JP2005317903A - 回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高精度で信頼性が高く、かつローコストに生産が可能な回路部品モジュールおよびその製造方法を提供する。また、ICチップ等の構成部品の集積度を更に向上させることにより小型で高い記憶容量を備えた記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 貫通孔7を有する樹脂製の絶縁基板6と、貫通孔7内に配置された1ないし2の電子部品31と、絶縁基板6の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に配置されるとともに電子部品31に接続される配線パターン5とを具備してなる回路部品モジュール150を採用する。
【選択図】 図2
【解決手段】 貫通孔7を有する樹脂製の絶縁基板6と、貫通孔7内に配置された1ないし2の電子部品31と、絶縁基板6の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に配置されるとともに電子部品31に接続される配線パターン5とを具備してなる回路部品モジュール150を採用する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法に関する。
例えば、携帯電話やPDAなどの携帯電子機器では、小型軽量化およびローコスト化のために、回路基板と各種部品とを一体化した薄板状の回路部品モジュールが採用されつつある。こうした回路部品モジュールは、例えば、特許文献1や特許文献2に示すように、樹脂などの基板内に各種部品が埋め込まれ、表面に導電性の回路パターンが形成されたものであり、凹凸の少ない平板状に形成され、薄型軽量でかつ量産性に優れているので、小型軽量化が要求される携帯電子機器の部品基板として好適である。
また最近では、コンピュータやデジタルカメラの分野において、従来の磁気記録媒体に代えて不揮発性の半導体メモリを内蔵した記録媒体が利用されている。この種の記録媒体は、軽量で取り扱いも容易であることから利用が急速に拡大している。ところでこの種の記録媒体は、半導体メモリ素子を備えたICチップを筐体の内部に1個ないし数個内蔵した構造を採用しているが、小型で大量の記憶容量を確保するためには、ICチップおよびその周辺の回路配線の集積度をより高める必要がある。
特開2001−358465号公報
特開平11−220262号公報
しかしながら、特許文献1に記載された回路部品モジュールでは、部品を配置してからロールコータ等で有機ポリマーを塗布、焼成した後、配線用のコンタクトホールを形成するので、樹脂表面の凹凸による部品接合の精度を良好に保てなくなる懸念があった。また、チップパッド上の樹脂残渣による導通不良や、部品と樹脂との間に生じるストレスによる接合部での損傷などが生じやすいといった課題がある。
また、特許文献2に記載された回路部品モジュールでも、製造工程でかかる熱や応力によって、接合部での損傷などが生じやすいといった課題がある。更に、パターン同士の位置合わせ工程を多数経なければならないため、仕上がり精度の低下を招きやすく、製造コストがかかるという課題もあった。
更に、従来の半導体メモリを使用した記録媒体においては、ICチップおよびその周辺配線の集積度の更なる向上が望まれていた。
また、特許文献2に記載された回路部品モジュールでも、製造工程でかかる熱や応力によって、接合部での損傷などが生じやすいといった課題がある。更に、パターン同士の位置合わせ工程を多数経なければならないため、仕上がり精度の低下を招きやすく、製造コストがかかるという課題もあった。
更に、従来の半導体メモリを使用した記録媒体においては、ICチップおよびその周辺配線の集積度の更なる向上が望まれていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、高精度で信頼性が高く、かつローコストに生産が可能な回路部品モジュールおよびその製造方法を提供することを目的とする。また、ICチップ等の構成部品の集積度を更に向上させることにより小型で高い記憶容量を備えた記録媒体およびその製造方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の回路部品モジュールは、貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板と、前記貫通孔内に配置された1ないし2の電子部品と、前記絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に配置されるとともに前記電子部品に接続される配線パターンとを具備してなることを特徴とする。この構成によれば、貫通孔内部に電子部品を配置させることによって回路部品モジュール自体を薄型にすることができる。
本発明の回路部品モジュールは、貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板と、前記貫通孔内に配置された1ないし2の電子部品と、前記絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に配置されるとともに前記電子部品に接続される配線パターンとを具備してなることを特徴とする。この構成によれば、貫通孔内部に電子部品を配置させることによって回路部品モジュール自体を薄型にすることができる。
また本発明の回路部品モジュールは、先に記載の回路部品モジュールであり、前記絶縁基板が誘電体樹脂基板であり、前記配線パターンが該誘電体樹脂基板に埋め込まれていることを特徴とする。この構成によれば、配線パターンが誘電体樹脂基板に埋め込まれているので、配線パターンを保護することができるとともに回路部品モジュール自体の薄型化を達成できる。
また本発明の回路部品モジュールは、先に記載の回路部品モジュールであり、前記絶縁基板が、無機繊維含有樹脂層および該無機繊維含有樹脂層の厚み方向一方または両方に積層された誘電体層から構成され、前記配線パターンが該誘電体層に埋め込まれていることを特徴とする。この構成によれば、配線パターンが誘電体層に埋め込まれているので、配線パターンを保護することができる。また、絶縁基板に無機繊維含有樹脂層が含まれているので、回路部品モジュール自体の強度を高めることができる。
また本発明の回路部品モジュールは、先に記載の回路部品モジュールであり、前記貫通孔と前記電子部品との間に充填材が充填されていることを特徴とする。この構成によれば、貫通孔と電子部品の隙間に充填材が充填されているので、電子部品が絶縁基板と一体となり、電子部品の耐衝撃性を高めることができる。
また本発明の回路部品モジュールは、先に記載の回路部品モジュールであり、前記充填材が前記絶縁基板を構成する前記誘電体樹脂基板または前記無機繊維含有樹脂層から滲出された樹脂であることを特徴とする。この構成によれば、絶縁基板と電子部品との間に、絶縁基板から滲出された樹脂が充填されるので、絶縁基板と電子部品との一体性を高めることができ、電子部品の耐衝撃性をより高めることができる。
また本発明の回路部品モジュールは、先に記載の回路部品モジュールであり、前記電子部品がチップ型メモリであることを特徴とする。この構成によれば、回路部品モジュールを記録媒体の構成部品として利用することができる。
次に本発明の回路部品モジュールスタックは、先のいずれかに記載の回路部品モジュールが複数積層され、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板に、導電性ペーストが充填されてなるスルーホールが設けられ、該スルーホールを介して各回路部品モジュールが接続されてなることを特徴とする。この構成によれば、相互に積層された回路部品モジュール同士がスルーホールを介して接続されているので、個々の回路部品モジュールの機能を備えたスタックを構成できる。また、電子部品をチップ型メモリとすることで、大きな記憶容量を備えたモジュールを構成できる。
次に本発明の記録媒体は、先に記載の回路部品モジュールを備えたことを特徴とする。この構成によれば、チップ型メモリを備えた回路部品モジュールを備えているので、チッブ型メモリと配線パターンとの集積度が高くなり、小型で大きな記憶容量を有する記録媒体を構成することができる。
また本発明の記録媒体は、先に記載の記録媒体であり、先に記載の回路部品モジュールが複数積層され、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板に、導電性ペーストが充填されてなるスルーホールが設けられ、該スルーホールを介して各回路部品モジュールが接続されてなることを特徴とする。この構成によれば、チップ型メモリを備えた回路部品モジュール同士がスルーホールを介して接続されているので、大きな記憶容量を備えた記録媒体を構成できる。
次に本発明の回路部品モジュールの製造方法は、版基板上にシード層を積層するとともに該シード層上に配線パターンを形成し、更に該配線パターンに電子部品を取付ける版基板工程と、貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に前記版基板を配置し、前記電子部品を前記貫通孔に収納させながら前記絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、前記絶縁基板と前記版基板を熱圧着させて前記絶縁基板に含まれる樹脂成分を前記貫通孔と前記電子部品との間に滲出させる圧着工程と、前記絶縁基板から前記版基板および前記シード層を除去する除去工程と、を具備してなることを特徴とする。
上記の構成によれば、貫通孔内部に電子部品を収納させることによって回路部品モジュール自体を薄型にすることができる。また、貫通孔と電子部品との隙間に絶縁基板に含まれる樹脂成分を滲出させてこの隙間を埋めることで、絶縁基板と電子部品との一体化を図ることができ、耐衝撃性に優れた回路部品モジュールを製造することができる。
また本発明の回路部品モジュールの製造方法は、先に記載の製造方法であり、前記絶縁基板が誘電体樹脂基板であり、前記圧着工程において前記配線パターンを前記誘電体樹脂基板に埋め込むことを特徴とする。この構成によれば、配線パターンが絶縁基板内部に埋込まれて配線パターンの露出面積が小さくなるので、絶縁基板によって配線パターンを保護することができる。特に、後工程にシード層のエッチング工程が設けられた場合に、配線パターンがエッチングされることがなく、配線パターンの線幅の減少を防止することができる。
また本発明の回路部品モジュールの製造方法は、先に記載の製造方法であり、前記絶縁基板が、無機繊維含有樹脂層および該無機繊維含有樹脂層の厚さ方向一方または両方に積層された誘電体層から構成され、前記圧着工程において前記配線パターンを前記誘電体層に埋め込むことを特徴とする。この構成によれば、配線パターンが誘電体層に埋込まれているので、配線パターンの露出面積が小さくなって配線パターンを保護することができる。
また本発明の回路部品モジュールの製造方法は、先に記載の製造方法であり、前記電子部品がチップ型メモリであることを特徴とする。この構成によれば、チップ型メモリおよび配線パターンの集積度が高められた回路部品モジュールを容易に製造することができる。
次に本発明の回路部品モジュールスタックの製造方法は、先の記載の製造方法により製造された回路部品モジュールを複数積層し、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板にスルーホールを設け、該スルーホールを介して各回路部品モジュールを接続することを特徴とする。この構成によれば、積層した回路部品モジュール同士をスルーホールにより接続するので、個々の回路部品モジュールの機能を備えたスタックを容易に製造することができる。また、電子部品をチップ型メモリとすることで、大きな記憶容量を備えたモジュールを製造できる。
次に本発明の記録媒体の製造方法は、先に記載の製造方法により製造された回路部品モジュールを複数積層し、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板に、導電性ペーストが充填されてなるスルーホールを設け、該スルーホールを介して各回路部品モジュールを接続することを特徴とする。この構成によれば、チップ型メモリを備えた回路部品モジュール同士をスルーホールにより接続するので、大きな記憶容量を備えた記録媒体を容易に製造できる。
本発明によれば、高精度で信頼性が高く、かつローコストに生産が可能な回路部品モジュールおよびその製造方法を提供することができる。また、チップ型メモリおよびその周辺回路となる配線パターン等の集積度を更に向上させることにより小型で高い記憶容量を備えた記録媒体およびその製造方法を提供することができる。
[第1の実施形態]
以下、本発明の第1の実施形態である回路配線モジュール、その製造方法、記録媒体およびその製造方法について図面を参照して説明する。
本実施形態の回路配線モジュールの製造方法は、版基板工程と、絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、圧着工程と、除去工程とから概略構成されている。
各工程の概略について説明すると、まず版基板工程は、版基板上にシード層を積層するとともに該シード層上に配線パターンを形成し、更に該配線パターンに電子部品を取付ける工程である。また絶縁基板に版基板を積層する工程は、貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に前記版基板を配置し、前記電子部品を前記貫通孔に収納させながら前記絶縁基板に前記版基板を積層する工程である。更に、圧着工程は、前記絶縁基板と前記版基板を熱圧着させて前記絶縁基板に含まれる樹脂成分を前記貫通孔と前記電子部品との間に滲出させる工程である。そして除去工程は、前記絶縁基板から前記版基板および前記シード層を除去する工程である。
以下、本発明の第1の実施形態である回路配線モジュール、その製造方法、記録媒体およびその製造方法について図面を参照して説明する。
本実施形態の回路配線モジュールの製造方法は、版基板工程と、絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、圧着工程と、除去工程とから概略構成されている。
各工程の概略について説明すると、まず版基板工程は、版基板上にシード層を積層するとともに該シード層上に配線パターンを形成し、更に該配線パターンに電子部品を取付ける工程である。また絶縁基板に版基板を積層する工程は、貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に前記版基板を配置し、前記電子部品を前記貫通孔に収納させながら前記絶縁基板に前記版基板を積層する工程である。更に、圧着工程は、前記絶縁基板と前記版基板を熱圧着させて前記絶縁基板に含まれる樹脂成分を前記貫通孔と前記電子部品との間に滲出させる工程である。そして除去工程は、前記絶縁基板から前記版基板および前記シード層を除去する工程である。
以下、図面を参照して各工程の詳細について説明する。図1は版基板工程を示す工程図であり、図2は絶縁基板に前記版基板を積層する工程および圧着工程並びに除去工程を示す工程図である。尚、図1および図2は本実施形態の回路配線モジュールの製造方法を説明するためのものであり、図示される各部の大きさや厚さや寸法等は、実際の回路配線モジュールの寸法関係とは必ずしも一致するものではない。
「版基板工程」
まず版基板工程では、図1Aに示す版基板1を用意し、次に図1Aおよび図Bに示すように版基板1の一面上1aを含む全面にシード層2を形成する。シード層2は例えば、膜厚50nmないし500nmの酸化亜鉛層2aと、酸化亜鉛層2a上に積層した膜厚2μm程度の金属銅層2bとからなる積層膜を用いることができる。版基板1の表面全部にシード層2を形成することで、版基板1と後述する配線パターンとの剥離性を向上できる。酸化亜鉛層2aは例えば、版基板1を酸化亜鉛を含むメッキ浴に投入してから無電解メッキ法で形成できる。更に金属銅層2bについても無電解メッキ法で形成できる。なお、シード層2は版基板1の一面1aのみに形成してもよい。
まず版基板工程では、図1Aに示す版基板1を用意し、次に図1Aおよび図Bに示すように版基板1の一面上1aを含む全面にシード層2を形成する。シード層2は例えば、膜厚50nmないし500nmの酸化亜鉛層2aと、酸化亜鉛層2a上に積層した膜厚2μm程度の金属銅層2bとからなる積層膜を用いることができる。版基板1の表面全部にシード層2を形成することで、版基板1と後述する配線パターンとの剥離性を向上できる。酸化亜鉛層2aは例えば、版基板1を酸化亜鉛を含むメッキ浴に投入してから無電解メッキ法で形成できる。更に金属銅層2bについても無電解メッキ法で形成できる。なお、シード層2は版基板1の一面1aのみに形成してもよい。
また、版基板1は、全面が酸化シリコンで形成されているものが、シード層を構成する酸化亜鉛層2aとの密着性を向上でき、かつ版基板1を再利用できる点で好ましい。版基板1の具体例としては、例えば、酸化ケイ素を主成分として含むガラス板、全面を熱酸化法もしくは熱CVD法により酸化ケイ素層を形成させたシリコン基板、スパッタリング法等で酸化ケイ素層を全面に被覆させた樹脂基板または誘電体基板、などを用いることができる。また、前記のシリコン基板としてB,P,As等のドーパントを添加したものを用いることもできる。更に前記の樹脂基板として柔軟性を有するものでもよく、この場合は長尺の樹脂基板をロール状に巻き取ることができるので、連続的な製造に適しており、生産性を向上できる。版基板1の厚みは特に制限はないが、例えば30μmないし3mmのものを使用できる。
次に図1Cに示すように、シード層2上に、複数のレジスト除去部4aを有するパターン化レジスト層4(レジストパターン)を形成する。具体的には、シード層2に例えば10μm程度の感光性樹脂膜またはドライフィルム(以下レジスト層と表記)を積層してから、マスクを重ねて露光、現像を行うことにより、マスクのパターンに対応するレジスト除去部4aを形成する。このようにしてレジスト除去部4aを有するパターン化レジスト層4が形成される。
なお、パターン化レジスト層4を形成した後のレジスト除去部4aには、感光性樹脂膜またはドライフィルムの残渣が残存する場合がある。この残渣が残存すると、この後に形成する配線パターンが断線したり、配線パターンとシード層2との密着性が低下して後工程である圧着工程および剥離工程において不具合が生じる可能性ある。そこで残渣の完全除去を目的として、パターンレジスト層4を形成した後に、レジスト除去部4aにアルゴンプラズマを照射するか、あるいはレジスト除去部4aに露出するシード層2の表面を軽くエッチングすることにより、残渣を除去することが望ましい。アルゴンプラズマを照射する場合には、たとえば、プラズマパワー500W程度,雰囲気圧力10Pa以下、アルゴン流量50sccm、照射時間30秒とする条件で行うと良い。また、シード層の表面を軽くエッチングするには、10%酢酸水溶液からなるエッチャントで30秒間処理する条件で行うと良い。このような処理を行うことで、シード層2と配線パターンとの密着強度を3N/cm以上にすることができる。
次に図1Dに示すように、レジスト除去部4aにCuからなる配線パターン5をメッキ法で形成する。具体的には例えば、硫酸銅等を含むメッキ液をレジスト除去部4a内のシード層2に接触させてから、シード層2に直流電流を印加してCuメッキを成長させる。配線パターン5の厚みはパターン化レジスト層4の厚みよりも薄くすることが好ましく、例えば5μm程度がよい。
次に図1Eに示すように、ウエットエッチングによりパターン化レジスト層4を除去する。このようにして、版基板1に、シード層2と配線パターン5とが形成される。
次に図1Eに示すように、ウエットエッチングによりパターン化レジスト層4を除去する。このようにして、版基板1に、シード層2と配線パターン5とが形成される。
次に図1Fに示すように、配線パターン5上にチップ型メモリ31(電子部品)を実装する。チップ型メモリ31は、チップ本体32と、チップ本体32の下側に備えられた例えば金からなるボールバンプ33(端子)とから概略構成されている。チップ本体32には半導体メモリが内蔵されている。接合は、チップ型メモリ31のボールバンプ32を、配線パターン5に押し当てることにより行なう。チップ型メモリ31を装着したら、配線パターン5とチップ本体32の間に封止材34を充填する。封止材34の材質としては例えば、エポキシ樹脂等を例示できる。
「絶縁基板に版基板を積層する工程および圧着工程」
次に図2Aに示すように、まず貫通孔7を設けた絶縁基板6を2枚用意する。貫通孔7を平面視したときの形状は、円形、楕円形、三角形および矩形を含む多角形のいずれの形状でもよい。貫通孔7の大きさについては、チップ型メモリ31が収まる程度の大きさで良い。貫通孔7の形成には、例えば金型を用いたパンチングやレーザー加工法といった手段を用いることができる。なお、絶縁基板6の具体例としては、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂を材質とした厚さ50μm程度の板材を用いることができる。またガラスエポキシ樹脂板も絶縁基板6として使用できる。
そして、絶縁基板6、6同士の間にエポキシ樹脂等からなる誘電体層11を配置し、更に絶縁基板6、6、を挟むようにチップ型メモリ31を備えた版基板1、1を配置する。このとき、貫通孔7、7とチップ型メモリ31、31とが重なるように絶縁基板6、6と版基板1、1とを位置合わせする。
次に図2Aに示すように、まず貫通孔7を設けた絶縁基板6を2枚用意する。貫通孔7を平面視したときの形状は、円形、楕円形、三角形および矩形を含む多角形のいずれの形状でもよい。貫通孔7の大きさについては、チップ型メモリ31が収まる程度の大きさで良い。貫通孔7の形成には、例えば金型を用いたパンチングやレーザー加工法といった手段を用いることができる。なお、絶縁基板6の具体例としては、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂を材質とした厚さ50μm程度の板材を用いることができる。またガラスエポキシ樹脂板も絶縁基板6として使用できる。
そして、絶縁基板6、6同士の間にエポキシ樹脂等からなる誘電体層11を配置し、更に絶縁基板6、6、を挟むようにチップ型メモリ31を備えた版基板1、1を配置する。このとき、貫通孔7、7とチップ型メモリ31、31とが重なるように絶縁基板6、6と版基板1、1とを位置合わせする。
次に図2Bに示すように、版基板1、1と配線基板6、6と誘電体層11とを積層して熱プレスする。この熱プレスによって絶縁基板6、6と誘電体層11とが接合されるとともに、絶縁基板6、6が変形して各一面6a上に配線パターン5が埋込まれる。同時に、チップ型メモリ31、31が各貫通孔7、7の内部に挿入される。各絶縁基板6、6は、その厚み方向からプレスされることにより薄板状に変形する。この変形に伴って、図2Bに示すように、貫通孔7およびチップ型メモリ31の間に絶縁基板6の一部が押し出されて充填される。このようにして、チップ型メモリ31が絶縁基板6の内部に完全に埋め込まれる。熱プレス時の温度は、絶縁基板6の材質にもよるが、140〜180℃の範囲が好ましい。また熱プレスの圧力は15〜25Pa程度が好ましい。さらにプレス時間は30〜50分程度が好ましい。このようにして、配線パターン5およびチップ型メモリ31が絶縁基板6に転写される。
「除去工程」
次に図2Cに示すように、各版基板1、1と絶縁基板6、6との間に応力を与えて絶縁基板6、6から版基板1、1を剥離させる。このとき、版基板1とシード層2との間で剥離が起こり、シード層2が配線パターン5とともに絶縁基板6側に転写される。絶縁基板6に転写されたシード層2はウエットエッチングにより除去される。エッチング液には例えば過硫酸水溶液を用いることができる。なお、剥離後の版基板1については、転写されずに残存したシード層2を酸またはアルカリで除去することで、再利用することができる。
次に図2Cに示すように、各版基板1、1と絶縁基板6、6との間に応力を与えて絶縁基板6、6から版基板1、1を剥離させる。このとき、版基板1とシード層2との間で剥離が起こり、シード層2が配線パターン5とともに絶縁基板6側に転写される。絶縁基板6に転写されたシード層2はウエットエッチングにより除去される。エッチング液には例えば過硫酸水溶液を用いることができる。なお、剥離後の版基板1については、転写されずに残存したシード層2を酸またはアルカリで除去することで、再利用することができる。
版基板1とシード層2との間で剥離が起こるのは次のようなメカニズムによると考えられる。
すなわち、版基板1、1を絶縁基板6、6から剥離させると、シード層2にはその膜厚方向に引張応力が加えられる。このとき、シード層2を構成する金属銅層には配線パターン5が接合され、この配線パターン5は絶縁基板6に埋込まれてこの絶縁基板6と強固に接合されていることから、絶縁基板6側への引張応力が勝ることになり、これにより、シード層2が配線パターン5とともに絶縁基板6側に転写されるものと考えられる。また、シード層2を構成する金属銅層2bには、剥離の際に配線パターン5に引張られてせん断応力が加えられるが、金属銅層2bには酸化亜鉛層2aが下地層として裏打ちされているので、金属銅層2b自体が破れるおそれがなく、酸化亜鉛層2aとともに版基板1からきれいに剥離される。また、酸化亜鉛層2a自体も50nmないし500nmの膜厚で形成されているため、酸化亜鉛層2aの膜強度が高くなっており、酸化亜鉛層2a自体も破れる虞がなく、版基板1からきれいに剥離される。
すなわち、版基板1、1を絶縁基板6、6から剥離させると、シード層2にはその膜厚方向に引張応力が加えられる。このとき、シード層2を構成する金属銅層には配線パターン5が接合され、この配線パターン5は絶縁基板6に埋込まれてこの絶縁基板6と強固に接合されていることから、絶縁基板6側への引張応力が勝ることになり、これにより、シード層2が配線パターン5とともに絶縁基板6側に転写されるものと考えられる。また、シード層2を構成する金属銅層2bには、剥離の際に配線パターン5に引張られてせん断応力が加えられるが、金属銅層2bには酸化亜鉛層2aが下地層として裏打ちされているので、金属銅層2b自体が破れるおそれがなく、酸化亜鉛層2aとともに版基板1からきれいに剥離される。また、酸化亜鉛層2a自体も50nmないし500nmの膜厚で形成されているため、酸化亜鉛層2aの膜強度が高くなっており、酸化亜鉛層2a自体も破れる虞がなく、版基板1からきれいに剥離される。
なお、上記のシード層2のエッチングの際には配線パターン5も若干エッチングされるが、配線パターン5の線幅が減少するおそれはない。この理由は、配線パターン5の大部分が絶縁基板6に埋込まれているため、配線パターン5の露出部分が少なくなっており、絶縁基板6により配線パターン5が保護されているためである。配線パターン5が絶縁基板6で保護されているので、エッチング液による配線パターン5の腐食が防止されて、配線パターン5の線幅の減少を防止することができるためである。これにより、従来の転写法では不可能であった10μm/10μmのラインアンドスペース(L/S)を実現することができる。
このようにして、上記の製造方法によって回路部品モジュール100が製造される。同時に、上記の製造方法によって回路部品モジュール100、100が積層されてなる回路部品モジュールスタック150が製造される。
このようにして、上記の製造方法によって回路部品モジュール100が製造される。同時に、上記の製造方法によって回路部品モジュール100、100が積層されてなる回路部品モジュールスタック150が製造される。
また図3に示すように、製造された回路部品モジュールスタック150にスルーホールを設けても良い。具体的には、図3Aに示すように、回路部品モジュールスタック150にスルーホール用の貫通孔101、101を設ける。この貫通孔101は、配線パターン5を貫通するように設ける。そして図3Bに示すように、各貫通孔101、101に導電性ペースト102,102を充填する。このようにしてスルーホール103が形成される。このスルーホール103は、各絶縁基板6、6に埋め込まれた配線パターン5,5同士の導通を確保している。このようにして、スルーホール103が設けられてなる回路部品モジュールスタック160が製造される。
上記の製造方法によれば、貫通孔7内部にチップ型メモリ31を収納させることによって回路部品モジュール100自体を薄型にすることができる。また、貫通孔7とチップ型メモリ31との隙間に絶縁基板に含まれる樹脂成分を滲出させてこの隙間を埋めることで、チップ型メモリ31と絶縁基板6との一体化を図ることができ、耐衝撃性に優れた回路部品モジュール100を製造することができる。
また、配線パターン5が絶縁基板6内部に埋込まれて配線パターン5の露出面積が小さくなるので、絶縁基板6によって配線パターン5を保護することができる。特に、シード層2のエッチング工程において配線パターン5がエッチングされることがなく、配線パターン5の線幅の減少を防止することができる。
更に、絶縁基板6、6同士の間に誘電体層11を挟むことによって、誘電体層11が接着層の役目を果たし、絶縁基板6、6同士を容易に接合できる。
また、配線パターン5が絶縁基板6内部に埋込まれて配線パターン5の露出面積が小さくなるので、絶縁基板6によって配線パターン5を保護することができる。特に、シード層2のエッチング工程において配線パターン5がエッチングされることがなく、配線パターン5の線幅の減少を防止することができる。
更に、絶縁基板6、6同士の間に誘電体層11を挟むことによって、誘電体層11が接着層の役目を果たし、絶縁基板6、6同士を容易に接合できる。
「回路部品モジュールおよび回路部品モジュールスタック」
図2Cに示す回路部品モジュールスタック150は、一対の回路部品モジュール100,100が誘電体層11を介して積層されて構成されている。
回路部品モジュール100は、貫通孔7を有する樹脂製の絶縁基板6と、貫通孔7内に配置された1ないし2のチップ型メモリ31と、絶縁基板6の一面6aに配置されるとともにチップ型メモリ31に接続される配線パターン5とを具備して構成されている。絶縁基板6は誘電体樹脂基板から構成されており、この絶縁基板6上に配線パターン5が埋め込まれている。また、貫通孔7とチップ型メモリ31との間には、絶縁基板6の一部(充填材)が滲出されている。
そして、各回路部品モジュール100,100を構成する絶縁基板6、6が誘電体層11の両面に熱融着されることにより、回路部品モジュールスタック150が構成されている。
図2Cに示す回路部品モジュールスタック150は、一対の回路部品モジュール100,100が誘電体層11を介して積層されて構成されている。
回路部品モジュール100は、貫通孔7を有する樹脂製の絶縁基板6と、貫通孔7内に配置された1ないし2のチップ型メモリ31と、絶縁基板6の一面6aに配置されるとともにチップ型メモリ31に接続される配線パターン5とを具備して構成されている。絶縁基板6は誘電体樹脂基板から構成されており、この絶縁基板6上に配線パターン5が埋め込まれている。また、貫通孔7とチップ型メモリ31との間には、絶縁基板6の一部(充填材)が滲出されている。
そして、各回路部品モジュール100,100を構成する絶縁基板6、6が誘電体層11の両面に熱融着されることにより、回路部品モジュールスタック150が構成されている。
また、図3Bに示す他の例の回路部品モジュールスタック160は、図2Cの場合と同様に、一対の回路部品モジュール100,100が誘電体層11を介して積層されて構成されている。また、この回路部品モジュールスタック160には、導電性ペーストからなるスルーホール103,103が形成されている。このスルーホール103は、絶縁基板6、6と誘電体層11とを貫通して形成されており、各絶縁基板6、6、の一面6a,6a上にある配線パターン5、5に接続されている。このようにして、各回路部品モジュール100,100の配線パターン5、5が、スルーホール103を介して接続されている。
上記の回路部品モジュールスタック160によれば、相互に積層された回路部品モジュール100,100同士がスルーホール103を介して接続されているので、個々の回路部品モジュール100,100の機能を備えたスタックを構成できる。
また、上記の回路部品モジュール100によれば、絶縁基板6の貫通孔7内部にチップ型メモリ31を配置させることによって回路部品モジュール100自体を薄型にすることができる。また、同時に回路部品モジュールスタック150,160を薄型にできる。
また、上記の回路部品モジュール100によれば、配線パターン5が絶縁基板6に埋め込まれているので、配線パターン5を保護することができるとともに回路部品モジュール100自体の薄型化を達成でき、更には回路部品モジュールスタック150,160を薄型にできる。
また、貫通孔7とチップ型メモリ31との間に、絶縁基板の一部が充填されているので、チップ型メモリ31が絶縁基板6と一体となり、チップ型メモリ31の耐衝撃性を高めることができる。
また、上記の回路部品モジュール100によれば、配線パターン5が絶縁基板6に埋め込まれているので、配線パターン5を保護することができるとともに回路部品モジュール100自体の薄型化を達成でき、更には回路部品モジュールスタック150,160を薄型にできる。
また、貫通孔7とチップ型メモリ31との間に、絶縁基板の一部が充填されているので、チップ型メモリ31が絶縁基板6と一体となり、チップ型メモリ31の耐衝撃性を高めることができる。
更に、上記の回路部品モジュール100には電子部品としてチップ型メモリ31が用いられているので、回路部品モジュール100を記録媒体の構成部品として利用することができる。
更にまた、回路部品モジュールスタック150,160にチップ型メモリ31が備えられることで、この回路部品モジュールスタック150,160を記録媒体として利用することができる。また、回路部品モジュールスタック150,160においては、チッブ型メモリ31と配線パターン5との集積度が高いため、小型で大きな記憶容量を有する記録媒体を構成することができる。更に、チップ型メモリ31を備えた回路部品モジュール100、100同士がスルーホール103を介して接続されているので、大きな記憶容量を備えた記録媒体を構成できる。
更にまた、回路部品モジュールスタック150,160にチップ型メモリ31が備えられることで、この回路部品モジュールスタック150,160を記録媒体として利用することができる。また、回路部品モジュールスタック150,160においては、チッブ型メモリ31と配線パターン5との集積度が高いため、小型で大きな記憶容量を有する記録媒体を構成することができる。更に、チップ型メモリ31を備えた回路部品モジュール100、100同士がスルーホール103を介して接続されているので、大きな記憶容量を備えた記録媒体を構成できる。
また、上述したように、チップ型メモリ31を絶縁基板6内部に配置させることによって回路部品モジュール100の薄型化が可能になることから、この回路部品モジュール100を備えてなる記録媒体は、従来の記録媒体と比べて、厚みを40%程度削減することが可能となる。これにより、記録媒体の超薄型化を実現できる。
図4には、回路部品モジュールスタックからなる記録媒体の一例を示し、図5には記録媒体の他の例を示す。
図4に示す記録媒体170は、4つの回路部品モジュール100…が誘電体層11…を介して積層されて構成されている。また、図5に示す記録媒体180は、合計で6つの回路部品モジュール100…が誘電体層11…を介して積層されて構成されている。回路部品モジュール100には、チップ型メモリ31が内蔵されている。そして各回路部品モジュール100…の配線パターン5…同士がスルーホール103によって接続されている。
これらの記録媒体170,180によれば、絶縁基板6にチップ型メモリ31および配線パターン5がそれぞれ埋め込まれているので、従来の記録媒体と比べて、厚みを40%程度削減することが可能となる。これにより、記録媒体の超薄型化を実現できる。
また、チップ型メモリ31と絶縁基板6との隙間が絶縁基板の一部によって埋められてこれらが一体化されているので、薄型で耐衝撃性に優れた記録媒体170,180を構成することができる。
図4に示す記録媒体170は、4つの回路部品モジュール100…が誘電体層11…を介して積層されて構成されている。また、図5に示す記録媒体180は、合計で6つの回路部品モジュール100…が誘電体層11…を介して積層されて構成されている。回路部品モジュール100には、チップ型メモリ31が内蔵されている。そして各回路部品モジュール100…の配線パターン5…同士がスルーホール103によって接続されている。
これらの記録媒体170,180によれば、絶縁基板6にチップ型メモリ31および配線パターン5がそれぞれ埋め込まれているので、従来の記録媒体と比べて、厚みを40%程度削減することが可能となる。これにより、記録媒体の超薄型化を実現できる。
また、チップ型メモリ31と絶縁基板6との隙間が絶縁基板の一部によって埋められてこれらが一体化されているので、薄型で耐衝撃性に優れた記録媒体170,180を構成することができる。
「回路部品モジュールスタックの製造方法の他の例」
図6には、回路部品モジュールスタックの製造方法の他の例を示す。図6Aに示すように、この他の例では、チップ型メモリ31を備えた版基板1を2つ用意するとともに、両面に配線パターン5とチップ型メモリ31とを実装させた版基板21を用意する。そして、チップ型メモリ31を2つ備えた版基板21を挟むように一対の絶縁基板6、6を配置し、各絶縁基板6、6の外側には誘電体層11、11および絶縁基板6、6を順次配置し、更にその外側にチップ型メモリ31を1つ備えた版基板1、1を配置する。
図6には、回路部品モジュールスタックの製造方法の他の例を示す。図6Aに示すように、この他の例では、チップ型メモリ31を備えた版基板1を2つ用意するとともに、両面に配線パターン5とチップ型メモリ31とを実装させた版基板21を用意する。そして、チップ型メモリ31を2つ備えた版基板21を挟むように一対の絶縁基板6、6を配置し、各絶縁基板6、6の外側には誘電体層11、11および絶縁基板6、6を順次配置し、更にその外側にチップ型メモリ31を1つ備えた版基板1、1を配置する。
次に、図6Bに示すように、各版基板1、1、21と誘電体層11、11と絶縁板6…とを積層して熱プレスする。これにより、各絶縁基板6…に配線パターン5…が埋め込まれるとともに、絶縁基板6…の貫通孔7…にチップ型メモリ31…が収納される。また、絶縁基板6と誘電体層11とが相互に接合される。また、熱プレスによって絶縁基板6が薄く変形し、これにより絶縁基板6の一部が貫通孔7とチップ型メモリ31との隙間に押出されて絶縁基板6とチップ型メモリ31とが一体化される。
そして、図7に示すように、版基板1、1、21を絶縁基板6…からをそれぞれ剥離し、絶縁基板6側に転写されたシード層をエッチングにより除去する。このようにして、回路部品モジュール100を備えてなる回路部品モジュールスタック150が一度に2つ製造される。
以上説明したように、この他の例の製造方法によれば、一度の工程で2つの回路部品モジュールスタック150,150を製造することができ、生産性を向上することができる。
以上説明したように、この他の例の製造方法によれば、一度の工程で2つの回路部品モジュールスタック150,150を製造することができ、生産性を向上することができる。
[第2の実施形態]
次に、本発明の第2の実施形態である記録媒体およびその製造方法について図面を参照して説明する。
本実施形態の記録媒体の製造方法は、第1の実施形態と同様に、版基板工程と、絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、圧着工程と、除去工程とから概略構成されている。以下、各工程について順次説明する。
次に、本発明の第2の実施形態である記録媒体およびその製造方法について図面を参照して説明する。
本実施形態の記録媒体の製造方法は、第1の実施形態と同様に、版基板工程と、絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、圧着工程と、除去工程とから概略構成されている。以下、各工程について順次説明する。
「版基板形成工程」
本実施形態における版基板形成工程は、配線パターンとして、複数の金属膜が積層されてなる積層体からなる配線パターンを形成すること以外は、第1の実施形態における版基板形成工程と同じである。従って本工程の図示による説明は省略する。配線基板を形成する積層体としては例えば、シード層上に成膜された厚みが7μmのCu膜と、Cu膜上に形成された厚みが2μmのNi膜と、Ni膜上に形成された厚みが0.2μmのAu膜とからなる積層体を例示できる。この配線パターン上に実装される電子部品の端子は、配線パターンのAu膜に接合される。これにより、配線パターンと電子部品との間の導通の信頼性が高まる。また配線パターンに比較的高強度のNi膜が成膜されているので、配線パターンの強度を向上できる。なお、本実施形態において用いられる版基板の具体的な構成については後述する。
本実施形態における版基板形成工程は、配線パターンとして、複数の金属膜が積層されてなる積層体からなる配線パターンを形成すること以外は、第1の実施形態における版基板形成工程と同じである。従って本工程の図示による説明は省略する。配線基板を形成する積層体としては例えば、シード層上に成膜された厚みが7μmのCu膜と、Cu膜上に形成された厚みが2μmのNi膜と、Ni膜上に形成された厚みが0.2μmのAu膜とからなる積層体を例示できる。この配線パターン上に実装される電子部品の端子は、配線パターンのAu膜に接合される。これにより、配線パターンと電子部品との間の導通の信頼性が高まる。また配線パターンに比較的高強度のNi膜が成膜されているので、配線パターンの強度を向上できる。なお、本実施形態において用いられる版基板の具体的な構成については後述する。
「絶縁基板の形成」
絶縁基板に版基板を積層する工程を説明する前に、絶縁基板の形成方法について図8を参照して説明する。
まず図8Aに示すように、例えば板厚が250μm程度のガラスエポキシ樹脂板206を用意し、このガラスエポキシ樹脂板206の両面に厚み18μm程度のCu膜201、201をメッキ法により形成する。
次に図8Bに示すように、Cu膜201を所定のパターンにパターニングしてから、直径250μm程度のスルーホール用の貫通孔202を形成する。この貫通孔202は、パターニングされたCu膜201を貫通するように設ける。
次に図8Cに示すように、貫通孔202に導電性ペースト203を充填してから、導電性ペースト203およびCu膜201を覆うように銅メッキを施して貫通孔を銅メッキ層204で蓋をする。
絶縁基板に版基板を積層する工程を説明する前に、絶縁基板の形成方法について図8を参照して説明する。
まず図8Aに示すように、例えば板厚が250μm程度のガラスエポキシ樹脂板206を用意し、このガラスエポキシ樹脂板206の両面に厚み18μm程度のCu膜201、201をメッキ法により形成する。
次に図8Bに示すように、Cu膜201を所定のパターンにパターニングしてから、直径250μm程度のスルーホール用の貫通孔202を形成する。この貫通孔202は、パターニングされたCu膜201を貫通するように設ける。
次に図8Cに示すように、貫通孔202に導電性ペースト203を充填してから、導電性ペースト203およびCu膜201を覆うように銅メッキを施して貫通孔を銅メッキ層204で蓋をする。
次に図8Dに示すように、貫通孔202の上に、厚み2μm程度のNi膜205aと厚み50μm程度のCu膜205bからなるCuポスト205をメッキ法で形成する。これにより、ガラスエポキシ樹脂基板206に導電性ペースト203とCuポスト205から概略構成されてなるスルーホール207が形成される。
次に図8Eに示すように、ガラスエポキシ樹脂板206の両面に、厚み80μm程度の誘電体層208,208を積層する。このとき、誘電体層208の表面にCuポスト205の最頂部が露出されるように誘電体層208を研摩してその厚みを調整する。
次に図8Eに示すように、ガラスエポキシ樹脂板206の両面に、厚み80μm程度の誘電体層208,208を積層する。このとき、誘電体層208の表面にCuポスト205の最頂部が露出されるように誘電体層208を研摩してその厚みを調整する。
次に図8Fに示すように、ガラスエポキシ基板206に貫通孔209および凹部210を設ける。貫通孔209は、図8Bに示した工程においてCu膜が予め除去された領域に設ける。本実施形態の例では、スルーホール207,207同士の間に設ける。
一方、凹部210は、図8Bに示した工程においてCu膜が残された領域に設ける。本実施形態の例では、スルーホール207の外側に設ける。また、凹部210の深さは、ガラスエポキシ樹脂板206の厚みおよび下側の誘電体層208の厚みの合計寸法と同等にする。この構成により、凹部210の底面にCu膜201が露出する形態となる。なお、貫通孔209および凹部210の形成位置は相互に入れ替えても良い。
一方、凹部210は、図8Bに示した工程においてCu膜が残された領域に設ける。本実施形態の例では、スルーホール207の外側に設ける。また、凹部210の深さは、ガラスエポキシ樹脂板206の厚みおよび下側の誘電体層208の厚みの合計寸法と同等にする。この構成により、凹部210の底面にCu膜201が露出する形態となる。なお、貫通孔209および凹部210の形成位置は相互に入れ替えても良い。
そして図8Gに示すように、誘電体層の表面から露出しているCuポストの最頂部上に厚み10μm程度の導電性ペースト211を塗布する。このようにして絶縁基板220を製造する。
「絶縁基板に前記版基板を積層する工程、圧着工程および除去工程」
次に図9Aに示すように、先に形成した絶縁基板220の両側に、電子部品および配線パターンが形成されてなる版基板を配置する。
ここで版基板の構成について説明すると、絶縁基板220の上側に配置される版基板231にはシード層2がその全面に形成されている。また、シード層2には、先に説明したようにCu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜からなる配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)が実装されている。
一方、絶縁基板220の下側に配置される版基板241にはシード層2がその全面に形成され、上記と同一構成の配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)とコンデンサ、ダイオード等の受動素子251、251(電子部品)とが実装されている。そして、チップ型メモリ31および各受動素子251上には、液状若しくはペースト状の封止材261が塗布されている。
次に図9Aに示すように、先に形成した絶縁基板220の両側に、電子部品および配線パターンが形成されてなる版基板を配置する。
ここで版基板の構成について説明すると、絶縁基板220の上側に配置される版基板231にはシード層2がその全面に形成されている。また、シード層2には、先に説明したようにCu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜からなる配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)が実装されている。
一方、絶縁基板220の下側に配置される版基板241にはシード層2がその全面に形成され、上記と同一構成の配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)とコンデンサ、ダイオード等の受動素子251、251(電子部品)とが実装されている。そして、チップ型メモリ31および各受動素子251上には、液状若しくはペースト状の封止材261が塗布されている。
そして、各版基板231、241のチップ型メモリ31、31が絶縁基板220の貫通孔209と重なるように、かつ下側の版基板241の受動素子251、251が絶縁基板220の凹部210、210と重なるように、絶縁基板220および版基板231,241の位置合わせをする。
次に、図9Bに示すように、版基板231,241と絶縁基板220を相互に積層して熱プレスし、続いて版基板231,241を剥離し、更に絶縁基板側に転写されたシード層2、2をエッチングにより除去する。
熱プレスによって、各版基板231,241上の配線パターン15、15が絶縁基板220の誘電体層208,208に埋め込まれる。またスルーホール207を構成するCuポスト205の最頂部には導電性ペースト211を介して配線パターン15、15が接合される。更にチップ型メモリ31、31が絶縁基板220の貫通孔209に収納される。更にまた、受動素子251が凹部210に収納される。チップ型メモリ31が貫通孔209内部に収納されると、チップ型メモリ31と貫通孔209との間に隙間が生じるが、この隙間は、先にチップ型メモリ31上に塗布されていた封止材261で満たされる。すなわち、封止材261が熱プレス時の応力を受けてチップ型メモリ31と貫通孔209の隙間にくまなく流れ込んで当該隙間が封止材261で満たされる。受動素子251と凹部210との間の隙間も同様にして封止材261で満たされる。更にこのとき、絶縁基板220が熱プレスにより圧縮されることによって、ガラスエポキシ樹脂板206に含まれるエポキシ樹脂が当該隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によっても当該隙間が埋められる。
このようにして、図9Bに示す回路部品モジュール260が製造される。
熱プレスによって、各版基板231,241上の配線パターン15、15が絶縁基板220の誘電体層208,208に埋め込まれる。またスルーホール207を構成するCuポスト205の最頂部には導電性ペースト211を介して配線パターン15、15が接合される。更にチップ型メモリ31、31が絶縁基板220の貫通孔209に収納される。更にまた、受動素子251が凹部210に収納される。チップ型メモリ31が貫通孔209内部に収納されると、チップ型メモリ31と貫通孔209との間に隙間が生じるが、この隙間は、先にチップ型メモリ31上に塗布されていた封止材261で満たされる。すなわち、封止材261が熱プレス時の応力を受けてチップ型メモリ31と貫通孔209の隙間にくまなく流れ込んで当該隙間が封止材261で満たされる。受動素子251と凹部210との間の隙間も同様にして封止材261で満たされる。更にこのとき、絶縁基板220が熱プレスにより圧縮されることによって、ガラスエポキシ樹脂板206に含まれるエポキシ樹脂が当該隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によっても当該隙間が埋められる。
このようにして、図9Bに示す回路部品モジュール260が製造される。
上記の製造方法によれば、第1の実施形態において説明した回路部品モジュールの製造方法とほぼ同様の効果が得られる。
図9Bに示す回路部品モジュール260は、貫通孔209を有する樹脂製の絶縁基板220と、貫通孔209内に配置された2つのチップ型メモリ31、31と、絶縁基板220の両面に配置されるとともにチップ型メモリ31に接続される配線パターン15とを具備して概略構成されている。また絶縁基板220には複数の凹部210が設けられ、この凹部210にはコンデンサ、ダイオード等の受動素子251が収納されている。この受動素子251と配線パターン15によってチップ型メモリ31の周辺回路が構成されている。そして、絶縁基板220とチップ型メモリ21および受動素子251の間には封止材261(充填材)が充填されている。また、絶縁基板220にはスルーホール207が設けられており、絶縁基板220の両面に埋め込まれた配線パターン15、15がこのスルーホール207によって相互に接続されている。スルーホール207は貫通孔202に充填された導電性ペースト203と、貫通孔202を封止するためのCuポスト205とから構成されている。
更に絶縁基板220は、ガラスエポキシ樹脂板206(無機繊維含有樹脂層)とガラスエポキシ樹脂基板206の両面に積層された誘電体層208,208から構成されている。配線パターン15はこの誘電体層208に埋め込まれている。
また、配線パターン15は、Cu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜とが積層されてなる積層膜から構成されている。そして、配線パターン15を構成するAu膜にチップ型メモリ31および受動素子251の端子が接合されている。
更に絶縁基板220は、ガラスエポキシ樹脂板206(無機繊維含有樹脂層)とガラスエポキシ樹脂基板206の両面に積層された誘電体層208,208から構成されている。配線パターン15はこの誘電体層208に埋め込まれている。
また、配線パターン15は、Cu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜とが積層されてなる積層膜から構成されている。そして、配線パターン15を構成するAu膜にチップ型メモリ31および受動素子251の端子が接合されている。
上記の構成によれば、第1の実施形態において説明した回路部品モジュールとほぼ同様の効果が得られる。
また上記の構成によれば、受動素子251および配線パターン15によってチップ型メモリ31の周辺回路が構成され、この周辺回路が絶縁基板220に埋め込まれているので、チップ型メモリ31およびその周辺回路の高集積化を達成することができる。従ってこの回路部品モジュール260を記録媒体として使用した場合は、小型で記録容量が高い記録媒体を構成することができる。
更に、絶縁基板220にガラスエポキシ樹脂板206が含まれているので、回路部品モジュール260自体の強度を高めることができる。また、封止材261若しくは滲出したエポキシ樹脂によってチップ型メモリ31等と絶縁基板220との一体性が高められ、これによりチップ型メモリ31および受動素子251の耐衝撃性を向上できる。
また上記の構成によれば、受動素子251および配線パターン15によってチップ型メモリ31の周辺回路が構成され、この周辺回路が絶縁基板220に埋め込まれているので、チップ型メモリ31およびその周辺回路の高集積化を達成することができる。従ってこの回路部品モジュール260を記録媒体として使用した場合は、小型で記録容量が高い記録媒体を構成することができる。
更に、絶縁基板220にガラスエポキシ樹脂板206が含まれているので、回路部品モジュール260自体の強度を高めることができる。また、封止材261若しくは滲出したエポキシ樹脂によってチップ型メモリ31等と絶縁基板220との一体性が高められ、これによりチップ型メモリ31および受動素子251の耐衝撃性を向上できる。
[第3の実施形態]
次に、本発明の第3の実施形態である回路部品モジュールおよびその製造方法について図面を参照して説明する。
本実施形態の回路部品モジュールの製造方法は、第1若しくは第2の実施形態と同様に、版基板工程と、絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、圧着工程と、除去工程とから概略構成されている。以下、各工程について順次説明する。
次に、本発明の第3の実施形態である回路部品モジュールおよびその製造方法について図面を参照して説明する。
本実施形態の回路部品モジュールの製造方法は、第1若しくは第2の実施形態と同様に、版基板工程と、絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、圧着工程と、除去工程とから概略構成されている。以下、各工程について順次説明する。
「版基板形成工程」
本実施形態における版基板形成工程は、第2の実施形態の場合と同様に、配線パターンとして、複数の金属膜が積層されてなる積層体からなる配線パターンを形成すること以外は、第1の実施形態における版基板形成工程と同じである。本実施形態において用いられる版基板の具体的な構成については後述する。
本実施形態における版基板形成工程は、第2の実施形態の場合と同様に、配線パターンとして、複数の金属膜が積層されてなる積層体からなる配線パターンを形成すること以外は、第1の実施形態における版基板形成工程と同じである。本実施形態において用いられる版基板の具体的な構成については後述する。
「絶縁基板の形成」
絶縁基板に版基板を積層する工程を説明する前に、絶縁基板の形成方法について図10および図11を参照して説明する。
まず、図8Aないし図8Dと同様にして、ガラスエポキシ樹脂板306の両面に厚み18μm程度のCu膜301をメッキ法により形成し、このCu膜301を所定のパターンにパターニングしてから、直径250μm程度のスルーホール用の貫通孔302を形成する。そして、貫通孔302に導電性ペースト303を充填してから、導電性ペースト303およびCu膜301を覆うように銅メッキを施して貫通孔を銅メッキ層304で蓋をする。更に、貫通孔302の上に、Ni膜302aとCu膜305bからなるCuポスト305をメッキ法で形成する。Cuポスト305および導電性ペースト303によりスルーホール307が構成される。でこのようにして、図10Aに示す構成の部材が得られる。
絶縁基板に版基板を積層する工程を説明する前に、絶縁基板の形成方法について図10および図11を参照して説明する。
まず、図8Aないし図8Dと同様にして、ガラスエポキシ樹脂板306の両面に厚み18μm程度のCu膜301をメッキ法により形成し、このCu膜301を所定のパターンにパターニングしてから、直径250μm程度のスルーホール用の貫通孔302を形成する。そして、貫通孔302に導電性ペースト303を充填してから、導電性ペースト303およびCu膜301を覆うように銅メッキを施して貫通孔を銅メッキ層304で蓋をする。更に、貫通孔302の上に、Ni膜302aとCu膜305bからなるCuポスト305をメッキ法で形成する。Cuポスト305および導電性ペースト303によりスルーホール307が構成される。でこのようにして、図10Aに示す構成の部材が得られる。
次に図10Bに示すように、ガラスエポキシ基板306に貫通孔309および凹部310を設ける。貫通孔309は、Cu膜が予め除去された領域に設ける。本実施形態の例では、スルーホール307同士の間に設ける。
また、凹部310は、Cu膜が残された領域に設ける。本実施形態の例では、貫通孔309の両側に設ける。また、凹部310の深さは、ガラスエポキシ樹脂板306の厚みの寸法と同等にする。この構成により、凹部310の底面にCu膜301が露出する形態となる。
また、凹部310は、Cu膜が残された領域に設ける。本実施形態の例では、貫通孔309の両側に設ける。また、凹部310の深さは、ガラスエポキシ樹脂板306の厚みの寸法と同等にする。この構成により、凹部310の底面にCu膜301が露出する形態となる。
次に、図10Cに示すように、ガラスエポキシ樹脂板306の両面に、厚み80μm程度の誘電体層308、308を積層する。このとき、誘電体層308の表面にCuポスト305の最頂部が露出されるように誘電体層308を研摩してその厚みを調整する。また、誘電体層308が凹部310および貫通孔309の内部に侵入しないようにする。これにより、凹部310および貫通孔309の内部空間がガラスエポキシ基板306および誘電体層308によって閉塞された状態になる。
次に図10Dに示すように、誘電体層308の表面から露出しているCuポスト305の最頂部上に厚み10μm程度の導電性ペースト311を塗布する。このようにして絶縁基板320を製造する。
次に図10Dに示すように、誘電体層308の表面から露出しているCuポスト305の最頂部上に厚み10μm程度の導電性ペースト311を塗布する。このようにして絶縁基板320を製造する。
「絶縁基板に前記版基板を積層する工程、圧着工程および除去工程」
次に図11Aに示すように、先に形成した絶縁基板320の両側に、電子部品および配線パターンが形成されてなる版基板を配置する。
ここで版基板の構成について説明すると、絶縁基板320の上側に配置される版基板331にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には先に説明したようにCu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜からなる配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)が実装されている。
一方、絶縁基板320の下側に配置される版基板341にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)とコンデンサ、ダイオード等の受動素子351(電子部品)が実装されている。
次に図11Aに示すように、先に形成した絶縁基板320の両側に、電子部品および配線パターンが形成されてなる版基板を配置する。
ここで版基板の構成について説明すると、絶縁基板320の上側に配置される版基板331にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には先に説明したようにCu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜からなる配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)が実装されている。
一方、絶縁基板320の下側に配置される版基板341にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)とコンデンサ、ダイオード等の受動素子351(電子部品)が実装されている。
そして、各版基板331,341のチップ型メモリ31、31が絶縁基板320の貫通孔309と重なるように、かつ下側の版基板341の受動素子351が凹部310と重なるように、絶縁基板320および版基板331,341の位置合わせをする。
次に、図11Bに示すように、版基板331,341と絶縁基板320を相互に積層して熱プレスし、続いて版基板331,341を剥離し、更に絶縁基板320側に転写されたシード層2をエッチングにより除去する。
熱プレスによって、各版基板331,341上の配線パターン15、15が絶縁基板320の誘電体層308,308に埋め込まれる。またスルーホール307のCuポスト305の最頂部に配線パターン15が接合される。更にチップ型メモリ31が貫通孔309に収納される。更にまた、受動素子351が凹部310内部に収納される。チップ型メモリ31が貫通孔309に収納される際に、貫通孔309を閉塞していた誘電体層308,308がチップ型メモリ31、31に押される形で貫通孔309の内部に押し込まれる。押し込まれた誘電体層308は主に、2つのチップ型メモリ31、31の間に挟まれた状態となる。また誘電体層308の一部は、貫通孔309の壁面とチップ型メモリ31との隙間にも充填される。受動素子351が凹部310に収納される場合も同様に、凹部310を閉塞していた誘電体層308が受動素子351によって凹部310の内部に押し込まれ、受動素子351と凹部310との隙間が誘電体層308により満たされる。更にこのとき、絶縁基板320が熱プレスにより圧縮されることによって、ガラスエポキシ樹脂板306に含まれるエポキシ樹脂が当該隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によっても当該隙間が埋められる。
このようにして、図11Bに示す回路部品モジュール360が製造される。
熱プレスによって、各版基板331,341上の配線パターン15、15が絶縁基板320の誘電体層308,308に埋め込まれる。またスルーホール307のCuポスト305の最頂部に配線パターン15が接合される。更にチップ型メモリ31が貫通孔309に収納される。更にまた、受動素子351が凹部310内部に収納される。チップ型メモリ31が貫通孔309に収納される際に、貫通孔309を閉塞していた誘電体層308,308がチップ型メモリ31、31に押される形で貫通孔309の内部に押し込まれる。押し込まれた誘電体層308は主に、2つのチップ型メモリ31、31の間に挟まれた状態となる。また誘電体層308の一部は、貫通孔309の壁面とチップ型メモリ31との隙間にも充填される。受動素子351が凹部310に収納される場合も同様に、凹部310を閉塞していた誘電体層308が受動素子351によって凹部310の内部に押し込まれ、受動素子351と凹部310との隙間が誘電体層308により満たされる。更にこのとき、絶縁基板320が熱プレスにより圧縮されることによって、ガラスエポキシ樹脂板306に含まれるエポキシ樹脂が当該隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によっても当該隙間が埋められる。
このようにして、図11Bに示す回路部品モジュール360が製造される。
本実施形態の回路部品モジュールの製造方法によれば、チップ型メモリ等の電子部品を絶縁基板320に一体化させるための充填材として、ガラスエポキシ基板306に積層した誘電体層308を利用することができ、工程を簡素化することができる。
また本実施形態の回路部品モジュール360は、第1、第2の実施形態と同様に記録媒体として使用することができ、薄型の記録媒体を実現することができる。
また本実施形態の回路部品モジュール360は、第1、第2の実施形態と同様に記録媒体として使用することができ、薄型の記録媒体を実現することができる。
[第4の実施形態]
次に、本発明の第4の実施形態である回路部品モジュールおよびその製造方法について図面を参照して説明する。
まず図12Aに示すように、例えば板厚が300μm程度のガラスエポキシ樹脂板401を用意し、このガラスエポキシ樹脂板401の一面401aに厚み5μm程度のCu膜402をメッキ法により形成する。またガラスエポキシ基板401の他面401bには厚み50μm程度の誘電体層403と厚み5μm程度のマスク層404を順次積層する。
次に、本発明の第4の実施形態である回路部品モジュールおよびその製造方法について図面を参照して説明する。
まず図12Aに示すように、例えば板厚が300μm程度のガラスエポキシ樹脂板401を用意し、このガラスエポキシ樹脂板401の一面401aに厚み5μm程度のCu膜402をメッキ法により形成する。またガラスエポキシ基板401の他面401bには厚み50μm程度の誘電体層403と厚み5μm程度のマスク層404を順次積層する。
次に図12Bに示すように、Cu膜402を所定のパターンにパターニングするとともに、直径100μm程度のスルーホール用の貫通孔405を形成する。この貫通孔405は、パターニングされたCu膜402の形成領域に設ける。これにより貫通孔405の片側がCu膜401で塞がれた状態になる。形成した貫通孔405には導電性ペースト406を充填する。
次に図12Cに示すように、ガラスエポキシ基板401の一面401a上に厚み100μm程度の誘電体層407と厚み5μm程度のマスク層408とを順次積層する。
次に図12Dに示すように、マスク層408および誘電体層409に凹部410を設け、この凹部410内に導電性ペースト411を充填する。凹部410の形成位置は、先にパターニングしたCu膜402上とする。これによりCu膜402上に導電性ペーストが充填されることになる。
次に図12Eに示すように、マスク層404、408を除去する。このようにして、ガラスエポキシ基板401の両面に誘電体層403,407が積層されるとともに、導電性ペースト406、411およびCu膜402からなるスルーホール411が形成されてなる絶縁基板420が製造される。
次に図12Dに示すように、マスク層408および誘電体層409に凹部410を設け、この凹部410内に導電性ペースト411を充填する。凹部410の形成位置は、先にパターニングしたCu膜402上とする。これによりCu膜402上に導電性ペーストが充填されることになる。
次に図12Eに示すように、マスク層404、408を除去する。このようにして、ガラスエポキシ基板401の両面に誘電体層403,407が積層されるとともに、導電性ペースト406、411およびCu膜402からなるスルーホール411が形成されてなる絶縁基板420が製造される。
次に図13に示すように、絶縁基板420に複数の凹部413,414を設ける。各凹部413,414は、図12Bに示した工程においてCu膜402が予め除去されてた領域に設ける。本実施形態の例では、スルーホール412,412の両側に設ける。また、凹部413,414の深さは、ガラスエポキシ樹脂板401の厚みおよび下側の誘電体層403の厚みの合計寸法と同等にする。
更に、絶縁基板420の両側に、電子部品および配線パターンが形成されてなる版基板を配置する。絶縁基板420の上側に配置される版基板431にはシード層2がその全面に形成され、シード層2にはCu膜15aとNi膜15bと図示略のAu膜からなる配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)が実装されている。また、絶縁基板420の下側に配置される版基板441にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)とコンデンサ、ダイオード等の受動素子451(電子部品)が実装されている。
そして、各版基板431,441のチップ型メモリ31、31が絶縁基板の中央の凹部413と重なるように、かつ受動素子451が絶縁基板の両側の凹部414、44と重なるように、絶縁基板420および版基板431,441の位置合わせをする。
そして、各版基板431,441のチップ型メモリ31、31が絶縁基板の中央の凹部413と重なるように、かつ受動素子451が絶縁基板の両側の凹部414、44と重なるように、絶縁基板420および版基板431,441の位置合わせをする。
次に、図14に示すように、版基板431,441と絶縁基板420を相互に積層して熱プレスし、続いて版基板431,441を剥離し、更に絶縁基板420側に転写されたシード層をエッチングにより除去する。
熱プレスによって、各版基板431,441上の配線パターン15、15が絶縁基板の誘電体層407、403に各々埋め込まれる。またスルーホール412を構成する導電性ペースト411が配線パターン15に接合される。更に各版基板上のチップ型メモリ31が絶縁基板の中央の凹部413に収納される。更にまた、受動素子451が絶縁基板の両側の凹部414に収納される。チップ型メモリ31が凹部413に収納される際に、凹部413を閉塞していた上側の誘電体層407がチップ型メモリ31に押される形で貫通孔413の内部に押し込まれる。押し込まれた誘電体層407は主に、2つのチップ型メモリ31、31の間に挟まれた状態となる。また誘電体層407の一部は、凹部413の壁面とチップ型メモリ31との隙間にも充填される。受動素子451が凹部414に収納される際には、絶縁基板420が熱プレスにより圧縮されることに伴い、ガラスエポキシ樹脂板401に含まれるエポキシ樹脂が受動素子451と凹部414との隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によって当該隙間が埋められる。
更に、絶縁基板の下側の配線パターン15には半田または金からなる金属ボール449が取付けられる。
このようにして、図14に示す回路部品モジュール450が製造される。
熱プレスによって、各版基板431,441上の配線パターン15、15が絶縁基板の誘電体層407、403に各々埋め込まれる。またスルーホール412を構成する導電性ペースト411が配線パターン15に接合される。更に各版基板上のチップ型メモリ31が絶縁基板の中央の凹部413に収納される。更にまた、受動素子451が絶縁基板の両側の凹部414に収納される。チップ型メモリ31が凹部413に収納される際に、凹部413を閉塞していた上側の誘電体層407がチップ型メモリ31に押される形で貫通孔413の内部に押し込まれる。押し込まれた誘電体層407は主に、2つのチップ型メモリ31、31の間に挟まれた状態となる。また誘電体層407の一部は、凹部413の壁面とチップ型メモリ31との隙間にも充填される。受動素子451が凹部414に収納される際には、絶縁基板420が熱プレスにより圧縮されることに伴い、ガラスエポキシ樹脂板401に含まれるエポキシ樹脂が受動素子451と凹部414との隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によって当該隙間が埋められる。
更に、絶縁基板の下側の配線パターン15には半田または金からなる金属ボール449が取付けられる。
このようにして、図14に示す回路部品モジュール450が製造される。
本実施形態の回路部品モジュールの製造方法によれば、チップ型メモリ31を絶縁基板420に一体化させるための充填材として、ガラスエポキシ基板401に積層した誘電体層407を利用することができ、工程を簡素化することができる。
また本実施形態の回路部品モジュール460は、第1、第2の実施形態と同様に記録媒体として使用することができ、薄型の記録媒体を実現することができる。
また本実施形態の回路部品モジュール460は、第1、第2の実施形態と同様に記録媒体として使用することができ、薄型の記録媒体を実現することができる。
[第5の実施形態]
次に、本発明の第5の実施形態である記録媒体およびその製造方法について図面を参照して説明する。
まず、図15に示すように、誘電体層501と、この誘電体層501の両側に配置する絶縁基板502,503と、更にその両側に配置する版基板531,541を用意する。
各部材の構成について説明すると、まず誘電体層501は、厚み50μm程度のエポキシ樹脂等からなる板状の部材であり、複数の貫通孔501aが設けられるともにこの貫通孔501aに導電性ペースト501bが充填されている。導電性ペースト501bは誘電体層501の両面から数μmから十数μm程度突出されるように充填されている。
次に、本発明の第5の実施形態である記録媒体およびその製造方法について図面を参照して説明する。
まず、図15に示すように、誘電体層501と、この誘電体層501の両側に配置する絶縁基板502,503と、更にその両側に配置する版基板531,541を用意する。
各部材の構成について説明すると、まず誘電体層501は、厚み50μm程度のエポキシ樹脂等からなる板状の部材であり、複数の貫通孔501aが設けられるともにこの貫通孔501aに導電性ペースト501bが充填されている。導電性ペースト501bは誘電体層501の両面から数μmから十数μm程度突出されるように充填されている。
次に誘電体層501の図中上側に配置される絶縁基板502は、厚み100μm程度のガラスエポキシ樹脂基板551と厚み100μm程度の誘電体層552とが積層されて構成されている。誘電体層552は、先の誘電体層501に対して反対側に積層されている。また、絶縁基板502の誘電体層501側の面にはCu膜553がパターニングされ、更にこのCu膜553の形成位置に貫通孔554が設けられ、この貫通孔554には導電性ペースト555が充填されている。このようにして、導電性ペースト555およびCu膜553からなるスルーホール556が2つ形成されている。また、スルーホール556の間には、別の貫通孔557が設けられている。
次に誘電体層501の図中下側に配置される絶縁基板503は、厚み200μm程度のガラスエポキシ樹脂基板561と厚み100μm程度の誘電体層562とが積層されて構成されている。誘電体層562は、先の誘電体層501に対して反対側に積層されている。また、絶縁基板503の誘電体層501側の面にはCu膜563がパターニングされ、更にこのCu膜563の形成位置に貫通孔564が設けられ、この貫通孔564には導電性ペースト565が充填されている。このようにして、導電性ペースト565およびCu膜563からなるスルーホール566が2つ形成されている。また、各スルーホール566の両側には、複数の別の貫通孔567,568が設けられている。
