JP4740970B2 - 振動絶縁サポートデバイスを含むリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 放射ビームを調節する照明システム、
前記放射ビームの断面にパターンを付与して、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポート、
基板を保持する基板テーブル、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システム、および
リソグラフィ装置のメトロロジフレームを支持するための少なくとも1つの振動絶縁サポートデバイスであって、前記メトロロジフレームは、リソグラフィ装置のベースフレームに対して回転サポートによって振動絶縁サポートデバイスにおいて回転可能に支持される、振動絶縁サポートデバイス、
を備えるリソグラフィ装置であって、
前記回転サポートは、前記メトロロジフレームが回転可能に支持される円形上面を含み、当該円形上面が、前記振動絶縁サポートデバイスの重心に実質的に位置した曲率中心を有する、リソグラフィ装置。 - 前記回転サポートのサポート面が、前記振動絶縁サポートデバイス内に位置している、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記回転サポートのサポート面が、前記振動絶縁サポートデバイスの上部に位置している、請求項1又は請求項2のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記メトロロジフレームには、前記振動絶縁サポートデバイスの重心の方向に延在する、下方に突出したサポート部が設けられており、当該下方に突出したサポート部は前記回転サポートにおいて支持されている、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記振動絶縁サポートデバイスが並進サポートを含む、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記並進サポートがガスベアリングを含み、当該ガスベアリングに加圧ガスを供給するためのガスフィードが提供される、請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記振動絶縁サポートデバイスが、ある量の加圧ガスを収容するためのガスチャンバと、部分的に当該ガスチャンバの境界を画定し、かつ前記メトロロジフレームを回転可能に支持する可動ガスマウント部材とを含む、ガスマウントを備えていることにより、前記ガスの圧力が、前記メトロロジフレームを回転可能に支持する前記可動ガスマウント部材にサポート力をかける、請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ガスマウントがピストン・シリンダ構成を含む、請求項7に記載のリソグラフィ装置。
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