JP2010117507A - 電子ビーム記録装置 - Google Patents
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Abstract
基板面が傾斜し、かつ高さ変位を有する場合であってもフォーカス制御を高精度に行いつつ描画を行うことが可能なビーム描画装置を提供する
【解決手段】
基板面の高さを測定する高さ測定器と、電子ビームの照射半径位置及び角度位置に基づいて基板面の傾斜角度を算出する基板角度算出器と、上記傾斜角度に基づいて基板面の高さ誤差を算出する高さ誤差算出器と、上記高さ測定器による高さ測定値から上記高さ誤差を減算して高さ調整値を算出する調整値算出器と、上記高さ調整値に応じて上記電子ビームのフォーカス調整をなすフォーカスコントローラと、を有する。
【選択図】 図3
Description
上記基板面の高さを測定する高さ測定器と、
上記電子ビームの照射半径位置及び角度位置に基づいて上記基板面の傾斜角度を算出する基板角度算出器と、
上記傾斜角度に基づいて上記基板面の高さ誤差を算出する高さ誤差算出器と、
上記高さ測定器による高さ測定値から上記高さ誤差を減算して高さ調整値を算出する調整値算出器と、
上記高さ調整値に応じて上記電子ビームのフォーカス調整をなすフォーカスコントローラと、を有することを特徴としている。
電子ビーム記録装置10は、真空チャンバ11、及び真空チャンバ11内に配された基板15を載置及び回転、並進駆動する駆動装置、及び真空チャンバ11に取り付けられた電子ビームカラム20、及び基板の駆動制御及び電子ビーム制御等をなす種々の回路、制御系が設けられている。
図3は、基板15の高さに応じた電子ビームのフォーカス調整に係る構成を模式的に示すブロック図である。電子ビーム描画を行う際の基板15の描画面の高さ誤差及び基板15の面角度が検出され、電子ビームのフォーカス調整がなされる。
SA=arctan[HD(j)−HD(j−1)/(r・Δθ)] (1)
dZ(θ)/dθ=[dZm(θ)/dθ]−κ*[d2Zm(θ)/dθ2]
+κ2*[d3Zm(θ)/dθ3]+・・・・
+(−κ) n-1*[dnZm(θ)/dθn] (2)
HE=SA*κ (3)
SB=arctan[HD(k)−HD(k−1)/(Δr)] (4)
15 基板
16 ターンテーブル
17 スピンドルモータ
18 並進ステージ
23 ビーム偏向電極
24 ビーム変調電極
26 アパーチャ
30 コントローラ
31 ビーム偏向回路
32 ビーム変調回路
34 フォーカス回路
38 回転駆動部
39 並進駆動部
41 面角度算出器
42 高さ変位誤差算出器
43 調整値算出器
Claims (5)
- 基板を回転させつつ基板面上に形成されたレジストに電子ビームを照射することにより前記レジストに潜像を形成する記録装置であって、
前記基板面の高さを測定する高さ測定器と、
前記電子ビームの照射半径位置及び角度位置に基づいて前記基板面の傾斜角度を算出する基板角度算出器と、
前記傾斜角度に基づいて前記基板面の高さ誤差を算出する高さ誤差算出器と、
前記高さ測定器による高さ測定値から前記高さ誤差を減算して高さ調整値を算出する調整値算出器と、
前記高さ調整値に応じて前記電子ビームのフォーカス調整をなすフォーカスコントローラと、を有することを特徴とする記録装置。 - 前記基板角度算出器は、前記基板のトラック方向における前記基板面の傾斜角度を算出することを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
- 前記基板角度算出器は、前記基板のラジアル方向における前記基板面の傾斜角度を算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の記録装置。
- 前記傾斜角度、前記高さ誤差及び前記高さ調整値は前記基板の所定回転角度ごとに算出され、前記フォーカスコントローラは前記所定回転角度ごとに前記フォーカス調整をなすことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1に記載の記録装置。
- 前記傾斜角度、前記高さ誤差及び前記高さ調整値は前記基板の所定半径間隔ごとに算出され、前記フォーカスコントローラは前記所定半径間隔ごとに前記フォーカス調整をなすことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1に記載の記録装置。
Priority Applications (1)
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JP2008290034A JP2010117507A (ja) | 2008-11-12 | 2008-11-12 | 電子ビーム記録装置 |
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JP2008290034A JP2010117507A (ja) | 2008-11-12 | 2008-11-12 | 電子ビーム記録装置 |
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-
2008
- 2008-11-12 JP JP2008290034A patent/JP2010117507A/ja active Pending
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