JP2007242184A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents
光ディスク原盤露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007242184A JP2007242184A JP2006065813A JP2006065813A JP2007242184A JP 2007242184 A JP2007242184 A JP 2007242184A JP 2006065813 A JP2006065813 A JP 2006065813A JP 2006065813 A JP2006065813 A JP 2006065813A JP 2007242184 A JP2007242184 A JP 2007242184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deviation
- groove interval
- optical disc
- rotation angle
- track groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】移動ステージ5に移動自在に支承された回転テーブル3に光ディスク原盤2を載置し、光ディスク原盤2に露光ビーム1を照射し、光ディスク原盤2に所定の情報をスパイラル状に記録する光ディスク原盤露光装置において、移動ステージ5の移動位置を検出して移動位置信号を出力するリニアエンコーダ15と、回転テーブル3の回転角度を検出し回転角度位置信号を出力するロータリエンコーダ15と、移動位置信号と回転角度位置信号とから隣接するトラック間の溝間隔の偏差量を算出するトラック溝間隔偏差算出装置21と、装置21からの偏差量に基づいて光ディスク原盤2に照射される露光ビーム1の照射位置を調整する偏向器12とを備える。
【選択図】図1
Description
2 光ディスク原盤
3 回転テーブル
4 スピンドルモータ
5 移動ステージ
6 スライドモータ
7 スピンドルモータ制御装置
8 スライドモータ制御装置
9 露光源
11 ミラー
12 偏向器
13 対物レンズ
14 ロータリエンコーダ
15 リニアエンコーダ
21 トラック溝間隔偏差算出装置
22 CPU
23 カウンター
24 D/A変換器
25,26 メモリー
31 トラック溝間隔偏差算出装置
32 CPU
33 A/D変換器
34 D/A変換器
35,36 メモリー
Claims (4)
- 移動ステージに移動自在に支承された回転テーブルに光ディスク原盤を載置し、該光ディスク原盤に露光ビームを照射し、前記光ディスク原盤に所定の情報をスパイラル状に記録する光ディスク原盤露光装置において、
前記移動ステージの移動位置を検出してその移動位置に応じた移動位置信号を出力する移動位置検出手段と、
前記回転テーブルの回転角度を検出し回転角度位置に応じた回転角度位置信号を出力する回転角度位置検出手段と、
前記移動位置信号と前記回転角度位置信号とからスパイラル状に記録されるトラックにおける隣接するトラック間の溝間隔の偏差量を算出する隣接トラック溝間隔偏差算出手段と、
該隣接トラック溝間隔偏差算出手段からの偏差量に基づいて前記光ディスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整する露光ビーム照射位置調整手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。 - 請求項1に記載の光ディスク原盤露光装置において、
前記隣接トラック溝間隔偏差算出手段は、
前記移動位置信号と前記回転角度位置信号を入力し前記回転角度位置信号の回転角度位置毎に移動ステージの移動位置を記憶する移動位置記憶手段と、
現トラックにおける移動ステージの移動位置と前トラックの移動ステージの移動位置と回転テーブルの回転角度位置から回転テーブルの回転角度位置毎に隣接トラック溝間隔を算出する隣接トラック溝間隔算出手段と、
該隣接トラック溝間隔算出手段が算出した隣接トラック溝間隔と所定値を比較してその偏差を算出して出力するトラック溝間隔偏差出力手段と、
から構成されたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。 - 請求項2に記載の光ディスク原盤露光装置において、
前記トラック溝間隔偏差出力手段における所定値は、現トラックにおける移動ステージの移動位置と前トラックの移動ステージの移動位置とを回転テーブルの同一回転角度位置毎に逐次比較しその差を蓄積し、その蓄積データの平均値から得られる平均溝間隔としたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。 - サーボ制御装置により直線方向に駆動される移動ステージに支承された回転テーブルに光ディスク原盤を載置し、該光ディスク原盤に露光ビームを照射し、前記光ディスク原盤に所定の情報をスパイラル状に記録する光ディスク原盤露光装置において、
前記サーボ制御装置から得られるサーボ偏差信号と回転テーブルから得られる回転角度位置信号を入力して回転角度位置毎に移動ステージのサーボ偏差値を記憶するサーボ偏差記憶手段と、
該サーボ偏差記憶手段に記憶されている現トラックにおける移動ステージのサーボ偏差値と前トラックの移動ステージのサーボ偏差値と回転テーブルの回転角度位置から隣接するトラック間の溝間隔の偏差量を算出する隣接トラック溝間隔偏差算出手段と、
該隣接トラック溝間隔偏差算出手段からの偏差量に基づいて前記光ディスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整する露光ビーム照射位置調整手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065813A JP4559984B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 光ディスク原盤露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065813A JP4559984B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 光ディスク原盤露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007242184A true JP2007242184A (ja) | 2007-09-20 |
JP4559984B2 JP4559984B2 (ja) | 2010-10-13 |
Family
ID=38587547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006065813A Expired - Fee Related JP4559984B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 光ディスク原盤露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4559984B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009175302A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Ricoh Co Ltd | 電子線描画装置、移動ステージ変動量算出方法及びパターン描画方法 |
JP5433011B2 (ja) * | 2009-09-28 | 2014-03-05 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 電子ビーム記録装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06208724A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置 |
JPH09190651A (ja) * | 1995-03-10 | 1997-07-22 | Toshiba Corp | 光ディスク原盤露光装置及び非同期振れ量補正装置 |
JPH09231620A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Sony Disc Technol:Kk | 光学式ディスクのトラックピッチ検査方法及びその装置 |
JP2000020964A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Pioneer Electron Corp | 光ディスク原盤記録装置 |
JP2001143376A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置、clv駆動制御方法、clvディスクフォーマット及び記録媒体 |
JP2002092977A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Pioneer Electronic Corp | 光ディスク原盤製造装置 |
JP2003036548A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Ricoh Co Ltd | Clv駆動指令パルス列生成方法及びその装置、送り方向のビーム照射位置誤差検出方法、ビーム照射位置誤差補正方法及びその装置、光ディスク原盤露光装置、光記録媒体 |
JP2003317285A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置および光ディスク原盤露光方法、並びに回転振れ検出方法 |
JP2004185710A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Ricoh Co Ltd | 原盤露光装置、そのトラックピッチ評価装置、トラックピッチ評価方法及び原盤製造方法 |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006065813A patent/JP4559984B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06208724A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置 |
JPH09190651A (ja) * | 1995-03-10 | 1997-07-22 | Toshiba Corp | 光ディスク原盤露光装置及び非同期振れ量補正装置 |
JPH09231620A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Sony Disc Technol:Kk | 光学式ディスクのトラックピッチ検査方法及びその装置 |
JP2000020964A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Pioneer Electron Corp | 光ディスク原盤記録装置 |
JP2001143376A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置、clv駆動制御方法、clvディスクフォーマット及び記録媒体 |
JP2002092977A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Pioneer Electronic Corp | 光ディスク原盤製造装置 |
JP2003036548A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Ricoh Co Ltd | Clv駆動指令パルス列生成方法及びその装置、送り方向のビーム照射位置誤差検出方法、ビーム照射位置誤差補正方法及びその装置、光ディスク原盤露光装置、光記録媒体 |
JP2003317285A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置および光ディスク原盤露光方法、並びに回転振れ検出方法 |
JP2004185710A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Ricoh Co Ltd | 原盤露光装置、そのトラックピッチ評価装置、トラックピッチ評価方法及び原盤製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009175302A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Ricoh Co Ltd | 電子線描画装置、移動ステージ変動量算出方法及びパターン描画方法 |
JP5433011B2 (ja) * | 2009-09-28 | 2014-03-05 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 電子ビーム記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4559984B2 (ja) | 2010-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2007111260A1 (ja) | ビーム記録装置及びビーム調整方法 | |
JP4559984B2 (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
EP1998327B1 (en) | Data recording/reproduction method and data recording/reproduction apparatus | |
JP2008034039A (ja) | 光ディスクドライブ装置及び光ディスクドライブ装置のサーボ制御方法 | |
US20070019519A1 (en) | Identification information recording apparatus and identification information recording method for an optical disk | |
JP2010072180A (ja) | 補正システム及び電子線描画装置 | |
US8077565B2 (en) | Optical disc device and lens tilt control method | |
JP4580592B2 (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
JP4102580B2 (ja) | 光ディスク原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法 | |
JP3693813B2 (ja) | 光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータ又はスライダのclv駆動精度評価方法及び装置並びに駆動制御方法並びに光ディスク原盤露光装置 | |
JP2006268961A (ja) | 光ディスク装置 | |
JP2003317285A (ja) | 光ディスク原盤露光装置および光ディスク原盤露光方法、並びに回転振れ検出方法 | |
JPWO2007111261A1 (ja) | 電子ビーム記録装置及びビーム調整方法 | |
JPH08235769A (ja) | モータの回転数制御方法及び制御装置 | |
JP2012141249A (ja) | 回転制御装置及び回転制御方法 | |
JP2008262625A (ja) | 光ディスク装置 | |
JP2010108563A (ja) | 光ピックアップ用レンズアクチュエータのコントローラおよびそれを備える光ディスク装置 | |
JPH0439151B2 (ja) | ||
JP2006078591A (ja) | 電子ビーム露光装置 | |
JP4202897B2 (ja) | ディスク再生装置 | |
JP2004355708A (ja) | 光ディスク装置及びこの装置を用いたチルト制御方法 | |
JP2007095302A (ja) | 光ディスク原盤露光装置および光ディスク原盤露光方法、並びに回転振れ量検出方法 | |
JP2001143376A (ja) | 光ディスク原盤露光装置、clv駆動制御方法、clvディスクフォーマット及び記録媒体 | |
JP2004118912A (ja) | 光ディスク装置及びその装置の制御方法 | |
JP2006024273A (ja) | 光ヘッド調整装置における回折格子の切替装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100413 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100607 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100720 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4559984 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |