JP2009117501A - Icチップ内蔵タイプの多層基板パッケージとその製造方法、並びにインバータ装置 - Google Patents

Icチップ内蔵タイプの多層基板パッケージとその製造方法、並びにインバータ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009117501A
JP2009117501A JP2007286911A JP2007286911A JP2009117501A JP 2009117501 A JP2009117501 A JP 2009117501A JP 2007286911 A JP2007286911 A JP 2007286911A JP 2007286911 A JP2007286911 A JP 2007286911A JP 2009117501 A JP2009117501 A JP 2009117501A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
package
circuit board
printed circuit
multilayer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007286911A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5181626B2 (ja
JP2009117501A5 (ja
Inventor
Tomokazu Honda
友和 本田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2007286911A priority Critical patent/JP5181626B2/ja
Publication of JP2009117501A publication Critical patent/JP2009117501A/ja
Publication of JP2009117501A5 publication Critical patent/JP2009117501A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5181626B2 publication Critical patent/JP5181626B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/141Disposition
    • H01L2224/1418Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/14181On opposite sides of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1532Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
    • H01L2924/1533Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate the connection portion being formed both on the die mounting surface of the substrate and outside the die mounting surface of the substrate
    • H01L2924/15331Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate the connection portion being formed both on the die mounting surface of the substrate and outside the die mounting surface of the substrate being a ball array, e.g. BGA

