JPH08153665A - 基板の保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は基板にたわみが生じないよう、そ
の基板を精度よく保持できるようにした基板の保持装置
を提供することにある。 【構成】 装置本体に保持機構を設け、この保持機構に
よって基板を保持する保持装置において、上記保持機構
は、上記基板１１の幅方向両側下面に弾性的に当接して
この基板を支持する下部可動突起９と、上記基板の上面
の幅方向一端側の２点と他端側の２点のうちの１点とに
当接して上記基板を上面を基準にして位置決め支持する
上面基準固定ピン１５と、この上面基準固定ピンによっ
て位置決めされた上記基板の上面の幅方向他端側の残り
の１点に弾性的に当接する上面基準可動ピン２２とを具
備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は露光用のマスクとなる
ガラス製の基板にパターンを描画する際、上記基板を保
持するための保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造において
は、その装置を構成する液晶基板に回路パターンを露光
する工程がある。この露光工程では、ガラス製の基板に
上記回路パターンが描画されたマスクが用いられる。

【０００３】マスク用の基板に回路パターンを描画する
際、この基板は描画面を基準として保持装置に保持され
て行われる。上記回路パターンの描画はミクロンオーダ
の精度が要求されるから、上記保持装置による基板の保
持精度も、同程度に要求されることになる。また、マス
ク用の基板は、その基板が用いられる露光装置の種類な
どに応じて厚さが異なることがある。したがって、上記
保持装置は、上記基板の厚さが異なっても、保持精度を
維持できる構造でなければならない。

【０００４】従来、上記マスク用の基板を保持する保持
装置としては、たとえば実開昭６１−１５１３３３号公
報に示される、試料保持用カセットが知られている。こ
の公報に示されたカセットは、試料（基板）の下面の３
か所を可動支点で支持し、その下面３か所と対応する上
面を３か所の固定支点で支持する構成となっている。上
記固定支点は、スクリュー部を設けて支持高さの調節が
できるようになっている。

【０００５】ところで、このような構成によると、上記
試料は、上面が３つの固定支点で支持される。試料の上
面を３つの固定支点で支持すれば、３点で定まる平面に
よって上記試料を位置決め支持することができる。

【０００６】しかしながら、試料の上下面を３点で支持
する構成であると、その試料は自重によってたわみが生
じ、支持精度が低下するということがあった。試料の自
重によるたわみをなくすため、その試料を上下４つの点
で支持するということが考えられている。しかしなが
ら、試料の上面を４つの固定支点で支持するようにする
と、固定支点にごみが付着した場合や使用にともない磨
耗した場合などに上記試料に無理な力を加えてしまうか
ら、その試料にたわみを発生させるということがある。

【０００７】一方、上記試料の下面を可動支点で弾性的
に支持し、上面を固定支点で支持する構成によると、上
記可動支点が試料に押上げ力を加えるため、その押上げ
力によって試料にたわみが生じるということがある。そ
こで、上記試料の上面を支持する支点として固定支点だ
けでなく、下面を支持する可動支点による押上げ力を打
ち消す弾性押し下げ支点を設けるということが考えられ
ている。この弾性押し下げ支点は、上記試料の上面に弾
性的に当接し、下面に当接した可動支点が上記試料に加
える押上げ力を打ち消す押し下げ力を上記試料に加える
ことになる。

【０００８】弾性押し下げ支点を設け、上記可動支点に
よる押上げ力を打ち消すことで、上記試料が押上げ力に
よってたわむ量を減少させることができる。しかしなが
ら、上記試料は厚さが変わることがあり、そのような場
合には試料に加わる押上げ力と押し下げ力とのバランス
がくずれ、試料にたわみが発生する原因となる。

【０００９】たとえば、試料が薄くなった場合には、そ
の試料には、下面側を弾性的に支持する可動支点により
加えられる押上げ力が低下し、押し下げ支点により加え
られる押し下げ力が増大する。それによって、上述した
ごとく試料に加わる押上げ力と押し下げ力とのバランス
がくずれ、たわみが生じることになる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の保
持装置においては、基板を上下それぞれ３点で支持した
場合には、その基板が自重によってたわむということが
あり、自重によるたわみをなくすために４点で支持する
ようにすると、基板の上面に接触する固定支点にごみが
付着したり、磨耗するなどのことによって、上記基板に
無理な力を加え、たわみを発生させることになる。

