JP2007281929A - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 44
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 18
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 11
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004637 bakelite Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002991 molded plastic Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/182—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
- H05K1/184—Components including terminals inserted in holes through the printed circuit board and connected to printed contacts on the walls of the holes or at the edges thereof or protruding over or into the holes
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/54—Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/57—Mechanical or electrical details of cameras or camera modules specially adapted for being embedded in other devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3025—Electromagnetic shielding
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10121—Optical component, e.g. opto-electronic component
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10431—Details of mounted components
- H05K2201/10507—Involving several components
- H05K2201/10515—Stacked components
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10613—Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
- H05K2201/10621—Components characterised by their electrical contacts
- H05K2201/10636—Leadless chip, e.g. chip capacitor or resistor
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Signal Processing (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- Lens Barrels (AREA)
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Abstract
【解決手段】感光部が形成された主表面を含む固体撮像素子と、この固体撮像素子の前記主面とは反対側の裏面に接着され、前記固体撮像素子に電気的に接続されるとともに、前記固体撮像素子に接着される面とは反対側の面に外部への電気的な接続端子を有し、受動部品を薄い板状に配置形成してなる受動チップと、前記固体撮像素子主表面の感光部以外の部分に形成されたダム状スペーサと、このダム状スペーサ上に、直接ないし間接的に固定されたレンズホルダとを備え、前記受動チップのサイズは、前記固体撮像素子のサイズと同じか若しくは小さく形成した固体撮像装置。
【選択図】図6
Description
図6は本発明の第1の実施形態に係るカメラモジュールの断面図であり、図7はこのカメラモジュールに含まれる受動チップの製造方法を示す工程図である。図6のレンズホルダ1の構造は図1に示した従来例と同じであり、対応する物は同一番号を付して詳細な説明は省略する。固体撮像素子6は感光領域にマイクロレンズ14が設けられている。ボンディングパッド部分12の下には貫通電極部分15が形成されており、固体撮像素子6の下に設けられた受動チップ16の電極部分17に接続されている。受動チップ16には、プリント基板18に空洞部分を設け、その中にコンデンサ19を挿入する。プリント基板18の配線部分は20で示し、配線部分20とコンデンサ19と電気的な接続、及び基板18への固定は半田21にて行う。プリント基板18にはスルーホール22、23,24が形成されている。スルーホールの種類としては、固体撮像素子6の電極を受動チップの裏側の電極取り出し部分に導く種類のスルーホール22、22と同じく固体撮像素子6の電極を受動チップ裏面に導きかつ、コンデンサ19と接続されたタイプのスルーホール23と、コンデンサ19からの配線20を受動チップ裏面に導くタイプのスルーホール24とである。プリント基板18の空洞部分にはコンデンサ19以外に抵抗26を挿入しても良い。受動チップ16と固体撮像素子6との連結は、異方性導電ペースト25を介在し、圧着させ導通を取る方式でよい。異方性導電ペーストとは、圧力の掛かった方向の電気抵抗が下がるペーストであり、通常は金属の微粒子がペーストに均一に分散されており、圧力の掛かった方向に金属粒子が連結し抵抗を下げる機構である。
図8および図9は本発明の第2の実施形態に使用される受動チップであるコンデンサの構造を示す断面図である。この受動チップのコンデンサ構造としては、図8に示すように、一導電型の半導体基板29の主表面上にゲート絶縁膜32を介しゲート電極33を設ける。半導体基板表面を規則的に溝を掘り、ゲート電極膜との対向面積を広く取ることにより(通常トレンチ構造と呼ばれる。)キャパシタの容量を増やすことが出来る。酸化膜MOS構造の酸化膜容量Coxは
Cox=εox*εo*L*W/tox …(1)
で表される。
図12は通常のウエハテストの様に、ウエハの上から電極に接触し測定するシステムに対応したモジュールの製造方法を示す工程図である。この製造方法は、ほぼ図10、図11に示した製造方法と同じであるが、スペーサ樹脂34’’の塗布の仕方をボンディングパッドに掛からないように塗布していることが特徴である(図12(a))。この上から光学フィルタを形成し(図12(b))、レンズホルダを固体撮像素子の良品チップの上のみに形成する(図12(c))。この光学フィルタ35を固体撮像素子6のボンディングパッド12上、ダイシングライン上から除去することが出来る(図12(d))。この構造では従来と同様に、入射光の方向のからボンディングパッドに直接針当て出来る。このようにウエハ状態でモジュールのテストが可能になれば、レンズのフォーカス調整を、ウエハ状態で出来るようになる。
図13は本発明のさらに他の実施形態であるカメラモジュールの製造方法を示す工程図である。上述した実施形態においては、受動チップ16、29と固体撮像素子6は同一のチップサイズで、共にウェハサイズで貼り合わせるモジュールの製造工程について説明したが、受動チップ16、29のサイズは固体撮像素子6と必ずしも同じである必要はない。
2 … プリント基板
3 … 電極部分
4 … レンズバレル
5 … 受動部品 5’ … 半田リフロー部
6 … 固体撮像素子
7 … ボンディングワイヤ
8 … 光学フィルタ
9 … 接着剤
10… 光学レンズ
11… ウエハ
12… ボンディングパッド
13… 感光領域
14… マイクロレンズ
15… 貫通電極
16… 受動チップ
17… 受動チップの電極部分
18… プリント基板
19… コンデンサ
20… プリント基板の配線部分
21… 半田
22、23、24… スルーホール感光領域
25… 異方性導電ペースト
26… 抵抗
27… 空洞部
28… 配線パターン
29… 半導体基板
30… 半導体主表面
31… バンプ
32… ゲート絶縁膜
33… ゲート電極
34… スペーサ樹脂
35… 光学フィルタ
36… 光遮蔽カバー
Claims (5)
- 感光部が形成された主表面を含む固体撮像素子と、この固体撮像素子の前記主面とは反対側の裏面に接着され、前記固体撮像素子に電気的に接続されるとともに、前記固体撮像素子に接着される面とは反対側の面に外部への電気的な接続端子を有し、受動部品を薄い板状に配置形成してなる受動チップと、前記固体撮像素子主表面の感光部以外の部分に形成されたダム状スペーサと、このダム状スペーサ上に、直接ないし間接的に固定されたレンズホルダとを備え、前記受動チップのサイズは、前記固体撮像素子のサイズと同じか若しくは小さく形成したことを特徴とする固体撮像装置。
- 前記受動チップは、プリント基板に受動部品が埋め込まれ形成され、固体撮像素子の電極を受動チップの受動部品に電気的に接続する配線部分と、前記固体撮像素子の電極から前記受動チップの裏面の外部への電気的な接続端子とを連結する受動チップ中の貫通電極と、前記受動チップ内の配線部とからなることを特徴とする請求項1項記載の固体撮像装置。
- 固体撮像素子とコンデンサ等の受動部品とからなるカメラモジュールの組み立て方法であって、主表面上に感光部が形成された複数の固体撮像素子を同一のウエハ上に形成する工程と、前記受動部品を薄い板状に配置し形成した受動チップを、前記固体撮像素子の主表面とは反対側の裏面に接着する工程と、前記固体撮像素子と受動チップとを電気的に結合し、前記受動チップの前記固体撮像素子との接着面とは反対側の受動チップの裏面に外部への電気的な接続端子を形成する工程と、前記固体撮像素子主表面の感光部以外の部分に接着剤を塗布して複数個のダム状スペーサを形成する工程と、これらのダム状スペーサ上に、直接ないし間接的にレンズホルダを接着する工程とを備え、前記固体撮像素子、受動チップ、接着剤を同時に切断することにより、カメラモジュールを製造することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
- 前記固体撮像素子主表面の感光部以外の個所に、接着剤をダム状に形成し、固体撮像素子主表面の感光領域との間に空間を設け、前記ダム状接着剤に透明部材を接着し、該光学フィルタ上にレンズホルダを形成し、固体撮像素子、受動チップ、接着剤、光学フィルタを同時に切断することを特徴とする請求項3項記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記固体撮像素子主表面の感光部以外の個所に、接着剤をダム状に形成し、前記固体撮像素子主表面の感光領域との間に空間を設け、該ダム状接着剤に透明部材を接着し、前記固体撮像素子の裏面に個片にされた受動チップ貼付け、電気的な導電を取った後に、前記固体撮像素子、接着剤、透明部材を同時に切断したことを特徴とする請求項3項記載の固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006106246A JP4950542B2 (ja) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
KR1020070034039A KR100870283B1 (ko) | 2006-04-07 | 2007-04-06 | 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법 |
US11/697,451 US20070236596A1 (en) | 2006-04-07 | 2007-04-06 | Solid-state image pickup device, a camera module and a method for manufacturing thereof |
CNB2007100967433A CN100541790C (zh) | 2006-04-07 | 2007-04-06 | 固体摄像装置及其制造方法 |
US13/116,158 US8519457B2 (en) | 2006-04-07 | 2011-05-26 | Solid-state image pickup device and a camera module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006106246A JP4950542B2 (ja) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007281929A true JP2007281929A (ja) | 2007-10-25 |
JP4950542B2 JP4950542B2 (ja) | 2012-06-13 |
Family
ID=38574809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006106246A Expired - Fee Related JP4950542B2 (ja) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20070236596A1 (ja) |
JP (1) | JP4950542B2 (ja) |
KR (1) | KR100870283B1 (ja) |
CN (1) | CN100541790C (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120309 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |