動絶縁部と前記アクチュエータとの間にある1つまたは複数のテンションロッドと、を備え、前記アクチュエータは、前記1つまたは複数のテンションロッドに力を印加するように構成されている請求項1に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記倒立振子デバイスは、結合された実効長さを有する多数の振子ロッドを備え、前記剛性調整デバイスは、前記倒立振子デバイスの剛性を調整するために前記結合された実効長さを調整するように構成されている請求項1に記載の振動絶縁デバイス。
- 前記多数の振子ロッドは、中間部にフレキシブルジョイントを有し、前記フレキシブルジョイントは、前記結合された実効長さを調整する曲げを許容するように構成され、前記剛性調整デバイスは、前記フレキシブルジョイントに曲げ力を印加するアクチュエータを備える請求項10に記載の振動絶縁デバイス。
- 単一の構造物を支持する2以上、好ましくは3つの請求項1に記載の振動絶縁デバイスを備える振動絶縁システム。
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成可能なパターニングデバイスを支持するように構成された支持部と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板の目標部分に投影するように構成された投影システムと、を備え、前記投影システムは、支持構造によって支持され、
前記リソグラフィ装置は、前記支持構造を支持するように構成された少なくとも1つの振動絶縁デバイスを備え、前記少なくとも1つの振動絶縁デバイスは、
基準構造物に設置されたベース部と振動絶縁部とを有するエアマウントと、
倒立振子デバイスとを備え、前記倒立振子デバイスの下端が前記エアマウントの前記振動絶縁部に設置され、前記倒立振子デバイスの上端が前記支持構造を支持し、
前記振動絶縁デバイスは、前記倒立振子デバイスの剛性を調整するように構成された剛性調整デバイスを備えるリソグラフィ装置。 - 請求項1または請求項13に記載の振動絶縁デバイスを調節し、または請求項12に記載の振動絶縁システムを調節する方法であって、
前記倒立振子デバイスの剛性を決定する工程と、
決定された前記倒立振子デバイスの剛性に基づいて前記剛性調整デバイスを使用して前記倒立振子デバイスの剛性を調整する工程と、を備える方法。 - 前記倒立振子デバイスの剛性を調整することは、鉛直軸に対する前記倒立振子デバイスの位置に依存して実行される請求項1に記載の振動絶縁デバイスを調整する方法。
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