WO2017057465A1 - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、第1の実施形態について、図1~図6(b)を用いて説明する。
次に第2の実施形態に係る液晶露光装置について、図7及び図8を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板PのZチルト位置情報を求めるための計測系の構成が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態に係る液晶露光装置について、図9~図11を用いて説明する。第3の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板PのZチルト位置情報を求めるための計測系の構成が異なる点を除き、上記第1又は第2の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1又は第2の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1又は第2の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第4の実施形態に係る液晶露光装置について、図12及び図13を用いて説明する。本第4の実施形態におけるZチルト位置計測系370は、図12に示されるように、上記第1の実施形態と同様に、投影光学系16の+Y側に配置されたヘッドユニット372aと、投影光学系16の-Y側にヘッドユニット372bとを有している。また、基板ホルダ36には、ヘッドユニット372a、372bに対応して、一対のターゲット338が取り付けられている。ターゲット338のX軸方向の長さは、上記第1の実施形態と同様である。
次に第5の実施形態に係る液晶露光装置について、図14及び図15を用いて説明する。本第5の実施形態に係る液晶露光装置は、上記第4の実施形態と同様に、エンコーダシステムを用いて基板Pの水平面内の位置情報を求めるが、該エンコーダシステム用(水平面内位置計測系)のヘッドユニットと、Zチルト位置計測系用のヘッドユニットとが独立している点が上記第4の実施形態と異なる。以下、第4の実施形態との相違点に関して説明し、上記第4の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第4の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
なお、上記第4及び第5の各実施形態(基板ステージ水平面内位置計測系58がエンコーダシステムである場合の実施形態)において、Xスケール(図中に示されるX軸方向計測用の格子パターン)やYスケール(図中に示されるY軸方向計測用の格子パターン)を、互いに独立したスケール用部材(例えばターゲット338上に配置されている複数のスケール板)に設けるように構成している。しかしながら、これら複数の格子パターンを、同一の長いスケール用部材上に一群の格子パターンごと分けて形成するようにしても良い。また同一の長いスケール用部材上に格子パターンを連続して形成しても良い。
次に第6の実施形態に係る液晶露光装置について、図16(a)及び図16(b)を用いて説明する。本第6の実施形態に係る液晶露光装置は、基板Pを投影光学系16(図1参照)に対して高精度位置決めするための基板ステージ装置520の構成が、上記第1~第5の実施形態と異なる。基板Pの6自由度方向の位置情報を求めるための計測系の構成は、上記第1~第5の実施形態に係る計測系の何れかと同様の構成の計測系を適宜用いることができる。以下、本第6の実施形態については、上記第1~第5の実施形態との相違点についてのみ説明し、上記第1~第5の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1~第5の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (21)
- 物体を保持し、第1方向へ移動可能な第1移動体と、
前記第1移動体に対向して設けられ、前記第1方向へ移動可能な第2移動体と、
前記第1及び第2移動体の一方の移動体に設けられた計測系と、他方の移動体に設けられた被計測系と、を有し、前記被計測系に対して前記計測系が計測ビームを照射し前記第1移動体の上下方向の位置を計測する計測部と、を備え、
前記計測部は、前記第1方向へ移動した前記第1移動体に対して、前記第1移動体に対向するように前記第2移動体が前記第1方向へ移動し、計測を行う移動体装置。 - 前記第2移動体は、前記計測ビームが前記被計測系から外れないように、前記第1移動体に対して前記第1方向へ移動する請求項1に記載の移動体装置。
- 前記計測系は、前記第2移動体に設けられ、
前記計測部は、前記第2移動体に設けられた前記計測系が前記第1方向への駆動に起因して生じる前記上下方向を軸とする回転方向の計測誤差を補償し、前記第1移動体の前記第1方向の位置を計測する請求項1又は2に記載の移動体装置。 - 前記被計測系は、前記第1方向と交差する第2方向に関する前記第1移動体の移動可能範囲を計測可能な長さを有する請求項1~3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体は、前記計測ビームが前記被計測系から外れないように、前記第2方向へ移動する請求項4に記載の移動体装置。
- 前記計測部は、前記第1移動体が前記第2方向に移動する場合、前記第2方向に関する前記第2移動体の位置を変えずに計測を行う請求項4又は5に記載の移動体装置。
- 前記計測系は、複数設けられ、
前記複数の計測系の前記被計測系に対する計測点は、前記第2方向に関して互いに位置が異なる請求項4~6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記計測部は、前記被計測系に前記計測ビームを照射するとともに該計測ビームの前記被計測系からの戻り光に基づいて前記第1移動体の前記上下方向の位置を計測する請求項1~7のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体の移動の基準となる基準部材と、をさらに備え、
前記第2移動体は、前記上下方向に関して、前記第1移動体と前記基準部材との間に配置される請求項1~8のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2移動体の前記第1方向の位置情報を求める第1計測系と、
前記第1移動体及び前記第2移動体の一方の移動体に設けられた回折格子、及び前記第1移動体及び前記第2移動体の他方の移動体に設けられ、前記回折格子を用いて前記第1移動体の前記第1方向を含む2次元平面内の位置情報を求めるエンコーダヘッドを含む第2計測系と、を有し
前記第1及び第2計測系の出力に基づいて前記第1移動体の前記2次元平面内の位置情報を求める請求項1~9のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記物体を非接触支持する支持部をさらに備え、
前記第1移動体は、前記支持部により非接触支持された前記物体を保持する請求項1~10のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 物体を保持し、第1方向へ移動可能な第1移動体と、
前記第1移動体に対向して設けられ、前記第1方向へ移動可能な第2移動体と、
前記第1及び第2移動体の一方の移動体に設けられた計測系と、他方の移動体に設けられた被計測系と、を有し、前記被計測系に対して前記計測系が計測ビームを照射し前記第1移動体の上下方向の位置を計測する計測部と、を備える移動体装置。 - 請求項1~12のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記第1移動体に保持された物体に対してエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項13に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項13又は14に記載の露光装置。
- 請求項13~15のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項13~15のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 物体を保持し、第1方向へ移動可能な第1移動体と前記第1移動体に対向して設けられ、前記第1方向へ移動可能な第2移動体との一方に設けられた被計測系に対して、前記第1移動体と前記第2移動体との他方に設けられた計測系が計測ビームを照射し、前記第1移動体の上下方向の位置を計測することを含み、
前記計測することでは、前記第1方向へ移動した前記第1移動体に対向するように、前記第1移動体に対して前記第2移動体が前記第1方向へ移動し、前記計測が行われる計測方法。 - 前記第2移動体は、前記計測ビームが前記被計測系から外れないように、前記第1移動体に対して前記第1方向へ移動する請求項18に記載の計測方法。
- 前記計測系は、前記第2移動体に設けられ、
前記計測することでは、前記第2移動体に設けられた前記計測系が前記第1方向へ移動することに起因して生じる前記上下方向を軸とする回転方向の計測誤差を補償し、前記第1移動体の前記第1方向の位置を計測する請求項18又は19に記載の計測方法。 - 前記被計測系は、前記第1方向と交差する第2方向に関する前記第1移動体の移動可能範囲を計測可能な長さを有する請求項18~20のいずれか一項に記載の計測方法。
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