JP2011023425A5 - - Google Patents

Description

本発明の１つの側面は、板部材を保持するステージ装置であって、ステージと、前記ステージに設けられていて、前記板部材の下面に当接して前記板部材の面に垂直な方向において前記板部材を位置決めする第１位置決め部材と、前記ステージに設けられていて、前記板部材の上面に当接して前記第１位置決め部材と共に前記板部材の面に垂直な方向において前記板部材を位置決めする第２位置決め部材と、前記第１位置決め部材の周囲に第１密閉空間を形成する弾性を有する第１密閉部材と、前記第２位置決め部材の周囲に第２密閉空間を形成する弾性を有する第２密閉部材と、前記板部材が真空吸着されるように、前記第１密閉空間及び前記第２密閉空間から空気をそれぞれ吸引する第１吸引機構及び第２吸引機構と、を備えることを特徴とする。

Claims (7)

1. 板部材を保持するステージ装置であって、
   ステージと、
   前記ステージに設けられていて、前記板部材の下面に当接して前記板部材の面に垂直な方向において前記板部材を位置決めする第１位置決め部材と、
   前記ステージに設けられていて、前記板部材の上面に当接して前記第１位置決め部材と共に前記板部材の面に垂直な方向において前記板部材を位置決めする第２位置決め部材と、
   前記第１位置決め部材の周囲に第１密閉空間を形成する弾性を有する第１密閉部材と、
   前記第２位置決め部材の周囲に第２密閉空間を形成する弾性を有する第２密閉部材と、
   前記板部材が真空吸着されるように、前記第１密閉空間及び前記第２密閉空間から空気をそれぞれ吸引する第１吸引機構及び第２吸引機構と、
   を備える、ことを特徴とするステージ装置。
2. 前記第２位置決め部材及び前記第２密閉部材を前記板部材の上面に対向する位置から当該上面に対向しない位置へ移動させる駆動部をさらに備える、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記第２位置決め部材及び前記第２密閉部材を前記板部材の上面に対向する位置に位置決めする第３位置決め部材をさらに備え、
   前記駆動部は、前記第２位置決め部材及び前記第２密閉部材を、前記板部材の上面に対向する位置と当該上面に対向しない位置との間で前記板部材の面と平行な方向に移動させる、ことを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
4. 前記第２位置決め部材及び前記第２密閉部材は、それらの回動によって前記板部材の上面に対向する位置から当該上面に対向しない位置へ移動するように構成され、
   前記駆動部は、前記第２位置決め部材及び前記第２密閉部材を下方から突き上げて回動させる、ことを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
5. レチクルのパターンを基板に投影して基板を露光する露光装置であって、
   前記レチクルは、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のステージ装置によって保持されている、ことを特徴とする露光装置。
6. デバイスを製造する方法であって、
   請求項５に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   前記露光された基板を現像する工程と、
   を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
7. 板部材を保持するステージ装置であって、
   ステージと、
   前記ステージに設けられていて、前記板部材の下面に当接して前記板部材の面に垂直な方向に前記板部材を位置決めする位置決め部材と、
   前記第１位置決め部材の周囲に第１密閉空間を形成する弾性を有する第１密閉部材と、
   前記ステージに設けられていて、前記板部材の上面に当接し、第２密閉空間を形成する弾性を有する第２密閉部材と、
   前記板部材が真空吸着されるように、前記第１密閉空間及び前記第２密閉空間から空気をそれぞれ吸引する第１吸引機構及び第２吸引機構と、
   を備える、ことを特徴とするステージ装置。