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

【課題】 高密度実装をするとともに電子機器の小型薄型化を達成することができ、さらに高信頼性を備えた3次元的実装構造を提供する。
【解決手段】 複数個のICチップ・パッケージ2を多層プリント基板1内に内蔵してなるICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージにおいて、前記多層基板パッケージには、多層プリント基板1内にICチップ・パッケージ2を内蔵するためのスペース20が刳り貫かれており、ICチップ・パッケージ2の電極7,8を、多層プリント基板1の導体層4にフリップチップ実装法により、電気的かつ機械的に接合した。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電子機器の電気回路基板において、小型薄型化に優れ、信頼性に優れたICチップを多層プリント基板に実装する構造に関する。
1つのパッケージの中に複数個のICを搭載させるSiP(System in Package)と呼ばれる技術が考案されている。
このSiPを達成させる従来例の構造を図5に示す。図5において、6はICチップ、101はボンディングワイヤー、102は樹脂封止、103はパッケージ基板、104ははんだボールである。図5(a)に示すようにICチップ6は、ボンディングワイヤーによりパッケージ基板103に電気的に接合され、機械的には接着剤やはんだでICチップ6の裏面とパッケージ基板103が接着される。図5(a)のパッケージは、はんだボール104によって外部のプリント基板と接続する。図5(b) においては、ICチップ6とパッケージ基板103ははんだボール104によってフリップチップ実装により接続される。また、図5の(a),(b)ともに、ワイヤー保護、ICチップ保護のために樹脂封止102によってパッケージされる。
これらの方法によれば、ICチップを比較的容易に実装可能であるものの、複数のICチップを搭載すると実装面積が広くなるという問題があった。さらに、これらの方法では、ワイヤーを配線するスペース、ワイヤーやICチップを保護するための樹脂封止によりパッケージが大きくなるという問題があった。
また、SiPを達成するICチップを3次元的に配置する方法が提案されている。特開2006−295136号公報(特許文献1)には、ICチップを3次元的に配置した積層型半導体パッケージが記載されている。ICチップを3次元的に配置した積層型半導体パッケージの断面図を図6に示す。
図6において201は積層型半導体パッケージ200が実装されているプリント基板である。積層型半導体パッケージ200は第1層半導体パッケージ210と第2層半導体パッケージ220の2段構成をなしている。
第1層半導体パッケージ210は、第1層パッケージ基板211、及びICチップ6、及びはんだボール群212により構成されている。ICチップ6は、第1層パッケージ基板211の上面に、フリップチップ方式により実装されている。また第1層パッケージ基板211の下面は、プリント基板201と電気的に接続するためのはんだボール群212が設けられている。
第2層半導体パッケージ220は、第2層パッケージ基板221、及び2枚のICチップ6、及びはんだボール群213により構成されている。第2層パッケージ基板221の面積は、第1層パッケージ基板211の面積よりも大きくなっている。はんだボール群213のはんだボールの直径は、はんだボール群212の直径よりも大きくなっている。
特開2006−295136号公報(第14頁、図1)
図6に示した積層型半導体パッケージ200は、最終的にシステムを組む際にはプリント基板201上に複数個の積層型半導体パッケージ200を2次元的に配置することになるため実装面積が大きくなる。
また、積層型半導体パッケージ200は、プリント基板201の表面に実装されるため、ICチップを外界から保護する樹脂封止などが必要になる。また、第2層パッケージ基板221とプリント基板201間を接合するはんだボール群213には、パッケージ外部から加えられる力による応力が集中するため、パッケージの信頼性に問題がある。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、高密度実装をするとともに電子機器の小型薄型化を達成することができ、さらに高信頼性を備えた3次元的実装構造を提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は、次のような構成及び製造方法としたものである。
請求項1に記載の発明は、複数個のICチップ・パッケージを多層プリント基板内に内蔵してなるICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージにおいて、前記多層基板パッケージには、多層プリント基板内に前記ICチップ・パッケージを内蔵するためのスペースが刳り貫かれており、前記ICチップ・パッケージの電極を、前記多層プリント基板の導体層にフリップチップ実装法により、電気的かつ機械的に接合したものである。
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージにおいて、前記多層基板パッケージは、両面に電極を配置した前記ICチップ・パッケージの片面側の電極をフリップチップ実装した第1のプリント基板部と、前記ICチップ・パッケージのスペースだけ刳り貫いた第2のプリント基板部とを積層して構成するものである。
請求項3に記載の発明によれば、請求項2に記載のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージにおいて、前記多層基板パッケージは、前記第1のプリント基板部と前記第2のプリント基板部を積層して構成した第3のプリント基板を、複数段積み重ねて構成したものである。
請求項4に記載の発明は、複数個のICチップ・パッケージを多層プリント基板内に内蔵してなるICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージの製造方法において、
1)両面に電極を配置した前記ICチップ・パッケージの片面側の電極を、フリップチップ実装法により、前記多層プリント基板を構成する第1のプリント基板部に実装し、
2)前記ICチップ・パッケージのスペースだけ刳り貫いた前記多層プリント基板を構成する第2のプリント基板部を、前記第1のプリント基板部に積層し、
3)さらに、前記の1)及び2)の手順で製作することによって得られた、前記ICチップ・パッケージを片面実装した前記多層プリント基板を構成する第3のプリント基板部を、前記第2のプリント基板に積み重ねる、
という構築方法によって製作する製造方法である。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージをインバータ装置のパワー回路に適用したものである。
請求項1乃至4に記載の発明によると、多層プリント基板内に、複数個のICチップ・パッケージを内蔵し、内蔵されるICチップ・パッケージは上下面に電極が配置され、ICチップ・パッケージを上下からプリント基板で挟み込み、前記ICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージには、ICチップ・パッケージを内蔵するためのスペース分だけ刳り貫き、内蔵されるICチップ・パッケージは、パッケージの上下面に配置された電極によって、上下のプリント基板の導体層からフリップチップ実装法により電気的に接続されたことから、プリント基板表面にICチップが実装されることなく多層プリント基板内に搭載されており、ICチップを保護するための樹脂封止が必要なくなり、電子機器内の回路基板の小型薄型化を向上することが可能になる。
