JP6294636B2

JP6294636B2 - 原版保持装置、露光装置、物品の製造方法、および原版保持方法

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Description

本発明は、原版を保持する原版保持装置、露光装置、物品の製造方法、および原版保持方法に関する。

半導体デバイスなどの製造工程（リソグラフィ工程）で用いられる装置の１つとして、スリット光を基板上で走査させながら、原版のパターンを当該基板に転写する露光装置がある。このような露光装置には、生産性を向上させるため、原版を保持する原版ステージの加速度を上げることが求められている。しかしながら、原版ステージの加速度を上げていくと、原版ステージの加速によって原版ステージと原版との間に加わる力が原版ステージによって原版を保持する力を上回り、原版と原版ステージとの間で滑りが生じうる。そこで、原版の上面と下面との両方を真空吸着することによって原版を保持する力を向上させた原版ステージが提案されている（特許文献１参照）。

特開２０１１−２３４２５号公報

特許文献１に記載された原版ステージは、原版の下面を真空吸着する第１保持部と原版の上面を真空吸着する第２保持部との相対位置が基板の走査露光中に変化しないように、第１保持部に対して第２保持部を固定する固定部を有する。しかしながら、特許文献１によれば、原版ステージにおいて、第１保持部の吸着力と第２保持部の吸着力とを同等にした状態で固定部によって第２保持部を固定する際、第１保持部に対して第２保持部がずれて、原版を傷つけてしまう可能性がある。特許文献１には、固定部によって第２保持部を固定する際に原版を傷つける可能性を低減するように、第１保持部の吸着力と第２保持部の吸着力とを制御することについては記載されていない。

そこで、本発明は、原版を保持する際に原版を傷つける可能性を低減する上で有利な技術を提供することを例示的目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての原版保持装置は、原版を保持する原版保持装置であって、前記原版を保持する第１保持部と、前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力よりも小さい状態で前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第２保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように前記第２保持部の原版保持力を調整する調整部と、を含む、ことを特徴とする。

本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。

本発明によれば、例えば、原版を保持する際に原版を傷つける可能性を低減する上で有利な技術を提供することができる。

第１実施形態の露光装置の構成を示す概略図である。原版ステージ装置をＺ方向から見たときの図である。下面チャックと上面クランプとによって原版を保持している状態における原版保持装置の断面図である。上面クランプを退避させた状態における原版保持装置の断面図を示す。原版を保持している状態における下面チャックと上面チャックとの断面図である。原版の面に接する上面クランプ（下面チャック）の部分の構成を示す図である。上面クランプを固定する前における固定部を示す図である。上面クランプを固定した状態における固定部を示す図である。第１実施形態の原版保持装置によって原版を保持する工程例を示すフローチャートである。第１実施形態の原版保持装置によって原版を保持する工程例を示すフローチャートである。第１実施形態の原版保持装置によって原版を保持する工程例を示すフローチャートである。原版の面に接する上面クランプ（下面チャック）の部分と圧力調整部との構成例を示す図である。原版の面に接する上面クランプ（下面チャック）の部分と圧力調整部との構成例を示す図である。原版の面に接する上面クランプ（下面チャック）の部分と圧力調整部との構成例を示す図である。露光装置において原版の吸着条件を管理する工程を示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

＜第１実施形態＞
［露光装置］
まず、第１実施形態の露光装置１００について、図１を参照しながら説明する。図１は、露光装置１００の構成を示す概略図である。図１に示す露光装置１００は、スリット光により基板３を走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置である。露光装置１００は、光源（水銀灯やレーザ光源）からの露光光をスリット状の光束（スリット光）にする照明系１と、スリット光で照明された原版２（例えばレチクル）のパターンを基板３上に縮小投影する投影光学系４と、制御部（調整部）３２とを有する。原版２は、パターンを有するパターン面が投影光学系４を介して基板３の被露光面に対向するようにして、原版ステージ装置３０に搭載されている。原版ステージ装置３０は、原版２を保持する原版保持装置３１と、原版保持装置３１を搭載して横方向（例えばＹ方向）に移動可能な原版ステージ５とを含みうる。そして、原版保持装置３１は、原版２の下面（第１面）すなわちパターン面を吸着することによって原版２を保持する第１保持部１７と、原版の上面（第１面の反対側の第２面）を吸着することによって原版２を保持する第２保持部１６とを含みうる。原版ステージ５上には反射鏡６が搭載され、原版ステージ５の位置は、反射鏡６を介してレーザ干渉計７により計測される。また、制御部（調整部）３２は、ＣＰＵやメモリなどを有し、第１保持部１７の原版保持力と第２保持部１６の原版保持力とを調整するとともに、露光処理を制御する（露光装置１００の各部を制御する）。

基板３は、基板ステージ８に搭載された基板チャック９によって保持されている。基板ステージ８にはバーミラー１０が設けられており、基板ステージ８の位置は、バーミラー１０を介してレーザ干渉計１１により計測される。また、原版２と基板３との相対位置を検出するためのアライメント検出部１２が原版２の上方に配置されている。露光装置１００は、アライメント検出部１２を用いてレチクル２と基板３との間の位置の同期をとりつつ走査露光を行う。露光装置１００全体は、除振台１３上に搭載された本体フレーム１４によって支持されており、原版ステージ５は本体フレーム１４上に配置された構造体１５上を移動する。原版２にはパターンが形成されており、当該パターンが投影光学系４を介して基板３に投影され、基板３が露光される。

［原版ステージ装置］
次に、原版を保持する原版ステージ装置３０について説明する。図２は、上述した露光装置１００における原版ステージ装置３０をＺ方向から見たときの図である。図２において、原版２は、原版ステージ５上に搭載された原版保持装置３１によって保持される。原版ステージ５は、構造体１５上に配置され、原版２が有する面（第１面および第２面）と平行な方向（例えばＹ方向）に沿って構造体１５上を移動可能に構成されている。また、原版ステージ装置３０は、原版２の外周部（パターン部分の外側部もしくは外縁部）を保持する原版保持装置３１を１つのユニットではなく複数のユニットで構成されてもよい。

図３に、第１保持部１７としての下面チャック１９と第２保持部１６としての上面クランプ１８とによって原版２を保持している状態における原版保持装置３１の断面図を示す。また、図４に、原版２を交換する際など、上面クランプ１８を退避させた状態における原版保持装置３１の断面図を示す。上面クランプ１８には、原版２の上面に接する面に真空溝１８ａ（第１密閉空間）が設けられており、下面チャック１９には、原版２の下面に接する面に真空溝１９ａ（第２密閉空間）が設けられている。上面クランプ１８の真空溝１８ａによって規定される空間は、真空溝１８ａの内部の圧力を調整する圧力調整部５０（例えば真空バルブ）と配管２０を介して、原版ステージ装置３０の外部に配置された真空源３３に接続されている。同様に、下面チャック１９の真空溝１９ａによって規定される空間は、真空溝１９ａの内部の圧力を調整する圧力調整部５０（例えば真空バルブ）と配管２０とを介して、原版ステージ装置３０の外部に配置された真空源３３に接続されている。配管２０は、真空溝１８ａおよび１９ａのそれぞれに原版２を真空吸着させるために、真空溝１８ａおよび１９ａから空気を吸引する第１吸引機構および第２吸引機構の一部を構成している。

下面チャック１９と上面クランプ１８との構成について、図５および図６を参照しながら説明する。図５は、原版２を保持している状態における下面チャック１９と上面クランプ１８との断面拡大図である。また、図６は、原版２の面に接する上面クランプ１８（下面チャック１９）の部分の構成を示す図である。第１実施形態では、原版２の面に接する部分は、上面クランプ１８と下面チャック１９とで同様に構成されうる。