【００１１】また、基板の上面側を弾性的に支持する押
し下げ支点を設け、下面側を弾性的に支持する可動支点
による押上げ力を打ち消すようにした場合、上記基板の
厚さが変化すると、押し下げ支点が基板に加える押し下
げ力も変化するため、その変化によって基板にたわみが
生じるということがある。

【００１２】この発明の目的とするところは、基板の上
下面をそれぞれ４点で支持して自重によるたわみをなく
すようにした場合、上記基板に無理な力が加わってたわ
みが発生することがないようにした基板の保持装置を提
供することにある。

【００１３】また、この発明の目的とするところは、基
板を押し上げる力を打ち消すことができるようにした場
合、基板の厚さが変化しても、基板に加わる押し上げる
力と押し下げる力とのバランスが大きく変化することが
ないようにした基板の保持装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載されたこ
の発明は、装置本体に保持機構を設け、この保持機構に
よって基板を保持する保持装置において、上記保持機構
は、上記基板の幅方向両側下面に弾性的に当接してこの
基板を支持する下部弾性支持手段と、上記基板の上面の
幅方向一端側の２点と他端側の２点のうちの１点とに当
接して上記基板を上面を基準にして位置決め支持する上
部固定支持手段と、この上部固定支持手段によって位置
決めされた上記基板の上面の幅方向他端側の残りの１点
に弾性的に当接する上部弾性支持手段とを具備したこと
を特徴とする。

【００１５】請求項７に記載されたこの発明は、装置本
体に保持機構を設け、この保持機構によって基板を保持
する保持装置において、上記保持機構は、上記基板の下
面に弾性的に当接してこの基板を支持する下部弾性支持
手段と、上記基板の上面に弾性的に当接し上記下部弾性
支持手段によって上記基板に加えられる押上げ力を打ち
消すための上部弾性押し下げ手段と、上記基板の厚さが
変化したときに上記上部弾性押し下げ手段が上記基板に
加える押し下げ力を調整する調整手段とを具備したこと
を特徴とする。

【００１６】

【作用】請求項１に記載された発明によれば、基板の上
面は３点が固定支持手段によって支持され、１点が上部
弾性支持手段によって支持されるから、４点支持となっ
て基板にたわみが発生しずらくなり、しかも１点が基板
上面を弾性的に支持するから、基板の上面位置が変化し
ても、基板に無理な力を与えることがない。

【００１７】請求項７に記載された発明によれば、基板
の下面だけでなく、上面も弾性的に支持した場合、上記
基板の厚さが変化しても、上記上部弾性押し下げ手段に
より上記基板に加えられる押し下げ力が上記調整手段に
よって調整されるため、たとえば基板が薄くなっても、
その基板に加わる押し下げ力が増大するのを防止し、基
板のたわみを少なくする。

【００１８】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１ないし図６はこの発明の一実施例を示し、
図１に示す保持装置は矩形板状の本体１を備えている。
この本体１の上面には周辺部の三側に周壁２をコ字状に
残して前後方向一端が開放した段差部３が形成されてい
る。

【００１９】上記段差部３の幅方向両側には保持機構を
構成する下部弾性支持手段４がそれぞれ設けられてい
る。この下部弾性支持手段４は、長手方向を上記本体１
の前後方向に沿わせた帯板状のバー５を有する。このバ
ー５の長手方向の両端部下面には凹状の第１の受け部６
が形成されている。

【００２０】各受け部６には弾性材としてのコイルばね
７の上部が嵌合されている。各コイルばね７の下端部は
上記本体１の段差部３に形成された第２の受け部８に嵌
合されている。したがって、一対のバー５は上記コイル
ばね７によって上下方向に弾性的に変位自在となってい
る。

【００２１】上記バー５の上面の長手方向両端部にはそ
れぞれ球形状の下部可動突起９が突設されている。２本
のバー５に設けられた、合計４つの下部可動突起９は、
上記段差部３に図示しない供給手段によって供給された
矩形板状の基板１１の下面の幅方向両側下面を４点で支
持するようになっている。

【００２２】上記段差部３には、その開放端側および幅
方向一側を除く二辺に位置決めピン１２が突設されてい
る。上記段差部３に供給された基板１１には、位置決め
のために図１に矢印Ｘ、Ｙで示す二方向から外力が加え
られる。それによって、上記基板１１はその二辺が上記
位置決めピン１２に押圧されるから、基板１１は段差部
３内において所定の位置に位置決めされることになる。