請求項5に記載の発明によると、ICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを用いて、ICチップを積み重ねICチップ間を最短距離で配線しインバータ装置のパワー回路を組めば、ICチップの2次元配置分とワイヤー配線分の省スペースが可能になる。さらに、三相交流のU相、V相、W相分の回路を多層プリント基板内に用意することで、小型薄型化することができる。
また、電気回路の配線も短くすることが可能で高周波のキャリア信号によるノイズを減少させることができる。さらに、ICチップが多層プリント基板内に搭載されるためICチップを外部環境から保護することができ、ICチップ・パッケージ接合部であるはんだボールに掛かる応力をプリント基板に逃がすことができ、高い信頼性の電子回路基板を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について図1〜図4を参照して説明する。
図1は、本発明の実施例を示すICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージの断面図である。図1において、1は多層プリント基板、2はICチップ・パッケージ、3はプリント基板の絶縁層、4はプリント基板の導体層、5は4の各導体層間を上下方向に配線する導体層である。
また、図2(a),(b)は、図1のように多層プリント基板1内にICチップを内蔵するために1枚のICチップ、または2枚のICチップを貼り合わせたものの表裏面に、電極を配置したICチップ・パッケージ2の断面図である。図2において、6はICチップ、7はICチップ上面に配置した電極、8はICチップ下面に配置した電極、9は2枚のICチップを接着する半導体チップ用接着剤である。
図1において多層プリント基板1は、ICチップ・パッケージ2を内蔵するためのスペース分だけ基板を刳り貫いている。内蔵されるICチップ・パッケージ2は、その上下面に配置された電極7,8を上下の多層プリント基板の導体層4に、フリップチップ実装法により電気的に、さらに機械的に接合される。このとき用いるフリップチップ実装には、電極材として導電性接着剤を用いるものやはんだを用いるものが考えられるが特に限定しない。
また、図1では、簡略化のために、ICチップ・パッケージ2を2個、多層プリント基板1を5層しか示していないが、その個数と層数には、特に制限はない。
このようなICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージでは、ICチップが多層プリント基板内に搭載されるためICチップを外部環境から保護することができ、ICチップ・パッケージ接合部であるはんだボールに掛かる応力をプリント基板に逃がすことができる。 また、ICチップ・パッケージ2間の配線も上下方向を配線する導体層5を使用することで配線を短くすることができ、高速信号の伝播の及ぼす悪影響を低減することができる。さらに、使用する多層プリント基板1はICチップ分のスペースを刳り貫くだけであり、用いるICチップ自身も特殊な加工が必要なく、内蔵するためのICチップ・パッケージ2も従来の電極配置方法や接着方法を使用することで、図1のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを構成することができる。
つぎに、本実施例のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージ構築例を、図3を用いて説明する。
まず、両面に電極を配置したICチップ・パッケージ2を用意する。ICチップ・パッケージ製作後、図3(a)に示すようにフリップチップ実装法により、その片面側の電極をプリント基板22に実装する。その後、ICチップ・パッケージ2を内蔵するスペース20だけ刳り貫いたプリント基板21を積層する。このときのプリント基板21の層数には、特に限定しない。さらに図3(b)に示すように、図3(a)の工程で出来たICチップ・パッケージ2を片面実装したプリント基板23を積み重ねることで、図1のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを構築することができる。
このようにして構築されたICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを、モータを駆動制御するインバータ装置のパワー回路部に適用した場合の構成例を、図4を用いて説明する。
図4(a)はICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを用いて構成したインバータ装置のパワー回路基板部(1相分)の断面図、図4(b)は図4(a)の等価回路図である。ここで30′はパワーMOSFETやIGBT、31′はフリーホイールダイオード、32′は正側電極、33′は負側電極、34′は出力電極、35′はゲート電極である。
図4(a)で示すパワー回路基板部は、図2(a)のICチップ1枚のときのもので、30はパワーMOSFETやIGBTのICチップ、31はフリーホイールダイオードのICチップである。32は正側電極、33は負側電極、34は出力電極、35はゲート電極である。
本発明との比較を容易にするため、従来のインバータ装置に搭載されているパワー回路の例を示すと、図5(a)のICチップ6の部分がパワーMOSFET, IGBTなどのICチップに相当し、配線基板上に2次元的に配置されている。また、配線基板上に配置されたICチップはアルミワイヤによって配線されている。
そこで図4に示すように、ICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを用いて、ICチップを積み重ねICチップ間を最短距離で配線しパワー回路を組めば、ICチップの2次元配置分とワイヤー配線分の省スペース化が可能になる。さらに、三相交流のU相、V相、W相分の回路を多層プリント基板内に用意することで、小型薄型化することができる。
また、電気回路の配線も短くすることができ、高周波のキャリア信号によるノイズを減少させることができる。加えてモータや、その他の駆動源からの振動による外力に対しても強いインバータ装置のパワー回路基板を提供することができる。
本発明の実施例を示すICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージの側断面図 本発明の実施例を示す多層基板内に内蔵するICチップ・パッケージの断面図 本発明の実施例を示すICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージの製作方法を示す図 本発明の実施例を示すICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージのインバータ回路基板への適用例を示す図 従来の複数のICチップを搭載したパッケージの側断面図 従来の積層型半導体パッケージの側断面図
符号の説明
1 多層プリント基板
2 ICチップ・パッケージ
3 プリント基板の絶縁層
4 プリント基板の導体層
5 4の各導体層間を上下方向に配線する導体層
6 ICチップ
7 ICチップ上面に配置した電極
8 ICチップ下面に配置した電極
9 半導体チップ用接着剤
20 ICチップ・パッケージを内蔵するスペース
21 ICチップ・パッケージを内蔵するスペースを刳り貫いたプリント基板
22 プリント基板
23 ICチップ・パッケージを片面実装したプリント基板
30 パワーMOSFET、またはIGBTのICチップ
31 フリーホイールダイオードのICチップ
32 正側電極
33 負側電極
34 出力電極
35 ゲート電極
30′ パワーMOSFET、またはIGBT
31′ フリーホイールダイオード
32′ 正側電極
33′ 負側電極
34′ 出力電極
35′ ゲート電極
101 ボンディングワイヤー
102 樹脂封止
103 パッケージ基板
104 はんだボール
200 積層型半導体パッケージ
201 プリント基板
210 第1層半導体パッケージ
211 第1層パッケージ基板
212 はんだボール群(小)
213 はんだボール群(大)
220 第2層半導体パッケージ
221 第2層パッケージ基板