上面クランプ１８は、位置決めピン１８Ｂ（第１位置決め部材）と薄板の弾性体１８Ａ（第１密閉部材）とを含みうる。位置決めピン１８Ｂは、原版２の上面に接することによって原版２の面に垂直な方向（Ｚ方向）において原版２を位置決めする働きを有する。第１密閉部材である薄板の弾性体１８Ａは、位置決めピン１８Ｂの周囲に第１密閉空間（真空溝１８ａ）を規定する（図５参照）。薄板の弾性体１８Ａの外周には、突出部１８Ｄが設けられ、突出部１８Ｄの下面は原版２に接する面となる。また、真空溝１８ａの内部における一部には、図６に示すように、複数の小径のピン１８Ｅが設けられ、それらの先端部が原版２に接するように構成されている。

同様に、下面チャック１９は、位置決めピン１９Ｂ（第２位置決め部材）と薄板の弾性体１９Ａとを含みうる。第２位置決め部材である位置決めピン１９Ｂは、原版ステージに固定して配置され、原版の下面に接することによって原版の面に垂直な方向（Ｚ方向）において原版２を位置決めする働きを有する。第２密閉部材である薄板の弾性体１９Ａは、位置決めピン１９Ｂの周囲に第２密閉空間（真空溝１９ａ）を規定する（図５参照）。薄板の弾性体１９Ａの外周には、突出部１９Ｄが設けられ、突出部１９Ｄの上面は原版２に接する面となる。また、真空溝１９ａの内部における一部には、図６に示すように、複数の小径のピン１９Ｅが設けられ、それらの先端部が原版２に接するように構成されている。

ここで、上面クランプ１８の真空溝１８ａおよび下面チャックの真空溝１９ａのそれぞれにおける内部の圧力を調整する圧力調整部５０（例えば真空バルブ）の構成について、図１２〜図１４を参照しながら説明する。図１２〜図１４はそれぞれ、原版２の面に接する上面クランプ１８（下面チャック１９）の部分と圧力調整部５０との構成例を示す図である。例えば、上面クランプの真空溝１８ａにおける内部の気体は、真空溝１８ａの内部における一部に設けられた複数のピン１８Ｅの各々に形成された穴を通り、圧力調整部５０と配管２０とを介して真空源３３に到達する。圧力調整部５０は、図１２に示すように複数のピン１８Ｅで共通に設けられてもよいし、図１３に示すように数本のピン１８Ｅごとに共通に設けられてもよいし、図１４に示すようにピン１８Ｅごとに独立に設けられてもよい。

次に、上面クランプ１８が原版２の上面に接する位置（上面に対向する位置（作動位置））から上面に接しない位置（上面に対向しない位置（退避位置））に上面クランプ１８を移動させる移動機構について説明する。上面クランプ１８は、例えば原版２を交換する際など、原版２の上面に対向しない位置に退避させる必要がある。図２において、上面クランプ１８は、例えば、駆動部２１（例えばエアシリンダ等）によって原版２の面と平行な方向（例えば±Ｘ方向）に移動されうる。そして、図４に示すように、上面クランプ１８が原版２の上から退避した後、上方または±Ｙ方向から搬送機構（不図示）によって原版２が回収されうる。このように駆動部２１によって上面クランプ１８を移動させる際、上面クランプ１８の±Ｘ方向への移動がスムーズに行われることが好ましい。そのため、上面クランプ１８にはガタ部分（±Ｙ方向への遊び）が設けられている。

しかしながら、このように構成された上面クランプ１８は、原版２を移動させながら基板３を露光している際に、ガタ部分を設けた量だけ下面チャック１９に対して±Ｙ方向に移動してしまいうる。つまり、基板３を露光している際において、原版ステージ５が移動する方向（Ｙ方向）に上面クランプ１８が下面チャック１９に対して動いてしまうと原版２がずれたり、原版２に歪みが生じたりし、重ね合わせ精度が低下してしまいうる。そこで、原版保持装置３１は、上面クランプを下面チャックに対して固定する固定部２３を含みうる。ここで、固定部２３の構成および固定部２３による上面クランプ１８の固定について、図７および図８を参照しながら説明する。図７は、上面クランプ１８を固定する前における固定部２３を示す図である。また、図８は、上面クランプ１８を固定した状態における固定部２３を示す図である。固定部２３は、図７に示すように、下面チャック１９に対して位置が固定されたストッパ２３ａと、上面クランプ１８に連結された連結部１８ｆに力を加えて上面クランプ１８を例えばＹ方向に移動させるアクチュエータ２３ｂとを含みうる。ストッパ２３ａとアクチュエータ２３ｂとは、上面クランプ１８に連結された連結部１８ｆを挟むようにＹ方向に沿って配置されている。そして、固定部２３は、図８に示すように、アクチュエータ２３ｂによって連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てることによって上面クランプ１８の位置を下面チャック１９に対して固定することができる。即ち、固定部２３は、上面クランプ１８と下面チャック１９とを相対的に変位させないような働きを有している。これにより、原版保持装置３１は、原版ステージ５が移動する方向（Ｙ方向）においては剛体として機能する。

このように構成された原版保持装置３１では、下面チャック１９が原版２の下面を真空吸着し、かつ上面クランプ１８が原版２の上面を真空吸着している状態で、固定部２３によって上面クランプ１８の位置を下面チャック１９に対して固定する。従来の原版保持装置では、上面クランプ１８によって原版２を保持する力（第２保持部の原版保持力）と、下面チャック１９によって原版２を保持する力（第１保持部の原版保持力）とを同等にして、固定部２３による上面クランプ１８の固定が行われていた。即ち、従来の原版保持装置では、上面クランプ１８の真空吸着力と下面チャック１９の真空吸着力とを同等にして、固定部２３による上面クランプ１８の固定が行われていた。そのため、従来の原版保持装置では、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際に上面クランプ１８が下面チャック１９に対して移動してしまい、原版２の表面（上面や下面）を傷つけてしまうことがあった。そこで、第１実施形態の原版保持装置３１は、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際における上面クランプ１８の真空吸着力を調整している。例えば、第１実施形態の原版保持装置３１は、上面クランプ１８の真空吸着力を下面チャック１９の真空吸着力より小さくした状態で、固定部２３による上面クランプ１８の固定を行っている。そして、固定部２３による上面クランプ１８の固定を行った後、上面クランプ１８の真空吸着力を、下面チャック１９の真空吸着力に近づくように大きくしている。このように上面クランプ１８の真空吸着力を調整した状態で上面クランプ１８を固定部２３によって固定することにより、原版２を保持する際に原版２を傷つける可能性を低減することができる。以下に、第１実施形態の原版保持装置３１によって原版２を保持する際の実施例について説明する。

［実施例１］
図９は、第１実施形態の原版保持装置３１によって原版２を保持する工程例を示すフローチャートである。Ｓ１０１では、制御部３２は、搬送機構によって原版ステージ５上に搬送された原版２の下面を吸着保持するように下面チャック１９の真空吸着力を制御する。Ｓ１０２では、制御部３２は、移動機構（駆動部２１）によって原版２の上面に上面クランプ１８を配置し、原版２の上面を吸着保持するように上面クランプ１８の真空吸着力を制御する。Ｓ１０３では、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力の調整を行う。即ち、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力を、下面チャック１９の真空吸着力より小さく、かつ固定部２３によって上面クランプ１８を固定した後における上面クランプ１８の真空吸着力より小さくなるように調整する。Ｓ１０４では、制御部３２は、固定部２３によって上面クランプ１８の固定を行う。即ち、制御部３２は、アクチュエータ２３ｂによって上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てることによって上面クランプ１８の固定を行う。Ｓ１０５では、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力を、下面チャック１９の真空吸着力に近づくように大きくする。このように、第１実施形態の原版保持装置３１は、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際における上面クランプ１８の真空吸着力を調整することにより、原版２を保持する際に原版２を傷つける可能性を低減することができる。

ここで、図９のフローチャートにおいて、原版２の上面を吸着するように上面クランプの吸着力を制御する前（Ｓ１０１とＳ１０２との間）に、アクチュエータ２３ｂによって上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てる工程を行ってもよい。即ち、上面クランプ１８による原版の保持を開始する前に、上面クランプ１８が原版２の上面に接触していない状態で、アクチュエータ２３ｂによって上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てる工程を行ってもよい。これにより、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際（Ｓ１０４）に上面クランプ１８が原版２に対して移動する量を小さくすることができる。即ち、上面クランプ１８が原版２の上面に接触した状態で上面クランプ１８が原版２に対して移動する量を小さくすることができる。そのため、原版２の表面を傷つける可能性を更に低減することができる。

［実施例２］
図１０は、第１実施形態の原版保持装置３１によって原版２を保持する工程例を示すフローチャートである。図１０におけるＳ１１１〜Ｓ１１３の工程は、図９におけるＳ１０１〜Ｓ１０３の工程と同様であるため、ここでは説明を省略する。Ｓ１１４では、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力が許容範囲内に収まっているか否かの判断を行う。真空吸着力の許容範囲は、例えば、固定部２３による上面クランプ１８の固定によって原版２の上面を傷つける可能性が閾値以下になるように実験などによって予め設定されうる。また、当該判断は、例えば、上面クランプ１８の真空溝１８ａに圧力センサを設け、その圧力センサの出力に基づいて行われてもよいし、上面クランプ１８の真空溝１８ａにおける内部の圧力を調整する圧力調整部５０の出力に基づいて行われてもよい。Ｓ１１４において上面クランプ１８の真空吸着力が許容範囲内に収まっていない場合はＳ１１３に戻り、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力の調整を再度行う。Ｓ１１４において上面クランプ１８の真空吸着力が許容範囲内に収まっている場合はＳ１１５に進む。

Ｓ１１５では、制御部３２は、固定部２３によって上面クランプ１８の固定を行う。即ち、制御部３２は、アクチュエータ２３ｂによって上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てることによって上面クランプ１８の固定を行う。Ｓ１１６では、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力を、下面チャック１９の真空吸着力に近づくように大きくする。このように、実施例２では、上面クランプ１８の真空吸着力が許容範囲内に収まっているか否かの判定を制御部３２で行う。そのため、上面クランプ１８の真空吸着力が許容範囲内に収まっていない状態で上面クランプ１８の固定を行うことを防止することができる。即ち、実施例２では、実施例１に比べて、原版２を保持する際に原版２を傷つける可能性をさらに低減することができる。

［実施例３］
図１１は、第１実施形態の原版保持装置３１によって原版２を保持する工程例を示すフローチャートである。図１１におけるＳ１２１〜Ｓ１２４の工程は、図１０におけるＳ１１１〜Ｓ１１４の工程と同様であるため、ここでは説明を省略する。Ｓ１２５では、制御部３２は、固定部２３によって上面クランプ１８の固定を行う前に、アクチュエータ２３ｂによって上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てる工程を複数回にわたって行うように固定部２３を制御する。このように複数回にわたるアクチュエータ２３ｂによる押し当てを経るのは、上面クランプ１８の歪みを一度開放してから再度固定することで、上面クランプ１８および原版２への歪みを低減させるためである。

Ｓ１２６では、制御部３２は、固定部２３によって上面クランプ１８の固定を行う。即ち、制御部３２は、アクチュエータ２３ｂによって上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに押し当てた状態（接触させた状態）にすることによって上面クランプ１８の固定を行う。Ｓ１２７では、制御部３２は、上面クランプ１８の真空吸着力を、下面チャック１９の真空吸着力に近づくように大きくする。このように、実施例３では、複数回にわたるアクチュエータ２３ｂによる押し当てを経て上面クランプ１８の固定を行う。これにより、上面クランプ１８の連結部１８ｆをストッパ２３ａに確実に接触させ、上面クランプ１８を原版２上の目標位置に配置することができる。

上述したように、第１実施形態の原版保持装置３１は、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際における上面クランプ１８の真空吸着力を調整している。例えば、第１実施形態の原版保持装置３１は、上面クランプ１８の真空吸着力を下面チャック１９の真空吸着力より小さくした状態で、固定部２３による上面クランプ１８の固定を行う。そして、原版保持装置３１は、固定部２３によって上面クランプ１８を固定した後、上面クランプ１８の真空吸着力を、下面チャック１９の真空吸着力に近づくように大きくする。これにより、原版２を原版保持装置３１によって保持する際に原版２を傷つける可能性を低減することができる。

ここで、第１実施形態の原版保持装置３１では、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際、上面クランプ１８の真空吸着力を調整したが、それに限られるものではなく、下面チャック１９の真空吸着力を調整してもよい。この場合では、原版保持装置は、例えば、下面チャック１９の真空吸着力を上面クランプ１８の真空吸着力より小さくした状態で、固定部２３による上面クランプ１８の固定を行う。そして、原版保持装置は、固定部２３によって上面クランプ１８を固定した後、下面チャック１９の真空吸着力を、上面クランプ１８の真空吸着力に近づくように大きくする。このように下面チャック１９の真空吸着力を調整しても、上面クランプ１８の真空吸着力を調整するときと同様に、原版２を原版保持装置３１によって保持する際に原版２を傷つける可能性を低減することができる。

また、第１実施形態では、上面クランプ１８が原版２の上面（第２面）を真空吸着し、下面チャック１９が原版２の下面（第１面）を真空吸着する例について説明した。しかしながら、それに限られるものではなく、上面クランプ１８と下面チャック１９とが原版２の同じ面（第１面または第２面）を真空吸着してもよい。この場合であっても、上述した方法によって原版２を保持することにより、原版２を傷つける可能性を低減することができる。さらに、真空吸着される第１面と第２面は、原版３の上面と下面とに限られるものではなく、原版３の側面を含みうる。すなわち、真空吸着される第１面と第２面は、原版３の上面と下面と側面との３面のうちのいずれであってもよい。

また、第１実施形態では、上面クランプ１８と下面チャック１９とがそれぞれ真空吸着力によって原版２を保持する例について説明したが、それに限られるものではない。上面クランプ１８と下面チャック１９とがそれぞれ、真空吸着力および静電吸着力のうち少なくとも一方によって原版２を保持すればよく、静電吸着力のみによって原版２を保持してもよいし、真空吸着力と静電吸着力とを併用して原版２を保持してもよい。

＜第２実施形態＞
原版２を保持するための吸着条件（上面クランプ１８の真空吸着力および下面チャック１９の真空吸着力）は、同じ原版２を用いる場合においては同じであることが好ましい。即ち、上面クランプ１８の真空吸着力と下面チャック１９の真空吸着力とを原版ごとに管理することが好ましい。そのため、第２実施形態では、露光装置１００（原版保持装置３１）は、上面クランプ１８の真空吸着力と下面チャック１９の真空吸着力とを制御部３２によって原版ごとに記憶する。ここで、制御部３２によって記憶される上面クランプ１８の真空吸着力は、固定部２３によって上面クランプ１８を固定する際の上面クランプ１８の真空吸着力と、固定部２３によって上面クランプ１８を固定した後の上面クランプ１８の真空吸着力とを含みうる。

図１５は、露光装置１００において原版２の吸着条件を管理する工程を示すフローチャートである。Ｓ１３１では、制御部３２は、搬送機構によって原版ステージ５上に搬送された原版２のＩＤを読み取る。Ｓ１３２では、制御部３２は、図９〜図１１に示すフローチャートのうちいずれか１つのフローチャートに従って原版２を保持するように原版保持装置３１（上面クランプ１８、下面チャック１９および固定部２３）を制御する。Ｓ１３３では、制御部３２は、原版２のＩＤと、上面クランプ１８の真空吸着力と、下面チャック１９の真空吸着力とを示す情報を記憶する。このように上面クランプ１８の真空吸着力と下面チャック１９の真空吸着力とを示す情報を制御部３２によって原版ごとに記憶することで、一度使用した原版２を原版保持装置３１によって再度保持する際に制御部３２によって記憶した情報を用いることができる。これにより、原版２を保持するための吸着条件を再現することができるため、原版２を原版保持装置３１によって保持している状態の再現性を向上させることができる。

＜物品の製造方法の実施形態＞
本発明の実施形態にかける物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の走査露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程（基板を露光する工程）と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。

Claims

原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力よりも小さい状態で前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第２保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように前記第２保持部の原版保持力を調整する調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記第１保持部の原版保持力が前記第２保持部の原版保持力よりも小さい状態で前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第１保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように前記第１保持部の原版保持力を調整する調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定した後の前記第２保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
前記調整部は、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う、ことを特徴とする請求項３に記載の原版保持装置。
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
前記調整部は、前記第２保持部を前記固定部によって固定した後、前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力に近づくように前記第２保持部の原版保持力を調整する、ことを特徴とする請求項１及び３乃至５のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定した後の前記第１保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
前記調整部は、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の前記第１保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部を固定する前の前記第２保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う、ことを特徴とする請求項７に記載の原版保持装置。
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
前記固定部は、前記第１保持部に対して位置が固定されたストッパと、前記第２保持部に連結された連結部に力を加えて前記第２保持部を移動させるアクチュエータとを含み、
前記ストッパと前記アクチュエータとは、互いに前記連結部を挟むように配置され、
前記固定部は、前記アクチュエータで前記連結部を前記ストッパに押し当てることによって前記第２保持部を固定する、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
前記固定部は、複数回にわたる前記アクチュエータによる押し当てを経ることによって前記第２保持部を固定する、ことを特徴とする請求項１０に記載の原版保持装置。
前記原版は、第１面とその反対側の第２面とを有し、
前記第１保持部は、前記第１面を吸着することによって前記原版を保持し、
前記第２保持部は、前記第２面を吸着することによって前記原版を保持する、ことを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
前記第１保持部は、真空吸着および静電吸着のうち少なくとも一方によって前記第１面を吸着し、
前記第２保持部は、真空吸着および静電吸着のうち少なくとも一方によって前記第２面を吸着する、ことを特徴とする請求項１２に記載の原版保持装置。
前記調整部は、前記第１保持部が前記原版を保持する際の原版保持力と前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力とを原版ごとに記憶し、
前記第１保持部および前記第２保持部は、前記原版ごとに記憶した前記原版保持力によって前記原版を保持する、ことを特徴とする請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力には、前記固定部によって前記位置を固定する前に前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力および前記固定部によって前記位置を固定した後に前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力のうち少なくとも一方が含まれる、ことを特徴とする請求項１４に記載の原版保持装置。
基板を露光する露光装置であって、
請求項１乃至１５のうちいずれか１項に記載の原版保持装置と、
前記原版保持装置によって保持された原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
を含む、ことを特徴とする露光装置。
前記原版保持装置を搭載して移動可能なステージを更に含み、
前記ステージによって前記原版を走査させながら、露光を行う、ことを特徴とする請求項１６に記載の露光装置。
請求項１６又は１７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含み、前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
原版を保持する原版保持方法であって、
第１保持部によって、前記原版を保持する工程と、
前記第１保持部に対して移動可能な第２保持部によって、前記原版を保持する工程と、
固定部によって、前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定する前に、前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力よりも小さくなるように、前記第１保持部の原版保持力および前記第２保持部の原版保持力のうち少なくとも１つを調整する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第２保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように、前記第２保持部の原版保持力を調整する工程と、
を含む、ことを特徴とする原版保持方法。
原版を保持する原版保持方法であって、
第１保持部によって、前記原版を保持する工程と、
前記第１保持部に対して移動可能な第２保持部によって、前記原版を保持する工程と、
固定部によって、前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定する前に、前記第１保持部の原版保持力が前記第２保持部の原版保持力よりも小さくなるように、前記第１保持部の原版保持力および前記第２保持部の原版保持力のうち少なくとも１つを調整する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第１保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように、前記第１保持部の原版保持力を調整する工程と、
を含む、ことを特徴とする原版保持方法。