【００２３】上記本体１の周壁２の幅方向一端側の上面
には一対の第１の取付け板１３が基端部をねじ止め固定
して設けられ、上記周壁２の他端側の上面には第１の取
付け板１３と第２の取付け板１４とが基端部をねじ止め
固定して設けられている。

【００２４】３つの第１の取付け板１３の先端部には上
部固定支持手段を形成する上面基準固定ピン１５が高さ
調節自在に捩じ込まれている。第１の取付け板１４の側
面には、図４に示すように固定ねじ１６が捩じ込まれ、
高さ調節された上記上面基準固定ピン１５を固定できる
ようになっている。この上面基準固定ピン１５の下端
は、基板１１の上面と点接触するよう、球面部１７に形
成されている。

【００２５】上記第２の取付け板１４の先端部には、図
５に示すように上部弾性支持手段を形成する中空筒状の
収容体１８が上下方向の位置決め自在に捩じ込まれてい
る。この収容体１８の上部開口は栓体１９によって閉塞
され、下端は小径孔２１が形成されている。上記栓体１
９の上面にはドライバを係合させることができる溝１９
ａが形成されている。

【００２６】上記収容体１８には先端が球面状に形成さ
れた上面基準可動ピン２２およびこの上面基準可動ピン
２２をその先端部が上記小径孔２１から突出する方向に
付勢したばね２３が収容されている。このばね２３は上
記栓体１９の捩じ込み位置を調整することで、上記ばね
２３が上記上面基準可動ピン２２を付勢する付勢力を変
えることができるようになっている。つまり、上記上面
基準可動ピン２２が基板１１の上面の１点を支持する力
を変えることができる。

【００２７】上記第２の取付け板１４の先端部には、上
記収容体１８が捩込まれた部分に連通するすり割り２４
が幅方向に沿って形成され、このすり割り２３の隙間は
上記第２の取付け板１４の先端側に螺合された固定ねじ
２５によって調節できるようになっている。つまり、第
２の取付け板１４に螺合された収容体１８は、その高さ
方向の位置決めをしたのち、上記固定ねじ２５によって
固定できるようになっている。

【００２８】３つの上面基準固定ピン１５と１つの上面
基準可動ピン２２とは、４つの下部可動突起９と上下方
向において対応する位置に設けられている。つまり、基
板１１はその上下面の対応する４か所が上面基準固定ピ
ン１５と１つの上面基準可動ピン２２および下部可動突
起９によって支持されるようになっている。

【００２９】上記収容体１８に収容されたばね２３は、
基板１１を上方へ付勢する、４つのコイルばね７の付勢
力と、このばね７の付勢力と、逆方向に作用する基板１
１の自重との差（基板１１を上昇方向に付勢する力）と
ほぼ同じあるいは僅かに大きくなるよう上記栓体１９に
よって設定される。それによって、上記ばね２３によっ
て付勢された上面基準可動ピン２２が基板１１の上面を
必要以上に強い力で押圧するのを防止している。

【００３０】このような構成の保持装置において、本体
１の段差部３に供給された基板１１は、その下面の幅方
向両端部が一対のバー５に設けられた４つの下部可動突
起９によって支持されている。基板１１の上面は幅方向
一端側が一対の上面基準固定ピン１５によって支持さ
れ、他端側は長手方向の一方が上面基準固定ピン１５に
よって支持されているとともに、他方が上面基準可動ピ
ン２２によって支持される。

【００３１】つまり、段差部３に供給された基板１１
は、その上下面がそれぞれ４点で支持される。そのた
め、３点支持の場合に比べて上記基板１１の自重による
たわみを低減させることができる。

【００３２】４点支持の場合、上面基準固定ピン１５と
基板１１の上面にごみが介入したり、上面基準固定ピン
１５が磨耗するなどのことによって上記基板１１に無理
な外力を加えてたわみを生じさせることがある。

【００３３】しかしながら、基板１１の上面を支持した
４点のうち、１点はばね２３によって弾性的に変位自在
に設けられた上面基準可動ピン２２となっている。その
ため、ごみの介入や上面基準固定ピン１５の磨耗などに
よって基板１１の上面が変位すると、その変位に応じて
上面基準可動ピン２２も弾性的に変位するから、上記基
板１１の上面に無理な力が加えられることがない。

【００３４】つまり、基板１１は４点支持によって自重
によるたわみが低減されているが、基板１１の上面の位
置が種々の原因によって変位したときには、その変位に
応じて上面基準可動ピン２２が弾性的に変位するから、
上記基板１１をその上面が変位しても、たわみのない状
態で精度よく支持することができる。

【００３５】しかも、上記上面基準可動ピン２２は、基
板１１を上昇方向に付勢したばね７の付勢力と、基板１
１の自重との差にほぼ等しいか、わずかに大きな力の付
勢力に設定されたばね２３によって付勢されて基板１１
の上面を支持している。

【００３６】そのため、基板１１の上面の変位に対し、
その基板１１にほとんど圧力を加えることなく変位する
から、そのことによっても基板１１に生じるたわみを低
減させることになる。

【００３７】しかも、上記上面基準可動ピン２２を付勢
したばね２３は、収容体１８に螺合された栓体１９の捩
じ込み量によってその付勢力を調整できる。そのため、
基板１１の板厚が変化した場合などには、その付勢力を
調整することで、容易に対応することが可能である。

【００３８】上記基板１１は、その下面と上面との４点
が対応する位置で支持されている。そのため、支持点の
ずれによるモーメントが発生するということがないか
ら、そのことによっても、基板１１の支持精度が向上す
る。つまり、たわみが発生しづらい。

【００３９】基板１１の下面を支持する下部可動突起９
は、基板１１の幅方向一端部を支持する２つを、１つの
バー５の上面に設けるようにした。そのため、その２つ
の下部突起９がバー５を介してほぼ同じ支持力で基板１
１を支持するから、４つの下部突起９が別々に変位する
場合に比べて基板１１の支持精度を向上させることがで
きる。

【００４０】上記一実施例では基板１１の下面を支持す
るために、一対のバー５に２つの下部可動突起９を設
け、その下面を４点で支持するようにしたが、図６に示
すようにバー５の上面にその長さ方向に沿う断面三角形
状の凸条４１を設け、この凸条４１を基板１１の下面の
両側に線接触させて支持するようにしてもよい。

【００４１】図８ないし図１０はこの発明の第２の実施
例を示す。図８に示す保持装置は矩形板状の本体３１を
備えている。この本体３１の上面にはコ字状の周壁３２
を残して前後方向一端が開放した段差部３３が形成され
ている。上記段差部３３の幅方向両側にはそれぞれ保持
機構３４が設けられている。この保持機構３４は長手方
向を上記本体３１の前後方向に沿わせた帯板状の可動板
３５を有する。この可動板３５の中途部にはコ字状の屈
曲部３５ａが形成されているとともに、両端にはそれぞ
れ２枚の板ばね３６ａ、３６ｂが一端を連結してＶ字状
をなしたばね体３７の一方の板ばね３６ａの他端が連結
固定されている。

【００４２】上記ばね体３７の他方の板ばね３６ｂの他
端は上記段差部３３の上面に連結固定されている。した
がって、上記ばね体３７は一対の板ばね３６ａ、３６ｂ
の他端が開閉する状態に弾性変形する。それによって、
可動板３５は凹部３３の上面に対して平行な状態、つま
り水平な状態で上下方向に弾性的に変位自在となってい
る。

【００４３】上記可動板３５の両端部下面と上記段差部
３３の上面とには図１０に示すように凹部３５ｂ、３３
ｂが形成され、これら凹部にはコイルばね４０が上下端
部を係合させて設けられている。このコイルばね４０は
上記ばね体３７とともに上記可動板３５を弾性的に支持
している。

【００４４】上記可動板３５の両端部上面には図９と図
１０に示すように矩形状の受け部材３９がばね部材４０
によって上記可動板３５の長手方向に沿って揺動自在に
取り付けられている。各受け部材３９の上面には下部弾
性支持手段を構成するそれぞれ一対の第１の突起４４が
突設されている。つまり、各可動板３５にはそれぞれ４
つの第１の突起４４が可動板３５の長手方向に沿って設
けられていることになる。

【００４５】上記可動板３５に設けられた受け部材３９
の上方には、基準板４５が幅方向一端部を上記本体１の
周壁３２の上端面に固定して設けられている。この基準
板４５の幅方向他端部の下面には一対の第１の突起４４
の一方と対向して上部固定支持手段を構成する第２の突
起４６が突設されている。

【００４６】上記基準板４５の他方の第１の突起４４と
対応する部分はこの基準板４５に形成されたスリット４
５ａによって板ばね状の上面支持ばね６０が形成されて
いる。この上面支持ばね６０の先端にはねじからなると
ともに上記上面支持ばね６０とで上部弾性押上げ手段を
なす第３の突起４７が突出長さの調整自在に設けられて
いる。

【００４７】上記上面支持ばね６０の中途部にはねじ軸
からなる受け部材４８が下方への突出長さの調整自在に
設けられている。上記可動板３５の上記受け部材４８と
対応する部分には下端が閉塞された収容筒４９が設けら
れている。この収容筒４９には調整ばね５０およびこの
調整ばね５０によって弾性的に支持された調整ロッド５
１が収容されている。

【００４８】上記調整ロッド５１の先端は、上記上面支
持ばね６０に設けられた上記受け部材４８の下端面に弾
性的に圧接する。これら調整ロッド５１と受け部材４８
との圧接力は、一対の第１の突起４４と第２、第３の突
起４６、４７とに上下面を挟持されて保持される基板１
７の厚さによって変化する。つまり、基板１７が厚い場
合には調整ロッド５１が下方へ変位するから、受け部材
４８に対する当接力が小さくなり、逆に薄い場合には受
け部材４８に強く当たることになる。

【００４９】上記調整ロッド５１が受け部材４８に強く
当たると、上面支持ばね６０が押し上げられるから、そ
の先端に設けられた第３の突起４７が基板１７の上面を
押圧する力が低減することになる。すなわち、上記調整
ロッド５１と受け部材４８とは第３の突起４７が基板１
７の上面に当接する力を調整する調整手段をなしてい
る。

【００５０】上記本体３１の幅方向両端部に設けられた
一対の可動板３５は押し下げ体６１によって連動するよ
うになっている。つまり、この押し下げ体６１は図８に
示すように両端部が上方に向かって屈曲した階段部６２
に形成されていて、その末端部が押圧部６２ａに形成さ
れている。この押し下げ体６１は上記階段部６２を上記
可動板３５の中央部に形成された屈曲部３５ａに対応さ
せて配置され、その両端部下面と段差部３３の上面との
間には、図９に示すようにこの押し下げ体６１を弾性的
に保持するコイルばね６３が設けられているとともに、
上記段差部３３に立設されたガイドねじ６４（図８に示
す）によって上下動がガイドされるようになっている。

【００５１】上記押し下げ体６２の押圧部６２ａを図示
しないアクチュエータによって押圧すれば、この押し下
げ体６２を介して上記可動板３５を十分なストロークで
下方へ変位させることができる。

【００５２】左右一対の可動板３５の屈曲部３５ａの両
端には、それぞれ一対の連結ロッド６８の一端が連結さ
れている。対向する一対の連結ロッド６８の他端は板ば
ね６９によって連結されている。それによって、押し下
げ体６１を押圧して可動板３５を押し下げる際、左右一
対の可動板３５が幅方向に振れるのを上記連結ロッド６
８によって制限している。

【００５３】また、可動板３５が所定の幅寸法を有し、
幅方向に剛性の強い一対の板ばね３６ａ、３６ｂからな
るばね体３７によって保持されていることによっても、
上記可動板３５が幅方向に振れるのを制限している。

【００５４】上記可動板３５を下方へ変位させれば、こ
の可動板３５の上面に設けられた第１の突起４４と、上
記基準板４５の下面に設けられた第２、第３の突起４
６、４７との間隔が拡大される。その状態で、上記本体
３１には、その段差部３３の開放端側から搬送アーム６
７によって矩形状の上記基板１７が供給される。この基
板１７の前後方向の挿入位置決めは、基板１７の先端側
と幅方向一側とを、上記段差部３３の末端部に立設され
た一対の位置決めピン７０および一側に立設された１本
の位置決めピン７０に当接させることで行われる。

【００５５】上記搬送アーム６７によって上記本体３１
に供給された基板１７が位置決めピン７０によって位置
決めされたならば、図示しないアクチュエータによる押
し下げ体６１の押圧状態を解除する。それによって、可
動板３５がばね体３７とコイルばね４０との復元力によ
って上昇し、幅方向両端部の下面を第１の突起４４に当
接させた上記基板４７の上面を、基準板４５の下面に設
けられた第２、第３の突起４６、４７に弾性的に当接さ
せるから、上記基板１７はその幅方向両端部が第１、第
２の突起４４、４６および第１、第３の突起４４、４７
によって保持される。ついで、上記搬送アーム６７が後
退することで、基板１７の供給保持が終了する。

【００５６】このような構成の保持装置によれば、基板
１７は四隅部の下面がそれぞれ一対の第１の突起４４に
よって支持され、上面は各一対の第１の突起４４に対応
する上面は第２の突起４６と第３の突起４７とによって
支持されている。

【００５７】上記第１の突起４４は弾性的に設けられ、
第２の突起４６は固定的に設けられ、第３の突起４７は
弾性的に設けられている。そのため、上記第１の突起４
４による押上げ力と、第３の突起４７による押し下げ力
とを、基板１７の厚さに応じてたとえば第３の突起４７
の突出長さを調整するなどしてバランスさせれば、基板
１７に第１の突起４４による押上げ力でひずみが生じる
のを防止することができる。

【００５８】なお、押上げ力と押し下げ力との調整は、
基板１７が上面を固定支点である第２の突起４６に当接
させた状態で、基板１７の平面度が保たれるように設定
されている。つまり、基板１７は上面を基準にして保持
され、しかもそのときに押上げ力と押し下げ力とのアン
バランスによって歪みが生じることがないよう設定され
ている。

【００５９】このとき、基板１７が標準の厚さの場合、
上記可動板３５に設けられた調整ロッド５１の上端と、
上面支持ばね６０に設けられた受け部材４８の下端と
は、上記上面支持ばね６０にほとんど力を加えることの
ない状態で接触しており、その状態で基板１７の平面度
が損なわれることがないようになっている。

【００６０】基板１７が標準の厚さよりも厚くなった場
合、可動板３５がその厚さの増加分だけ押し下げられ
る。そのため、調整ロッド５１の上端と、受け部材４８
の下端との当接状態は上記基板１７が標準の厚さのとき
よりも緩やかあるいはわずかに離間する状態となるか
ら、上記調整ロッド５１が受け部材４８を介して上面支
持ばね６０に加える力が変化することがない。つまり、
基板１７に加わる押上げ力と押し下げ力とはバランスし
た状態を維持する。

【００６１】上記基板１７が標準の厚さよりも薄くなっ
た場合、可動板３５は上方へ変位するものの、基板１７
を第２、第３の突起４６、４７に押し付ける力が弱くな
る。基板１７を第２、第３の突起４６、４７に押し付け
る力が弱くなると、その分、上面支持ばね６０の付勢力
によって第３の突起４７が基板１７を押圧する力が増大
するから、基板１７の平面度が損なわれることになる。

【００６２】しかしながら、基板１７が薄くなり、可動
板３５が上昇すると、調整ばね５０によって弾性的に支
持された調整ロッド５１が受け部材４８に当接し、上面
支持ばね６０を付勢力に抗して弾性変形させるから、上
記第３の突起４７が基板１７を押圧する力が増大するの
を防止することができる。したがって、基板１７が薄く
なっても、その基板１７に加わる押上げ力と押し下げ力
とはバランスし、基板１７は平面度が損なわれることな
く支持されることになる。

【００６３】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、基
板の自重によるたわみを低減するために、その基板を４
点で支持する構成とするとともに、そのうちの上面を支
持する１点を、上記基板の上面に弾性的に当接する支持
構造とした。

【００６４】そのため、基板の支持状態が種々の原因で
変化し、その上面が変位しても、上面を支持した４点の
うちの１点が弾性的に変位可能であることにより、上記
基板に無理な力を与えずらくなるから、上記基板に生じ
るたわみを低減することができる。

【００６５】また、この発明は、基板の上面と下面とを
弾性的に支持することで、基板に加わる押上げ力と押し
下げ力とをバランスさせるようにした場合、基板の厚さ
が変化したときに、基板に加わる押し下げ力を調整する
ことができるようにした。そのため、基板の厚さが変化
しても、基板に加わる押し下げ力と押上げ力とをバラン
スさせることができるから、基板を平面度を損なうこと
なく支持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の全体構成を示す平面図。

【図２】同じく図１のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図３】同じく基板の支持状態を示す模式図。