Claims (5)

  1. 複数個のICチップ・パッケージを多層プリント基板内に内蔵してなるICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージにおいて、前記多層基板パッケージには、前記多層プリント基板内に前記ICチップ・パッケージを内蔵するためのスペースが刳り貫かれており、前記ICチップ・パッケージの電極を、前記多層プリント基板の導体層にフリップチップ実装法により、電気的かつ機械的に接合したことを特徴とするICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージ。
  2. 前記多層基板パッケージは、両面に電極を配置した前記ICチップ・パッケージの片面側の電極をフリップチップ実装した第1のプリント基板部と、前記ICチップ・パッケージのスペースだけ刳り貫いた第2のプリント基板部とを積層して構成することを特徴する請求項1に記載のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージ。
  3. 前記多層基板パッケージは、前記第1のプリント基板部と前記第2のプリント基板部を積層して構成した第3のプリント基板を、複数段積み重ねて構成したことを特徴する請求項2に記載のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージ。
  4. 複数個のICチップ・パッケージを多層プリント基板内に内蔵してなるICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージの製造方法において、
    1)両面に電極を配置した前記ICチップ・パッケージの片面側の電極を、フリップチップ実装法により、前記多層プリント基板を構成する第1のプリント基板部に実装し、
    2)前記ICチップ・パッケージのスペースだけ刳り貫いた前記多層プリント基板を構成する第2のプリント基板部を、前記第1のプリント基板部に積層し、
    3)さらに、前記の1)及び2)の手順で製作することによって得られた、前記ICチップ・パッケージを片面実装した前記多層プリント基板を構成する第3のプリント基板部を、前記第2のプリント基板部に積み重ねる、
    という構築方法によって製作することを特徴するICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージの製造方法。
  5. インバータ装置のパワー回路基板に、請求項1乃至3のいずれかに記載のICチップ内蔵タイプの多層基板パッケージを用いたことを特徴とするインバータ装置。
JP2007286911A 2007-11-05 2007-11-05 多層プリント基板およびインバータ装置 Expired - Fee Related JP5181626B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007286911A JP5181626B2 (ja) 2007-11-05 2007-11-05 多層プリント基板およびインバータ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007286911A JP5181626B2 (ja) 2007-11-05 2007-11-05 多層プリント基板およびインバータ装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009117501A true JP2009117501A (ja) 2009-05-28
JP2009117501A5 JP2009117501A5 (ja) 2011-08-18
JP5181626B2 JP5181626B2 (ja) 2013-04-10

Family

ID=40784320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007286911A Expired - Fee Related JP5181626B2 (ja) 2007-11-05 2007-11-05 多層プリント基板およびインバータ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5181626B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011009715A (ja) * 2009-05-25 2011-01-13 Denso Corp 半導体装置
JP2013118298A (ja) * 2011-12-05 2013-06-13 Dainippon Printing Co Ltd 部品内蔵配線基板、及びその製造方法
US9629249B2 (en) 2013-05-14 2017-04-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Component-embedded substrate and communication module
US20210378097A1 (en) * 2020-06-01 2021-12-02 Steering Solutions Ip Holding Corporation Redundant printed circuit board with built in isolation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005317903A (ja) * 2004-03-31 2005-11-10 Alps Electric Co Ltd 回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法
JP2006060024A (ja) * 2004-08-20 2006-03-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 立体回路モジュールとこれを用いた積層立体回路モジュールとこれらを用いた携帯端末機器およびそれらの製造方法
JP2006310421A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Cmk Corp 部品内蔵型プリント配線板とその製造方法
JP2007227586A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Cmk Corp 半導体素子内蔵基板及びその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005317903A (ja) * 2004-03-31 2005-11-10 Alps Electric Co Ltd 回路部品モジュール、回路部品モジュールスタック、記録媒体およびこれらの製造方法
JP2006060024A (ja) * 2004-08-20 2006-03-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 立体回路モジュールとこれを用いた積層立体回路モジュールとこれらを用いた携帯端末機器およびそれらの製造方法
JP2006310421A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Cmk Corp 部品内蔵型プリント配線板とその製造方法
JP2007227586A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Cmk Corp 半導体素子内蔵基板及びその製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011009715A (ja) * 2009-05-25 2011-01-13 Denso Corp 半導体装置
US8446003B2 (en) 2009-05-25 2013-05-21 Denso Corporation Semiconductor device including double-sided multi-electrode chip embedded in multilayer wiring substrate
JP2013118298A (ja) * 2011-12-05 2013-06-13 Dainippon Printing Co Ltd 部品内蔵配線基板、及びその製造方法
US9629249B2 (en) 2013-05-14 2017-04-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Component-embedded substrate and communication module
US20210378097A1 (en) * 2020-06-01 2021-12-02 Steering Solutions Ip Holding Corporation Redundant printed circuit board with built in isolation
CN113766732A (zh) * 2020-06-01 2021-12-07 操纵技术Ip控股公司 具有内置隔离的冗余印刷电路板

Also Published As

Publication number Publication date
JP5181626B2 (ja) 2013-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10607957B2 (en) Ultra-thin embedded semiconductor device package and method of manufacturing thereof
KR101505552B1 (ko) 복합 반도체 패키지 및 그 제조방법
JP4751351B2 (ja) 半導体装置とそれを用いた半導体モジュール
US9681558B2 (en) Module with integrated power electronic circuitry and logic circuitry
KR101978512B1 (ko) 리드프레임 접속을 갖는 pol 구조체
JP2001223324A (ja) 半導体装置
KR100744146B1 (ko) 연성 접속판을 이용하여 배선 기판과 칩을 연결하는 반도체패키지
JPH10189840A (ja) 半導体パッケージの構造及びパッケージ方法
JP5181626B2 (ja) 多層プリント基板およびインバータ装置
JP2009152503A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2010050150A (ja) 半導体装置及び半導体モジュール
JP2001230515A (ja) 電子部品の実装体、電子部品の実装体の製造方法、および実装体の二次実装構造。
JP2004281919A (ja) 半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法
KR101078744B1 (ko) 적층 반도체 패키지
TWI442522B (zh) 凹穴晶片封裝結構及使用凹穴晶片封裝結構之層疊封裝結構
WO2013174099A1 (zh) 芯片堆叠封装结构
JP5567452B2 (ja) スタックチップ半導体装置の製造方法、スタックチップ半導体装置の実装方法、及びスタックチップ半導体装置
JP2008085032A (ja) 半導体装置
JP4083376B2 (ja) 半導体モジュール
JP2008171895A (ja) 半導体素子埋め込み支持基板の積層構造とその製造方法
JP2004087895A (ja) パッケージ部品およびその製造方法
KR100907730B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조 방법
JP4652428B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2004214285A (ja) 部品内蔵モジュール
JP2015106682A (ja) モールドパッケージ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100915

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110701

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120215

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20120216

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120410

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121218

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121231

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees