JP2009049434A5 - ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ステージ装置に係り、ステージと、前記ステージを支持するプレートと、前記プレートの表面上に配置され、前記冷却対象物を冷媒により冷却する冷却部と、を備え、前記プレートは、内部に冷媒用流路が形成されるとともに、前記冷却部が配置される表面に前記冷媒用流路に連通する貫通穴が設けられ、前記冷媒用流路および前記貫通穴を介して前記冷却部に冷媒が供給されるまたは前記冷却部から冷媒が排出されるように構成されることを特徴とする。

Claims (12)

1. ステージと、
   前記ステージを支持するプレートと、
   前記プレートの表面上に配置された冷却対象物と、
   前記プレートの表面上に配置され、前記冷却対象物を冷媒により冷却する冷却部と、
   を備え、
   前記プレートは、内部に冷媒用流路が形成されるとともに、前記冷却部が配置される表面に前記冷媒用流路に連通する貫通穴が設けられ、前記冷媒用流路および前記貫通穴を介して前記冷却部に冷媒が供給されるまたは前記冷却部から冷媒が排出されるように構成されることを特徴とするステージ装置。
2. 前記冷却対象物は、前記ステージを駆動するためのコイルであり、
   前記冷却部は、前記コイルを覆い、内部に冷媒を流す流路が形成された冷却ジャケットであることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記冷媒用流路は複数の管路で構成され、該複数の管路はその管路抵抗がそれぞれ略同一となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のステージ装置。
4. 前記冷却部は、シール部材を介して前記冷媒用流路に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のステージ装置。
5. 前記シール部材は、Ｏリング、ガスケット及び接着剤を含むことを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
6. 前記プレートは、溝が形成された第１構造体と、前記第１構造体に固定された第２構造体とを有し、前記第１構造体の溝の内面と前記第２構造体の表面とにより前記冷媒用流路が形成されることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
7. 前記第１構造体と前記第２構造体との間に、前記冷媒用流路の外側を取り囲むように配置されたシール部材を備え、該シール部材の内側及び外側が留め具により締結されていることを特徴とする請求項６に記載のステージ装置。
8. 前記第２構造体は接着剤により前記第１構造体に固定され、前記第１構造体又は前記第２構造体は、接着剤が充填される接着溝を更に備えることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載のステージ装置。
9. 前記接着溝の内部が留め具により締結されていることを特徴とする請求項８に記載のステージ装置。
10. 前記プレートを搭載して移動する粗動ステージを備え、
    前記ステージとしての微動ステージは、前記粗動ステージに対して少なくとも３自由度で駆動されることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載のステージ装置。
11. 請求項１０に記載のステージ装置を利用して、位置決め対象物を位置決めし露光動作を実行することを特徴とする露光装置。
12. 請求項１１に記載の露光装置を利用して、基板にパターンを転写する工程と、
    前記基板を現像する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。