JP2006270071A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006270071A JP2006270071A JP2006043675A JP2006043675A JP2006270071A JP 2006270071 A JP2006270071 A JP 2006270071A JP 2006043675 A JP2006043675 A JP 2006043675A JP 2006043675 A JP2006043675 A JP 2006043675A JP 2006270071 A JP2006270071 A JP 2006270071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- substrate
- projection system
- radiation
- retroreflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000001459 lithography Methods 0.000 title abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 111
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 88
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 37
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 claims description 5
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000010008 shearing Methods 0.000 claims description 3
- 238000000671 immersion lithography Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 229920003259 poly(silylenemethylene) Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70591—Testing optical components
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7046—Strategy, e.g. mark, sensor or wavelength selection
Abstract
【解決手段】例えばリソグラフィ装置において、通常は基板テーブル上に設けられるセンサが、基板テーブル上の再帰反射器、および例えばパターン付与デバイスレベルのセンサに置き換えられる。これによってセンサを浸漬液に適合させる必要をなくし、また例えばパターン付与デバイスレベルの開口数を小さくすることができるため、放射線のインカップリングを容易にすることが可能になる。
【選択図】図6
Description
パターン付与デバイスを保持するように構成された支持構造であって、このパターン付与デバイスは放射線ビームにパターンを与えるように構成されている支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターンが形成されたビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
基板テーブル上に配置された再帰反射器であって、投影システムからその上に投影された放射線を投影システム内へ戻る方に向けるように構成された再帰反射器と、
基板テーブル以外に取り付けられたセンサであって、放射線の特性を検知するようになされるとともに、再帰反射器によって反射されて投影システム内に戻った放射線を受け取るように構成されているセンサと
を有するリソグラフィ装置が提供される。
投影システムを用いて、パターンが形成された放射線ビームを基板のターゲット部分に投影するステップと、
基板を保持する基板テーブルに取り付けられた再帰反射器を用いて、放射線を反射して投影システム内へ戻すステップと、
基板テーブル以外に設けられたセンサを用いて、反射されて投影システム内に戻った放射線の特性を検知するステップと
を含むデバイス製造方法が提供される。
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターンが形成された放射線ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
投影システムと基板の間の空間に液体を供給するように構成された液体供給システムと、
基板レベルまたはその近傍に配置された再帰反射器であって、投影システムによってその上に投影された放射線を方向付して投影システム内へ戻すように構成された再帰反射器と、
再帰反射器によって反射されて投影システム内に戻った放射線の特性を検知するように構成されたセンサと
を有する液浸リソグラフィ装置が提供される。
放射線ビームPB(例えば、UV放射線またはDUV放射線)を調節(コンディショニング)するように構成された照明システム(照明器)ILと、
パターン付与デバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成された支持構造であって、所定のパラメータに従ってパターン付与デバイスを正確に位置決めするように構成された第1の位置決め装置PMに接続された支持構造(例えばマスク・テーブル)MTと、
基板(例えばレジスト塗布ウェハ)Wを保持するように構成された基板テーブルであって、所定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2の位置決め装置PWに接続された基板テーブル(例えばウェハ・テーブル)WTと、
パターン付与デバイスMAによって放射線ビームPBに与えられたパターンを、基板Wの(例えば1つまたは複数のダイを含む)ターゲット部分Cに投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズ系)PLと
を有している。
(1)ステップ・モードでは、放射線ビームに与えられたパターン全体を1回でターゲット部分Cに投影する間、支持構造MTおよび基板テーブルWTが本質的に静止した状態に保たれる(すなわち、ただ1回の静止露光)。次いで、異なるターゲット部分Cを露光することができるように、基板テーブルWTがXおよび/またはY方向に移動される。ステップ・モードでは、露光フィールドの最大サイズによって1回の静止露光で結像されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
(2)走査モードでは、放射線ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する間に、支持構造MTおよび基板テーブルWTが同期して走査される(すなわち、ただ1回の動的露光)。支持構造MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの拡大(縮小)率、および像(イメージ)の反転特性によって決定することができる。走査モードでは、露光フィールドの最大サイズによって1回の動的露光におけるターゲット部分の(非走査方向の)幅が制限され、走査移動の長さによってターゲット部分の(走査方向の)高さが決定される。
(3)他のモードでは、放射線ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する間に、支持構造MTが本質的に静止した状態に保たれてプログラム可能なパターン付与デバイスを保持し、且つ基板テーブルWTが移動または走査される。このモードでは、一般にパルス式の放射線源が使用され、基板テーブルWTが移動するたびに、または走査中の連続する放射線パルスの合間に、プログラム可能なパターン付与デバイスが必要に応じて更新される。この動作モードは、先に言及したタイプのプログラマブル・ミラー・アレイなど、プログラム可能なパターン付与デバイスを利用するマスクレス・リソグラフィに簡単に適用することができる。
BD ビーム送出システム
C ターゲット部分
CO コンデンサ
IF 位置センサ
IL 照明器
IN 積算器
MA パターン付与デバイス、マスク
MT 支持構造、マスク・テーブル
M1、M2 パターン付与デバイスのアライメント・マーク
PM、PW 位置決め装置
P1、P2 基板のアライメント・マーク
PB 放射線ビーム
PL 投影システム
SO 放射線源
W 基板
WT 基板テーブル
IN 入口
OUT 出口
10 リザーバ
12 液体制限構造
14 出口
15 入口
16 ガス・シール
10 再帰反射器
10a 再帰反射器、コーナー・キューブ・リフレクタ
10b 再帰反射器、キャッツ・アイ
11a、11b、11c ミラー
12 集束レンズ
13 平面ミラー
20、21、22 センサ
23 レンズ、レンズ系
Claims (21)
- パターン付与デバイスを保持するように構成された支持構造であって、該パターン付与デバイスが放射線ビームにパターンを与えるように構成されている支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターンが形成されたビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
前記基板テーブル上に位置付けられた再帰反射器であって、前記投影システムによってその上に投影された放射線を方向付けして該投影システム内へ戻すように配置された再帰反射器と、
前記基板テーブル以外に取り付けられたセンサであって、放射線の特性を検知するようになっており、且つ前記再帰反射器によって反射されて前記投影システム内に戻った放射線を受け取るように配置されたセンサと
を有するリソグラフィ装置。 - 前記再帰反射器がコーナー・キューブである請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記再帰反射器がキャッツ・アイである請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサが、エネルギー・センサ、透過イメージ・センサ、偏光センサ、収差センサ、レベル・センサ、シヤリング干渉計センサおよびアライメント・センサを含む群から選択される請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサと同じ特性を検知するようになっている第2のセンサであって、前記投影システムを通過しなかった放射線を受け取るように配置された第2のセンサをさらに有する請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記再帰反射器に入射する放射線の開口数を低下させるようになっている光学素子または光学系をさらに有する請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサに入射する放射線の開口数を低下させるようになっている光学素子または光学系をさらに有する請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサが前記支持構造上に位置付けられる請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記投影システムのひとみ平面内に位置付けられ、前記再帰反射器によって反射された放射線を前記センサへ方向付けるように配向された、部分反射の折り畳み式ミラーをさらに有する請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記投影システムと前記基板の間の空間に液体を供給するように構成された液体供給システムをさらに有する請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 投影システムを用いて、パターンが形成された放射線ビームを基板のターゲット部分に投影するステップと、
前記基板を保持する基板テーブルに取り付けられた再帰反射器を用いて、放射線を反射して前記投影システム内へ戻すステップと、
前記基板テーブル以外に設けられたセンサを用いて、反射されて前記投影システム内に戻った放射線の特性を検知するステップと
を含むデバイス製造方法。 - 前記再帰反射器がコーナー・キューブである請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記再帰反射器がキャッツ・アイである請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記センサが、エネルギー・センサ、透過イメージ・センサ、偏光センサ、収差センサ、レベル・センサ、シヤリング干渉計センサおよびアライメント・センサを含む群から選択される請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記投影システムを通過しなかった放射線を受け取るように構成された第2のセンサを用いて、前記センサと同じ特性を検知するステップをさらに含む請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記再帰反射器に入射する放射線の開口数を低下させるステップをさらに含む請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記センサに入射する放射線の開口数を低下させるステップをさらに含む請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記センサが、前記放射線ビームにパターンを形成するために用いられるパターン付与デバイスを保持する支持構造上に配置される請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記投影システムのひとみ平面内に設けられた部分反射の折り畳み式ミラーを用いて、前記再帰反射器によって反射された放射線を前記センサへ方向付けるステップをさらに含む請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 前記投影システムと前記基板の間の空間に液体を供給するステップをさらに含む請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターンが形成された放射線ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
前記投影システムと前記基板の間の空間に液体を供給するように構成された液体供給システムと、
前記基板レベルまたはその近傍に配置された再帰反射器であって、前記投影システムによってその上に投影された放射線を方向付して前記投影システム内へ戻すように配置された再帰反射器と、
前記再帰反射器によって反射されて前記投影システム内に戻った放射線の特性を検知するように構成されたセンサと
を有する液浸リソグラフィ装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/062,765 US7224431B2 (en) | 2005-02-22 | 2005-02-22 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006270071A true JP2006270071A (ja) | 2006-10-05 |
JP4459176B2 JP4459176B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=36912337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006043675A Expired - Fee Related JP4459176B2 (ja) | 2005-02-22 | 2006-02-21 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7224431B2 (ja) |
JP (1) | JP4459176B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241992A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Casio Comput Co Ltd | アライメントマークを有する構造体、それを含む組立体、デバイス、構造体の位置合わせ方法、組立体およびデバイスの製造方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7518703B2 (en) * | 2005-06-28 | 2009-04-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method |
US20100231881A1 (en) * | 2009-03-13 | 2010-09-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8488107B2 (en) | 2009-03-13 | 2013-07-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method involving a level sensor having multiple projection units and detection units |
US8675210B2 (en) | 2009-03-13 | 2014-03-18 | Asml Netherlands B.V. | Level sensor, lithographic apparatus, and substrate surface positioning method |
EP2228685B1 (en) * | 2009-03-13 | 2018-06-27 | ASML Netherlands B.V. | Level sensor arrangement for lithographic apparatus and device manufacturing method |
NL2006130A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-13 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Family Cites Families (102)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE221563C (ja) | ||||
DE206607C (ja) | ||||
DE224448C (ja) | ||||
DE242880C (ja) | ||||
GB1242527A (en) | 1967-10-20 | 1971-08-11 | Kodak Ltd | Optical instruments |
US3573975A (en) | 1968-07-10 | 1971-04-06 | Ibm | Photochemical fabrication process |
