JP2007307774A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】共通液室を通じて生じる相互干渉をレイアウト上の制約なく効率的に抑制することができない。
【解決手段】流路板１と、この流路板１の下面に接合した振動板２と、流路板１の上面に接合したノズル板３とによって液滴を吐出するノズル４が連通する加圧液室６、加圧液室６に液体を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７を構成するとともに、フレーム部材１７に複数の加圧液室６に記録液を供給する共通液室８を形成し、共通液室８に振動板２と一体に形成されたダンパ部２３を介して隣り合うダンパ室１８を流路板１で形成し、ダンパ室１８と外部とを連通する大気開放口２４を振動板２に設けた。
【選択図】図１

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置に関する。

一般に、プリンタ、ファックス、コピア、プロッタ、或いはこれらの内の複数の機能を複合した画像形成装置としては、例えば、記録液（液体）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、液体としての記録液（以下、インクともいう。）を用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行なうものがある。

なお、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、「液体」とは、記録液、インクに限るものではなく、吐出されるときに流体となるものであれば特に限定されるものではない。また、「液体吐出装置」とは液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置を意味し、画像形成を行うものに限定されない。

液体吐出ヘッドとしては、個別流路（以下「加圧液室」という。）内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）として圧電素子などで構成される圧電アクチュエータを用いたもの、発熱抵抗体などで構成されるサーマルアクチュエータを用いたもの、静電力を発生する静電アクチュエータを用いたものなどが知られている。

ところで、画像形成装置においては、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できることが求められるようになっている。前者の要求に対しては、ノズルの数、密度共に増加する傾向にある。それに伴って、各加圧液室間隔は狭まくなり、また、吐出エネルギー印加の駆動周波数も高くなる傾向にある。後者の要求に対しては、ヘッドの長尺化が試みられており、媒体の幅全領域を覆うことのできるフルライン型ヘッドも実用化されつつある。

このような高密度化された多数のノズルを備えることが要求される液体吐出ヘッドにあっては、所定の加圧液室に加えた吐出エネルギーによって当該加圧液室の液体に圧力変動を生じるとともに、この加圧液室内で生じた圧力変動は複数の加圧液室に液体を供給する共通流路（以下「共通液室」という。）にも伝播する。

この共通液室に伝播した圧力変動によって隣接する加圧液室内の液体にも影響が及ぶ相互干渉が生じると、意図しないノズルからの液滴の漏洩や吐出や、吐出状態の不安定を誘発し、結果として高品位な画像出力を得ることを妨げることになる。

そこで、特許文献１にはインクを吐出する複数のノズルと、ノズルのそれぞれに対応して連通する複数の圧力室を並べて形成した、少なくとも一枚以上の平板からなる第一の平板層と、圧力室が並べられる方向に長い形状の共通インク室を形成した、少なくとも一枚以上の平板からなる第二の平板層と、一端を複数の圧力室のそれぞれに連通させ、他端を共通インク室に連通させた、インク流路と、共通インク室とインク供給源とを繋ぐインク供給通路と、第一の平板層と第二の平板層との間に位置する、薄膜状の平板部材と、平板部材に対し共通インク室と反対側で面する平板に形成される閉じた空間からなるダンパ室とを含むインクジェットヘッドが記載されている。
特開２００３−３１１９５２号公報

特許文献２には個々の加圧液室へとインクを供給する共通液室を区画する壁に、撓んで共通液室の圧力変化を吸収するダンパ壁を複数形成し、それら複数のダンパ壁の少なくとも一部の弾性を異ならしめてなることが記載されている。
特開２００６−００７６２９号公報

特許文献３には共通液室に圧力を吸収するダンパ機構を設けることが記載されている。
特開２００４−１１４３１５号公報

特許文献４にはインク貯留室の開口を塞ぐ振動板を介して圧力発生室を形成する部材とは異なる部材にダンパ用凹部を形成、ダンパ用凹部を外部と連通させる外部連通孔を形成すること、この連通孔の開口をフィルムで封止することが記載されている。
特開２００２−１０３６０８号公報

特許文献５にはインク貯留室内に発泡性可撓性材料層を設けることが記載されている。
特開平０７−１７１９６９号公報

特許文献６には複数の共通液室に連通し、かつ、大気と連通しないダンパ室を設けることが記載されている。
特開平０８−２０１１１号公報

特許文献７にはインク加圧室と共通インク室との連通部に振動吸収体を設けることが記載されている。
特開２０００−４３２５２号公報

特許文献８には複数の部材を積層して圧力発生室とダンパ室とを同じ高さ位置に、圧力発生室とダンパ室が隣接する共通液室とを異なる高さ位置に配置し、圧力発生室とダンパ室の壁面を振動板で形成するとともの共通液室とダンパ室との間の壁部を共通液室から圧力発生室へインクを供給するインク供給口を形成するインク供給口形成板で形成することが記載されている。
特開２００２−６８３１０号公報