更に、絶縁基板502の上側に配置される版基板531にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)が実装されている。また、絶縁基板503の下側に配置される版基板541にはシード層2がその全面に形成され、シード層2には配線パターン15が形成され、配線パターン15上にはチップ型メモリ31(電子部品)とコンデンサ、ダイオード等の受動素子571(電子部品)が実装されている。
そして、各版基板531,541のチップ型メモリ31、31が各絶縁基板502,503の中央の貫通孔557,567と重なるように、かつ受動素子571が絶縁基板503の貫通孔568と重なるように、絶縁基板502,503および版基板531,541の位置合わせをする。また、各絶縁基板502,503のスルーホール556,566および誘電体層501の導電性ペースト501aの形成位置とが相互に重なるように配置する。
そして、各版基板531,541のチップ型メモリ31、31が各絶縁基板502,503の中央の貫通孔557,567と重なるように、かつ受動素子571が絶縁基板503の貫通孔568と重なるように、絶縁基板502,503および版基板531,541の位置合わせをする。また、各絶縁基板502,503のスルーホール556,566および誘電体層501の導電性ペースト501aの形成位置とが相互に重なるように配置する。
そして図16に示すように、版基板531,541と絶縁基板502,503と誘電体層501を相互に積層して熱プレスし、続いて版基板531,541を剥離し、更に絶縁基板502,503側に転写されたシード層2をエッチングにより除去する。
熱プレスによって、各版基板531,541上の配線パターン15、15が各絶縁基板の誘電体層552,562に埋め込まれる。また各スルーホール556,566を構成する導電性ペースト555,565が配線パターン15、15に接合される。スルーホール556,566同士は誘電体層501の導電性ペースト501aを介して接合される。更に各版基板上のチップ型メモリ31、31が絶縁基板の中央の貫通孔567に収納される。更にまた、受動素子571が絶縁基板503の凹部568,568に収納される。チップ型メモリ31および受動素子571が各貫通孔557、567,568に収納される際には、絶縁基板502,503が熱プレスにより圧縮されることに伴い、ガラスエポキシ樹脂板551,561に含まれるエポキシ樹脂がチップ型メモリ31若しくは受動素子571と貫通孔557、567,568との隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によって当該隙間が埋められる。
更に、絶縁基板503の下側の配線パターン15には半田または金からなる金属ボール549が取付けられる。
このようにして、図16に示す回路部品モジュール560が製造される。
熱プレスによって、各版基板531,541上の配線パターン15、15が各絶縁基板の誘電体層552,562に埋め込まれる。また各スルーホール556,566を構成する導電性ペースト555,565が配線パターン15、15に接合される。スルーホール556,566同士は誘電体層501の導電性ペースト501aを介して接合される。更に各版基板上のチップ型メモリ31、31が絶縁基板の中央の貫通孔567に収納される。更にまた、受動素子571が絶縁基板503の凹部568,568に収納される。チップ型メモリ31および受動素子571が各貫通孔557、567,568に収納される際には、絶縁基板502,503が熱プレスにより圧縮されることに伴い、ガラスエポキシ樹脂板551,561に含まれるエポキシ樹脂がチップ型メモリ31若しくは受動素子571と貫通孔557、567,568との隙間に滲出し、このエポキシ樹脂によって当該隙間が埋められる。
更に、絶縁基板503の下側の配線パターン15には半田または金からなる金属ボール549が取付けられる。
このようにして、図16に示す回路部品モジュール560が製造される。
また本実施形態の回路部品モジュール560によれば、第1、第2の実施形態と同様に記録媒体として使用することができ、薄型の記録媒体を実現することができる。
なお、本発明における電子部品は、チップ型メモリ、受動素子に限定されるものではなく、チップ型IC等を用いることもできる。
1…版基板、2…シード層、5,15…配線パターン、6…絶縁基板(誘電体樹脂基板)、7…貫通孔、31…チップ型メモリ(電子部品)、100、260,360、460,560…回路部品モジュール、102…導電性ペースト、103…スルーホール、150,160…回路部品モジュールスタック、170,180…記録媒体、206…ガラスエポキシ樹脂板(無機繊維含有樹脂層)、208…誘電体層、220…絶縁基板
Claims (15)
- 貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板と、前記貫通孔内に配置された1ないし2の電子部品と、前記絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に配置されるとともに前記電子部品に接続される配線パターンとを具備してなることを特徴とする回路部品モジュール。
- 前記絶縁基板が誘電体樹脂基板であり、前記配線パターンが該誘電体樹脂基板に埋め込まれていることを特徴とする請求項1に記載の回路部品モジュール。
- 前記絶縁基板が、無機繊維含有樹脂層および該無機繊維含有樹脂層の厚み方向一方または両方に積層された誘電体層から構成され、前記配線パターンが該誘電体層に埋め込まれていることを特徴とする請求項1に記載の回路部品モジュール。
- 前記貫通孔と前記電子部品との間に充填材が充填されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の回路部品モジュール。
- 前記充填材が前記絶縁基板を構成する前記誘電体樹脂基板または前記無機繊維含有樹脂層から滲出された樹脂であることを特徴とする請求項4に記載の回路部品モジュール。
- 前記電子部品がチップ型メモリであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の回路部品モジュール。
- 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の回路部品モジュールが複数積層され、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板に、導電性ペーストが充填されてなるスルーホールが設けられ、該スルーホールを介して各回路部品モジュールが接続されてなることを特徴とする回路部品モジュールスタック。
- 請求項6に記載の回路部品モジュールを備えたことを特徴とする記録媒体。
- 請求項6に記載の回路部品モジュールが複数積層され、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板に、導電性ペーストが充填されてなるスルーホールが設けられ、該スルーホールを介して各回路部品モジュールが接続されてなることを特徴とする記録媒体。
- 版基板上にシード層を積層するとともに該シード層上に配線パターンを形成し、更に該配線パターンに電子部品を取付ける版基板工程と、
貫通孔を有する樹脂製の絶縁基板の一面および他面のうちのいずれか一方または両方に前記版基板を配置し、前記電子部品を前記貫通孔に収納させながら前記絶縁基板に前記版基板を積層する工程と、
前記絶縁基板と前記版基板を熱圧着させて前記絶縁基板に含まれる樹脂成分を前記貫通孔と前記電子部品との間に滲出させる圧着工程と、
前記絶縁基板から前記版基板および前記シード層を除去する除去工程と、を具備してなることを特徴とする回路部品モジュールの製造方法。 - 前記絶縁基板が誘電体樹脂基板であり、前記圧着工程において前記配線パターンを前記誘電体樹脂基板に埋め込むことを特徴とする請求項10に記載の回路部品モジュールの製造方法。
- 前記絶縁基板が、無機繊維含有樹脂層および該無機繊維含有樹脂層の厚さ方向一方または両方に積層された誘電体層から構成され、前記圧着工程において前記配線パターンを前記誘電体層に埋め込むことを特徴とする請求項10に記載の回路部品モジュールの製造方法。
- 前記電子部品がチップ型メモリであることを特徴とする請求項10ないし請求項12のいずれかに記載の回路部品モジュールの製造方法。
- 請求項10ないし請求項12のいずれかに記載の製造方法により製造された回路部品モジュールを複数積層し、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板にスルーホールを設け、該スルーホールを介して各回路部品モジュールを接続することを特徴とする回路部品モジュールスタックの製造方法。
- 請求項13に記載の製造方法により製造された回路部品モジュールを複数積層し、前記回路部品モジュールを構成する絶縁基板に、導電性ペーストが充填されてなるスルーホールを設け、該スルーホールを介して各回路部品モジュールを接続することを特徴とする記録媒体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004343093A JP2005317903A (ja) | 2004-03-31 | 2004-11-26 | 回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法 |
US11/090,812 US20050218491A1 (en) | 2004-03-31 | 2005-03-25 | Circuit component module and method of manufacturing the same |
CNA2005100626675A CN1678175A (zh) | 2004-03-31 | 2005-03-31 | 电路部件模块及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004101609 | 2004-03-31 | ||
JP2004343093A JP2005317903A (ja) | 2004-03-31 | 2004-11-26 | 回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005317903A true JP2005317903A (ja) | 2005-11-10 |
JP2005317903A5 JP2005317903A5 (ja) | 2007-03-01 |
Family
ID=35444969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004343093A Withdrawn JP2005317903A (ja) | 2004-03-31 | 2004-11-26 | 回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005317903A (ja) |
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