【図４】同じく第１の取付け板の斜視図。

【図５】同じく第２の取付け板の先端部分の斜視図。

【図６】同じく上部基準可動ピンの取付け構造の斜視
図。

【図７】この発明の下部弾性支持手段のバーの変形例を
示す斜視図。

【図８】この発明の第２の実施例を示す保持装置の斜視
図。

【図９】同じく保持機構の一部分を示す断面図。

【図１０】同じく保持機構の図９に示す方向と交差する
方向に沿う一部分の断面図。

【符号の説明】

１…本体、４…下部弾性支持手段、５…バー、９…下部
可動突起、１１…基板、１５…上面基準固定ピン、２２
…上面基準可動ピン、７、２３…ばね、１８…収容体、
１９…栓体、４６…上面支持ばね、４８…受け部材、５
１…調整ロッド。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置本体に保持機構を設け、この保持機
   構によって基板を保持する保持装置において、 上記保持機構は、上記基板の幅方向両側下面に弾性的に
   当接してこの基板を支持する下部弾性支持手段と、上記
   基板の上面の幅方向一端側の２点と他端側の２点のうち
   の１点とに当接して上記基板を上面を基準にして位置決
   め支持する上部固定支持手段と、この上部固定支持手段
   によって位置決めされた上記基板の上面の幅方向他端側
   の残りの１点に弾性的に当接する上部弾性支持手段とを
   具備したことを特徴とする基板の保持装置。
2. 【請求項２】 上記保持機構は、上記基板の幅方向両側
   の上下面において対応する位置を、上記下部弾性支持手
   段と、上記上部固定支持手段および上記上部弾性支持手
   段とによってそれぞれ２点づつ支持する構成であること
   を特徴とする請求項１記載の基板の保持装置。
3. 【請求項３】 上記下部弾性支持手段は、上記基板の幅
   方向両側に対応する位置に弾性的に支持されたバーと、
   このバーの上面の長手方向両端部に設けられ上記基板の
   下面に点接触する一対の下部可動突起とからなることを
   特徴とする請求項１記載の基板の保持装置。
4. 【請求項４】 上記上部弾性支持手段は、上記装置本体
   に設けられた収容体と、この収容体内に移動自在に設け
   られた上部可動突起と、この上部可動突起を上記収容体
   の下端面から突出する方向に付勢して上記基板の上面に
   点接触させるばねと、上記収容体に設けられ上記ばねの
   圧縮力を調整する調整手段とからなることを特徴とする
   請求項１または請求項２記載の基板の保持装置。
5. 【請求項５】 上記ばねの上記基板を下方へ押圧する付
   勢力は、上記基板を自重に抗して上方へ付勢する付勢力
   にほぼ等しいかわずかに大きく設定されていることを特
   徴とする請求項４記載の基板の保持装置。
6. 【請求項６】 上記収容体は、上記装置本体に上下方向
   の位置決め自在に設けられているとともに、所定の位置
   で固定手段によって固定可能な構成であることを特徴と
   する請求項４記載の基板の保持装置。
7. 【請求項７】 装置本体に保持機構を設け、この保持機
   構によって基板を保持する保持装置において、 上記保持機構は、上記基板の下面に弾性的に当接してこ
   の基板を支持する下部弾性支持手段と、上記基板の上面
   に弾性的に当接し上記下部弾性支持手段によって上記基
   板に加えられる押上げ力を打ち消すための上部弾性押し
   下げ手段と、上記基板の厚さが変化したときに上記上部
   弾性押し下げ手段が上記基板に加える押し下げ力を調整
   する調整手段とを具備したことを特徴とする基板の保持
   装置。
8. 【請求項８】 上記調整手段は、上記上部弾性手段から
   垂設された受け部材と、上記下部弾性支持手段に一体的
   に設けられ上記下部弾性支持手段と上記上部弾性押し下
   げ手段とによって保持された上記基板の厚さが変化した
   ときに上記受け部材に圧接する力が変化して上記上部弾
   性押し下げ手段が上記基板に加える押し下げ力を調整す
   る調整部材とからなることを特徴とする請求項７記載の
   基板の保持装置。
9. 【請求項９】 上記保持機構は、基板の上面に当接して
   その基板を上面を基準にして位置決めするための上部固
   定手段を有することを特徴とする請求項７記載の基板の
   保持装置。