JP2003317285A - 光ディスク原盤露光装置および光ディスク原盤露光方法、並びに回転振れ検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真の回転同期成分と非同期回転成分を高精度
で検出し、ビーム照射位置制御手段で光ディスク原盤上
の半径方向のビーム照射位置を調整し、ターンテーブル
の同期・非同期回転振れによる影響を受けない同心円ま
たはスパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチを
得ること。 【解決手段】 ターンテーブル１１２を駆動するＳＰモ
ータ１１３と、ターンテーブル１１２を水平方向に粗微
動するＳＬモータ１２０と、ＳＰモータ１１３とＳＬモ
ータ１２０を制御するＳＰ／ＳＬモータ制御装置１２５
と、を具備し、ターンテーブル１１２の回転数に依存す
る同期回転振れ量と非同期回転振れ量の和を検出する同
期・非同期回転振れ量検出装置１３０ａ（１３０ｂ）
と、当該装置１３０ａ（１３０ｂ）の信号を基に、光デ
ィスク原盤１１１に対する露光ビームの照射位置を調整
する電子ビーム照射位置制御装置１３５と、を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤に
記録用ビームを照射する光ディスク原盤露光装置および
光ディスク原盤露光方法、並びに回転振れ検出方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】昨今の情報技術の進歩に伴い、メディア
情報を大容量に記録する媒体として、コンパクトディス
ク（ＣＤ）やデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）、レー
ザディスク（ＬＤ）などに代表されるような光ディスク
が普及している。これらの光ディスクは、音楽情報や映
像情報が、ピットの長さをパラメータとする信号に変換
して記録される。それぞれの情報ピットは、情報記録面
において一定の幅を有し、長手方向がディスクの中心に
対して螺旋状あるいは同心円状に沿って配列するように
形成されて情報トラックを構成する。

【０００３】ところで、このような光ディスクは、光デ
ィスク原盤露光（記録）装置により情報ピットを光ディ
スク原盤に記録し、記録された原盤からディスクスタン
パを形成し、このディスクスタンパを用いてポリカーボ
ネイト樹脂などを加熱プレス加工あるいは射出成形し、
ピットが原盤から転写されて形成された記録層上を金属
蒸着処理した後、透光性基板などが積層されて形成され
る。

【０００４】しかし、光ディスク原盤露光（記録）装置
では、ターンテーブル（光ディスク原盤）の回転中に、
その半径方向に振れる現象が生じる。この振れにはター
ンテーブルの回転角の位置によって振れの大きさが決ま
る同期振れと、ターンテーブルの回転角の位置とは無関
係で非規則な量の非同期振れとがある。この非周期的に
現れる振れは、ＮＲＲＯ（ｎｏｎ−ｒｅｐｅａｔａｂｌ
ｅ ｒｕｎｏｕｔ）とも呼ばれる。この非同期振れの発
生は、ターンテーブルのスピンドルモータの軸受（ボー
ルベアリングなど）、周辺支承部、軸真円度、予圧構造
の不完全さや振動などに起因している。このように露光
記録時に非同期振れが生じるとトラックピッチの精度に
悪影響を及ぼし所望のトラックピッチが得られなくな
り、不良原盤が製造されることになる。このため、この
非同期振れを検出し、露光位置を調整する装置が、知ら
れている。

【０００５】光ディスク原盤に露光ビームを照射して記
録信号を記録する光ディスク原盤露光（記録）装置に関
連する参考技術文献として、たとえば特開平９−１９０
６５１号公報、特開２０００−２０９６４号公報が開示
されている。この特開平９−１９０６５１号公報の「光
ディスク原盤露光装置および非同期振れ量補正装置」に
は、ターンテーブルの回転振れ（同期、非同期回転振
れ）信号から、あらかじめ測定した回転振れ量の平均値
（同期回転振れ量）信号を減算し、非同期回転振れ信号
のみを出力することが開示されている。また、特開２０
００−２０９６４号公報の「光ディスク原盤記録装置」
には、回転シャフトの回転方向の角度位置と光ディスク
原盤の記録面に平行な方向の回転シャフトの変位とを検
出し、角度位置と変位とに基づいて回転シャフトの基準
位置からの現在角度位置における現在偏倚を算出し、現
在偏倚にしたがって照射スポット位置を調整することが
開示されている。

【０００６】ところで、光ディスク原盤上におけるスパ
イラル状露光ビームの照射軌跡はトラックピッチが一定
になるはずである。回転中のターンテーブル側面の変位
から検出される信号成分は、ターンテーブルの偏芯と真
円度とターンテーブルが回転することによってその表面
精度に依存して発生する固定回転同期成分と、ターンテ
ーブルが回転することにより発生し、回転数に依存する
真の回転同期成分と、ターンテーブルの回転数や回転角
の位置には無関係でランダムな振れ量で発生する回転非
同期成分と、がある。回転中のターンテーブル側面の変
位をターンテーブルの回転角ごとに、ターンテーブルが
複数回転するにわたって記憶し、同一角度ごとに平均値
を求めるとその回転角での平均の振れ量が求められる。
これは回転同期成分でターンテーブルの偏芯と真円度と
表面精度による固定回転成分と真の回転同期成分を含ん
だ信号となる。これをメモリに記憶し、現在の回転振れ
量との同一角度ごと減算を行なった結果は、トラックピ
ッチ変動に影響を与える回転非同期成分となる。従来は
この回転非同期成分を用いて露光ビームの照射位置を調
整している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記に示されるような
従来の光ディスク原盤露光（記録）装置にあっては、タ
ーンテーブルに真の回転同期振れ（回転数に依存する回
転同期振れとして２０〜３０ｎｍ程度）があると、スパ
イラル状ビーム照射軌跡が真円にならず、他方、回転非
同期振れ（３０〜８０ｎｍ程度）があるとトラックピッ
チが変動する。特に、ＣＬＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ｌｉ
ｎｅａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）制御において、ターンテ
ーブルが回転することにより発生する真の回転同期成分
は光ディスクマスタリング装置ではトラックピッチ精度
への影響が少ないとして回転非同期成分に比べてあまり
重視されていなかった。しかしながら、光ディスクの高
密度化に伴い、上記真の回転同期成分は光ディスクの同
心円溝やスパイラル状溝の形状精度に影響を与え、トラ
ッキングサーボ性能の悪化を招来するという問題点があ
った。

【０００８】本発明は、上記に鑑みてなされたものであ
って、真の回転同期成分と非同期回転成分を高精度で検
出し、ビーム照射位置制御手段で光ディスク原盤上の半
径方向のビーム照射位置を調整することにより、ターン
テーブルの同期・非同期回転振れによる影響を受けない
同心円またはスパイラル状のビーム照射軌跡のトラック
ピッチを得ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１にかかる光ディスク原盤露光装置にあっ
ては、ターンテーブルを回転させるテーブル回転手段
と、前記ターンテーブルを水平方向に粗微動するテーブ
ル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブル移
動手段を協調制御する駆動制御手段と、を具備し、前記
ターンテーブル上に光ディスク原盤を載せて露光ビーム
を照射し、所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装
置において、前記ターンテーブルの回転数に依存する同
期回転振れ量と非同期回転振れ量の和を検出する同期・
非同期回転振れ量検出手段と、前記同期・非同期回転振
れ量検出手段からの信号に基づいて前記光ディスク原盤
に照射される露光ビームの照射位置を調整するビーム照
射位置調整手段と、を備えたものである。

【００１０】この発明によれば、所定の回転数で回転さ
れ、かつ水平方向に粗微動するように構成されたターン
テーブルに光ディスク原盤をチャッキングし、その光デ
ィスク原盤上に露光ビームを照射して原盤露光を行なう
場合、ターンテーブルの回転数に依存する同期回転振れ
量（真の回転同期成分）と非同期回転振れ量（ランダム
に発生する回転非同期成分）の和を検出し、この値にし
たがってビーム照射位置調整手段を介して露光ビームの
照射位置を微調整することにより、上記振れ量の影響が
排除され、微細ビームを正確に原盤上に露光することが
可能になる。

【００１１】また、請求項２にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、前記同期・非同期回転振れ量検出手
段は、前記ターンテーブルに対して非接触で配置された
センサーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位
量を検出する第１検出手段と、前記テーブル回転手段の
回転角度を検出する第２検出手段と、前記ターンテーブ
ルの静止状態における前記テーブル回転手段の回転角度
と前記変位量の組み合わせデータを、前記ターンテーブ
ル１回転について求めた複数個のデータを記憶する基準
値記憶手段と、前記ターンテーブルの回転状態における
前記テーブル回転手段の回転角度と前記変位量の組み合
わせデータを、前記ターンテーブル１回転について求め
た複数個のデータを記憶する現在値記憶手段と、前記基
準値記憶手段のデータと前記現在値記憶手段のデータと
の減算を行なう演算手段と、を備えたものである。

【００１２】この発明によれば、請求項１において、光
ディスク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前
に、ターンテーブルにおける側面の変位量をセンサーで
検出して固定回転同期成分を求め、露光開始後は、ター
ンテーブルの側面の回転振れと固定回転同期成分との減
算を行なうことにより、同期回転振れ量（真の回転同期
成分）と非同期回転振れ量（ランダムに発生する回転非
同期成分）とを正確に検出することが可能になる。

【００１３】また、請求項３にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、前記基準値記憶手段は、前記ターン
テーブルの所定回転数以下における前記テーブル回転手
段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、前記
ターンテーブル１回転について求めた複数個のデータを
記憶するものである。

【００１４】この発明によれば、請求項２において、光
ディスク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前
（ターンテーブルの回転立ち上げ時）に、所定の回転数
以下のときにターンテーブルの１回転の基準値（固定回
転同期成分）を求めることにより、露光前における基準
値を求める準備時間の省略が可能になる。

【００１５】また、請求項４にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、前記同期・非同期回転振れ量検出手
段は、前記ターンテーブルに対して非接触で配置された
センサーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位
量を検出する第１検出手段と、前記テーブル回転手段の
回転角度を検出する第２検出手段と、前記ターンテーブ
ルの静止状態における前記テーブル回転手段の回転角度
と前記変位量の組み合わせデータを、前記ターンテーブ
ル１回転について求めた複数個のデータを記憶する基準
値記憶手段と、前記ターンテーブルの回転状態における
前記テーブル回転手段の回転角度と前記変位量の組み合
わせデータを、前記ターンテーブル１回転について求め
た複数個のデータを記憶する現在値記憶手段と、前記基
準値記憶手段のデータにしたがって前記第１検出手段に
おける前記センサーの位置を変位させる変位手段と、を
備えたものである。

【００１６】この発明によれば、請求項１において、光
ディスク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前
に、ターンテーブルにおける側面の変位量をセンサーで
検出して固定回転同期成分を求め、露光開始後は、ター
ンテーブルの側面の半径方向の変位量を検出するセンサ
ーを上記固定回転同期成分にしたがって微動させること
により、振れ量の演算処理を省略することが可能にな
る。

【００１７】また、請求項５にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、前記基準値記憶手段は、前記ターン
テーブルの所定回転数以下における前記テーブル回転手
段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、前記
ターンテーブル１回転について求めた複数個のデータを
記憶するものである。

【００１８】この発明によれば、請求項４において、光
ディスク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前
（ターンテーブルの回転立ち上げ時）に、所定の回転数
以下のときにターンテーブルの１回転の基準値（固定回
転同期成分）を求めることにより、露光前における基準
値を求める準備時間の省略が可能になる。

【００１９】また、請求項６にかかる光ディスク原盤露
光方法にあっては、ターンテーブルを回転させるテーブ
ル回転手段と、前記ターンテーブルを水平方向に粗微動
するテーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記
テーブル移動手段を協調制御する駆動制御手段と、を具
備し、前記ターンテーブル上に光ディスク原盤を載せて
露光ビームを照射し、所定の情報を記録する光ディスク
原盤露光方法において、前記ターンテーブルの回転数に
依存する同期回転振れ量と非同期回転振れ量の和を検出
する同期・非同期回転振れ量検出工程と、前記同期・非
同期回転振れ量検出工程からの信号に基づいて前記光デ
ィスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整す
るビーム照射位置調整工程と、を含むものである。

【００２０】この発明によれば、所定の回転数で回転さ
れ、かつ水平方向に粗微動するように構成されたターン
テーブルに光ディスク原盤をチャッキングし、その光デ
ィスク原盤上に露光ビームを照射して原盤露光を行なう
露光方法において、ターンテーブルの回転数に依存する
同期回転振れ量（真の回転同期成分）と非同期回転振れ
量（ランダムに発生する回転非同期成分）の和を検出
し、この値にしたがってビーム照射位置調整工程で露光
ビームの照射位置を微調整することにより、上記振れ量
の影響が排除され、微細ビームを正確に原盤上に露光す
ることが可能になる。

【００２１】また、請求項７にかかる光ディスク原盤露
光方法にあっては、前記同期・非同期回転振れ量検出工
程は、前記ターンテーブルに対して非接触で配置された
センサーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位
量を検出する第１検出工程と、前記テーブル回転手段の
回転角度を検出する第２検出工程と、前記ターンテーブ
ルの静止状態における前記テーブル回転手段の回転角度
と前記変位量の組み合わせデータを、前記ターンテーブ
ル１回転について求めた複数個のデータを記憶する基準
値記憶工程と、前記ターンテーブルの回転状態における
前記テーブル回転手段の回転角度と前記変位量の組み合
わせデータを、前記ターンテーブル１回転について求め
た複数個のデータを記憶する現在値記憶工程と、前記基
準値記憶手段のデータと前記現在値記憶手段のデータと
の減算を行なう演算工程と、を含むものである。

【００２２】この発明によれば、請求項６において、光
ディスク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前
に、ターンテーブルにおける側面の変位量をセンサーで
検出して固定回転同期成分を求め、露光開始後は、ター
ンテーブルの側面の回転振れと固定回転同期成分との減
算を行なうことにより、同期回転振れ量（真の回転同期
成分）と非同期回転振れ量（ランダムに発生する回転非
同期成分）とを正確に検出することが可能になる。

【００２３】また、請求項８にかかる回転振れ検出方法
にあっては、ターンテーブルの回転数に依存する同期回
転振れ量と非同期回転振れ量の和を検出する回転振れ検
出方法において、前記ターンテーブルに対して非接触で
配置されたセンサーにより、前記ターンテーブルの半径
方向の変位量を検出する第１検出工程と、前記テーブル
回転手段の回転角度を検出する第２検出工程と、前記タ
ーンテーブルの静止状態における前記テーブル回転手段
の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、前記タ
ーンテーブル１回転について求めた複数個のデータを記
憶する基準値記憶工程と、前記ターンテーブルの回転状
態における前記テーブル回転手段の回転角度と前記変位
量の組み合わせデータを、前記ターンテーブル１回転に
ついて求めた複数個のデータを記憶する現在値記憶工程
と、前記基準値記憶手段のデータにしたがって前記第１
検出工程における前記センサーの位置を変位させる変位
工程と、を含むものである。

【００２４】この発明によれば、光ディスク原盤上に露
光ビームを照射して記録する露光前に、ターンテーブル
における側面の変位量をセンサーで検出して固定回転同
期成分を求め、露光開始後は、ターンテーブルの側面の
半径方向の変位量を検出するセンサーを上記固定回転同
期成分にしたがって微動させることにより、振れ量の演
算処理を省略する回転振れ検出方法が実現する。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる光ディスク
原盤露光装置および光ディスク原盤露光方法、並びに回
転振れ検出方法の好適な実施の形態について添付図面を
参照し、詳細に説明する。なお、本発明はこの実施の形
態に限定されるものではない。

【００２６】図１は、本発明の実施の形態にかかる光デ
ィスク原盤露光装置の構成を示す説明図である。この光
ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤に露光ビーム
を照射する電子ビーム発生装置１００と、光ディスク原
盤に露光照射するための真空容器１１０と、ＳＬステー
ジの駆動源となるＳＬモータ１２０と、ターンテーブル
を回転するＳＰモータおよびＳＬステージを駆動するＳ
Ｌモータを制御するＳＰ／ＳＬモータ制御装置１２５
と、光ディスク原盤を保持可能なターンテーブルの半径
方向の同期・非同期回転振れ量を検出する同期・非同期
回転振れ検出装置１３０ａ（１３０ｂ）と、同期・非同
期回転振れ検出装置１３０ａ（１３０ｂ）からの信号に
したがって光ディスク原盤に照射する露光ビームの位置
を制御する電子ビーム照射位置制御装置１３５と、を備
えている。

【００２７】電子ビーム発生装置１００は、電子ビーム
１０６を発生させる電子銃１０１と、電子ビーム１０６
を集光するコンデンサレンズ１０２と、電場により記録
信号に応じた露光ビーム１０７に変換するブランキング
電極１０３と、電場により照射位置を制御するビーム偏
向電極１０４と、光ディスク原盤に露光ビーム１０７を
集光する対物レンズ１０５と、を備えている。

【００２８】真空容器１１０の中には、光ディスク原盤
１１１と、光ディスク原盤１１１がチャッキングされ、
円筒状をなしたターンテーブル１１２と、ターンテーブ
ル１１２を回転駆動するＳＰモータ１１３と、ＳＰモー
タ１１３の回転角度（ターンテーブル１１２の回転角
度）を検出するロータリー・エンコーダ１１４と、ター
ンテーブル１１２の側面に向けて非接触で設けられ、静
電容量型の回転振れ検出センサー１１５と、ターンテー
ブル１１２を左右に粗微動するＳＬステージ１１６と、
ＳＬモータ１２０により回転駆動されるボールネジ１１
７と、が図示のように配置される。ボールネジ１１７は
ＳＬモータ１２０の出力軸に取りつけられ、かつＳＬス
テージ１１６に螺合され、ＳＬモータ１２０の回転によ
ってＳＬステージ１１６が移動する構成となっている。

【００２９】つぎに、以上のように構成された光ディス
ク原盤露光装置の動作について説明する。ＳＬステージ
１１６はＳＬモータ１２０で駆動され左右に移動する。
ＳＬステージ１１６に搭載されたターンテーブル１１２
はＳＰモータ１１３で回転駆動されるので回転しながら
左右に移動する。ＳＬモータ１２０およびＳＰモータ１
１３はＳＰ／ＳＬモータ制御装置１２５により制御され
る。

【００３０】ターンテーブル１１２に搭載して保持され
た光ディスク原盤１１１上には露光ビーム発生装置１０
０から露光ビーム１０７が照射されているので、ターン
テーブル１１２の回転および左右移動により、光ディス
ク原盤１１１にはスパイラル状のビーム照射軌跡を描く
ことができる。

【００３１】ターンテーブル１１２上の光ディスク原盤
１１１は、ＳＰ／ＳＬモータ制御装置１２５でＳＬモー
タ１２０およびＳＰモータ１１３を協調動作させ、光デ
ィスク原盤１１１上の露光ビーム照射位置で線速が一定
になるＣＬＶ（ｃｏｎｓｔａｎｔ ｌｉｎｅａｒ ｖｅ
ｌｏｃｉｔｙ）制御、または角速度一定となるＣＡＶ
（ｃｏｎｓｔａｎｔ ａｎｇｕｌａｒ ｖｅｌｏｃｉｔ
ｙ）制御で駆動される。ＣＬＶ制御では、光ディスク原
盤１１１の内周側から露光ビーム照射を開始した場合、
露光ビーム照射が外周側に向かうにしたがってターンテ
ーブル１１２の回転数およびターンテーブル１１２の移
動速度が次第に低下するＳＰ／ＳＬモータ制御装置１２
５による制御が行なわれる。ＣＡＶ制御では、ＳＰ／Ｓ
Ｌモータ制御装置１２５によりターンテーブル１１２の
回転数および移動速度が一定になるように制御が行なわ
れる。

【００３２】回転振れ検出センサー１１５は、ターンテ
ーブル１１２の側面の変動を検出する。ロータリー・エ
ンコーダ１１４はＳＰモータ１１３の回転軸に装着さ
れ、ターンテーブル１１２の回転角度を検出する。同期
・非同期回転振れ検出装置１３０ａ（１３０ｂ）は、ロ
ータリー・エンコーダ１１４からの信号と回転振れ検出
センサー１１５からの信号を利用し、ターンテーブル１
１２の真の回転同期成分と回転非同期成分（同期・非同
期回転振れ信号）を検出する。検出された同期・非同期
回転振れ信号は、電子ビーム照射位置制御装置１３５を
介して電子ビーム発生装置１００のビーム偏向電極１０
４に入力される。

【００３３】電子ビーム発生装置１００において、電子
銃１０１から発せられた電子ビーム１０６は、コンデン
サレンズ１０２で集光され、ブランキング電極１０３に
より生成される電場によって記録信号に応じてビームに
変換され、ビーム偏向電極１０４により生成される電場
により照射位置が制御された後、対物レンズ１０５によ
り集光されて光ディスク原盤１１１に照射される露光ビ
ーム１０７となる。

【００３４】このとき、同期・非同期回転振れ検出装置
１３０ａ（１３０ｂ）は、回転振れ検出センサー１１５
およびロータリー・エンコーダ１１４の各検出信号にし
たがって同期・非同期回転振れ信号を高精度に検出し、
電子ビーム照射位置制御装置１３５で電子ビーム発生装
置１００を制御し、光ディスク原盤１１１の半径方向の
露光ビーム１０７の照射位置を補正し、スパイラル状の
露光ビーム照射軌跡の真円度およびトラックピッチを安
定させる。以下、具体例を詳細に説明する。

【００３５】（同期・非同期回転振れ検出装置１３０ａ
の構成、動作例）まず、同期・非同期回転振れ検出装置
１３０ａの具体的な構成および動作について説明する。
図２は、本発明の実施の形態にかかる同期・非同期回転
振れ検出装置１３０ａの構成例を示すブロック図であ
る。この同期・非同期回転振れ検出装置１３０ａは、回
転振れ検出センサー１１５の出力を電気信号に変換する
アンプ２０１と、アンプ２０１からの信号Ｓ１をデジタ
ル信号に変換するＡ／Ｄ変換器２０２と、分周器２０３
と、本装置を統括的に制御するマイクロコントローラ２
０４と、少なくとも記憶領域２０５ａ、２０５ｂを有す
る書き込み／読み出し可能なメモリ２０５と、マイクロ
コントローラ２０４からの信号をアナログ信号に変換
し、電子ビーム照射位置制御装置１３５に送るＤ／Ａ変
換器２０６と、を備えている。

【００３６】図２において、ターンテーブル１１２はＳ
Ｐモータ１１３とＳＬモータ（不図示）とＳＰ／ＳＬモ
ータ制御装置１２５で駆動される。ＳＰモータ１１３に
直結したロータリー・エンコーダ１１４はターンテーブ
ル１１２の回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準位置
信号（ＲＥＺ）を出力する。非接触の回転振れ検出セン
サー１１５はターンテーブル側面の回転振れを検出す
る。回転振れ検出センサー１１５の出力はアンプ２０１
により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器２０２により
デジタル信号に変換される。このデジタル信号はマイク
ロコントローラ２０４に送られる。マイクロコントロー
ラ２０４ではこのデジタル信号を、回転角度位置信号
（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＲＥＺ）と共にメモリ
２０５へ記憶し、演算を行なう。

【００３７】また、メモリ２０５に記憶されたデータを
Ｄ／Ａ変換器２０６に回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回
転基準位置信号（ＲＥＺ）と同期させて出力する。この
Ｄ／Ａ変換されたアナログ信号は電子ビーム照射位置制
御装置１３５に送られる。

【００３８】ここで、この図２に示す同期・非同期回転
振れ検出装置１３０ａの一連の動作について図３に示す
フローチャートを参照し、説明する。光ディスク原盤１
１１に露光を行なう前にターンテーブル１１２の回転角
度毎にターンテーブル１１２の半径方向への回転振れ量
を回転振れ検出センサー１１５によって検出する（ステ
ップＳ１１）。この検出値はアンプ２０１で電気信号に
変換され、Ａ／Ｄ変換器２０２でデジタル量に変換さ
れ、ロータリー・エンコーダ１１４の回転角度位置信号
（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＲＥＺ）と共にメモリ
（ＲＡＭ）２０５に蓄積される。

【００３９】すなわち、ターンテーブル１１２がＳＰモ
ータ１１３により回転する毎に、ターンテーブル１１２
の回転角度毎のターンテーブル１１２の半径方向の変位
量がメモリ２０５に蓄積されていく（ステップＳ１
２）。ターンテーブル１１２の所定角度を連続して変化
させ、ターンテーブル１１２の１回転についてターンテ
ーブル１１２の角度とターンテーブル１１２の半径方向
の変位を記憶する（ステップＳ１３）。たとえば、１回
転１０００個のデータを記憶するのであれば、０．３６
度ごとにターンテーブル１１２を回転させる。この信号
はターンテーブル１１２の静止状態で測定されたので、
ターンテーブル１１２の偏芯と真円度とターンテーブル
１１２の表面精度が回転角度変化に伴って変化する成分
であり、回転数によって大きさは変化しない。これを基
準値（固定回転同期成分）としてメモリ２０５の記憶領
域２０５ａに蓄積しておく。

【００４０】続いて、光ディスク原盤１１１に露光が始
まると、回転振れ検出センサー１１５は再びターンテー
ブル１１２の半径方向の変位を検出する（ステップＳ１
４）。この信号は、固定回転同期成分と、ターンテーブ
ル１１２の回転数に依存して大きさが変化する真の回転
同期成分と、ターンテーブル１１２の回転数や回転角の
位置には無関係でランダムに発生する回転非同期成分
と、が含まれる。回転振れ検出センサー１１５の出力は
アンプ２０１により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器
２０２を介して回転角度位置信号と共にメモリ２０５の
記憶領域２０５ｂに記憶される（ステップＳ１５）。

【００４１】さらに、上記基準値との減算をターンテー
ブル１１２の同一角度ごとに行なう（ステップＳ１
６）。この結果、真の回転同期成分と回転非同期成分の
みを検出し（ステップＳ１７）。つぎに、これを回転角
度位置信号と同期してＤ／Ａ変換器２０６に出力する。
その結果、同期・非同期回転振れ（真の回転同期成分と
回転非同期成分）信号がＤ／Ａ変換器２０６を介して電
子ビーム照射位置制御装置１３５へ出力される。

【００４２】上記における各信号の状態を図４に示す。
図４（ａ）はターンテーブル１１２の１回転のセンサー
変位信号（Ｓ１）を示している。図におけるＡはターン
テーブル１１２を所定角度回転させ、ターンテーブル静
止時の回転振れ検出センサー１１５によって検出された
変位信号（固定回転同期成分）を１回転分示したもので
ある。Ｂは光ディスク原盤１１１の露光時に回転振れ検
出センサー１１５によって検出された変位信号（固定回
転同期成分＋真の回転同期成分＋回転非同期成分）を１
回転分示したものである。

【００４３】図４（ｂ）はビーム照射位置制御信号（Ｓ
２）を示している。Ｃは図４（ａ）におけるＡとＢの減
算を行なった結果（真の回転同期成分＋回転非同期成
分）をＤ／Ａ変換したものである。

【００４４】さて、図２における同期・非同期回転振れ
検出装置１３０ａでは、ターンテーブル１１２の１回転
について基準値（固定回転同期成分）をメモリ２０５に
蓄積した。しかしながら、光ディスク原盤１１１の露光
前にターンテーブル１１２を所定角度回転させて静止状
態で基準値を記憶するのは多くの時間を要する。真の回
転同期成分はターンテーブル１１２の回転数に依存して
大きさが変化するが、ほぼ回転数と比例関係にあるとみ
なすことができる。

【００４５】たとえば、定格回転数３０００ｒｐｍの場
合、上記基準値を求めるときの回転数を３０ｒｐｍとす
れば、このときの真の回転同期成分は定格時の１％以
下、回転数を３ｒｐｍとすれば真の回転同期成分は定格
時の０．１％以下であると想定することができる。した
がって、ＳＰモータ１１３の定格回転数を用い、ターン
テーブル１１２の同期・非同期回転振れの影響を排除す
る場合、ターンテーブル１１２の１回転の基準値を求め
るときにおける電子ビーム照射位置制御装置１３５で補
正する補正制御精度に応じたターンテーブル１１２の所
定の回転数で決めることができる。たとえば、真の回転
同期成分の補正精度を１％以下とすれば、基準値を求め
るときのターンテーブル１１２の所定の回転数は３０ｒ
ｐｍ以下と想定できる。

【００４６】ここで、ターンテーブル１１２を所定の角
度回転させ、静止状態で基準値を記憶したデータとの比
較により、正確な誤差を求めて所定の回転数を変更する
ことも可能である。この結果、光ディスク原盤１１１の
露光開始前におけるＳＰモータ１１３の立ち上げ時、所
定の回転数以下のときにターンテーブル１１２の１回転
の基準値を求めることができる。

【００４７】（同期・非同期回転振れ検出装置１３０ｂ
の構成、動作例）つぎに、同期・非同期回転振れ検出装
置１３０ｂの具体的な構成および動作について説明す
る。図５は、本発明の実施の形態にかかる同期・非同期
回転振れ検出装置１３０ｂの構成例を示すブロック図で
ある。この同期・非同期回転振れ検出装置１３０ｂは、
前述した同期・非同期回転振れ検出装置１３０ａ（図２
参照）の構成に対し、回転振れ検出センサー１１５を微
動する圧電素子２１０を接続し、圧電素子２１０を制御
する圧電素子制御ドライバー２１１と、Ｄ／Ａ変換器２
１２と、を設けた構成となっている。圧電素子は、ＰＺ
Ｔ（Ｐｂ（ＺｒＴｉ）Ｏ₃：チタン酸ジルコン酸鉛）に
代表される圧電特性を利用し、圧電素子制御ドライバー
２１１の制御信号にしたがって回転振れ検出センサー１
１５を微動させるアクチュエータである。なお、図５に
おける他の構成要素およびその機能は、前述と同様であ
るので、図２と同一符号を付してある。

【００４８】図５において、ターンテーブル１１２はＳ
Ｐモータ１１３とＳＬモータ１２０（図１参照）とＳＰ
／ＳＬモータ制御装置１２５（図１参照）で駆動され
る。ＳＰモータ１１３に直結したロータリー・エンコー
ダ１１４はターンテーブル１１２の回転角度位置信号
（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＲＥＺ）を出力する。
非接触の回転振れ検出センサー１１５はターンテーブル
側面の半径方向の変位量を検出する。回転振れ検出セン
サー１１５の出力はアンプ２０１により電気信号に変換
され、Ａ／Ｄ変換器２０２によりデジタル信号に変換さ
れる。このデジタル信号はマイクロコントローラ２０４
に送られる。マイクロコントローラ２０４ではこのデジ
タル信号を、回転角度位置信号（ＲＥＡ）と共にメモリ
２０５へ記憶し、演算を行なう。

【００４９】また、メモリー２０５に記憶されたデータ
を２つのＤ／Ａ変換器２０６、２１２に対し、ロータリ
・エンコーダ１１４からの回転角度位置信号（ＲＥＡ）
と同期させて出力する。このＤ／Ａ変換器２０６でＤ／
Ａ変換された信号は、電子ビーム照射位置制御装置１３
５へ出力される。また、Ｄ／Ａ変換器２１２の出力は、
圧電素子制御ドライバー２１１を介して圧電素子２１０
を制御し、圧電素子２１０の先端に固定された回転振れ
検出センサー１１５を変位させる。

【００５０】つぎに、この図５に示す同期・非同期回転
振れ検出装置１３０ｂの一連の動作について図６に示す
フローチャートを参照し、説明する。まず、前述と同様
に基準値取得を行なう（ステップＳ２１）。すなわち、
光ディスク原盤１１１に露光を行なう前にターンテーブ
ル１１２の１回転についてターンテーブル１１２の所定
角度とターンテーブル１１２の半径方向の変位量を回転
振れ検出センサー１１５によって検出する。この検出値
はアンプ２０１で電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器２
０２でデジタル量に変換され、回転角度位置信号（ＲＥ
Ａ）と共にメモリ２０５に蓄積される。この信号はター
ンテーブル１１２の偏芯と真円度とターンテーブル１１
２の表面精度が回転角度の変化に伴って変化する成分で
あり、回転数によって大きさは変化しない。これを基準
値（固定回転同期成分）としてメモリ２０５に記憶して
おく。

【００５１】続いて、光ディスク原盤１１１がターンテ
ーブル１１２にセット（チャッキング）され、露光が始
まると、現在値を取得する（ステップＳ２２）。すなわ
ち、回転振れ検出センサー１１５により固定回転同期成
分と真の回転同期成分と回転非同期成分を検出する。こ
こで上記基準値（固定回転同期成分）のデータをターン
テーブル１１２の回転角度位置信号に同期してＤ／Ａ変
換器２１２を通して回転振れ検出センサー１１５を粗微
動する圧電素子制御ドライバー２１１へ出力する。圧電
素子２１０は圧電素子制御ドライバー２１１の出力によ
って駆動する。その結果、回転振れ検出センサー１１５
は、上記基準値（固定回転同期成分）と同期して駆動さ
れ（ステップＳ２３）、回転振れ検出センサー１１５か
ら固定回転同期成分がキャンセルされた真の回転同期成
分と回転非同期成分が検出される（ステップＳ２４）。
この信号をメモリ２０５に記憶し、回転角度位置信号と
同期してＤ／Ａ変換器２０６に出力する。その結果、同
期・非同期回転振れ（真の回転同期成分と回転非同期成
分）信号が検出され、これを電子ビーム照射位置制御装
置１３５へ出力する（ステップＳ２５）。

【００５２】さて、図５における同期・非同期回転振れ
検出装置１３０ｂでは、光ディスク原盤１１１の露光前
にターンテーブル１１２を所定角度回転させて静止状態
で基準値（固定回転同期成分）を記憶するのは多くの時
間を要する。前述と同様に、ＳＰモータ１１３の定格回
転数でターンテーブル１１２の同期・非同期回転振れの
変動を、電子ビーム照射位置制御装置１３５により補正
する補正制御精度に応じて、ターンテーブル１１２の１
回転の基準値を求めるときのターンテーブル１１２の所
定の回転数で決めることができる。

【００５３】ここで、ターンテーブル１１２を所定の角
度回転させ、静止状態で基準値を記憶したデータとの比
較により、正確な誤差を求めて所定の回転数を変更する
ことも可能である。この結果、光ディスク原盤１１１の
露光開始前におけるＳＰモータ１１３の立ち上げ時、所
定の回転数以下のときにターンテーブル１１２の１回転
の基準値を求めることができる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる光
ディスク原盤露光装置（請求項１）によれば、所定の回
転数で回転され、かつ水平方向に粗微動するように構成
されたターンテーブルに光ディスク原盤をチャッキング
し、その光ディスク原盤上に露光ビームを照射して原盤
露光を行なう場合、ターンテーブルの回転数に依存する
同期回転振れ量（真の回転同期成分）と非同期回転振れ
量（ターンテーブルの回転数や回転角の位置には無関係
でランダムに発生する回転非同期成分）の和を検出し、
この値にしたがってビーム照射位置調整手段を介して露
光ビームの照射位置を微調整することにより、上記振れ
量の影響が排除され、微細ビームを正確に原盤上に露光
することが可能になるので、ディスク上に正確な同心円
またはスパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチ
を形成することができる。

【００５５】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項２）によれば、請求項１において、光ディ
スク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前に、
ターンテーブルにおける側面の変位量を、ターンテーブ
ルの側面に対して非接触で設けられた回転振れ検出セン
サーで検出して固定回転同期成分を求め、露光開始後
は、ターンテーブルの側面の回転振れと固定回転同期成
分との減算を行なうため、同期回転振れ量（真の回転同
期成分）と非同期回転振れ量（ターンテーブルの回転数
や回転角の位置には無関係でランダムに発生する回転非
同期成分）とを正確に、かつ高速に検出することが可能
になる。

【００５６】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項３）によれば、請求項２において、光ディ
スク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前（タ
ーンテーブルの回転立ち上げ時）に、所定の回転数以下
のときにターンテーブルの１回転の基準値（固定回転同
期成分）を求めることにより、露光前における基準値を
求める準備時間の省略が可能になるので、振れ量検出ま
での処理効率が向上する。

【００５７】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項４）によれば、請求項１において、光ディ
スク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前に、
ターンテーブルにおける側面の変位量を、ターンテーブ
ルの側面に対して非接触で設けられた回転振れ検出セン
サーで検出して固定回転同期成分を求め、露光開始後
は、ターンテーブルの側面の半径方向の変位量を検出す
る上記センサーを上記固定回転同期成分にしたがって微
動させることにより、振れ量の演算処理を省略すること
が可能になるため、高速な処理が実現する。

【００５８】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項５）によれば、請求項４において、光ディ
スク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前（タ
ーンテーブルの回転立ち上げ時）に、所定の回転数以下
のときにターンテーブルの１回転の基準値（固定回転同
期成分）を求めることにより、露光前における基準値を
求める準備時間の省略が可能になるので、振れ量検出ま
での処理効率が向上する。

【００５９】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
方法（請求項６）によれば、所定の回転数で回転され、
かつ水平方向に粗微動するように構成されたターンテー
ブルに光ディスク原盤をチャッキングし、その光ディス
ク原盤上に露光ビームを照射して原盤露光を行なう露光
方法において、ターンテーブルの回転数に依存する同期
回転振れ量（真の回転同期成分）と非同期回転振れ量
（ターンテーブルの回転数や回転角の位置には無関係で
ランダムに発生する回転非同期成分）の和を検出し、こ
の値にしたがってビーム照射位置調整工程で露光ビーム
の照射位置を微調整することにより、上記振れ量の影響
が排除され、微細ビームを正確に原盤上に露光すること
が可能になるので、ディスク上に正確な同心円またはス
パイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチを形成す
ることができる。

【００６０】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
方法（請求項７）によれば、請求項６において、光ディ
スク原盤上に露光ビームを照射して記録する露光前に、
ターンテーブルにおける側面の変位量を、ターンテーブ
ルの側面に対して非接触で設けられた回転振れ検出セン
サーで検出して固定回転同期成分を求め、露光開始後
は、ターンテーブルの側面の回転振れと固定回転同期成
分との減算を行なうことにより、同期回転振れ量（真の
回転同期成分）と非同期回転振れ量（ターンテーブルの
回転数や回転角の位置には無関係でランダムに発生する
回転非同期成分）とを正確に検出することが可能なた
め、同期回転振れ量（真の回転同期成分）と非同期回転
振れ量（ランダムに発生する回転非同期成分）とを正確
に、かつ高速に検出することができる。

【００６１】また、本発明にかかる回転振れ検出方法
（請求項８）によれば、光ディスク原盤上に露光ビーム
を照射して記録する露光前に、ターンテーブルにおける
側面の変位量を、ターンテーブルの側面に対して非接触
で設けられた回転振れ検出センサーで検出して固定回転
同期成分を求め、露光開始後は、ターンテーブルの側面
の半径方向の変位量を検出する上記センサーを上記固定
回転同期成分にしたがって微動調整させることにより、
ターンテーブルの回転振れ量を求める演算処理を省略す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる光ディスク原盤露
光装置の構成を示す説明図である。

【図２】本発明の実施の形態にかかる同期・非同期回転
振れ検出装置１３０ａの構成例を示すブロック図であ
る。

【図３】図２おける同期・非同期回転振れ検出装置１３
０ａの一連の動作を示すフローチャートである。

【図４】ターンテーブル１回転時におけるターンテーブ
ル静止時および回転時の１周分の変位、ターンテーブル
の同期・非同期回転振れの状態を示す出力波形図であ
る。

【図５】本発明の実施の形態にかかる同期・非同期回転
振れ検出装置１３０ｂの構成例を示すブロック図であ
る。

【図６】図５の同期・非同期回転振れ検出装置１３０ｂ
の一連の動作を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１００ 電子ビーム発生装置 １１０ 真空容器 １１１ 光ディスク原盤 １１２ ターンテーブル １１３ ＳＰモータ １１４ ロータリー・エンコーダ １１５ 回転振れ検出センサー １１６ ＳＬステージ １１７ ボールネジ １２０ ＳＬモータ １２５ ＳＰ／ＳＬモータ制御装置 １３０ａ，１３０ｂ 同期・非同期回転振れ検出装置 １３５ 電子ビーム照射位置制御装置 ２０１ アンプ ２０４ マイクロコントローラ ２０５ メモリ ２０６，２１２ Ｄ／Ａ変換器 ２１０ 圧電素子 ２１１ 圧電素子制御ドライバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F069 AA21 AA83 BB08 BB17 DD21 GG04 GG72 HH15 JJ06 JJ17 JJ19 JJ25 KK10 MM24 MM32 MM34 NN08 5D118 AA11 AA21 BA01 BA03 BA04 BB09 CB02 CB03 CD06 CD12 CF28 CG01 DC12 5D121 BB21 BB38 JJ03

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ターンテーブルを回転させるテーブル回
   転手段と、前記ターンテーブルを水平方向に粗微動する
   テーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テー
   ブル移動手段を協調制御する駆動制御手段と、を具備
   し、前記ターンテーブル上に光ディスク原盤を載せて露
   光ビームを照射し、所定の情報を記録する光ディスク原
   盤露光装置において、 前記ターンテーブルの回転数に依存する同期回転振れ量
   と非同期回転振れ量の和を検出する同期・非同期回転振
   れ量検出手段と、 前記同期・非同期回転振れ量検出手段からの信号に基づ
   いて前記光ディスク原盤に照射される露光ビームの照射
   位置を調整するビーム照射位置調整手段と、 を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
2. 【請求項２】 前記同期・非同期回転振れ量検出手段
   は、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置されたセンサ
   ーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位量を検
   出する第１検出手段と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手
   段と、 前記ターンテーブルの静止状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する基準値記憶手段と、 前記ターンテーブルの回転状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する現在値記憶手段と、 前記基準値記憶手段のデータと前記現在値記憶手段のデ
   ータとの減算を行なう演算手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光ディスク
   原盤露光装置。
3. 【請求項３】 前記基準値記憶手段は、前記ターンテー
   ブルの所定回転数以下における前記テーブル回転手段の
   回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、前記ター
   ンテーブル１回転について求めた複数個のデータを記憶
   する請求項２に記載の光ディスク原盤露光装置。
4. 【請求項４】 前記同期・非同期回転振れ量検出手段
   は、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置されたセンサ
   ーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位量を検
   出する第１検出手段と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手
   段と、 前記ターンテーブルの静止状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する基準値記憶手段と、 前記ターンテーブルの回転状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する現在値記憶手段と、 前記基準値記憶手段のデータにしたがって前記第１検出
   手段における前記センサーの位置を変位させる変位手段
   と、 を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光ディスク
   原盤露光装置。
5. 【請求項５】 前記基準値記憶手段は、前記ターンテー
   ブルの所定回転数以下における前記テーブル回転手段の
   回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、前記ター
   ンテーブル１回転について求めた複数個のデータを記憶
   する請求項４に記載の光ディスク原盤露光装置。
6. 【請求項６】 ターンテーブルを回転させるテーブル回
   転手段と、前記ターンテーブルを水平方向に粗微動する
   テーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テー
   ブル移動手段を協調制御する駆動制御手段と、を具備
   し、前記ターンテーブル上に光ディスク原盤を載せて露
   光ビームを照射し、所定の情報を記録する光ディスク原
   盤露光方法において、 前記ターンテーブルの回転数に依存する同期回転振れ量
   と非同期回転振れ量の和を検出する同期・非同期回転振
   れ量検出工程と、 前記同期・非同期回転振れ量検出工程からの信号に基づ
   いて前記光ディスク原盤に照射される露光ビームの照射
   位置を調整するビーム照射位置調整工程と、 を含むことを特徴とする光ディスク原盤露光方法。
7. 【請求項７】 前記同期・非同期回転振れ量検出工程
   は、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置されたセンサ
   ーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位量を検
   出する第１検出工程と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出工
   程と、 前記ターンテーブルの静止状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する基準値記憶工程と、 前記ターンテーブルの回転状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する現在値記憶工程と、 前記基準値記憶手段のデータと前記現在値記憶手段のデ
   ータとの減算を行なう演算工程と、 を含むことを特徴とする請求項６に記載の光ディスク原
   盤露光方法。
8. 【請求項８】 ターンテーブルの回転数に依存する同期
   回転振れ量と非同期回転振れ量の和を検出する回転振れ
   検出方法において、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置されたセンサ
   ーにより、前記ターンテーブルの半径方向の変位量を検
   出する第１検出工程と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出工
   程と、 前記ターンテーブルの静止状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する基準値記憶工程と、 前記ターンテーブルの回転状態における前記テーブル回
   転手段の回転角度と前記変位量の組み合わせデータを、
   前記ターンテーブル１回転について求めた複数個のデー
   タを記憶する現在値記憶工程と、 前記基準値記憶手段のデータにしたがって前記第１検出
   工程における前記センサーの位置を変位させる変位工程
   と、 を含むことを特徴とする回転振れ検出方法。