EP0023231B1 (de) | 1979-07-27 | 1982-08-11 | Tabarelli, Werner, Dr. | Optisches Lithographieverfahren und Einrichtung zum Kopieren eines Musters auf eine Halbleiterscheibe |
FR2474708B1 (fr) | 1980-01-24 | 1987-02-20 | Dme | Procede de microphotolithographie a haute resolution de traits |
JPS5754317A (en) | 1980-09-19 | 1982-03-31 | Hitachi Ltd | Method and device for forming pattern |
US4509852A (en) | 1980-10-06 | 1985-04-09 | Werner Tabarelli | Apparatus for the photolithographic manufacture of integrated circuit elements |
US4346164A (en) | 1980-10-06 | 1982-08-24 | Werner Tabarelli | Photolithographic method for the manufacture of integrated circuits |
US4390273A (en) | 1981-02-17 | 1983-06-28 | Censor Patent-Und Versuchsanstalt | Projection mask as well as a method and apparatus for the embedding thereof and projection printing system |
JPS57153433A (en) | 1981-03-18 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Manufacturing device for semiconductor |
JPS58202448A (ja) | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS6265326A (ja) | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS62121417A (ja) | 1985-11-22 | 1987-06-02 | Hitachi Ltd | 液浸対物レンズ装置 |
JPS63157419A (ja) | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Toshiba Corp | 微細パタ−ン転写装置 |
US5040020A (en) | 1988-03-31 | 1991-08-13 | Cornell Research Foundation, Inc. | Self-aligned, high resolution resonant dielectric lithography |
JPH03209479A (ja) | 1989-09-06 | 1991-09-12 | Sanee Giken Kk | 露光方法 |
US5121256A (en) | 1991-03-14 | 1992-06-09 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Lithography system employing a solid immersion lens |
JPH04305917A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH04305915A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
US5311288A (en) * | 1992-07-06 | 1994-05-10 | Opal Technologies Ltd. | Method and apparatus for detecting surface deviations from a reference plane |
JPH06124873A (ja) | 1992-10-09 | 1994-05-06 | Canon Inc | 液浸式投影露光装置 |
JP2753930B2 (ja) | 1992-11-27 | 1998-05-20 | キヤノン株式会社 | 液浸式投影露光装置 |
JP2520833B2 (ja) | 1992-12-21 | 1996-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 浸漬式の液処理装置 |
JPH07220990A (ja) | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Hitachi Ltd | パターン形成方法及びその露光装置 |
WO1998009278A1 (en) | 1996-08-26 | 1998-03-05 | Digital Papyrus Technologies | Method and apparatus for coupling an optical lens to a disk through a coupling medium having a relatively high index of refraction |
US5825043A (en) | 1996-10-07 | 1998-10-20 | Nikon Precision Inc. | Focusing and tilting adjustment system for lithography aligner, manufacturing apparatus or inspection apparatus |
JP3612920B2 (ja) | 1997-02-14 | 2005-01-26 | ソニー株式会社 | 光学記録媒体の原盤作製用露光装置 |
JPH10255319A (ja) | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Hitachi Maxell Ltd | 原盤露光装置及び方法 |
JP3747566B2 (ja) | 1997-04-23 | 2006-02-22 | 株式会社ニコン | 液浸型露光装置 |
JP3817836B2 (ja) | 1997-06-10 | 2006-09-06 | 株式会社ニコン | 露光装置及びその製造方法並びに露光方法及びデバイス製造方法 |
US5900354A (en) | 1997-07-03 | 1999-05-04 | Batchelder; John Samuel | Method for optical inspection and lithography |
US6020964A (en) * | 1997-12-02 | 2000-02-01 | Asm Lithography B.V. | Interferometer system and lithograph apparatus including an interferometer system |
JPH11176727A (ja) | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
AU1505699A (en) | 1997-12-12 | 1999-07-05 | Nikon Corporation | Projection exposure method and projection aligner |
WO1999049504A1 (fr) | 1998-03-26 | 1999-09-30 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'exposition par projection |
JP2000058436A (ja) | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 投影露光装置及び露光方法 |
TWI242111B (en) | 1999-04-19 | 2005-10-21 | Asml Netherlands Bv | Gas bearings for use in vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatus |
JP4504479B2 (ja) | 1999-09-21 | 2010-07-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用液浸対物レンズ |
TWI231405B (en) * | 1999-12-22 | 2005-04-21 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection apparatus, position detection device, and method of manufacturing a device using a lithographic projection apparatus |
TW522287B (en) * | 2000-01-14 | 2003-03-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection apparatus, method of calibrating a lithographic projection apparatus, method of manufacturing a device using a lithographic projection apparatus, and device manufactured thereby |
TW591653B (en) | 2000-08-08 | 2004-06-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Method of manufacturing an optically scannable information carrier |
WO2002091078A1 (en) | 2001-05-07 | 2002-11-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus employing an index matching medium |
US6600547B2 (en) | 2001-09-24 | 2003-07-29 | Nikon Corporation | Sliding seal |
CN1791839A (zh) | 2001-11-07 | 2006-06-21 | 应用材料有限公司 | 光点格栅阵列光刻机 |
DE10229818A1 (de) | 2002-06-28 | 2004-01-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Fokusdetektion und Abbildungssystem mit Fokusdetektionssystem |
US6788477B2 (en) | 2002-10-22 | 2004-09-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus for method for immersion lithography |
SG121822A1 (en) | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE60335595D1 (de) | 2002-11-12 | 2011-02-17 | Asml Netherlands Bv | Lithographischer Apparat mit Immersion und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
CN101713932B (zh) | 2002-11-12 | 2012-09-26 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
CN101470360B (zh) | 2002-11-12 | 2013-07-24 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
SG121818A1 (en) | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG131766A1 (en) | 2002-11-18 | 2007-05-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE10257766A1 (de) | 2002-12-10 | 2004-07-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Einstellung einer gewünschten optischen Eigenschaft eines Projektionsobjektivs sowie mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage |
AU2003302831A1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-30 | Nikon Corporation | Exposure method, exposure apparatus and method for manufacturing device |
KR101101737B1 (ko) | 2002-12-10 | 2012-01-05 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 노광방법, 디바이스 제조방법 |
AU2003289237A1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-30 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method for manufacturing device |
KR101037057B1 (ko) | 2002-12-10 | 2011-05-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
WO2004053953A1 (ja) | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
EP1571701A4 (en) | 2002-12-10 | 2008-04-09 | Nikon Corp | EXPOSURE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING COMPONENTS |
JP4232449B2 (ja) | 2002-12-10 | 2009-03-04 | 株式会社ニコン | 露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP4352874B2 (ja) | 2002-12-10 | 2009-10-28 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
KR20050085026A (ko) | 2002-12-10 | 2005-08-29 | 가부시키가이샤 니콘 | 광학 소자 및 그 광학 소자를 사용한 투영 노광 장치 |
AU2003289272A1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-30 | Nikon Corporation | Surface position detection apparatus, exposure method, and device porducing method |
WO2004053955A1 (ja) | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US7242455B2 (en) | 2002-12-10 | 2007-07-10 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method for producing device |
CN100370533C (zh) | 2002-12-13 | 2008-02-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于照射层的方法和用于将辐射导向层的装置 |
ES2268450T3 (es) | 2002-12-19 | 2007-03-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Metodo y dispositivo para irradiar puntos en una capa. |
WO2004057589A1 (en) | 2002-12-19 | 2004-07-08 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for irradiating spots on a layer |
KR101177331B1 (ko) | 2003-04-09 | 2012-08-30 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 유체 제어 시스템 |
WO2004090634A2 (en) | 2003-04-10 | 2004-10-21 | Nikon Corporation | Environmental system including vaccum scavange for an immersion lithography apparatus |
CN1771463A (zh) | 2003-04-10 | 2006-05-10 | 株式会社尼康 | 用于沉浸光刻装置收集液体的溢出通道 |
JP4656057B2 (ja) | 2003-04-10 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィ装置用電気浸透素子 |
JP4650413B2 (ja) | 2003-04-10 | 2011-03-16 | 株式会社ニコン | 液浸リソグフラフィ装置用の移送領域を含む環境システム |
JP4582089B2 (ja) | 2003-04-11 | 2010-11-17 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィ用の液体噴射回収システム |
JP4837556B2 (ja) | 2003-04-11 | 2011-12-14 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィにおける光学素子の洗浄方法 |
EP2613193B1 (en) | 2003-04-11 | 2016-01-13 | Nikon Corporation | Apparatus and method for maintaining immersion fluid in the gap under the projection lens during wafer exchange in an immersion lithography machine |
SG152078A1 (en) | 2003-04-17 | 2009-05-29 | Nikon Corp | Optical arrangement of autofocus elements for use with immersion lithography |
TWI295414B (en) | 2003-05-13 | 2008-04-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7274472B2 (en) | 2003-05-28 | 2007-09-25 | Timbre Technologies, Inc. | Resolution enhanced optical metrology |
US7684008B2 (en) | 2003-06-11 | 2010-03-23 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2005019616A (ja) | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Canon Inc | 液浸式露光装置 |
JP4343597B2 (ja) | 2003-06-25 | 2009-10-14 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP3862678B2 (ja) | 2003-06-27 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
EP1498778A1 (en) | 2003-06-27 | 2005-01-19 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG109000A1 (en) | 2003-07-16 | 2005-02-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US6954256B2 (en) | 2003-08-29 | 2005-10-11 | Asml Netherlands B.V. | Gradient immersion lithography |
US7070915B2 (en) | 2003-08-29 | 2006-07-04 | Tokyo Electron Limited | Method and system for drying a substrate |
JP4378136B2 (ja) | 2003-09-04 | 2009-12-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP3870182B2 (ja) | 2003-09-09 | 2007-01-17 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005159322A (ja) | 2003-10-31 | 2005-06-16 | Nikon Corp | 定盤、ステージ装置及び露光装置並びに露光方法 |
JP2005175016A (ja) | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Canon Inc | 基板保持装置およびそれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP2005175034A (ja) | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Canon Inc | 露光装置 |
US7589818B2 (en) | 2003-12-23 | 2009-09-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, alignment apparatus, device manufacturing method, and a method of converting an apparatus |
JP2005191393A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Canon Inc | 露光方法及び装置 |
JP2005191381A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Canon Inc | 露光方法及び装置 |
JP4429023B2 (ja) | 2004-01-07 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP4018647B2 (ja) | 2004-02-09 | 2007-12-05 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置およびデバイス製造方法 |
JP4510494B2 (ja) | 2004-03-29 | 2010-07-21 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
JP2005286068A (ja) | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Canon Inc | 露光装置及び方法 |
-
2005
- 2005-02-22 US US11/062,765 patent/US7224431B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-02-21 JP JP2006043675A patent/JP4459176B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241992A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Casio Comput Co Ltd | アライメントマークを有する構造体、それを含む組立体、デバイス、構造体の位置合わせ方法、組立体およびデバイスの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7224431B2 (en) | 2007-05-29 |
US20060187429A1 (en) | 2006-08-24 |
JP4459176B2 (ja) | 2010-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6469761B2 (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP4248490B2 (ja) | リソグラフィック装置、位置合せ装置、デバイス製造方法、位置合せ方法及び装置を変換する方法 | |
JP4342412B2 (ja) | リソグラフィック装置及びデバイス製造方法 | |
JP4728382B2 (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
KR100699567B1 (ko) | 리소그래피 장치 및 디바이스 제조방법 | |
JP5161197B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP2005294839A (ja) | リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及びその方法により製造したデバイス | |
JP2012074745A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP2004165666A (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP4399414B2 (ja) | センサー・シールド | |
JP2006148111A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4459176B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP5155277B2 (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP4777933B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP2010524231A (ja) | パターニングデバイスを照明するための照明システム、および照明システムを製造する方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20061212 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20070529 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090714 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100128 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4459176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140219 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |