JP2000020964A - 光ディスク原盤記録装置 - Google Patents
光ディスク原盤記録装置Info
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- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ディスク原盤を担持する回転シャフトに振
動が発生した場合やスピンドルモータに回転変動が発生
した場合においても、記録用ビームを光ディスク原盤上
の好ましい位置に照射することができる光ディスク原盤
記録装置を提供することにある。 【解決手段】 回転シャフトの回転方向の角度位置と光
ディスク原盤の記録面に平行な方向の回転シャフトの変
位とを検出し、角度位置と変位とに基づいて回転シャフ
トの基準位置からの現在角度位置における現在偏倚を算
出し、現在偏倚に基づいて照射スポット位置を調整す
る。
動が発生した場合やスピンドルモータに回転変動が発生
した場合においても、記録用ビームを光ディスク原盤上
の好ましい位置に照射することができる光ディスク原盤
記録装置を提供することにある。 【解決手段】 回転シャフトの回転方向の角度位置と光
ディスク原盤の記録面に平行な方向の回転シャフトの変
位とを検出し、角度位置と変位とに基づいて回転シャフ
トの基準位置からの現在角度位置における現在偏倚を算
出し、現在偏倚に基づいて照射スポット位置を調整す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤に
記録用ビームを照射する位置を調整する光ディスク原盤
記録装置に関する。
記録用ビームを照射する位置を調整する光ディスク原盤
記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク原盤に記録用ビームを照射し
て記録信号を記録する光ディスク原盤記録装置として、
特開平６−１３１７０６号公報に開示されている装置が
知られている。上述した如き装置は、スピンドルモータ
の回転シャフトに担持されている光ディスク原盤をスピ
ンドルモータにより回転させて、記録用ビーム、例えば
電子ビームを光ディスク原盤上に照射することにより記
録信号を光ディスク原盤の記録面に記録する装置であ
る。
て記録信号を記録する光ディスク原盤記録装置として、
特開平６−１３１７０６号公報に開示されている装置が
知られている。上述した如き装置は、スピンドルモータ
の回転シャフトに担持されている光ディスク原盤をスピ
ンドルモータにより回転させて、記録用ビーム、例えば
電子ビームを光ディスク原盤上に照射することにより記
録信号を光ディスク原盤の記録面に記録する装置であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし乍ら、上述した
如く、記録信号を記録する際においてはスピンドルモー
タを回転駆動させることにより光ディスク原盤を回転せ
しめて記録するが故に、スピンドルモータの回転動作に
より発生した振動が光ディスク原盤に伝播した場合、又
はスピンドルモータに回転変動が生じた場合には、光デ
ィスク原盤上の適切な位置にレーザー光を照射できなく
なるという問題が生じた。
如く、記録信号を記録する際においてはスピンドルモー
タを回転駆動させることにより光ディスク原盤を回転せ
しめて記録するが故に、スピンドルモータの回転動作に
より発生した振動が光ディスク原盤に伝播した場合、又
はスピンドルモータに回転変動が生じた場合には、光デ
ィスク原盤上の適切な位置にレーザー光を照射できなく
なるという問題が生じた。
【０００４】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、記録用ビームを光デ
ィスク原盤上の好ましい位置に照射することができる光
ディスク原盤記録装置を提供することにある。
であり、その目的とするところは、記録用ビームを光デ
ィスク原盤上の好ましい位置に照射することができる光
ディスク原盤記録装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による光ディスク
原盤記録装置は、光ディスク原盤を回転せしめる回転シ
ャフトを回転駆動する回転駆動手段と、前記回転シャフ
トの回転方向の角度位置を検出し角度位置信号を発する
角度位置検出手段と、情報記録信号に基づいて前記光デ
ィスク原盤に記録用ビームを照射する照射手段と、前記
記録用ビームの前記光ディスク原盤上での照射スポット
位置を制御する照射位置制御手段と、を含む光ディスク
原盤記録装置であって、前記照射位置制御手段は、前記
光ディスク原盤の記録面に平行な方向の前記回転シャフ
トの変位を検出し変位検出信号を発する変位検出手段
と、前記角度位置信号と前記変位検出信号とに基づいて
前記回転シャフトの基準位置からの現在角度位置におけ
る現在偏倚を算出する偏倚算出手段と、前記現在偏倚に
基づいて前記照射スポット位置を調整する照射位置調整
手段と、からなることを特徴とする。
原盤記録装置は、光ディスク原盤を回転せしめる回転シ
ャフトを回転駆動する回転駆動手段と、前記回転シャフ
トの回転方向の角度位置を検出し角度位置信号を発する
角度位置検出手段と、情報記録信号に基づいて前記光デ
ィスク原盤に記録用ビームを照射する照射手段と、前記
記録用ビームの前記光ディスク原盤上での照射スポット
位置を制御する照射位置制御手段と、を含む光ディスク
原盤記録装置であって、前記照射位置制御手段は、前記
光ディスク原盤の記録面に平行な方向の前記回転シャフ
トの変位を検出し変位検出信号を発する変位検出手段
と、前記角度位置信号と前記変位検出信号とに基づいて
前記回転シャフトの基準位置からの現在角度位置におけ
る現在偏倚を算出する偏倚算出手段と、前記現在偏倚に
基づいて前記照射スポット位置を調整する照射位置調整
手段と、からなることを特徴とする。
【０００６】すなわち、本発明の特徴によれば、現在偏
倚に基づいて照射スポット位置を調整するので、回転シ
ャフトに振動が発生した場合においても光ディスク原盤
上の好ましい位置に記録用ビームを照射することができ
る。また、本発明の他の特徴によれば、現在偏倚位相差
に基づいて照射スポット位置を調整するので、スピンド
ルモータに回転変動が発生した場合においても光ディス
ク原盤上の好ましい位置に記録用ビームを照射すること
ができる。
倚に基づいて照射スポット位置を調整するので、回転シ
ャフトに振動が発生した場合においても光ディスク原盤
上の好ましい位置に記録用ビームを照射することができ
る。また、本発明の他の特徴によれば、現在偏倚位相差
に基づいて照射スポット位置を調整するので、スピンド
ルモータに回転変動が発生した場合においても光ディス
ク原盤上の好ましい位置に記録用ビームを照射すること
ができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例について
図面に基づいて説明する。図１は、本発明による光ディ
スク原盤記録装置の第１実施例を示す。光ディスク原盤
１は、スピンドルモータ１１により回転駆動せしめられ
る回転シャフト１２のターンテーブル（図示せず）に担
持されている。基準信号発生器１３からは基準パルス信
号がモータ制御回路１４に供給され、モータ制御回路１
４は、供給された基準パルス信号に応じた回転数でスピ
ンドルモータ１１を回転駆動すべくスピンドルモータ１
１へ駆動制御信号を供給する。
図面に基づいて説明する。図１は、本発明による光ディ
スク原盤記録装置の第１実施例を示す。光ディスク原盤
１は、スピンドルモータ１１により回転駆動せしめられ
る回転シャフト１２のターンテーブル（図示せず）に担
持されている。基準信号発生器１３からは基準パルス信
号がモータ制御回路１４に供給され、モータ制御回路１
４は、供給された基準パルス信号に応じた回転数でスピ
ンドルモータ１１を回転駆動すべくスピンドルモータ１
１へ駆動制御信号を供給する。
【０００８】真空容器２の底部には、ステージベース部
２１とステージ可動部２２とからなるステージが設けら
れており、スピンドルモータ１１は、ステージベース部
２１上部に設けられたステージ可動部２２上に設けられ
ており、ネジ機構２３を介してステージ可動部２２と連
結されている送りモータ２４の回転駆動によりステージ
可動部２２が水平方向に移動せしめられて、スピンドル
モータ１１は水平方向に移動する。ステージ可動部２２
の端部には反射ミラー３１が固定されており、反射ミラ
ー３１はレーザー測長器３２から発せられる測長用レー
ザー光３３を反射しレーザー測長器３２の検出部（図示
せず）に入射せしめる。レーザー測長器３２は、反射ミ
ラー３１とレーザー測長器３２の検出部との間の距離に
応じた検出信号を送りモータ制御回路２５に供給する。
この検出信号は、後述する記録用ビームの光ディスク原
盤上での照射スポットの位置情報としてなすものであ
る。送りモータ制御回路２５は、供給された検出信号に
基づいてステージ可動部２２を移動すべく送りモータ２
４に制御信号を供給する。また、記録する光ディスク原
盤の記録フォーマットがＣＬＶモード（Constant Linea
r Velocity：線速一定モード）である場合には、光ディ
スク原盤上での照射スポットの半径位置に応じてスピン
ドルモータ１１の回転数を変更すべくレーザー測長器３
２から発せられる検出信号は基準信号発生器１３に対し
ても供給される。
２１とステージ可動部２２とからなるステージが設けら
れており、スピンドルモータ１１は、ステージベース部
２１上部に設けられたステージ可動部２２上に設けられ
ており、ネジ機構２３を介してステージ可動部２２と連
結されている送りモータ２４の回転駆動によりステージ
可動部２２が水平方向に移動せしめられて、スピンドル
モータ１１は水平方向に移動する。ステージ可動部２２
の端部には反射ミラー３１が固定されており、反射ミラ
ー３１はレーザー測長器３２から発せられる測長用レー
ザー光３３を反射しレーザー測長器３２の検出部（図示
せず）に入射せしめる。レーザー測長器３２は、反射ミ
ラー３１とレーザー測長器３２の検出部との間の距離に
応じた検出信号を送りモータ制御回路２５に供給する。
この検出信号は、後述する記録用ビームの光ディスク原
盤上での照射スポットの位置情報としてなすものであ
る。送りモータ制御回路２５は、供給された検出信号に
基づいてステージ可動部２２を移動すべく送りモータ２
４に制御信号を供給する。また、記録する光ディスク原
盤の記録フォーマットがＣＬＶモード（Constant Linea
r Velocity：線速一定モード）である場合には、光ディ
スク原盤上での照射スポットの半径位置に応じてスピン
ドルモータ１１の回転数を変更すべくレーザー測長器３
２から発せられる検出信号は基準信号発生器１３に対し
ても供給される。
【０００９】光ディスク原盤１の側端部近傍には、変位
センサ４１が設けられており、変位センサ４１の検出信
号は、増幅回路４２に供給される。増幅回路４２は、変
位センサ４１と光ディスク原盤１の側端部との対向し合
う面で形成される平板型コンデンサの静電容量を検出す
ることにより変位センサ４１と光ディスク原盤１の側端
部との距離に応じた信号（以下、変位検出信号と称す
る）を発する。
センサ４１が設けられており、変位センサ４１の検出信
号は、増幅回路４２に供給される。増幅回路４２は、変
位センサ４１と光ディスク原盤１の側端部との対向し合
う面で形成される平板型コンデンサの静電容量を検出す
ることにより変位センサ４１と光ディスク原盤１の側端
部との距離に応じた信号（以下、変位検出信号と称す
る）を発する。
【００１０】また、スピンドルモータ１１が回転する際
には、所定の回転角度毎にパルス信号（以下、角度パル
ス信号と称する）を発するロータリーエンコーダー（図
示せず）が設けられており、角度パルス信号は、上述し
た変位検出信号と共に照射位置調整回路５０に供給され
る。照射位置調整回路５０は、後述する偏向電極６１に
より生成される電場を制御する制御信号を偏向電極６１
に供給する。更に、記録信号発生器７１は、光ディスク
原盤１に記録すべき記録信号を発してブランキング電極
６２を制御し、ブランキング電極６２は、記録すべき記
録信号に応じた電場を生成する。
には、所定の回転角度毎にパルス信号（以下、角度パル
ス信号と称する）を発するロータリーエンコーダー（図
示せず）が設けられており、角度パルス信号は、上述し
た変位検出信号と共に照射位置調整回路５０に供給され
る。照射位置調整回路５０は、後述する偏向電極６１に
より生成される電場を制御する制御信号を偏向電極６１
に供給する。更に、記録信号発生器７１は、光ディスク
原盤１に記録すべき記録信号を発してブランキング電極
６２を制御し、ブランキング電極６２は、記録すべき記
録信号に応じた電場を生成する。
【００１１】電子ビーム鏡筒６０においては、電子ビー
ム源６３から発せられる電子ビームは、ブランキング電
極６２により生成される電場によって記録信号に応じた
ビームに変換され、偏向電極６１により生成される電場
によって照射位置が制御された後、対物レンズ６４によ
り集光せしめられて、光ディスク原盤１上に照射される
のである。
ム源６３から発せられる電子ビームは、ブランキング電
極６２により生成される電場によって記録信号に応じた
ビームに変換され、偏向電極６１により生成される電場
によって照射位置が制御された後、対物レンズ６４によ
り集光せしめられて、光ディスク原盤１上に照射される
のである。
【００１２】尚、上述した光ディスク原盤１、スピンド
ルモータ１１、回転シャフト１２、ステージベース部２
１、ステージ可動部２２及び変位センサ４１は、真空容
器２の内部に設けられており、電子ビーム鏡筒６０は、
電子ビームの出射口が真空容器２の内部に位置するよう
に真空容器２の上部に固定されている。図２は、図１に
示す光ディスク原盤記録装置の照射位置を調整する照射
位置調整回路を示す。
ルモータ１１、回転シャフト１２、ステージベース部２
１、ステージ可動部２２及び変位センサ４１は、真空容
器２の内部に設けられており、電子ビーム鏡筒６０は、
電子ビームの出射口が真空容器２の内部に位置するよう
に真空容器２の上部に固定されている。図２は、図１に
示す光ディスク原盤記録装置の照射位置を調整する照射
位置調整回路を示す。
【００１３】上述した変位センサ４１の増幅回路４２か
ら発せられる変位検出信号は、Ａ／Ｄ変換器５１に供給
され、Ａ／Ｄ変換器５１は、供給された信号をディジタ
ル信号へ変換し、入出力バス５３に供給する。また、ロ
ータリーエンコーダー１５から発せられる角度パルス信
号は、ＣＰＵ５４の割り込み入力端子に供給されると共
にカウンタ５２にも供給される。更にロータリーエンコ
ーダー１５からは角度位置の原点を示す原点パルス信号
も発せられカウンタ５２のリセット端子に供給される。
カウンタ５２は角度パルス信号のパルスの数を積算し、
光ディスク原盤１の回転角度に応じたディジタル値が出
力されるようになされており、カウンタ５２から発せら
れる出力信号は、入出力バス５３へ供給される。また、
原点パルス信号がカウンタ５２のリセット端子に供給さ
れると、積算値が初期値、例えば０に設定される。
ら発せられる変位検出信号は、Ａ／Ｄ変換器５１に供給
され、Ａ／Ｄ変換器５１は、供給された信号をディジタ
ル信号へ変換し、入出力バス５３に供給する。また、ロ
ータリーエンコーダー１５から発せられる角度パルス信
号は、ＣＰＵ５４の割り込み入力端子に供給されると共
にカウンタ５２にも供給される。更にロータリーエンコ
ーダー１５からは角度位置の原点を示す原点パルス信号
も発せられカウンタ５２のリセット端子に供給される。
カウンタ５２は角度パルス信号のパルスの数を積算し、
光ディスク原盤１の回転角度に応じたディジタル値が出
力されるようになされており、カウンタ５２から発せら
れる出力信号は、入出力バス５３へ供給される。また、
原点パルス信号がカウンタ５２のリセット端子に供給さ
れると、積算値が初期値、例えば０に設定される。
【００１４】入出力バス５３は、ＣＰＵ５４にデータ信
号又はアドレス信号が入出力されるようになされてい
る。また、入出力バス５３には、ＲＯＭ５５、ＲＡＭ５
６及びＤ／Ａ変換器５７が接続されている。ＲＯＭ５５
は、図３及び図４において説明するフローチャートに従
って光ディスク原盤上における照射スポットの位置を調
整するプログラムを記憶している。また、Ｄ／Ａ変換器
５７は、ＣＰＵ５４から発せられる照射スポットの位置
を調整するための制御信号をアナログ信号に変換し、ビ
ーム照射位置変更手段７０、例えば上述した図１に示し
た装置においては偏向電極６１や後述する図８に示す装
置においては偏向器８３に供給する。
号又はアドレス信号が入出力されるようになされてい
る。また、入出力バス５３には、ＲＯＭ５５、ＲＡＭ５
６及びＤ／Ａ変換器５７が接続されている。ＲＯＭ５５
は、図３及び図４において説明するフローチャートに従
って光ディスク原盤上における照射スポットの位置を調
整するプログラムを記憶している。また、Ｄ／Ａ変換器
５７は、ＣＰＵ５４から発せられる照射スポットの位置
を調整するための制御信号をアナログ信号に変換し、ビ
ーム照射位置変更手段７０、例えば上述した図１に示し
た装置においては偏向電極６１や後述する図８に示す装
置においては偏向器８３に供給する。
【００１５】図３は、回転シャフト１２の基準位置を算
出するサブルーチンを示すフローチャートである。最初
に、所定周期Ｎだけ、カウンタ５２から取込んだ回転角
度位置θに対応してＡ／Ｄ変換器５１から光ディスク原
盤の側端部と変位センサ４１との距離、即ち回転シャフ
トの変位ｘi(θ)を取込む（ステップＳ１１）。回転角
度位置θと変位ｘi(θ)との関係は、図５に示す如く、
低周波成分と高周波成分との重ねあわせで表される。上
述した低周波成分は、例えば回転シャフトの偏芯により
生ずるものであり、高周波成分は、例えばスピンドルモ
ータの回転時に発生する回転振れにより生ずるものであ
り各周期毎に不規則な値となる。以下においては、この
高周波成分をＮＲＲＯ（Non-Repetitive Run Out）成分
と称する。
出するサブルーチンを示すフローチャートである。最初
に、所定周期Ｎだけ、カウンタ５２から取込んだ回転角
度位置θに対応してＡ／Ｄ変換器５１から光ディスク原
盤の側端部と変位センサ４１との距離、即ち回転シャフ
トの変位ｘi(θ)を取込む（ステップＳ１１）。回転角
度位置θと変位ｘi(θ)との関係は、図５に示す如く、
低周波成分と高周波成分との重ねあわせで表される。上
述した低周波成分は、例えば回転シャフトの偏芯により
生ずるものであり、高周波成分は、例えばスピンドルモ
ータの回転時に発生する回転振れにより生ずるものであ
り各周期毎に不規則な値となる。以下においては、この
高周波成分をＮＲＲＯ（Non-Repetitive Run Out）成分
と称する。
【００１６】次に、１周期分の平均値を、例えば
【００１７】
【数１】 に従って、算出する（ステップＳ１２）。ここで、ｉは
ｉ番目の周期で、Ｎは取込んだ全周期の数で、ｘi(θ)
