JP2007273094A - 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 61
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 46
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 46
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 113
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 36
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 8
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 23
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 17
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 abstract description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 50
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 11
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 9
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 7
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 6
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 5
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N Propene Chemical compound CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N [(dimethyl-$l^{3}-silanyl)amino]-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)N[Si](C)C GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N alumane;zinc Chemical compound [AlH3].[Zn] HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ANAJSSMBLXCCSM-UHFFFAOYSA-K aluminum;4-(4-cyanophenyl)phenolate Chemical compound [Al+3].C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=C(C#N)C=C1.C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=C(C#N)C=C1.C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=C(C#N)C=C1 ANAJSSMBLXCCSM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003097 hole (electron) Substances 0.000 description 2
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N indium zinc Chemical compound [Zn].[In] NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 2
- QPJVMBTYPHYUOC-UHFFFAOYSA-N methyl benzoate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1 QPJVMBTYPHYUOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- YGLVWOUNCXBPJF-UHFFFAOYSA-N (2,3,4,5-tetraphenylcyclopenta-1,4-dien-1-yl)benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1C1C(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 YGLVWOUNCXBPJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCXLYAWYOTYWKM-UHFFFAOYSA-N (2,3,4-triphenylcyclopenta-1,3-dien-1-yl)benzene Chemical compound C1C(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 JCXLYAWYOTYWKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanal Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C=O IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MUNFOTHAFHGRIM-UHFFFAOYSA-N 2,5-dinaphthalen-1-yl-1,3,4-oxadiazole Chemical compound C1=CC=C2C(C3=NN=C(O3)C=3C4=CC=CC=C4C=CC=3)=CC=CC2=C1 MUNFOTHAFHGRIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 2H-pyran Chemical compound C1OC=CC=C1 MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[1-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]cyclohexyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C1(CCCCC1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 1
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminum fluoride Inorganic materials F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OOQAPGNOZVHVDM-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)[Cu](C(C)(C)C)(C(C)(C)C)C(C)(C)C Chemical compound CC(C)(C)[Cu](C(C)(C)C)(C(C)(C)C)C(C)(C)C OOQAPGNOZVHVDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 150000005010 aminoquinolines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N anthrone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3CC2=C1 RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000003849 aromatic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N benzo[de]isoquinoline-1,3-dione Chemical compound C1=CC(C(=O)NC2=O)=C3C2=CC=CC3=C1 XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001572 beryllium Chemical class 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- OPHUWKNKFYBPDR-UHFFFAOYSA-N copper lithium Chemical compound [Li].[Cu] OPHUWKNKFYBPDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- HHNHBFLGXIUXCM-GFCCVEGCSA-N cyclohexylbenzene Chemical compound [CH]1CCCC[C@@H]1C1=CC=CC=C1 HHNHBFLGXIUXCM-GFCCVEGCSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940095102 methyl benzoate Drugs 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- RQGPLDBZHMVWCH-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-b]pyrrole Chemical class C1=NC2=CC=NC2=C1 RQGPLDBZHMVWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004034 viscosity adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- HTPBWAPZAJWXKY-UHFFFAOYSA-L zinc;quinolin-8-olate Chemical compound [Zn+2].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 HTPBWAPZAJWXKY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
【課題】 従来の有機EL素子の耐久性や信頼性を高めるための保護膜は、厚膜製膜をすることが困難であり、膜単体でのハイバリア性の達成が難しく、また高い生産性の要求を満たすものではなかった。本発明は、厚膜化が可能であり、高いバリア性を持った保護膜を、高い生産性で形成可能な、有機EL素子およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 基板1と、その上に設けられた第一電極2と、有機発光層3と、第二電極4と、保護膜5とをこの順で備え、保護膜5は炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)で形成され、保護膜5中の炭素量は連続的に変化している有機エレクトロルミネッセンス素子。該素子の保護膜は、有機シリコン化合物と、窒素と、水素とを原料ガスとし、電圧を変化させながらプラズマCVD法によって成膜することにより形成される。
【選択図】図1
【解決手段】 基板1と、その上に設けられた第一電極2と、有機発光層3と、第二電極4と、保護膜5とをこの順で備え、保護膜5は炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)で形成され、保護膜5中の炭素量は連続的に変化している有機エレクトロルミネッセンス素子。該素子の保護膜は、有機シリコン化合物と、窒素と、水素とを原料ガスとし、電圧を変化させながらプラズマCVD法によって成膜することにより形成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、ディスプレイやその他所定のパターン等の発光表示などに用いられる有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法に関するものである。
有機エレクトロルミネッセンス素子は、基板上に少なくとも陽極と有機発光層と陰極を含み、電極間に電界をかけることにより該有機発光層に電子と正孔を注入し発光させる素子であり、自発光型素子であることから、液晶ディスプレイのようにバックライトを用いなくても表示が可能である。また、構造が単純であるため薄く、軽量な素子を作製することができ、現在活発に研究が行われている。
有機エレクトロルミネッセンス素子の代表的な構成は、ガラス等からなる透明な基板上に、ITO(Indium-Tin-Oxide)のような透明電極を所望の形状にパターニングし、その上部に有機層を形成し、さらにその上に陰極を形成したものである。この陰極や有機材料は水または酸素に対して非常に反応しやすく、その反応が起きた結果ダークスポットと呼ばれる非発光点が発生し、有機エレクトロルミネッセンス素子の寿命を悪化させるという問題があった。
そのため一般的には、特許文献1にあるように、陰極の上部を覆うように厚めのガラス中央部を凹状に加工したガラス(以下ザグリガラスという)をエポキシ樹脂などの接着剤で接着することにより、水蒸気や酸素などを遮断する方法が行われている。しかし、このザグリガラスを用いた手法は、有機エレクトロルミネッセンス素子が本来持っている薄型という特長を十分に生かすことができない。
また、情報表示端末として、より大きく、より画素数が多くさらには、応答速度が速く、消費電力の小さいディスプレイが望まれている。これらの問題に対応するためには、有機EL素子を薄膜トランジスタ(TFT)を用いた、いわゆるアクティブマトリクス駆動とし、TFT基板とは反対側から光を取り出す、いわゆるトップエミッション構造が必須であると言われている。このトップエミッション構造を実現するためには金属缶やザグリガラスによる封止では、上面から光を取り出すのは構造上不可能であった。
そこで、特許文献2にあるように電極上を透明なバリア膜付き高分子フィルムで被覆する方法が提案されているが、高分子フィルムで被覆する場合は、高分子フィルム自身の透湿性を高めるために薄膜を形成する必要があることから工程数の増加につながり、また貼り合わせる際に気泡をはさみ込み、気泡中の微量な活性気体により素子がダメージを受けることがあった。
また、金属窒化物、金属酸化物などを形成して有機エレクトロルミネッセンス素子を封止する構造が提案されている。このような酸化シリコン膜や窒化シリコン膜は通常プラズマCVD、スパッタリング法などによって作製される。また、上述の方法で作製された保護膜は、バリア性を高めるために厚膜化もしくは緻密化する条件で作製した際に、膜自身の応力で膜剥がれがおきたり、素子を破壊してしまうことがある。このようなことを解決するために特許文献3に示すように上述の薄膜と有機膜とを積層することが提案されているが、保護膜の形成に時間がかかったり、一括で製膜できないなど大量生産に向かないプロセスであることが問題となっている。
特開平5−109482号公報
特開2004−79292号公報
特開2003−17244号公報
以上の様に、従来提案されてきた有機エレクトロルミネッセンス素子の耐久性や信頼性を高めるための保護膜は、厚膜製膜をすることが困難であったため、膜単体でのハイバリア性、ピンホールレス製膜が難しく、さらに一度の製膜で保護膜の形成が終わるといった高い生産性の要求を十分に満たすものではなかった。
そこで本発明では、厚膜化が可能であり、高いバリア性を持った保護膜を、高い生産性で形成可能な、有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明者は、応力緩和性と段差被覆性に優れた炭素の量が多い窒化シリコン膜とバリア性の高い窒化シリコン膜を連続的に製膜することにより、膜自身の応力による剥がれを生じることなく、厚膜化が可能であり、高いバリア性を持った保護膜を、高い生産性で形成可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
請求項1に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、有機発光層と、第二電極と、保護膜とを備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記保護膜は炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)で形成され、前記保護膜中の炭素量は連続的に変化していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子である。
請求項2に記載の発明は、前記保護膜中に含まれる炭素量は第二電極側が多く、第二電極から離れるに従って少なく変化することを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス素子である。
請求項3に記載の発明は、前記保護膜は、前記保護膜を構成する炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)に含まれる窒素及び炭素の量が
1.0≦x≦1.4
0.2≦y≦0.4
の範囲である層と
0.4≦x<1.0
0.4<y<1.0
の範囲である層とを備えていることを特徴とする請求項1または2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子である。
1.0≦x≦1.4
0.2≦y≦0.4
の範囲である層と
0.4≦x<1.0
0.4<y<1.0
の範囲である層とを備えていることを特徴とする請求項1または2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子である。
請求項4に記載の発明は、前記保護膜の上にさらに封止基板を備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子である。
請求項5に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、有機発光層と、第二電極と、保護膜とを備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記基板上に少なくとも第一電極、有機発光層および第二電極を形成する工程と、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程とを備え、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程は、
有機シリコン化合物と、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素とを原料ガスとし、
プラズマCVD法によって化学式SiNxCyで表すことのできる炭素含有窒化シリコン薄膜を形成する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
前記基板上に少なくとも第一電極、有機発光層および第二電極を形成する工程と、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程とを備え、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程は、
有機シリコン化合物と、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素とを原料ガスとし、
プラズマCVD法によって化学式SiNxCyで表すことのできる炭素含有窒化シリコン薄膜を形成する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
請求項6に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、有機発光層と、第二電極と、保護膜とを備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記基板上に少なくとも第一電極、有機発光層および第二電極を形成する工程と、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程とを備え、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程は、
シランと、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素と、炭素含有ガスとを原料ガスとし、
当該炭素含有ガスの濃度を変化させながらプラズマCVD法によって化学式SiNxCyで表すことのできる炭素含有窒化シリコン薄膜を形成する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
前記基板上に少なくとも第一電極、有機発光層および第二電極を形成する工程と、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程とを備え、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程は、
シランと、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素と、炭素含有ガスとを原料ガスとし、
当該炭素含有ガスの濃度を変化させながらプラズマCVD法によって化学式SiNxCyで表すことのできる炭素含有窒化シリコン薄膜を形成する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
請求項1に記載の発明によれば、応力緩和性と段差被覆性に優れた炭素の量が多い窒化シリコン膜とバリア性の高い窒化シリコン膜を連続的に製膜することにより、膜の一部分に応力が集中することを防ぐことができ、膜自身の応力による剥がれを生じることなく、厚膜化が可能であり、高いバリア性を持った保護膜を、高い生産性で形成可能である有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
請求項2に記載の発明によれば、応力緩和性、基板表面への付着性、および良好なガスバリア特性を両立することができる。
請求項3に記載の発明によれば、応力緩和性、基板表面への付着性、および良好なガスバリア特性を両立することができるとともに、素子の保護特性を向上させることができる。
請求項4に記載の発明によれば、水分や酸素に対する保護特性の向上だけでなく、機械的なダメージに対しても高い耐性を持つことが可能となる。
請求項5に記載の発明によれば、従来から用いてきた装置を大幅に改造することなく簡便に保護膜を形成することができる。
請求項6に記載の発明によれば、従来から用いてきた装置を大幅に改造することなく簡便に保護膜を形成することができる。
以上のように本発明によれば、長期的に安定して発光することができる有機エレクトロルミネッセンス素子を簡便に作製することができる。
以下、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子という)について詳細に説明する。
図1は、本発明の有機EL素子の一例を説明するための断面図である。
有機EL素子は、基板1上で、有機発光層3を、第一電極としての陽極2と第二電極としての陰極4で挟んだ単純な基本構造からなる。この電極間に電圧を印加し、一方の電極から注入されるホールと、他方の電極から注入される電子とが有機発光層3内で再結合する際に生じる光を画像表示や光源として用いる。
有機EL素子は、基板1上で、有機発光層3を、第一電極としての陽極2と第二電極としての陰極4で挟んだ単純な基本構造からなる。この電極間に電圧を印加し、一方の電極から注入されるホールと、他方の電極から注入される電子とが有機発光層3内で再結合する際に生じる光を画像表示や光源として用いる。
陰極4上には、保護層7としての保護膜5および封止ガラス基板6が設けられている。なお、本発明の有機EL素子は、図1の形態に制限されるものではない。
ここで、本実施の形態において、基板1としては透光性と絶縁性を有する基板であれば如何なる基板も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透光性基材や、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、シート、板や、前記プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属膜を積層させた非透光性基材などを用いることができる。
また、これら基板は、必要に応じて、薄膜トランジスタ(TFT)を形成し、駆動用基板として用いても良い。TFTの材料としては、ポリチオフェンやポリアニリン、銅フタロシアニンやペリレン誘導体等の有機TFTを用いてもよく、アモルファスシリコンやポリシリコンTFTを用いてもよい。
また、これらの基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施すことが好ましい。また、これら基板には、必要に応じてカラーフィルター層や光散乱層、光偏向層などを設けてもよい。
また、これら基板は、必要に応じて、薄膜トランジスタ(TFT)を形成し、駆動用基板として用いても良い。TFTの材料としては、ポリチオフェンやポリアニリン、銅フタロシアニンやペリレン誘導体等の有機TFTを用いてもよく、アモルファスシリコンやポリシリコンTFTを用いてもよい。
また、これらの基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施すことが好ましい。また、これら基板には、必要に応じてカラーフィルター層や光散乱層、光偏向層などを設けてもよい。
まず、基板1の上に第一電極としての陽極2を成膜し、必要に応じてパターニングをおこなう(図1)。ここで、陽極2の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。また、必要に応じて、陽極2の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。陽極2の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。陽極2のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。
次に、有機発光層3を形成する(図1)。本発明における有機発光層3としては、発光物質を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層および電子輸送性発光層、または、正孔輸送性発光層および電子輸送層からなる2層構成や正孔輸送層、発光層、電子輸送層からなる3層構成、さらには、必要に応じて正孔(電子)注入機能と正孔(電子)輸送機能を分けたり、正孔(電子)の輸送をブロックする層などを挿入することにより、さらに多層形成とすることがより好ましい。
正孔輸送材料の例としては、銅フタロシアニン、テトラ(t-ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’-ジフェニル-N,N’-ビス(3-メチルフェニル)-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジアミン、N,N’-ジ(1-ナフチル)-N,N’-ジフェニル-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
正孔輸送材料の例としては、銅フタロシアニン、テトラ(t-ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’-ジフェニル-N,N’-ビス(3-メチルフェニル)-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジアミン、N,N’-ジ(1-ナフチル)-N,N’-ジフェニル-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
発光材料としては、9,10-ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4-テトラフェニルブタジエン、トリス(8-キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4-メチル-8-キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(8-キノリノラート)亜鉛錯体、トリス(4-メチル-5-トリフルオロメチル-8-キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4-メチル-5-シアノ-8-キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(2-メチル-5-トリフルオロメチル-8-キノリノラート)[4-(4-シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2-メチル-5-シアノ-8-キノリノラート)[4-(4-シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8-キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス〔8-(パラ-トシル)アミノキノリン〕亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4-テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ-2,5-ジヘプチルオキシ-パラ-フェニレンビニレン、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポルフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’-ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’-ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料や、ポリフルオレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリスピロなどの高分子材料や、これら高分子材料に前記低分子材料の分散または共重合した材料や、その他既存の発光材料を用いることができる。
電子輸送材料の例としては、2-(4-ビフィニルイル)-5-(4-t-ブチルフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール、2,5-ビス(1-ナフチル)-1,3,4-オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10-ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。 有機発光層3の膜厚は、単層または積層により形成する場合においても1000nm以下であり、好ましくは50〜150nmである。特に、高分子EL素子の正孔輸送材料は、基板や陽極層の表面突起を覆う効果が大きく、50〜100nm程度厚い膜を成膜することがより好ましい。
有機発光層3の形成方法としては、材料に応じて、真空蒸着法や、スピンコート、スプレーコート、フレキソ、グラビア、マイクログラビア、凹版オフセットなどのコーティング法、印刷法やインクジェット法などを用いることができる。高分子有機発光層を溶液化する際には、形成方法に応じて、溶剤の蒸気圧、固形分比、粘度などを制御することが好ましい。溶剤としては、水、キシレン、アニソール、シクロヘキサノン、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、安息香酸メチル、安息香酸エチル、トルエン、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの単独溶媒でも、混合溶媒でも良い。また、塗工性向上のために、必要に応じて界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤などの添加剤を適量混合することがより好ましい。塗布液の乾燥方法としては、EL特性に支障のない程度に溶剤を取り除ければ良く、加熱しても、減圧しても、加熱減圧しても良い。
次に、第二電極としての陰極4を形成する(図1)。陰極4の材料としては、有機発光層3への電子注入効率の高い物質を用いる。具体的には、Mg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。または、電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できる。陰極4を透光性電極層として利用する場合には、仕事関数が低いLi,Caを薄く設けた後に、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物を積層してもよく、前記有機有機発光層3に、仕事関数が低いLi,Caなどの金属を少量ドーピングして、ITOなどの金属酸化物を積層してもよい。
陰極4の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いることができる。陰極4の厚さに特に制限はないが、10nm〜1000nm程度が望ましい。また、陰極4を透光性電極層として利用する場合、CaやLiなどの金属材料を用いる場合の膜厚は0.1〜10nm程度が望ましい。
こうして形成した陰極4上に保護層7を形成する。保護層7とは、保護膜5と封止ガラス基板6からなり、外部の水分、酸素、その他機械的ダメージなどから陰極金属および有機EL素子8を保護し劣化を防止する役割を果たす。
保護膜5としては、炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)で形成され、前記保護膜中の炭素量は連続的に変化している膜を用いる。炭素量を変化させることにより、炭素含有量の多い膜は柔らかく、カバレッジおよび密着性に優れた膜となり、炭素含有量の少ない膜は密度が高くバリア性の高い膜となる。炭素の量はSiを1としたときに炭素の量の比が、1.0未満であることが望ましい。これは炭素量が1.0以上となると膜が着色したり、脆くなることがあるためである。好ましくは、この組成が変化する層が複数回繰り返すほうがよい。複数回繰り返すことによって1層のみでは覆うことのできなかった突起をカバーすることができ、また、1層目で発生したクラックを緩和する効果が期待され、よりバリア性の高い膜となる。
本発明の好適な形態においては、保護膜を構成する炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)に含まれる窒素及び炭素の量が、
1.0≦x≦1.4
0.2≦y≦0.4
の範囲である層と
0.4≦x<1.0
0.4<y<1.0
の範囲である層とを備えていることが好ましい。
この形態によって、応力緩和性、基板表面への付着性、および良好なガスバリア特性を両立することができるとともに、素子の保護特性を向上させることができる。
1.0≦x≦1.4
0.2≦y≦0.4
の範囲である層と
0.4≦x<1.0
0.4<y<1.0
の範囲である層とを備えていることが好ましい。
この形態によって、応力緩和性、基板表面への付着性、および良好なガスバリア特性を両立することができるとともに、素子の保護特性を向上させることができる。
この炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)を製膜する際には、プラズマCVD法を用いる。プラズマCVD法においては製膜種が発生する反応はすべて気相中で行われるため、基板表面で反応を起こす必要がなく、低温製膜に最も適している製膜法である。
保護膜中の炭素量を連続的に変化させる方法の一例としては、有機シリコン化合物と、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素とを原料ガスとし、プラズマCVD法を行う方法が挙げられる。例えば印加する電力を強くすることにより膜中の炭素量を減らすことができる。
また、シランと、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素と、炭素含有ガスとを原料ガスとし、当該炭素含有ガスの濃度を変化させながらプラズマCVD法を行う方法が挙げられる。この場合、炭素含有ガスの流量を製膜中に変化させることにより組成を制御することができる。その他、製膜基板温度、ガス圧力などのパラメータにより適宜調整することが望ましい。
保護膜中の炭素量を連続的に変化させる方法の一例としては、有機シリコン化合物と、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素とを原料ガスとし、プラズマCVD法を行う方法が挙げられる。例えば印加する電力を強くすることにより膜中の炭素量を減らすことができる。
また、シランと、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素と、炭素含有ガスとを原料ガスとし、当該炭素含有ガスの濃度を変化させながらプラズマCVD法を行う方法が挙げられる。この場合、炭素含有ガスの流量を製膜中に変化させることにより組成を制御することができる。その他、製膜基板温度、ガス圧力などのパラメータにより適宜調整することが望ましい。
上述の有機シリコン化合物としては例えば、トリスジメチルアミノシラン(TDMAS)、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テトラメチルジシラザン(TMDS)などが挙げられる。また、上述の炭素含有ガスとしては、メタン、エチレン、プロペンなどが挙げられる。
保護層7のそれぞれの層の厚さは特に限定するものではないが、100-500nm程度であることが望ましく、全体では1000nm程度に収まるほうがよい。この範囲であれば膜自身のピンホールなどの欠陥を補填することが可能と酸素や水分の浸入に対するバリア性が大きく向上する。さらには短時間で製膜でき、かつ有機発光層3からの光取り出しを妨げなくなる。また、炭素含有量は陰極4側で多く、陰極4から離れるに従って少なく変化させるようにすると、より密着性、被覆性の向上が期待される。
次に上述した保護膜5の上に封止ガラス基板6を貼り合わせる。ガラス基板を貼り合わせることによって、さらにバリア性が向上するだけでなく、上述した保護膜5のみでは持ち得ない機械的なダメージに対する耐性を持つことができる。
封止ガラス基板6を貼り合わせる際には、封止ガラス基板6側に一様に接着剤を塗布してもよいし、周囲を囲むようにして塗布してもよい(図1における接着剤9)。またシート状に形成した接着層を熱転写する方法をとってもよい。接着層の材料としてはエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの酸変性物からなる熱可塑性接着性樹脂などを単層もしくは積層して用いることができる。特に、耐湿性、耐水性に優れ、硬化時の収縮が少ないエポキシ系熱硬化型接着性樹脂を用いることが望ましい。また、接着層の光透過を妨げない程度に接着層内部の含有水分を除去するために、酸化バリウムや酸化カルシウムなどの乾燥剤を混入したり、接着層の厚みをコントロールするために数%程度の無機フィラーを混入してもよい。
こうして、作製した接着剤付封止ガラス基板6で貼り合わせ、それぞれ硬化の処理を行う。この一連の保護層形成プロセスは窒素雰囲気下で行うことが望ましいが、保護膜5が作製された後であれば短時間ならば大気下においても大きな影響はない。
以下に、具体的な実施例を挙げて本発明を説明する。本実施例においては、ガラス基板1上にボトムエミッション素子を作製した例を取り上げるが、本発明はこれに限定するものではなく、基板としてTFTが形成されたものでもよく、封止側から光を取り出すトップエミッション素子も作製することもできる。
<実施例1>
まず、初めにITO膜のついたガラス基板1上に、有機発光層3としては、高分子正孔輸送層であるポリチオフェン誘導体(50nm)と、ポリフルオレン(80nm)をこの順に製膜した。ポリチオフェン誘導体は水とアルコール分散インク、ポリフルオレンはトルエン等の芳香族溶媒に溶かしたインクを、それぞれスピンコート法によって製膜した。
まず、初めにITO膜のついたガラス基板1上に、有機発光層3としては、高分子正孔輸送層であるポリチオフェン誘導体(50nm)と、ポリフルオレン(80nm)をこの順に製膜した。ポリチオフェン誘導体は水とアルコール分散インク、ポリフルオレンはトルエン等の芳香族溶媒に溶かしたインクを、それぞれスピンコート法によって製膜した。
次に、陰極4として、蒸着法を用いてBa(810nm)とAl(100nm)を積層製膜した。次に保護層7を形成する。保護層7は保護膜5と封止ガラス基板6からなる。保護膜5としてプラズマCVD法により、原料ガスとしてはメタン、モノシラン、窒素ガス、水素ガスを用いて組成傾斜のある炭素含有窒化シリコン膜を作製した。具体的には、素子を窒素下にて搬送した後プラズマCVD装置に移し、真空槽を10-2Pa以下まで減圧した後、原料ガスとしてシラン、窒素、メタン、水素を導入し、高周波(13.56MHz)でプラズマを発生させた。堆積時間の変化とともにメタンガスの流量を減らし組成に傾斜を設け、一度メタンガスの流量をゼロとした後また初期の量を導入し層構造を形成した。膜厚は上記の層一層当たり300nmであり、これを3回繰り返したので保護膜5の厚さは900nmとなった。
上記保護膜5の上にダイコーターによって熱硬化性樹脂を全面に塗布した封止ガラス基板6を、100℃の温度をかけながら熱ロールラミネーターを用いて素子基板と貼り合わせた。貼り合わせた後に、さらに100℃で1時間硬化した。
作製した有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。これは保護膜5を形成しない素子と同等の特性であった。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で0.5%と1%であった。
<実施例2>
実施例1の保護層として封止ガラス基板6を用いず実施例1とまったく同様の組成傾斜炭素含有窒化シリコン膜を作製した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で5%と10%であった。
実施例1の保護層として封止ガラス基板6を用いず実施例1とまったく同様の組成傾斜炭素含有窒化シリコン膜を作製した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で5%と10%であった。
<実施例3>
実施例1の保護膜5としてプラズマCVD法により、原料ガスとしてはヘキサメチルジシラザン、アンモニア、水素ガスを用いて組成傾斜のある炭素含有窒化シリコン膜を作製した。それ以外は実施例1と同様である。具体的には、素子を窒素下にて搬送し、プラズマCVD装置に移し、真空槽を10-2Pa以下まで減圧した後、原料として、溶液に熱をかけ気化させたヘキサメチルジシラザン、アンモニア、水素ガスを導入し、高周波(13.56MHz)でプラズマを発生させた。堆積時間の変化とともに投入する電力量を増加し組成に傾斜を設け、炭素濃度が最小となる電力になったところで、また最初の電力値に戻し層を形成した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。これは保護膜5を形成しない場合と同様であった。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で5%と10%であった。膜厚は上記の層一層当たり300nmであり、これを3回繰り返したので保護膜5の厚さは900nmとなった。
実施例1の保護膜5としてプラズマCVD法により、原料ガスとしてはヘキサメチルジシラザン、アンモニア、水素ガスを用いて組成傾斜のある炭素含有窒化シリコン膜を作製した。それ以外は実施例1と同様である。具体的には、素子を窒素下にて搬送し、プラズマCVD装置に移し、真空槽を10-2Pa以下まで減圧した後、原料として、溶液に熱をかけ気化させたヘキサメチルジシラザン、アンモニア、水素ガスを導入し、高周波(13.56MHz)でプラズマを発生させた。堆積時間の変化とともに投入する電力量を増加し組成に傾斜を設け、炭素濃度が最小となる電力になったところで、また最初の電力値に戻し層を形成した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。これは保護膜5を形成しない場合と同様であった。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で5%と10%であった。膜厚は上記の層一層当たり300nmであり、これを3回繰り返したので保護膜5の厚さは900nmとなった。
上記保護膜5の上にダイコーターによって熱硬化性樹脂を全面に塗布した封止ガラス基板6を100℃の温度をかけながら熱ロールラミネーターを用いて素子基板と貼り合わせた。貼り合わせた後に、さらに100℃で1時間硬化した。
作製した有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。これは保護膜5を形成しない素子と同等の特性であった。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で1.5%と3%であった。
実施例3の保護層7として封止ガラス基板6を用いず実施例3とまったく同様の組成傾斜炭素含有窒化シリコン膜を作製した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で7%と13%であった。
<比較例1>
実施例1において、保護膜5としてプラズマCVD法により、モノシラン、アンモニア、水素、窒素を用いて窒化シリコン膜を900nmの厚さで形成した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で70%と90%であった。これは膜中の応力により時間とともにクラックが発生しそこから水蒸気や酸素が進入したことによる。
