JP5166400B2 - ビーム描画装置 - Google Patents
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- H01J37/3174—Particle-beam lithography, e.g. electron beam lithography
Description
前記ターンテーブルの回転数を変化させる回転数変更手段と、
前記ターンテーブルの回転数を変化させて、回転数ごとにおける前記ビームの照射位置変動を測定する照射位置測定部と、
前記ターンテーブルの回転数を変化させて、回転数ごとに、前記ターンテーブルの回転変位を測定する回転変位測定部と、
測定によって得られた前記照射位置変動と前記回転変位とに基づいて前記ターンテーブルの回転振動に関する周波数伝達特性を前記回転数ごとに算出する周波数伝達特性算出手段と、
前記周波数伝達特性算出手段で算出した周波数伝達特性を格納する伝達特性格納部と、
前記回転変位及び前記周波数伝達特性に基づいて前記照射位置変動を推定して照射位置変動推定値を得る照射位置推定部と、
当該照射位置変動推定値に基づいてビームの照射位置を補正するビーム照射位置調整部と、
を有することを特徴としている。
また、本発明によるビーム描画装置は、基板を載置したターンテーブルを回転させつつ基板に向けてビームを照射するビーム描画装置であって、
磁場の変動周波数を変更する磁場変動信号を入力し、磁場変動信号に応じて磁場の変動周波数を変化させる手段と、
磁場の変動周波数を変化させて、磁場変動信号ごとにおける前記ビームの照射位置変動を測定する照射位置測定部と、
磁場の変動周波数を変化させて、磁場変動信号ごとにおける磁場を測定する手段と、
測定によって得られた前記照射位置変動と前記磁場とに基づいて、磁場変化の周波数伝達特性を算出する周波数伝達特性算出手段と、
前記周波数伝達特性算出手段で算出した周波数伝達特性を格納する伝達特性格納部と、
描画中の磁場変化及び前記周波数伝達特性に基づいて前記照射位置変動を推定して照射位置変動推定値を得る照射位置推定部と、
前記照射位置変動推定値に基づいて前記ビームの照射位置を補正するビーム照射位置調整部と、
を有することを特徴する。
15 基板
16 ターンテーブル
16A リングミラー
23 ビーム調整電極
24 ビーム変調電極
26 アパーチャ
27 ビーム電流検出器
30 コントローラ
31 ビーム調整回路
32 ビーム変調回路
33 ビーム位置測定回路
41 サンプル・ホールド回路
42 補正信号生成器
43 ビーム補正回路
45 電子ビーム制御部
[電子ビーム描画装置の構成及び動作]
電子ビーム描画装置10は、真空チャンバ11、及び真空チャンバ11内に配された基板15を載置及び回転、並進駆動する駆動装置、及び真空チャンバ11に取り付けられた電子ビームカラム20、及び基板の駆動制御及び電子ビーム制御等をなす種々の回路、制御系が設けられている。
[ビーム位置変動測定の構成及び動作]
図3、図4及び図5を参照し、電子ビーム描画を開始する前に、スピンドルモータ17を含む回転系による振動と電子ビームの位置変動との間の周波数伝達特性(振動伝達特性)を測定する構成及び動作について説明する。なお、図5は、当該周波数伝達特性の測定の手順を示すフローチャートである。
[ビーム位置変動の補正]
次に、図6、図7及び図8を参照し、描画時におけるビーム位置変動の補正を行う構成及び動作について説明する。電子ビーム描画中におけるビーム位置変動は、上記した伝達特性メモリ51に格納された周波数伝達特性を用い、リアルタイムで補正がなされる。かかるリアルタイム補正について、以下に詳細に説明する。なお、図8は、描画時における補正の手順を示すフローチャートである。
Claims (2)
- 基板を載置したターンテーブルを回転させつつ基板に向けてビームを照射するビーム描画装置であって、
前記ターンテーブルの回転数を変化させる回転数変更手段と、
前記ターンテーブルの回転数を変化させて、回転数ごとにおける前記ビームの照射位置変動を測定する照射位置測定部と、
前記ターンテーブルの回転数を変化させて、回転数ごとに、前記ターンテーブルの回転変位を測定する回転変位測定部と、
測定によって得られた前記照射位置変動と前記回転変位とに基づいて前記ターンテーブルの回転振動に関する周波数伝達特性を前記回転数ごとに算出する周波数伝達特性算出手段と、
前記周波数伝達特性算出手段で算出した周波数伝達特性を格納する伝達特性格納部と、
前記回転変位及び前記周波数伝達特性に基づいて前記照射位置変動を推定して照射位置変動推定値を得る照射位置推定部と、
前記照射位置変動推定値に基づいて前記ビームの照射位置を補正するビーム照射位置調整部と、
を有することを特徴するビーム描画装置。 - 基板を載置したターンテーブルを回転させつつ基板に向けてビームを照射するビーム描画装置であって、
磁場の変動周波数を変更する磁場変動信号を入力し、磁場変動信号に応じて磁場の変動周波数を変化させる手段と、
磁場の変動周波数を変化させて、磁場変動信号ごとにおける前記ビームの照射位置変動を測定する照射位置測定部と、
磁場の変動周波数を変化させて、磁場変動信号ごとにおける磁場を測定する手段と、
測定によって得られた前記照射位置変動と前記磁場とに基づいて、磁場変化の周波数伝達特性を算出する周波数伝達特性算出手段と、
前記周波数伝達特性算出手段で算出した周波数伝達特性を格納する伝達特性格納部と、
描画中の磁場変化及び前記周波数伝達特性に基づいて前記照射位置変動を推定して照射位置変動推定値を得る照射位置推定部と、
前記照射位置変動推定値に基づいて前記ビームの照射位置を補正するビーム照射位置調整部と、
を有することを特徴するビーム描画装置。
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- 2007-03-20 JP JP2009505021A patent/JP5166400B2/ja not_active Expired - Fee Related
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