特許文献９には共通液室の壁面を圧力吸収体によるダンパ面とすることが記載されている。
特開２００４−２８４１０６号公報

上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにあっては共通液室の壁面となる薄膜に面するダンパ室によって共通液室に生じる圧力変動を吸収する構成となっている。
しかしながら、このダンパ室は閉じた部屋になっているため、特にライン型ヘッドなど長尺のヘッドにおいては、多数の加圧液室にエネルギーを印加したときに生じる、比較的大きな圧力変動に対して、十分な緩衝効果を得られず、吐出が不安定になるという課題がある。

また、特許文献２に記載のヘッドにあっては特許文献１と同様に共通液室の壁面の一部を薄膜で構成して共通液室に生じた圧力変動を緩和せしめるが、薄膜が直接大気に面し、ダンパ室のような閉じた空間を設けていない点で特許文献１と異なる。このように構成すれば、大気は共通液室の容積に対して無限の大きさを持つとみなすことができて、圧力変動を吸収するに十分である。

しかしながら、この構成にあっては、薄膜面は必ず大気に接しなければならないため、レイアウト上の制約が大きくなるという課題がある。また、薄膜部が露出するため、記録媒体とヘッドが、何らかの要因（例えばジャムなど）で接触した場合、この薄膜部が損傷を受けて、共通液室内の液体が外部に流出してしまう可能性があるという課題もある。また、特にライン型ヘッドなど長尺のヘッドにおいては、薄膜部の面積が大きくなるために、部品としての剛性を保つことが困難になり、組立性の低下に繋がる。

また、特許文献３に記載のヘッドにあっては共通液室に圧力を吸収するダンパ機構を設けることで同文献に記載されているように組立て工程が複雑になる。

また、特許文献４に記載のヘッドにあっては圧力発生室の側方にインク貯留室を形成し、このインク貯留室と振動板を介してダンパ用凹部を隣接させて配置するために、インク貯留室として大きな容量を確保することが難しく、特にライン型ヘッドなど長尺のヘッドにおいては、補充供給が間に合わなくなるおそれがある。

また、特許文献５に記載のヘッドにあってはインク貯留室内に発泡性可撓性材料層を設けているが、発泡性可撓性材料層の加工配置が難しく、高周波駆動化、ノズル数の増加に伴って高くなる共通液室への圧力を十分に吸収することが難しくなる。

また、特許文献６に記載のヘッドにあってはダンパ室自体がインクで満たされているため滞留によって粘度が上昇したインクが共通液室から圧力発生室に供給されて滴吐出不良を生じるおそれがある。

特許文献７に記載のヘッドにあってはインク加圧室と共通インク室との連通部に振動吸収体を設けるので、滴吐出特性自体が変動を受けるおそれがある。

特許文献８に記載のヘッドにあっては共通液室とダンパ室との間の壁部を圧力発生室へインクを供給するインク供給口を形成するインク供給口形成板で形成するために部品点数が多くなる。

特許文献９に記載のヘッドにあっては共通液室の壁面を圧力吸収体によるダンパ面とするために、上記特許文献２に記載のヘッドと同様に、特にライン型ヘッドなど長尺のヘッドにおいては、薄膜部の面積が大きくなるために、部品としての剛性を保つことが困難になり、組立性の低下に繋がる。また、共通液室のダンパ面が共通液室内の圧力を吸収するために変形し振動する構造であると、その振動が減衰しきらないとその振動で圧力変動が生じ滴吐出のタイミングでメニスカスの完全な復帰がなされない現象が起こり、メニスカス制御性が困難になり、吐出滴の体積や速度や噴射方向にバラツキが生じるおそれがある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、レイアウト上の制約を低減しつつ、相互干渉を効率的に抑制した液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置、画像形成装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルが連通する複数の個別流路と、この個別流路の少なくとも１つの壁面を形成する振動板と、複数の個別流路に液体を供給する共通流路と、個別流路を形成する部材によって形成される、共通流路に隣接するダンパ室と、共通液室とダンパ室との間の壁部を形成する振動板と一体の変形可能な部分とを有する構成とした。

ここで、ダンパ室を外部と連通する連通路が設けられている構成とすることが好ましく、この場合、連通路はノズルが開口する面とは反対側で外部に開口していることが、特に連通路は振動板を変形させる圧電素子が設けられた空間に開口していることが好ましい。また、個別流路を形成する流路部材とノズルを形成したノズル板又は振動板は電鋳で一体形成されていることが好ましい。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルが連通する複数の個別流路と、この個別流路の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、複数の個別流路に液体を供給する共通流路と、この共通流路に隣接するダンパ室と、共通液室とダンパ室との間の壁部を形成する振動板と一体の変形可能な部分と、ダンパ室内に充填された制振材料と、ダンパ室と外部とを連通する少なくとも２つの連通路とを有する構成とした。

ここで、制振材料は液体である構成とでき、この場合、液体はオイル系材料であることが好ましい。あるいは、制振材料は粘弾性材料である構成とでき、この場合、粘弾性材料はシリコーン系材料であることが好ましい。また、連通路は制振材料が充填された状態で開口が封止されていることが好ましい。

これらの本発明に係る液体吐出ヘッドにおいては、共通液室は振動板の外周部を保持するフレーム部材に形成されていることが好ましい。

本発明に係る液体カートリッジは、本発明に係る液体吐出ヘッドと、この液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクとを一体化したものである。

本発明に係る液体吐出装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。

本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。

なお、本発明において、「連通路」とは、ダンパ室と外部とを通じる部分（外部に開放されている場合及び封止ないし閉じている場合のいずれも含む。）という意味であり、「通路」だけでなく、「通路」とまでは言えない「開口」をも含む意味である。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、個別流路を形成する流路部材によって形成される、共通流路に隣接するダンパ室と、共通液室とダンパ室との間の壁部を形成する振動板と一体の変形可能な部分とを有する構成としたので、流路部材とは別に共通液室を設けることができて簡単な構成で共通液室の容量を確保することができ、ダンパ室の壁面となる変形可能な部分が外部に露出しないのでレイアウト上の制約が低減し、圧力変動も吸収できて相互干渉を効率的に抑制することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、共通流路に隣接するダンパ室と、共通液室とダンパ室との間の壁部を形成する振動板と一体の変形可能な部分と、ダンパ室内に充填された制振材料と、ダンパ室と外部とを連通する少なくとも２つの連通路とを有する構成としたので、ダンパ室の壁面となる変形可能な部分が外部に露出しないのでレイアウト上の制約が低減し、ダンパ室内に制振材料が充填されているので大きな圧力変動も吸収できて相互干渉を効率的に抑制することができる。

本発明に係る液体カートリッジによれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、レイアウト上の制約が低減し、圧力変動も吸収できて相互干渉を効率的に抑制することができる液体吐出ヘッド一体型の液体カートリッジが得られる。

本発明に係る液体吐出装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、安定した滴吐出を行うことができる。

本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、安定した滴吐出を行うことができ、高画質画像を形成できる。

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る液体吐出ヘッドの第１実施形態について図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じく液室長手方向（ノズル並び方向と直交する方向）に沿う断面説明図、図３は同じく液室短手方向（ノズル並び方向）に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、流路板（液室基板）１と、この流路板１の下面に接合した振動板２と、流路板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これらによって液滴（液体の滴）を吐出するノズル４が連通する個別流路としての加圧液室（圧力室、加圧室、流路などとも称される。）６、加圧液室６に液体であるインク（記録液）を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、本発明に係るダンパ室１８を形成している。

ここで、流路板１は、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜きなどの機械加工することで、各加圧液室６、流体抵抗部７、ダンパ室１８などの開口をそれぞれ形成している。なお、後述するように、流路板１とノズル板３或いは振動板２とを電鋳で一体形成することもできる。また、結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで形成したものや、その他感光性樹脂などを用いることもできる。

振動板２は、図２に示すように液室６側から第１層２ａ、第２層２ｂ、第３層２ｃの３層構造のニッケルプレートで形成したもので、例えば電鋳によって作製している。なお、この振動板２は、例えば、ポリイミドなどの樹脂部材とＳＵＳ基板などの金属プレートとの積層部材、或いは、樹脂部材から形成したものなどを用いることもできる。

ノズル板３は、各加圧液室６に対応して多数のノズル４を形成し、流路板１に接着剤接合している。このノズル板３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル４の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成し、このノズル４の穴径はインク滴出口側の直径で約２０〜３５μｍとしている。さらに、各列のノズルピッチは１５０ｄｐｉとした。

また、ノズル板３のノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。撥水処理層としては、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、記録液物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、記録液の滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。

そして、振動板２には、図２に示すように、各加圧液室６に対応して第１層２ａで形成したダイアフラム部２Ａの中央部に第２層２ｂ、第３層２ｃの２層構造の凸部２Ｂを形成し、この凸部２Ｂに圧力発生手段（アクチュエータ手段）を構成する圧電素子１２をそれぞれ接合している。また、各加圧液室６の隔壁６Ａに対応して３層構造部分（厚肉部２Ｂ）に支柱部１３を接合している。

これらの圧電素子１２及び支柱部１３は積層型圧電素子部材１４にハーフカットのダイシングによるスリット加工を施して櫛歯状に分割して形成したもので、支柱部１３も圧電素子であるが駆動電圧を印加しないために単なる支柱となっている。この積層型圧電素子部材１４はベース部材１５に接合している。

なお、圧電素子１２（圧電素子部材１４）は、例えば厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層したものであり、内部電極を交互に端面の端面電極（外部電極）である個別電極、共通電極に電気的に接続し、これらの電極にＦＰＣケーブル１６を介して駆動信号を供給するようにしている。

また、圧電素子１２の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて加圧液室６内記録液を加圧する構成とすることも、圧電素子１２の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室６内記録液を加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。

ベース部材１５は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材１３の材質（材料）が金属であれば、圧電素子１２の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電素子１２とベース部材１３は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧電素子１２の自己発熱により１００℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、インク温度が上昇するが、インクの温度が上昇すると、インク粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。したがって、ベース部材１５を金属材料で形成して圧電素子１２の自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、記録液粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる

さらに、振動板２の周囲には例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材１７を接着剤で接合している。

このフレーム部材１７には、各加圧液室６に記録液を供給する共通液室８を形成し、共通液室８から振動板２に形成した供給口９、流体抵抗部７の上流側に形成した流路１０、流体抵抗部７を介して加圧液室６に記録液が供給される。なお、フレーム部材１７には共通液室８に外部から記録液を供給するための記録液供給口１９も形成される。また、共通液室８は、図１に示すように、加圧液室６の並び方向（ノズル並び方向：これを「共通液室長手方向」とする）に平面形状で長方形状に形成している。

ここで、加圧液室６の壁面を形成する部材である振動板２で共通液室８の一部の壁面を形成し、この共通液室８の壁面を形成する部分をダンパエリア２１（ただし、物理的に区画された領域ではない。）としている。

このダンパエリア２１は、図４（共通液室８側から見た図である。）にも示すように、３層構造の振動板２の３層構造部分（加圧液室６側から第１層２ａないし第３層２ｃとする。）で形成した厚肉部２２と、第２層２ｂ及び第３層２ｃを形成しないで（一部を肉抜きして）第１層２ａの１層構造とした部分で構成した平面矩形状の変形可能な部分であるダンパ部２３とによって構成している。つまり、ダンパ部２３は隣接する共通液室８とダンパ室１８との間の壁部を形成する変形可能な部分である。この場合、厚肉部２２とダンパ部２３とは共通液室８の長手方向（ノズル配列方向）でストライプ状に配置されることになる。

なお、厚肉部２２を２層構造とし、ダンパ部２３を１層構造とし、あるいは、厚肉部２２を３層構造とし、ダンパ部２３を２層構造としても良い。また、共通液室８の一部の壁面を形成する振動板２の少なくとも共通液室８側は耐インク性（耐液性）を有することが好ましい。

そして、ダンパエリア２１は共通液室８内の圧力を吸収するためにダンパ部２３が変形可能であり、このダンパエリア２１の共通液室８に対して反対に位置する他面は流路板１に形成したダンパ室１８の壁面の一部を形成している。ダンパ室１８は、振動板２に形成された外部（大気）に連通した連通路としての大気連通口２４を通して大気開放される空間であり、ダンパ部２３の振動を減衰させる機能を持つことにより正確なメニスカス制御が可能となる。

大気連通口２４は、フレーム部材１７と圧電素子１２の組み付けの隙間となる空間２５に開口する位置に形成している。これにより、振動板２のみに大気連通口２４を形成することでダンパ室１８を大気開放させる（外部に連通させる）ことが可能であり、他の部品への加工が必要なく、製作コストを抑えることができる。

また、ダンパ室１８と外部とを連通する連通路（ここでは大気開放口２４）をノズル４が形成された面と反対側に開口することで、ダンパ室１８への記録液の進入を防止することができる。つまり、ノズル面側に連通路を開口させると、ノズル面をワイピングしたときなどに記録液が連通路を通じてダンパ室１８内に侵入するおそれがある（そのため、所謂ノズルカバーなどで覆われた空間に開口させる必要がある。）、ノズル面とは反対側に開口することでダンパ室１８内への記録液の侵入を防止することができる。

また、連通路となる大気開放口２４はダンパ部２３に対向しない位置に形成している。これにより、大気開放口２４から異物が挿入されてダンパ部２３が損傷されることを防止できる。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１２に印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電素子１２が収縮し、振動板２が下降して加圧液室６の容積が膨張することで、加圧液室６内にインクが流入し、その後圧電素子１２に印加する電圧を上げて圧電素子１２を積層方向に伸長させ、振動板２をノズル４方向に変形させて加圧液室６の容積／体積を収縮させることにより、加圧液室６内の記録液が加圧され、ノズル４から記録液の滴が吐出（噴射）される。

そして、圧電素子１２に印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板２が初期位置に復元し、加圧液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室８から加圧液室６内に記録液が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。

このようにしてノズル４から液滴を吐出させるために加圧液室６内に圧力変動が生じさせると、加圧液室６内の圧力変動が流体抵抗部７を通じて共通液室８に伝播され、共通液室８に伝播した圧力変動が他の流体抵抗部７を介して他の加圧液室６に伝播することがある。これにより、ダンパ室１８がない場合、この他の加圧液室６のノズル４が液滴を吐出させないチャンネルであるときには、記録液が漏洩したり、液滴が吐出されたりする可能性がある。また、この他の加圧液室６のノズル４が液滴を吐出させるチャンネルであるときには、滴吐出に対して影響を与える可能性がある。

これに対して、この液体吐出ヘッドにおいては、共通液室８に振動板２と一体のダンパ部２３を介して隣接するダンパ室１８を設けているので、共通液室８内に圧力変動が伝播したときには、ダンパ部２３が変形（変位）して圧力変動が吸収される。これにより、圧力波が加圧液室６に戻ることが防止されてメニスカスの制御性も安定する。

このとき、多数のノズル４が同時に駆動されて液滴が吐出され、共通液室８に大きな圧力変動が伝播された場合でも、ダンパ室１８が大気開放口２４を介して外部に連通しているので、ダンパ部２３は十分に変形することができて、大きな圧力変動でも効率的に吸収することができる。

つまり、ダンパ室１８が密閉された空間であるときにはダンパ部２４の変形に対してダンパ室１８内の空気が抵抗となってダンパ部２４が十分に変形することができず、大きな圧力変動を吸収できないのに対し、ダンパ室１８が大気開放されていることで、ダンパ室１８内の空気がダンパ部２３の変形に対する抵抗となることを防止できる。

そして、ダンパ部２３をダンパ室１８と共通液室８との間の壁部として設けて直接大気に接しない構成としているので、レイアウト上の制約も低減する。つまり、ダンパ部２３が直接大気に接しているときにはジャムなどが生じたときに破損しないようなレイアウトにしなければならず制約が多くなるのに対し、ダンパ部２３がダンパ室１８で保護されているので、このようなレイアウト上の制約が低減するのである。

また、連通路の外部（大気）側開口を完全な開口部とすることにより、ダンパ室１８と外部との間での空気の出入りが容易であり、開口に変形可能な手段を設けた場合（完全な開口部でない場合）に比べて相対的に高い緩衝効果が得られる。

また、ダンパ部２３を加圧液室６の一面に配置される振動板２と同一の層としてほぼ同一の厚みで同一部材上に形成することで、ヘッドの構成部品の数を減らすことができるとともに、同一の工程で同時に形成することが可能となる。さらに、加圧液室６を構成する部品及び共通液室８を構成する部品を形成後、液室壁面を形成する部分とダンパ部からなる層を含む振動板２を接合するだけで、加圧液室部及び共通液室部を形成することが可能となって、製造コスト、製造工数及び組立て工数などを減らすことができる。

また、同様にダンパ室１８を流路板１に形成される加圧液室６と同一の深さ（もしくは貫通形状）として同一部材（ここでは流路板１）に形成させることでヘッドの構成部品の数を減らすことができるとともに、同一の工程で同時に形成することが可能となる。これにより、一度の接合で加圧液室６及びダンパ室１８を形成することが可能となって、製造コスト、製造工数及び組立て工数などを減らすことができる。

さらに、加圧液室６とダンパ室１８とを加圧液室を形成する部材で形成することによって、共通液室８をフレーム部材１７などに形成することができ、共通液室の大容量化を図ることができ、特に長尺ヘッドのようにノズル数が増加した場合でも加圧液室に対する記録液の供給不足を生じることがなく、安定した滴吐出を行うことができる。

なお、本実施形態では圧力発生手段として圧電素子を用いているが、発熱体を加熱して熱エネルギーの作用によって液に気泡を発生させる方法を用いても良く、本発明に係る液体吐出ヘッドにおける圧力発生手段は限定されるものではない。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの第２実施形態について図５を参照して説明する。なお、図５は同液体吐出ヘッドの模式的説明図である。なお、第１実施形態と対応する部分には同じ符号を付している。
このヘッドにおいても、共通液室８から流体抵抗部７を介して加圧液室６に記録液が供給され、図示しない圧力発生手段によって加圧液室６内の記録液が加圧されることによってノズル４から液滴が吐出される。

そして、共通液室８と変形可能な部分であるダンパ部２３を介してダンパ室１８が隣接して設けられ、このダンパ室１８を外部に連通する少なくとも２つの連通路２４Ａ、２４Ｂが設けられている。

さらに、ダンパ室１８内には制振材料２６を充填している。ダンパ室１８へ制振材料２６を充填するときには、例えば、一方の連通路２４Ａから制振材料２６を押し込み（注入し）、他方の連通路２４Ｂから気体抜きを行って充填する。あるいは、制振材料２６の充填方法としては、一方の連通路２４Ａから気体をポンプ等で負圧状態として真空引きし、同時に他方の連通路２４Ｂから制振材料２６を注入するなどして行うことができる。

この場合、制振材料２６を注入した後の、ダンパ室１８に備えられた外部と連通する連通路２４Ａ、２４Ｂは封止材によって封止することで制振効果を向上させることができ、また、制振材料２６が外部へ漏れることを防止できる。

なお、この制振材料２６を充填する構成では、前記第１実施形態の配置に限らず、ダンパ室１８とダンパ部２３は、共通液室８との配置関係が上記の条件を満たすのであれば、液体吐出ヘッドを構成するどの部材に配置されていてもかまわない。

このように構成することにより、液滴吐出のために加圧液室６に圧力を与えたとき、共通液室８に伝播した圧力変動によってダンパ部２３が変形して、このダンパ部２３の変形が制振材料２６で吸収される。このとき、大きな圧力変動が共通液室８に伝播されてもダンパ室１８内に制振材料２６が充填されているので、十分に圧力を吸収することができ、安定した滴吐出を行うことができる。

ここで、制振材料２６は粘弾性物質であることが好ましい。振動を減衰させるのに弾性と粘性の両方を備えることが効果的であり、更に、粘度が共通液室８内の液体よりも粘度が高い物質であることがより好ましい。粘弾性物質としては、シリコン系樹脂、合成ゴム系樹脂、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴムなどが好ましく、また、これらを含む発泡体等であってもよい。

制振材料２６の形成方法は原液の塗布と硬化による形成の他、成型品にしてそれを配置或いは配置することにより形成してもよい。また、制振材料２６は、振動減衰に有効な弾性と粘性を備えるゲル状の物質が好適であり、更にシリコーンゲルは弾性と粘性の温度変化が小さく好適である。また、制振材料２６としては、オイルのような液体であってもよく、この場合は、シリコンオイル等が好ましい。

また、本実施形態のように制振材料２６が共通液室８内の液体(本実施形態ではインク：記録液)に接しない構造であるため、制振材料２６が耐液性を持たなくてもよく、記録液や制振材料２６の種類の選択枝が広い。これにより、ヘッドの製造コストを低減しやすく、使用出来る記録液種も多いため高画質化し易くなる。

次に、この第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例について図６を参照して説明する。なお、図６は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。なお、第１実施形態と対応する部分には同じ符号を付している。
流路板１に形成したダンパ室１８は流路板１に形成した溝部からなる連通路２４Ａ，２４Ｂによって外部と連通し、このダンパ室１８には図示しない制振材料（上記制振材料２６）が充填されている。この液体吐出ヘッドを組立て後、前述したように、例えば、一方の連通路２４Ａからダンパ室１８に制振材料を押し込み（注入し）、他方の連通路２４Ｂから気体抜きを行って充填する。

なお、この形態においては、連通路２４Ａ、２４Ｂが流路板１の側面に開口するので、ノズル面に付着する記録液が連通路内に侵入して制振材料２６と反応を生じないように、図７に示すように、ノズル板１の周縁部を保護するノズルカバー３０で流路板１の側面を覆っていることが好ましい。また、ダンパ室１８内に制振材料２６を充填しない構成であっても同様にノズルカバー３０で連通路の開口を覆うことが好ましい。

次に、共通液室８の構造の他の例について図８を参照して説明する。なお、図８はフレーム部材の斜視説明図である。
この例では、共通液室８は長手方向の端部８ａ、８ａで短手方向の幅が狭くなり深さが浅くなる形状となっている。共通液室８をこのような形状とすることにより記録液の流れ性と気泡排出性を高めることができる。

次に、流路板とノズル板を一体形成した液体吐出ヘッドの例について図９を参照して説明する。なお、図９は同液体吐出ヘッドの要部断面説明図である。
この液体吐出ヘッドは、電鋳法によってノズル板５１Ａと液室部材（流路板）５１Ｂとを一体化したノズル流路部材５１と振動板２とを接合して、液滴を吐出するノズル５４、ノズル５４が連通する液室５６、前述した図示しないダンパ室などを形成している。そして、流路板５１Ｂは、液室５６を形成するとともに各液室５６を隔てる液室間隔壁５６Ａを形成している。なお、その他の部分の構成は前記実施形態と同様であるので、同じ符号を付してその部分の説明を省略する。

ここで、液室間隔壁５６Ａを含む流路板５１Ｂは、金属材料で形成し、厚み（液室５６の並び方向の幅）が振動板２から離れるにしたがって連続的に薄くなっている形状、すなわち、隔壁５６Ａの壁面５６ａが振動板側からノズル板側に向って連続的に傾斜するテーパ形状に形成している。

このように液室間隔壁を金属材料で形成し、この隔壁の少なくとも一部の厚みが振動板側から離れるにしたがって連続的に薄くなっている形状とすることによって、液室間隔壁と振動板の接合面積を十分に確保しながら、高密度化にも対応可能となり、しかも、低コスト化、高信頼性化を図ることができる。

そして、このようにノズル板と流路板を一体形成した部材を用いることで、流路部材でダンパ室を形成する場合に、振動板をノズル流路部材に接合するだけで良く、更に部品点数の削減、組み付け工数の削減を図ることができる。

次に、本発明に係る液体カートリッジについて図１０を参照して説明する。なお、図１０は同液体カートリッジの一例を示す斜視説明図である。
この液体カートリッジ９０は、ノズル９１を有する本発明に係る液体吐出ヘッド９２と、この液体吐出ヘッド９２に液体としての例えば記録液を供給する液体収容部（タンク）９３とを一体に備えている。

これによって、レイアウト上の制約が低減し、圧力変動も吸収できて相互干渉を効率的に抑制することができる液体吐出ヘッド一体型の液体カートリッジが得られる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の一例について図１１を参照して説明する。なお、図１１は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
この画像形成装置は、媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列（ノズル４を並べたもの）を有するフルライン型ヘッドからなる記録ヘッドを搭載したライン型画像形成装置である。

この画像形成装置は、例えばブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色の液滴を吐出する、フルライン型の４個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド１０１ｋ、１０１ｃ、１０１ｍ、１０１ｙ（色を区別しないときには「記録ヘッド１０１）という。）を備え、各記録ヘッド１０１はノズル４を形成した面を下方に向けて図示しないヘッドホルダに装着している。また、各記録ヘッド１０１に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構１０２を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド１０１と維持回復機構１０２とを相対的に移動させて、記録ヘッド１０１のノズル面に維持回復機構１０２を構成するキャッピング部材などを対向させる。

なお、ここでは、記録ヘッド１０１は、用紙搬送方向上流側から、ブラック、シアン、マゼンダ、イエローの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた１又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。

給紙トレイ１０３は、用紙１０４を載置する底板１０５と、用紙１０４を給送するための給紙コロ（半月コロ）１０６を備えている。底板１０５はベース１０８に取り付けられた回転軸１０９を中心に回転可能であって、加圧ばね１１０によって給紙コロ１０６側に付勢されている。なお、給紙コロ１０６に対向して、用紙１０４の重送を防止するため、人工皮、コルク材等の摩擦係数の大きい材質からなる図示しない分離パッドが設けられている。また、底板１０５と給紙コロ１０６の当接を解除する図示しないリリースカムが設けられている。

そして、この給紙トレイ１０３から給紙された用紙１０４を搬送ローラ１１２とピンチローラ１１３との間に送り込むために用紙１０４を案内するガイド部材１１０、１１１を設けている。

搬送ローラ１１２は、図示しない駆動源によって回転されて、送り込まれる用紙１０４を記録ヘッド１０１に対向して配置したプラテン１１５に向けて搬送する。プラテン１１５は、記録ヘッド１０１と用紙１０４とのギャップを維持することができるものであれば、剛体構造体でもよいし、搬送ベルトなどを用いることもできる。

プラテン１１５の下流側には、画像が形成された用紙１０４を排紙するための排紙ローラ１１６及びこれに対向する拍車１１７を配置し、排紙ローラ１１６によって画像が形成された用紙１０４を排紙トレイ１１８に排紙する。

また、排紙トレイ１１８と反対側には、用紙１０４を手差し給紙するための手差しトレイ１２１と、手差しトレイ１２１に載置された用紙１０４を給紙する給紙コロ１２２を配置している。この手差しトレイ１２１から給紙される用紙１０４はガイド部材１１１に案内されて搬送ローラ１１２とピンチローラ１１３との間に送り込まれる。

この画像形成装置においては、待機状態では、リリースカムが給紙トレイ１０３底板１０５を所定位置まで押し下げ、底板１０５と給紙コロ１０６との当接を解除している。そして、この状態で、搬送ローラ１１２が回転されることによって、この回転駆動力が図示しないギア等により給紙コロ１０６及び図示しないリリースカムに伝達されて、リリースカムが底板１０５から離れて底板１０５が上昇し、給紙コロ１０６と用紙１０４が当接し、給紙コロ１０６の回転に伴って用紙１０４がピックアップされて給紙が開始され、図示しない分離爪によって一枚ずつ分離される。

そして、給送コロ１０６の回転によって用紙１０４がガイド部材１１０、１１１に案内されて搬送ローラ１１２とピンチローラ１１３との間に送り込まれ、搬送ローラ１１２によって用紙１０４がプラテン１１５上に送り出される。その後、用紙１０４の後端は給紙コロ１０６のＤカット部に対向して当接が解除され、搬送ローラ１１２によってプラテン１１５上に搬送される。なお。給紙コロ１０６と搬送ローラ１１２との間に、補助的に、搬送回転対を設けることもできる。

このようにしてプラテン１１５上を搬送される用紙１０４に対して、記録ヘッド１から液滴を吐出して画像を形成し、画像が形成された用紙１０４は排紙ローラ１１６によって排紙トレイ１１８に排紙される。なお、画像形成時における紙搬送の速度と液滴吐出のタイミングは図示しない制御部によって制御される。

このように、本発明に係るライン型の液体吐出ヘッドを備えることによって、高速で高画質画像を形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例について図１２及び図１３を参照して説明する。なお、図１２は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図１３は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２０１Ａ、２０１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図１３で矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。

また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「ヘッドタンク３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ３６を介して、各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによって図１３のベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体１の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、図１３に示すように、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。

この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、図１３に示すように、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このようなシリアル型画像形成装置であっても、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えることによって、安定した滴吐出特性が得られるので、高速で高画質画像を記録できるようになる。

なお、上記実施形態では本発明に係る液体吐出装置をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置にも適用することができる。また、記録液以外の液体を用いる液体吐出装置や画像形成装置にも適用することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの第１実施形態の分解斜視説明図である。 同液体吐出ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。 同じく液室短手方向に沿う断面説明図である。 同液体吐出ヘッドの振動板を共通液室側から見た斜視説明図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの第２実施形態の模式的説明図である。 同実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例を説明する分解斜視説明図である。 同液体吐出ヘッドの連通路をノズルカバーで覆う例の要部断面説明図である。 共通液室の他の例を説明するフレーム部材の斜視説明図である。 本発明に係る他の液体吐出ヘッドの構成の説明に供する断面説明図である。 本発明に係る液体カートリッジの斜視説明図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドを含む液体吐出装置を備えた本発明に係る画像形成装置の一例を示す概略構成図である。 本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例を示す概略構成図である。 同じく要部平面説明図である。

符号の説明

１…流路板
２…振動板
３…ノズル板
４…ノズル
６…加圧液室
８…共通液室
１２…圧電素子
１３…支柱部
１８…ダンパ室
２１…ダンパエリア
２２…厚肉部
２３…ダンパ部
２４…大気開放口（連通路）
２５…圧電素子が配置された空間
１０１…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
２３４…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）

Claims (15)

1. 液体を吐出するノズルが連通する複数の個別流路と、
   この個別流路の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、
   複数の個別流路に液体を供給する共通流路と、
   前記個別流路を形成する部材によって形成される、前記共通流路に隣接するダンパ室と、
   前記共通液室とダンパ室との間の壁部を形成する前記振動板と一体の変形可能な部分と
   を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記ダンパ室を外部と連通する連通路が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記連通路は前記ノズルが開口する面とは反対側で外部に開口していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 請求項３に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記連通路は前記振動板を変形させる圧電素子が設けられた空間に開口していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記個別流路を形成する流路部材と前記ノズルを形成したノズル板又は前記振動板は電鋳で一体形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 液体を吐出するノズルが連通する複数の個別流路と、
   この個別流路の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、
   複数の個別流路に液体を供給する共通流路と、
   この共通流路に隣接するダンパ室と、
   前記共通液室とダンパ室との間の壁部を形成する前記振動板と一体の変形可能な部分と、
   前記ダンパ室内に充填された制振材料と、
   前記ダンパ室と外部とを連通する少なくとも２つの連通路と
   を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
7. 請求項６に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記制振材料は液体であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
8. 請求項７に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記液体はオイル系材料であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
9. 請求項６に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記制振材料は粘弾性材料であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記粘弾性材料はシリコーン系材料であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 請求項６ないし１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記連通路は前記制振材料が充填された状態で開口が封止されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
12. 請求項１ないし１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記共通液室は前記振動板の外周部を保持するフレーム部材に形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 液体吐出ヘッドと、この液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクとを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液体吐出ヘッドが請求項１ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体カートリッジ。
14. 液体吐出ヘッドから液滴を吐出する液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項１ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド又は請求項１３に記載の液体カートリッジであることを特徴とする液体吐出装置。
15. 液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項１ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド又は請求項１３に記載の液体カートリッジであることを特徴とする画像形成装置。
    

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