実施例1において、保護膜5としてプラズマCVD法により、モノシラン、アンモニア、水素、窒素を用いて窒化シリコン膜を900nmの厚さで形成した。その結果、有機EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で70%と90%であった。これは膜中の応力により時間とともにクラックが発生しそこから水蒸気や酸素が進入したことによる。
<比較例2>
実施例1において、保護層7として保護膜5を用いずに封止ガラス基板6のみを貼り合わせた。その結果EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で15%と25%であった。特に、端部からの面積減少が激しく、貼り合わせに用いた接着剤単体での防湿性は十分ではないことが明らかとなった。
実施例1において、保護層7として保護膜5を用いずに封止ガラス基板6のみを貼り合わせた。その結果EL素子に6Vの電圧を印加したところ10000cd/m2の輝度が得られた。また、本素子を60℃90%RH下で500時間、1000時間放置した後の発光面積の減少は画素間のばらつきを含む値で15%と25%であった。特に、端部からの面積減少が激しく、貼り合わせに用いた接着剤単体での防湿性は十分ではないことが明らかとなった。
本発明によれば、厚膜化が可能であり、高いバリア性を持った保護膜を、高い生産性で形成可能な、有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法を提供することができ、得られた素子は、ディスプレイやその他所定のパターン等の発光表示などに有用である。
1……基板、2……陽極、3……有機発光層、4……陰極、5……保護膜、6……封止ガラス基板、7……保護層、8……有機エレクトロルミネッセンス素子、9……接着剤。
Claims (6)
- 少なくとも基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、有機発光層と、第二電極と、保護膜とをこの順で備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記保護膜は炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)で形成され、前記保護膜中の炭素量は連続的に変化していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記保護膜中に含まれる炭素量は第二電極側が多く、第二電極から離れるに従って少なく変化することを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記保護膜は、前記保護膜を構成する炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)に含まれる窒素及び炭素の量が
1.0≦x≦1.4
0.2≦y≦0.4
の範囲である層と
0.4≦x<1.0
0.4<y<1.0
の範囲である層とを備えていることを特徴とする請求項1または2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 - 前記保護膜の上にさらに封止基板を備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 少なくとも基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、有機発光層と、第二電極と、保護膜とをこの順で備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記基板上に少なくとも第一電極、有機発光層および第二電極を形成する工程と、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程とを備え、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程は、
有機シリコン化合物と、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素とを原料ガスとし、
プラズマCVD法によって化学式SiNxCyで表すことのできる炭素含有窒化シリコン薄膜を形成する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 少なくとも基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、有機発光層と、第二電極と、保護膜とをこの順で備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記基板上に少なくとも第一電極、有機発光層および第二電極を形成する工程と、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程とを備え、
前記第二電極上に保護膜を形成する工程は、
シランと、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素と、炭素含有ガスとを原料ガスとし、
当該炭素含有ガスの濃度を変化させながらプラズマCVD法によって化学式SiNxCyで表すことのできる炭素含有窒化シリコン薄膜を形成する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006093499A JP2007273094A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
US11/704,077 US7791275B2 (en) | 2006-03-30 | 2007-02-07 | Organic electroluminescence element and manufacturing method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006093499A JP2007273094A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007273094A true JP2007273094A (ja) | 2007-10-18 |
Family
ID=38557821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006093499A Pending JP2007273094A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7791275B2 (ja) |
JP (1) | JP2007273094A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016143660A1 (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-15 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100867924B1 (ko) * | 2007-03-07 | 2008-11-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 도너기판, 그의 제조방법 및 유기전계발광소자 |
KR20090076836A (ko) * | 2008-01-09 | 2009-07-13 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 전기 광학 장치 및 전자 기기 |
KR101347471B1 (ko) * | 2009-09-29 | 2014-01-02 | 샤프 가부시키가이샤 | 유기 el 디바이스 및 유기 el 디바이스의 제조 방법 |
JP5411765B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2014-02-12 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜の作製方法 |
KR101233349B1 (ko) * | 2010-07-07 | 2013-02-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
SG11201600921XA (en) | 2013-08-30 | 2016-03-30 | Iucf Hyu | Hybrid organic/inorganic thin films and method of manufacturing same |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3005909B2 (ja) | 1989-12-11 | 2000-02-07 | 日本電気株式会社 | 有機薄膜el素子 |
JP3036436B2 (ja) | 1996-06-19 | 2000-04-24 | セイコーエプソン株式会社 | アクティブマトリックス型有機el表示体の製造方法 |
JPH1077467A (ja) | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Sumitomo Chem Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP3541625B2 (ja) | 1997-07-02 | 2004-07-14 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置及びアクティブマトリクス基板 |
US6380672B1 (en) | 1997-08-21 | 2002-04-30 | Seiko Epson Corporation | Active matrix display device |
TW556357B (en) * | 1999-06-28 | 2003-10-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing an electro-optical device |
JP4877675B2 (ja) | 1999-06-28 | 2012-02-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 電気光学装置の作製方法 |
JP2001093668A (ja) | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Canon Inc | 有機発光材料、それを用いた表示体及びその製造方法 |
US6582504B1 (en) * | 1999-11-24 | 2003-06-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Coating liquid for forming organic EL element |
JP3836282B2 (ja) | 1999-11-24 | 2006-10-25 | シャープ株式会社 | 有機el用塗液及び有機el素子並びにその製造方法。 |
JP2001155858A (ja) | 1999-11-24 | 2001-06-08 | Sharp Corp | 有機el素子の製造方法 |
JP2001185360A (ja) | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Sharp Corp | 有機ledディスプレイとその製造法 |
JP2001291587A (ja) | 2000-02-01 | 2001-10-19 | Canon Inc | 有機発光デバイスの製造方法及び該方法で製造された有機発光デバイス |
JP4889883B2 (ja) | 2000-07-10 | 2012-03-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜方法および成膜装置 |
JP3879425B2 (ja) | 2001-04-03 | 2007-02-14 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
JP4724944B2 (ja) | 2001-04-10 | 2011-07-13 | 住友化学株式会社 | 高分子発光素子の製造方法および高分子発光素子 |
JP4340405B2 (ja) | 2001-08-09 | 2009-10-07 | 富士フイルム株式会社 | 有機el素子の製造方法及び有機el素子 |
JP4612973B2 (ja) | 2001-08-09 | 2011-01-12 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
JP2003243163A (ja) | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Sharp Corp | 有機ledディスプレイとその製造方法 |
JP4075425B2 (ja) | 2002-03-20 | 2008-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、有機el装置の製造装置、及び電子機器 |
JP4258160B2 (ja) | 2002-03-22 | 2009-04-30 | 株式会社豊田中央研究所 | 有機電界発光素子 |
JP2004055333A (ja) | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 発光素子用塗布液及び発光素子の製造方法 |
JP4170700B2 (ja) | 2002-07-31 | 2008-10-22 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセンス表示装置および製造方法 |
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JP2004355913A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006093499A patent/JP2007273094A/ja active Pending
-
2007
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KR102128589B1 (ko) * | 2013-11-28 | 2020-06-30 | 에스피피 테크놀로지스 컴퍼니 리미티드 | 질화 실리콘막, 이의 제조방법, 및 이의 제조장치 |
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WO2016143660A1 (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-15 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7791275B2 (en) | 2010-09-07 |
US20070228944A1 (en) | 2007-10-04 |
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