はｉ周期目における回転角度位置θでの変位を示す。こ
の平均算出処理は、図６（ａ）に示す如く、ステップＳ
１１において所定周期Ｎだけ取込んだ変位ｘi(θ)を、
所定の回転角度位置、例えばθ＝０度を基準にして１周
期分について並べ替えた後、図６（ｂ）に示す如く、回
転角度位置θにおける周期１〜Ｎの変位ｘi(θ)の和を
所定周期Ｎで除算するものであり、ｘ0(θ)は上述した
低周波成分を抽出したものである。次いで、算出したｘ
0(θ)を回転シャフトの基準位置としてＲＡＭ５６に記
憶し（ステップＳ１３）、本サブルーチンを終了する。
ｉ番目の周期で、Ｎは取込んだ全周期の数で、ｘi(θ)
はｉ周期目における回転角度位置θでの変位を示す。こ
の平均算出処理は、図６（ａ）に示す如く、ステップＳ
１１において所定周期Ｎだけ取込んだ変位ｘi(θ)を、
所定の回転角度位置、例えばθ＝０度を基準にして１周
期分について並べ替えた後、図６（ｂ）に示す如く、回
転角度位置θにおける周期１〜Ｎの変位ｘi(θ)の和を
所定周期Ｎで除算するものであり、ｘ0(θ)は上述した
低周波成分を抽出したものである。次いで、算出したｘ
0(θ)を回転シャフトの基準位置としてＲＡＭ５６に記
憶し（ステップＳ１３）、本サブルーチンを終了する。
【００１８】図４は、回転シャフトの現在偏倚を算出し
照射スポット位置を制御するサブルーチンを示す。最初
に、ロータリーエンコーダー１５から現在の回転角度位
置θを取込む（ステップＳ２１）。次いで、Ａ／Ｄ変換
器５１から回転シャフトの現在変位ｘ(θ)を取込む（ス
テップＳ２２）。ステップＳ２１で取込んだ現在回転角
度位置θに対応する基準位置ｘ0(θ)を、ＲＡＭ５６か
ら読み出す（ステップＳ２３）。この基準位置ｘ0(θ)
は、上述した図３に示したフローチャートに従って算出
され記憶されているものである。次に、現在偏倚Δｘ
(θ)を現在変位ｘ(θ)から基準位置ｘ0(θ)を減算して
求める（ステップＳ２４）。算出した現在偏倚Δｘ(θ)
は、図７に示す如く、上述したＮＲＲＯ成分を抽出した
ものである。次に、現在偏倚Δｘ(θ)に応じた制御信号
をＤ／Ａ変換器５７から偏向電極６１に発して（ステッ
プＳ２５）、本サブルーチンを終了する。
照射スポット位置を制御するサブルーチンを示す。最初
に、ロータリーエンコーダー１５から現在の回転角度位
置θを取込む（ステップＳ２１）。次いで、Ａ／Ｄ変換
器５１から回転シャフトの現在変位ｘ(θ)を取込む（ス
テップＳ２２）。ステップＳ２１で取込んだ現在回転角
度位置θに対応する基準位置ｘ0(θ)を、ＲＡＭ５６か
ら読み出す（ステップＳ２３）。この基準位置ｘ0(θ)
は、上述した図３に示したフローチャートに従って算出
され記憶されているものである。次に、現在偏倚Δｘ
(θ)を現在変位ｘ(θ)から基準位置ｘ0(θ)を減算して
求める（ステップＳ２４）。算出した現在偏倚Δｘ(θ)
は、図７に示す如く、上述したＮＲＲＯ成分を抽出した
ものである。次に、現在偏倚Δｘ(θ)に応じた制御信号
をＤ／Ａ変換器５７から偏向電極６１に発して（ステッ
プＳ２５）、本サブルーチンを終了する。
【００１９】図８は、本発明による光ディスク原盤記録
装置の第２実施例を示す。この光ディスク原盤記録装置
は、レーザー光により光ディスク原盤に記録信号を記録
するものである。尚、図１に示した光ディスク原盤記録
装置の構成要素と対応する構成要素には同一の符号を付
した。レーザー光源８１から発せられる光ビームは変調
器８２の変調素子（図示せず）に入射される。変調器８
２には、光ディスク原盤に記録する記録信号が記録信号
発生器から供給され、記録信号は、変調器８２の変調素
子の屈折率を変更せしめることにより入射された光ビー
ムを変調光ビームへ変換する。変調光ビームは偏向器８
３の偏向素子（図示せず）に入射される。偏向器８３に
は、照射位置調整回路５０から発せられる制御信号が供
給され、偏向器８３の偏向素子の屈折率を変えて、変調
光ビームの出射方向を制御する。偏向器８３から出射さ
れた変調光ビームはミラー８４により光路を変更された
後、対物レンズにより集光せしめられて光ディスク原盤
上の記録面に照射される。
装置の第２実施例を示す。この光ディスク原盤記録装置
は、レーザー光により光ディスク原盤に記録信号を記録
するものである。尚、図１に示した光ディスク原盤記録
装置の構成要素と対応する構成要素には同一の符号を付
した。レーザー光源８１から発せられる光ビームは変調
器８２の変調素子（図示せず）に入射される。変調器８
２には、光ディスク原盤に記録する記録信号が記録信号
発生器から供給され、記録信号は、変調器８２の変調素
子の屈折率を変更せしめることにより入射された光ビー
ムを変調光ビームへ変換する。変調光ビームは偏向器８
３の偏向素子（図示せず）に入射される。偏向器８３に
は、照射位置調整回路５０から発せられる制御信号が供
給され、偏向器８３の偏向素子の屈折率を変えて、変調
光ビームの出射方向を制御する。偏向器８３から出射さ
れた変調光ビームはミラー８４により光路を変更された
後、対物レンズにより集光せしめられて光ディスク原盤
上の記録面に照射される。
【００２０】図９は、本発明による光ディスク原盤記録
装置の第３実施例を示す。尚、図１及び図８に示した光
ディスク原盤記録装置の構成要素と対応する構成要素に
は同一の符号を付した。スピンドルモータ１１の回転数
を制御するための基準パルス信号は、基準信号発生器１
３からモータ制御回路１４へ供給されると共に、位相比
較器４６へも供給される。この基準パルス信号は、図１
３（ａ）に示す如く所定時間間隔毎に所定幅のパルスが
発せられる信号である。また、位相比較器４６には、ロ
ータリーエンコーダー（図示せず）から発せられる角度
パルス信号も供給される。この角度パルス信号は、図１
３（ｂ）に示す如きパルス信号であり、スピンドルモー
タ１１の回転変動により基準パルス信号に対して位相の
ずれが生じる。位相比較器４６は、基準パルス信号の位
相と角度パルス信号の位相との比較、即ち図１３（ｃ）
に示す如く、基準パルス信号の立ち上がり部と角度パル
ス信号の立ち上がり部のタイミングを比較し、角度パル
ス信号の立ち上がり部のタイミングが基準パルス信号の
立ち上がり部のタイミングより遅い場合には、位相差分
だけの幅を有する負のパルスを発し、角度パルス信号の
立ち上がり部のタイミングが基準パルス信号の立ち上が
り部のタイミングより早い場合には、位相差分だけの幅
を有する正のパルスを発するのである。位相比較器４６
から発せられる位相差信号とロータリーエンコーダーか
ら発せられる角度パルス信号とが、照射位置調整回路９
０に供給され、照射位置調整回路９０は、位相差信号と
角度パルス信号とに基づいて偏向電極６１を制御する制
御信号を発するのである。
装置の第３実施例を示す。尚、図１及び図８に示した光
ディスク原盤記録装置の構成要素と対応する構成要素に
は同一の符号を付した。スピンドルモータ１１の回転数
を制御するための基準パルス信号は、基準信号発生器１
３からモータ制御回路１４へ供給されると共に、位相比
較器４６へも供給される。この基準パルス信号は、図１
３（ａ）に示す如く所定時間間隔毎に所定幅のパルスが
発せられる信号である。また、位相比較器４６には、ロ
ータリーエンコーダー（図示せず）から発せられる角度
パルス信号も供給される。この角度パルス信号は、図１
３（ｂ）に示す如きパルス信号であり、スピンドルモー
タ１１の回転変動により基準パルス信号に対して位相の
ずれが生じる。位相比較器４６は、基準パルス信号の位
相と角度パルス信号の位相との比較、即ち図１３（ｃ）
に示す如く、基準パルス信号の立ち上がり部と角度パル
ス信号の立ち上がり部のタイミングを比較し、角度パル
ス信号の立ち上がり部のタイミングが基準パルス信号の
立ち上がり部のタイミングより遅い場合には、位相差分
だけの幅を有する負のパルスを発し、角度パルス信号の
立ち上がり部のタイミングが基準パルス信号の立ち上が
り部のタイミングより早い場合には、位相差分だけの幅
を有する正のパルスを発するのである。位相比較器４６
から発せられる位相差信号とロータリーエンコーダーか
ら発せられる角度パルス信号とが、照射位置調整回路９
０に供給され、照射位置調整回路９０は、位相差信号と
角度パルス信号とに基づいて偏向電極６１を制御する制
御信号を発するのである。
【００２１】図１０は、図９に示す光ディスク原盤記録
装置の記録用ビームの照射スポット位置を調整する照射
位置調整回路を示す。尚、図２に示した照射位置調整回
路の構成要素と対応する構成要素には同一の符号を付し
た。ロータリーエンコーダー１５から発せられる角度パ
ルス信号と回転角度位置の原点を示す原点パルス信号と
は、カウンタ５２に供給される。カウンタ５２は角度パ
ルス信号のパルスの数を積算し、光ディスク原盤１の回
転角度に応じたパルスの数の積算値が出力されるように
なされており、カウンタ５２から発せられる出力信号
は、入出力バス５３へ供給される。また、原点パルス信
号がカウンタ５２のリセット端子に供給されると、積算
値が初期値、例えば０に設定される。尚、上述したパル
スの数の積算値は、光ディスク原盤の回転角度位置を示
すものである。
装置の記録用ビームの照射スポット位置を調整する照射
位置調整回路を示す。尚、図２に示した照射位置調整回
路の構成要素と対応する構成要素には同一の符号を付し
た。ロータリーエンコーダー１５から発せられる角度パ
ルス信号と回転角度位置の原点を示す原点パルス信号と
は、カウンタ５２に供給される。カウンタ５２は角度パ
ルス信号のパルスの数を積算し、光ディスク原盤１の回
転角度に応じたパルスの数の積算値が出力されるように
なされており、カウンタ５２から発せられる出力信号
は、入出力バス５３へ供給される。また、原点パルス信
号がカウンタ５２のリセット端子に供給されると、積算
値が初期値、例えば０に設定される。尚、上述したパル
スの数の積算値は、光ディスク原盤の回転角度位置を示
すものである。
【００２２】位相比較器４６から発せられる位相差信号
は、入出力バス５３に供給され、ＣＰＵ５４は、図１１
及び図１２において説明するフローチャートに従って光
ディスク原盤上における照射スポットの位置を調整する
制御信号をビーム照射位置変更手段７０、例えば上述し
た図９に示した装置においては偏向電極６１や後述する
図１４に示す装置においては偏向器８３に供給する。
は、入出力バス５３に供給され、ＣＰＵ５４は、図１１
及び図１２において説明するフローチャートに従って光
ディスク原盤上における照射スポットの位置を調整する
制御信号をビーム照射位置変更手段７０、例えば上述し
た図９に示した装置においては偏向電極６１や後述する
図１４に示す装置においては偏向器８３に供給する。
【００２３】図１１は、位相比較器４６から発せられる
位相差信号から基準位相差を算出するサブルーチンを示
す。最初に、所定周期Ｎだけ、位相比較器４６から発せ
られる位相差信号から位相差θi(ｋ)を取込む（ステッ
プＳ３１）。ここで、図１３に示す如く、ｉはｉ番目の
周期を示し、ｋは１周期中のｋ番目のパルスを示す。
尚、パルスの番号を示すｋは、角度パルス信号から得ら
れる回転角度位置θとしてもよい。次に、１周期分の平
均値を、例えば
位相差信号から基準位相差を算出するサブルーチンを示
す。最初に、所定周期Ｎだけ、位相比較器４６から発せ
られる位相差信号から位相差θi(ｋ)を取込む（ステッ
プＳ３１）。ここで、図１３に示す如く、ｉはｉ番目の
周期を示し、ｋは１周期中のｋ番目のパルスを示す。
尚、パルスの番号を示すｋは、角度パルス信号から得ら
れる回転角度位置θとしてもよい。次に、１周期分の平
均値を、例えば
【００２４】
【数２】 に従って、算出する（ステップＳ３２）。この平均算出
処理は、周期１〜周期Ｎの各周期におけるｋ番目のパル
スの位相差θi（ｋ）の和を所定周期Ｎで除算するもの
である。次いで、算出したθ0(ｋ)を基準位相差として
ＲＡＭ５６に記憶し（ステップＳ３３）、本サブルーチ
ンを終了する。
処理は、周期１〜周期Ｎの各周期におけるｋ番目のパル
スの位相差θi（ｋ）の和を所定周期Ｎで除算するもの
である。次いで、算出したθ0(ｋ)を基準位相差として
ＲＡＭ５６に記憶し（ステップＳ３３）、本サブルーチ
ンを終了する。
【００２５】図１２は、現在偏倚位相差を算出し照射ス
ポット位置を制御するサブルーチンを示す。最初に、ロ
ータリーエンコーダー１５から現在の回転角度位置にお
けるパルスの積算値、即ちパルス番号ｋを取込む（ステ
ップＳ４１）。次いで、位相比較器４６から現在位相差
θ(ｋ)を取込む（ステップＳ４２）。ステップＳ４１で
取込んだｋ番目のパルスに対応する基準位相差θ0(ｋ)
を、ＲＡＭ５６から読み出す（ステップＳ４３）。この
基準位相差θ0(ｋ)は、上述した図１１に示したフロー
チャートに従って算出され記憶されているものである。
次に、現在偏倚位相差Δθ(ｋ)を現在位相差θ(ｋ)から
基準位相差θ0(ｋ)を減算して求める（ステップＳ４
４）。算出した現在偏倚位相差Δθ(ｋ)は、スピンドル
モータの回転変動により生じた位相差のＮＲＲＯ成分を
抽出したものである。次に、現在偏倚位相差Δθ(ｋ)に
応じた制御信号をＤ／Ａ変換器５７から偏向電極６１に
発して（ステップＳ４５）、本サブルーチンを終了す
る。
ポット位置を制御するサブルーチンを示す。最初に、ロ
ータリーエンコーダー１５から現在の回転角度位置にお
けるパルスの積算値、即ちパルス番号ｋを取込む（ステ
ップＳ４１）。次いで、位相比較器４６から現在位相差
θ(ｋ)を取込む（ステップＳ４２）。ステップＳ４１で
取込んだｋ番目のパルスに対応する基準位相差θ0(ｋ)
を、ＲＡＭ５６から読み出す（ステップＳ４３）。この
基準位相差θ0(ｋ)は、上述した図１１に示したフロー
チャートに従って算出され記憶されているものである。
次に、現在偏倚位相差Δθ(ｋ)を現在位相差θ(ｋ)から
基準位相差θ0(ｋ)を減算して求める（ステップＳ４
４）。算出した現在偏倚位相差Δθ(ｋ)は、スピンドル
モータの回転変動により生じた位相差のＮＲＲＯ成分を
抽出したものである。次に、現在偏倚位相差Δθ(ｋ)に
応じた制御信号をＤ／Ａ変換器５７から偏向電極６１に
発して（ステップＳ４５）、本サブルーチンを終了す
る。
【００２６】図１４は、本発明による光ディスク原盤記
録装置の第４実施例を示す。尚、図１、図８及び図９に
示した光ディスク原盤記録装置の構成要素と対応する構
成要素には同一の符号を付した。照射位置調整回路９０
から発せられる制御信号は偏向器８３に供給され、偏向
器８３は変調器８２において記録信号発生器７１から発
せられた記録信号に応じて変調された変調光ビームの方
向を制御し、変調光ビームはミラー８４及び対物レンズ
８５を経た後光ディスク原盤に照射される。
録装置の第４実施例を示す。尚、図１、図８及び図９に
示した光ディスク原盤記録装置の構成要素と対応する構
成要素には同一の符号を付した。照射位置調整回路９０
から発せられる制御信号は偏向器８３に供給され、偏向
器８３は変調器８２において記録信号発生器７１から発
せられた記録信号に応じて変調された変調光ビームの方
向を制御し、変調光ビームはミラー８４及び対物レンズ
８５を経た後光ディスク原盤に照射される。
【００２７】図１５は、光ディスク原盤に照射される記
録用ビームの軌跡を示す。紙面右方が光ディスク原盤の
外周方向を示し、紙面左方が光ディスク原盤の内周方向
を示す。上述したステージ可動部２２を水平に移動させ
ることにより光ディスク原盤上の照射スポット位置を移
動、例えば図１５に示す如く、内周側から外周側に移動
せしめることができるのである。
録用ビームの軌跡を示す。紙面右方が光ディスク原盤の
外周方向を示し、紙面左方が光ディスク原盤の内周方向
を示す。上述したステージ可動部２２を水平に移動させ
ることにより光ディスク原盤上の照射スポット位置を移
動、例えば図１５に示す如く、内周側から外周側に移動
せしめることができるのである。
【００２８】上述した第１実施例及び第２実施例に示し
た光ディスク原盤記録装置により、回転シャフト１２の
軸振れのＮＲＲＯ成分に応じて照射スポット位置を半径
方向に調整することができ、第３実施例及び第４実施例
に示した光ディスク原盤記録装置により、スピンドルモ
ータ１１の回転変動のＮＲＲＯ成分に応じて照射スポッ
ト位置を角度方向に調整することができるのである。
た光ディスク原盤記録装置により、回転シャフト１２の
軸振れのＮＲＲＯ成分に応じて照射スポット位置を半径
方向に調整することができ、第３実施例及び第４実施例
に示した光ディスク原盤記録装置により、スピンドルモ
ータ１１の回転変動のＮＲＲＯ成分に応じて照射スポッ
ト位置を角度方向に調整することができるのである。
【００２９】尚、上述した実施例においては、記録する
光ディスク原盤の記録フォーマットがＣＡＶ（Constant
Angular Velocity）モードである場合には、スピンド
ルモータ１１の回転数は一定であるので、図３に示した
サブルーチンを図４に示したサブルーチンの処理を始め
る前にその回転数における基準位置ｘ0(θ)を算出し、
図４に示したサブルーチンの処理を実行する際には、算
出した基準位置ｘ0(θ)を読み出して現在偏倚ｘ(θ)を
算出することができる。一方、記録フォーマットがＣＬ
Ｖモードである場合には、スピンドルモータ１１の回転
数は照射スポット位置に応じて変化するので、図４に示
したサブルーチンの処理を始める前に、記録信号を記録
する際に必要な回転数の全ての範囲について基準位置ｘ
0(θ)を図３に示したサブルーチンに従って予め算出し
ておき、記録する際における回転数に対応する基準位置
ｘ0(θ)を読み出しながら現在偏倚ｘ(θ)を算出するこ
ととしても、また、所定のタイミング毎、例えば１トラ
ック毎に基準位置ｘ0(θ)を算出して現在偏倚ｘ(θ)を
算出することとしても良い。また、図１１及び図１２に
示したサブルーチンを実行する際にも、上述した図３及
び図４のサブルーチンを実行するタイミングで処理する
ことができるのは明らかである。
光ディスク原盤の記録フォーマットがＣＡＶ（Constant
Angular Velocity）モードである場合には、スピンド
ルモータ１１の回転数は一定であるので、図３に示した
サブルーチンを図４に示したサブルーチンの処理を始め
る前にその回転数における基準位置ｘ0(θ)を算出し、
図４に示したサブルーチンの処理を実行する際には、算
出した基準位置ｘ0(θ)を読み出して現在偏倚ｘ(θ)を
算出することができる。一方、記録フォーマットがＣＬ
Ｖモードである場合には、スピンドルモータ１１の回転
数は照射スポット位置に応じて変化するので、図４に示
したサブルーチンの処理を始める前に、記録信号を記録
する際に必要な回転数の全ての範囲について基準位置ｘ
0(θ)を図３に示したサブルーチンに従って予め算出し
ておき、記録する際における回転数に対応する基準位置
ｘ0(θ)を読み出しながら現在偏倚ｘ(θ)を算出するこ
ととしても、また、所定のタイミング毎、例えば１トラ
ック毎に基準位置ｘ0(θ)を算出して現在偏倚ｘ(θ)を
算出することとしても良い。また、図１１及び図１２に
示したサブルーチンを実行する際にも、上述した図３及
び図４のサブルーチンを実行するタイミングで処理する
ことができるのは明らかである。
【００３０】また、上述した第１実施例及び第３実施例
においては、照射位置調整回路５０から発せられる制御
信号を偏向電極６１に供給することにより電子ビームの
方向を制御する構成を示したが、制御信号と記録信号と
を記録信号制御回路（図示せず）に供給し、ブランキン
グ電極６２間に生じる電場を制御する電極制御信号を記
録信号制御回路から発する構成とすることにより光ディ
スク原盤に照射する電子ビームを制御することとしても
良い。
においては、照射位置調整回路５０から発せられる制御
信号を偏向電極６１に供給することにより電子ビームの
方向を制御する構成を示したが、制御信号と記録信号と
を記録信号制御回路（図示せず）に供給し、ブランキン
グ電極６２間に生じる電場を制御する電極制御信号を記
録信号制御回路から発する構成とすることにより光ディ
スク原盤に照射する電子ビームを制御することとしても
良い。
【００３１】更に、上述した実施例においては、照射位
置調整手段５０又は９０から発せられる制御信号を偏向
電極６１、偏向器８３及び記録信号制御回路に供給する
ことにより電子ビーム又は光ビームの方向を制御して照
射位置を調整する構成を示したが、制御信号を対物レン
ズの位置調整手段（図示せず）に供給することにより対
物レンズを移動せしめて照射位置を調整することとして
もよい。
置調整手段５０又は９０から発せられる制御信号を偏向
電極６１、偏向器８３及び記録信号制御回路に供給する
ことにより電子ビーム又は光ビームの方向を制御して照
射位置を調整する構成を示したが、制御信号を対物レン
ズの位置調整手段（図示せず）に供給することにより対
物レンズを移動せしめて照射位置を調整することとして
もよい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明による光ディ
スク原盤記録装置によれば、現在偏倚に基づいて照射ス
ポット位置を調整するので、回転シャフトに振動が発生
した場合においても光ディスク原盤上の好ましい位置に
記録用ビームを照射することができる。
スク原盤記録装置によれば、現在偏倚に基づいて照射ス
ポット位置を調整するので、回転シャフトに振動が発生
した場合においても光ディスク原盤上の好ましい位置に
記録用ビームを照射することができる。
【００３３】また、本発明の他の特徴によれば、現在偏
倚位相差に基づいて照射スポット位置を調整するので、
スピンドルモータに回転変動が発生した場合においても
光ディスク原盤上の好ましい位置に記録用ビームを照射
することができる。
倚位相差に基づいて照射スポット位置を調整するので、
スピンドルモータに回転変動が発生した場合においても
光ディスク原盤上の好ましい位置に記録用ビームを照射
することができる。
【図１】本発明による光ディスク原盤記録装置の第１実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【図２】図１に示す光ディスク原盤記録装置の照射位置
を調整する照射位置調整回路を示すブロック図である。
を調整する照射位置調整回路を示すブロック図である。
【図３】回転シャフトの基準位置ｘ0(θ)を算出するサ
ブルーチンを示すフローチャートである。
ブルーチンを示すフローチャートである。
【図４】回転シャフトの現在偏倚Δｘ(θ)を算出し照射
スポット位置を制御するサブルーチンを示すフローチャ
ートである。
スポット位置を制御するサブルーチンを示すフローチャ
ートである。
【図５】回転シャフトの角度位置と変位センサから出力
される変位検出信号との関係を示すグラフである。
される変位検出信号との関係を示すグラフである。
【図６】図５に示した角度位置と変位との関係から所定
の角度位置を基準にして１周期分の変位を重ねあわせて
示したグラフ（ａ）と（ａ）に示した１周期分の変位を
を角度位置について平均して算出した基準変位ｘ0(θ)
を示すグラフ（ｂ）である。
の角度位置を基準にして１周期分の変位を重ねあわせて
示したグラフ（ａ）と（ａ）に示した１周期分の変位を
を角度位置について平均して算出した基準変位ｘ0(θ)
を示すグラフ（ｂ）である。
【図７】変位センサから出力される変位検出信号から得
られる現在変位ｘ(θ)と図６（ｂ）に示した基準変位ｘ
0(θ)との差を算出して得られた現在偏倚Δｘ(θ)を示
すグラフである。
られる現在変位ｘ(θ)と図６（ｂ）に示した基準変位ｘ
0(θ)との差を算出して得られた現在偏倚Δｘ(θ)を示
すグラフである。
【図８】本発明による光ディスク原盤記録装置の第２実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【図９】本発明による光ディスク原盤記録装置の第３実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【図１０】図９に示す光ディスク原盤記録装置の照射ス
ポット位置を調整する照射位置調整回路を示すブロック
図である。
ポット位置を調整する照射位置調整回路を示すブロック
図である。
【図１１】位相比較器から発せられる位相差信号から基
準位相差を算出するサブルーチンを示すフローチャート
である。
準位相差を算出するサブルーチンを示すフローチャート
である。
【図１２】現在偏倚位相差を算出し照射スポット位置を
制御するサブルーチンを示すフローチャートである。
制御するサブルーチンを示すフローチャートである。
【図１３】基準信号発生器から発せられる基準パルス信
号（ａ）、ロータリーエンコーダーから発せられる角度
パルス信号（ｂ）及び位相比較器から発せられる位相差
信号（ｃ）を示すグラフである。
号（ａ）、ロータリーエンコーダーから発せられる角度
パルス信号（ｂ）及び位相比較器から発せられる位相差
信号（ｃ）を示すグラフである。
【図１４】本発明による光ディスク原盤記録装置の第４
実施例を示すブロック図である。
実施例を示すブロック図である。
【図１５】光ディスク原盤に照射される記録用ビームの
軌跡を示す図である。
軌跡を示す図である。
１ 光ディスク原盤 １１ スピンドルモータ １２ 回転シャフト １３ 基準信号発生器 １４ モータ制御回路 １５ ロータリーエンコーダー ２２ ステージ可動部 ２４ 送りモータ ３２ レーザー測長器 ４１ 変位センサ ４２ 増幅回路 ４６ 位相比較器 ５０、９０ 照射位置調整回路 ６１ 偏向電極 ６３ 電子ビーム源 ７１ 記録信号発生器 ８１ レーザー光源 ８３ 偏向器
Claims (8)
- 【請求項１】 光ディスク原盤を回転せしめる回転シャ
フトを回転駆動する回転駆動手段と、前記回転シャフト
の回転方向の角度位置を検出し角度位置信号を発する角
度位置検出手段と、情報記録信号に基づいて前記光ディ
スク原盤に記録用ビームを照射する照射手段と、前記記
録用ビームの前記光ディスク原盤上での照射スポット位
置を制御する照射位置制御手段と、を含む光ディスク原
盤記録装置であって、 前記照射位置制御手段は、前記光ディスク原盤の記録面
に平行な方向の前記回転シャフトの変位を検出し変位検
出信号を発する変位検出手段と、 前記角度位置信号と前記変位検出信号とに基づいて前記
回転シャフトの基準位置からの現在角度位置における現
在偏倚を算出する偏倚算出手段と、 前記現在偏倚に基づいて前記照射スポット位置を調整す
る照射位置調整手段と、からなることを特徴とする光デ
ィスク原盤記録装置。 - 【請求項２】 前記偏倚算出手段は、所定周期分サンプ
リングして取込んだ前記変位を平均して算出した１周期
分の角度位置に対応する変位を前記回転シャフトの基準
位置とする基準位置算出手段と、前記基準位置を記憶す
る記憶手段と、現在変位と前記基準位置とを減算して現
在角度位置における前記現在偏倚を算出する減算手段
と、を有することを特徴とする請求項１記載の光ディス
ク原盤記録装置。 - 【請求項３】 前記照射手段は、電子ビームを前記記録
用ビームとする電子ビーム照射手段からなり、前記照射
方向制御手段は、前記電子ビームの照射方向を前記現在
偏倚に基づいて偏向する偏向電極を有することを特徴と
する請求項１記載の光ディスク原盤記録装置。 - 【請求項４】 前記照射手段は、光ビームを前記記録用
ビームとする光ビーム照射手段からなり、前記照射方向
制御手段は、前記光ビームの照射方向を前記現在偏倚に
基づいて偏向する偏向器を有することを特徴とする請求
項１記載の光ディスク原盤記録装置。 - 【請求項５】 光ディスク原盤を回転駆動する回転駆動
手段と、前記光ディスク原盤の回転数を制御する基準パ
ルス信号を前記回転駆動手段に供給する基準信号発生手
段と、前記光ディスク原盤の回転方向の所定角度毎に角
度パルス信号を発する角度パルス発生手段と、前記角度
パルス信号に基づいて前記光ディスク原盤の回転方向の
角度位置を算出する角度位置算出手段と、情報記録信号
に基づいて前記光ディスク原盤に記録用ビームを照射す
る照射手段と、前記記録用ビームの前記光ディスク原盤
上での照射スポット位置を制御する照射位置制御手段
と、を含む光ディスク原盤記録装置であって、 前記照射位置制御手段は、前記基準パルス信号の位相と
前記角度パルス信号の位相との位相差に応じた位相差信
号を発する位相差信号発生手段と、 前記角度パルス信号と前記位相差信号とに基づいて基準
位相差からの現在角度位置における現在偏倚位相差を算
出する偏倚位相差算出手段と、 前記現在偏倚位相差に基づいて前記照射スポット位置を
調整する照射位置調整手段と、からなることを特徴とす
る光ディスク原盤記録装置。 - 【請求項６】 前記偏倚位相算出手段は、所定周期分サ
ンプリングして取込んだ前記位相差を平均して算出した
１周期分の角度位置に対応する位相差を基準位相差とす
る基準位相差算出手段と、前記基準位相差を記憶する記
憶手段と、現在位相差と前記基準位相差とを減算して現
在角度位置における前記現在偏倚位相差を算出する減算
手段と、を有することを特徴とする請求項５記載の光デ
ィスク原盤記録装置。 - 【請求項７】 前記照射手段は、電子ビームを前記記録
用ビームとする電子ビーム照射手段からなり、前記照射
方向制御手段は、前記電子ビームの照射方向を前記現在
偏倚位相差に基づいて偏向する偏向電極を有することを
特徴とする請求項５記載の光ディスク原盤記録装置。 - 【請求項８】 前記照射手段は、光ビームを前記記録用
ビームとする光ビーム照射手段からなり、前記照射方向
制御手段は、前記光ビームの照射方向を前記現在偏倚位
相差に基づいて偏向する偏向器を有することを特徴とす
る請求項５記載の光ディスク原盤記録装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18307398A JP3730782B2 (ja) | 1998-06-29 | 1998-06-29 | 光ディスク原盤記録装置 |
| US09/339,676 US6414916B1 (en) | 1998-06-29 | 1999-06-24 | Recording apparatus of master discs of optical discs |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18307398A JP3730782B2 (ja) | 1998-06-29 | 1998-06-29 | 光ディスク原盤記録装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000020964A true JP2000020964A (ja) | 2000-01-21 |
| JP2000020964A5 JP2000020964A5 (ja) | 2005-03-17 |
| JP3730782B2 JP3730782B2 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=16129287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18307398A Expired - Fee Related JP3730782B2 (ja) | 1998-06-29 | 1998-06-29 | 光ディスク原盤記録装置 |
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|---|---|
| US (1) | US6414916B1 (ja) |
| JP (1) | JP3730782B2 (ja) |
Cited By (11)
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