JP2003036548A - Ｃｌｖ駆動指令パルス列生成方法及びその装置、送り方向のビーム照射位置誤差検出方法、ビーム照射位置誤差補正方法及びその装置、光ディスク原盤露光装置、光記録媒体 - Google Patents
Ｃｌｖ駆動指令パルス列生成方法及びその装置、送り方向のビーム照射位置誤差検出方法、ビーム照射位置誤差補正方法及びその装置、光ディスク原盤露光装置、光記録媒体Info
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- JP2003036548A JP2003036548A JP2001222795A JP2001222795A JP2003036548A JP 2003036548 A JP2003036548 A JP 2003036548A JP 2001222795 A JP2001222795 A JP 2001222795A JP 2001222795 A JP2001222795 A JP 2001222795A JP 2003036548 A JP2003036548 A JP 2003036548A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パル
ス列を基準に、送り制御誤差及び、ターンテーブルの同
期振れ・非同期振れの影響を同時に補償し、光ディスク
原盤上に、高精度な等線速・等トラックピッチスパイラ
ル状の高密度情報トラックを形成するための方法及び装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明の送り方向のビーム照射位置誤差
検出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にそ
の周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力す
る、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令
パルス列を基準として得られる送り偏差情報と、ターン
テーブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム照射
位置誤差を検出する。
ス列を基準に、送り制御誤差及び、ターンテーブルの同
期振れ・非同期振れの影響を同時に補償し、光ディスク
原盤上に、高精度な等線速・等トラックピッチスパイラ
ル状の高密度情報トラックを形成するための方法及び装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明の送り方向のビーム照射位置誤差
検出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にそ
の周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力す
る、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令
パルス列を基準として得られる送り偏差情報と、ターン
テーブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム照射
位置誤差を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＣＬＶ駆動指令パル
ス列生成方法及びその装置、送り方向のビーム照射位置
誤差検出方法、ビーム照射位置誤差補正方法及びその装
置、光ディスク原盤露光装置、光記録媒体に関し、詳細
には光ビームあるいは電子ビームを用いて等線速等ピッ
チスパイラル情報トラックを有する光ディスク原盤製作
を行なう光ディスク原盤露光装置に関連し、送り系の制
御誤差及びターンテーブル振れの影響を補正し、高密度
情報トラック形成を可能にする方法及び装置に関する。
ス列生成方法及びその装置、送り方向のビーム照射位置
誤差検出方法、ビーム照射位置誤差補正方法及びその装
置、光ディスク原盤露光装置、光記録媒体に関し、詳細
には光ビームあるいは電子ビームを用いて等線速等ピッ
チスパイラル情報トラックを有する光ディスク原盤製作
を行なう光ディスク原盤露光装置に関連し、送り系の制
御誤差及びターンテーブル振れの影響を補正し、高密度
情報トラック形成を可能にする方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、大容量光ディスクメディアとし
て、ＤＶＤの約３０倍の記録密度（１００Ｇｂｉｔ／ｉ
ｎ２）の光ディスクシステムを実現するための、超高密
度マスタリング装置の開発が検討されている。一方、２
００１年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
‘Ｏ６１「超高密度マスタリング装置における高分解能
ＮＲＲＯ検出」（パイオニア（株）北原弘昭、小島良
明、和田泰光）’によれば、このような記録密度におい
ては、最短ピット長、ピット幅とも７０ｎｍ以下となる
ことが予想され、この時、マスタリング装置に必要とさ
れる記録位置精度はサブナノメートルオーダと見積もら
れている。この文献では、機械的位置決めで、目標精度
σ０．５ｎｍを達成することは困難であるため、回転ス
テージと直動ステージの位置決め誤差をそれぞれ高分解
能で検出し、それらを電子ビーム偏向により補正するこ
とで相対位置精度を改善する方法をとるとし、回転ステ
ージの位置決め誤差として問題となる角度誤差（回転む
ら）の回転非同期成分と、非繰り返し軸振れ（ＮＲＲ
Ｏ）のうち、ＮＲＲＯの高分解能検出についての検討結
果について述べられている。以上のような検討を通し
て、超高密度マスタリング装置においては、上記回転む
らの非同期成分及び非同期軸振れ成分の補正が重要な課
題となるとされている。なお同期成分については、トラ
ックピッチ精度に影響してこない。
て、ＤＶＤの約３０倍の記録密度（１００Ｇｂｉｔ／ｉ
ｎ２）の光ディスクシステムを実現するための、超高密
度マスタリング装置の開発が検討されている。一方、２
００１年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
‘Ｏ６１「超高密度マスタリング装置における高分解能
ＮＲＲＯ検出」（パイオニア（株）北原弘昭、小島良
明、和田泰光）’によれば、このような記録密度におい
ては、最短ピット長、ピット幅とも７０ｎｍ以下となる
ことが予想され、この時、マスタリング装置に必要とさ
れる記録位置精度はサブナノメートルオーダと見積もら
れている。この文献では、機械的位置決めで、目標精度
σ０．５ｎｍを達成することは困難であるため、回転ス
テージと直動ステージの位置決め誤差をそれぞれ高分解
能で検出し、それらを電子ビーム偏向により補正するこ
とで相対位置精度を改善する方法をとるとし、回転ステ
ージの位置決め誤差として問題となる角度誤差（回転む
ら）の回転非同期成分と、非繰り返し軸振れ（ＮＲＲ
Ｏ）のうち、ＮＲＲＯの高分解能検出についての検討結
果について述べられている。以上のような検討を通し
て、超高密度マスタリング装置においては、上記回転む
らの非同期成分及び非同期軸振れ成分の補正が重要な課
題となるとされている。なお同期成分については、トラ
ックピッチ精度に影響してこない。
【０００３】この課題に対し、特開２０００−２０９６
４号公報（以下従来例と称す）では、送り方向のビーム
照射位置の補正に関連し、ターンテーブルの回転角に応
じた送り方向の振れ情報に基づいて、あるいは所定周期
分のターンテーブルの回転角に応じた送り方向の振れ情
報を基準として、現ターンテーブルの回転角に応じた送
り方向の振れ情報に基づいてビーム照射位置の補正を行
なおうとしている。
４号公報（以下従来例と称す）では、送り方向のビーム
照射位置の補正に関連し、ターンテーブルの回転角に応
じた送り方向の振れ情報に基づいて、あるいは所定周期
分のターンテーブルの回転角に応じた送り方向の振れ情
報を基準として、現ターンテーブルの回転角に応じた送
り方向の振れ情報に基づいてビーム照射位置の補正を行
なおうとしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、光ディスク原盤上に等線速・等トラックピッ
チスパイラル情報トラックを形成するためには従来例の
方法に加え、送り系駆動制御の送り位置誤差に対する対
応やＣＬＶ駆動指令パルスの精度に対する対応が必要に
なる課題を有している。また、記録する光ディスク原盤
の記録フォーマットがＣＬＶ（Constant Linear Veloci
ty；線速一定モード）である場合には、光ディスク原盤
上での照射スポットの半径位置に応じてスピンドルモー
タの回転数を変更すべくレーザ測長機から発せられる検
出信号は、基準信号発生器１３に対しても供給されるこ
とから、ＣＬＶ駆動指令パルスの生成は制御状態にある
送り系の、送り制御誤差あるいは駆動指令パルスの精度
誤差を含んだ半径位置情報に基づいて生成されている。
従って、上記従来例の方法に従ってビーム照射位置の補
正を行なったとしても等トラックピッチスパイラル情報
トラックが形成される保証は得られない。
来例では、光ディスク原盤上に等線速・等トラックピッ
チスパイラル情報トラックを形成するためには従来例の
方法に加え、送り系駆動制御の送り位置誤差に対する対
応やＣＬＶ駆動指令パルスの精度に対する対応が必要に
なる課題を有している。また、記録する光ディスク原盤
の記録フォーマットがＣＬＶ（Constant Linear Veloci
ty；線速一定モード）である場合には、光ディスク原盤
上での照射スポットの半径位置に応じてスピンドルモー
タの回転数を変更すべくレーザ測長機から発せられる検
出信号は、基準信号発生器１３に対しても供給されるこ
とから、ＣＬＶ駆動指令パルスの生成は制御状態にある
送り系の、送り制御誤差あるいは駆動指令パルスの精度
誤差を含んだ半径位置情報に基づいて生成されている。
従って、上記従来例の方法に従ってビーム照射位置の補
正を行なったとしても等トラックピッチスパイラル情報
トラックが形成される保証は得られない。
【０００５】本発明はこれらの課題を解決するためのも
のであり、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準
に、送り制御誤差及び、ターンテーブルの同期振れ・非
同期振れの影響を同時に補償し、光ディスク原盤上に、
高精度な等線速・等トラックピッチスパイラル状の高密
度情報トラックを形成するための方法及び装置を提供す
ることを目的とする。
のであり、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準
に、送り制御誤差及び、ターンテーブルの同期振れ・非
同期振れの影響を同時に補償し、光ディスク原盤上に、
高精度な等線速・等トラックピッチスパイラル状の高密
度情報トラックを形成するための方法及び装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに、本発明のＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法は、回
転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パルス
列を、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周期
長を一定の時間づつ変化させながら生成出力する。よっ
て、ターンテーブル移動型あるいは光学系移動型の光ビ
ーム又は電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置に
おいてＣＬＶ駆動する際に、露光ビーム位置を補正する
ための基準となり得るターンテーブル及び送りの正確な
ＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法を提供でき、更にこの
ＣＬＶ駆動指令パルス列を基準としてビーム照射位置誤
差を求めることが可能となる。
めに、本発明のＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法は、回
転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パルス
列を、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周期
長を一定の時間づつ変化させながら生成出力する。よっ
て、ターンテーブル移動型あるいは光学系移動型の光ビ
ーム又は電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置に
おいてＣＬＶ駆動する際に、露光ビーム位置を補正する
ための基準となり得るターンテーブル及び送りの正確な
ＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法を提供でき、更にこの
ＣＬＶ駆動指令パルス列を基準としてビーム照射位置誤
差を求めることが可能となる。
【０００７】また、別の発明のＣＬＶ駆動指令パルス列
生成装置は、基準クロック発生回路と、基準クロックを
分周する分周回路と、分周データをラッチする分周デー
タラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし
複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出
力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択
出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパ
ルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチす
る遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ
駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延
パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有
し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、
分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ
回路にセットされる。よって、時間を基準とし、光ディ
スク原盤上に等線速・等ピッチスパイラル情報トラック
を形成するための厳密に正確な時刻に駆動指令パルスを
発生させているので、このＣＬＶ駆動指令パルス列を基
準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能とな
る。
生成装置は、基準クロック発生回路と、基準クロックを
分周する分周回路と、分周データをラッチする分周デー
タラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし
複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出
力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択
出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパ
ルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチす
る遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ
駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延
パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有
し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、
分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ
回路にセットされる。よって、時間を基準とし、光ディ
スク原盤上に等線速・等ピッチスパイラル情報トラック
を形成するための厳密に正確な時刻に駆動指令パルスを
発生させているので、このＣＬＶ駆動指令パルス列を基
準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能とな
る。
【０００８】更に、別の発明の送り方向のビーム照射位
置誤差検出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス
毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出
力する、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動
指令パルス列を基準として得られる送り偏差情報と、タ
ーンテーブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム
照射位置誤差を検出する。よって、ターンテーブル振れ
に伴うビーム照射位置誤差ばかりか、送り制御誤差に伴
うビーム照射位置誤差も含めたビーム照射位置誤差情報
を一度に得ることができる。
置誤差検出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス
毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出
力する、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動
指令パルス列を基準として得られる送り偏差情報と、タ
ーンテーブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム
照射位置誤差を検出する。よって、ターンテーブル振れ
に伴うビーム照射位置誤差ばかりか、送り制御誤差に伴
うビーム照射位置誤差も含めたビーム照射位置誤差情報
を一度に得ることができる。
【０００９】また、上記送り方向のビーム照射位置誤差
検出方法によって得られる送り方向のビーム照射位置誤
差情報に対し、予め測定されたターンテーブル振れ検出
面の真円度誤差情報を用い、ターンテーブルの回転角位
置に応じて、送り方向のビーム照射位置誤差情報に補正
を加え、真の送り方向のビーム照射位置誤差情報を得
る。よって、上記送り方向のビーム照射位置誤差検出方
法によって得られるビーム照射位置誤差情報を用いたビ
ーム照射位置誤差補正を行なうと同時に、送り方向と直
角方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差
補正も行なうので、より正確に光ディスク原盤上に等線
速、等ピッチスパイラル情報トラックにそったビーム照
射が可能となる。
検出方法によって得られる送り方向のビーム照射位置誤
差情報に対し、予め測定されたターンテーブル振れ検出
面の真円度誤差情報を用い、ターンテーブルの回転角位
置に応じて、送り方向のビーム照射位置誤差情報に補正
を加え、真の送り方向のビーム照射位置誤差情報を得
る。よって、上記送り方向のビーム照射位置誤差検出方
法によって得られるビーム照射位置誤差情報を用いたビ
ーム照射位置誤差補正を行なうと同時に、送り方向と直
角方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差
補正も行なうので、より正確に光ディスク原盤上に等線
速、等ピッチスパイラル情報トラックにそったビーム照
射が可能となる。
【００１０】更に、別の発明のビーム照射位置誤差補正
方法によれば、第１の偏向手段によりビーム照射位置補
正を行なうと同時に、ターンテーブルの送り方向と直角
方向の振れを検出し、検出した送り方向と直角方向の振
れ情報に基づいて、ビーム照射位置を送り方向と直角方
向に偏向してビーム照射位置を補正する。よって、上記
送り方向のビーム照射位置誤差検出方法によって得られ
るビーム照射位置誤差情報を用いたビーム照射位置誤差
補正を行うと同時に、送り方向と直角方向のターンテー
ブル振れに伴うビーム照射位置誤差補正も行うので、よ
り正確に光ディスク原盤上に等線速、等ピッチスパイラ
ル情報トラックに沿ったビーム照射が可能となる。
方法によれば、第１の偏向手段によりビーム照射位置補
正を行なうと同時に、ターンテーブルの送り方向と直角
方向の振れを検出し、検出した送り方向と直角方向の振
れ情報に基づいて、ビーム照射位置を送り方向と直角方
向に偏向してビーム照射位置を補正する。よって、上記
送り方向のビーム照射位置誤差検出方法によって得られ
るビーム照射位置誤差情報を用いたビーム照射位置誤差
補正を行うと同時に、送り方向と直角方向のターンテー
ブル振れに伴うビーム照射位置誤差補正も行うので、よ
り正確に光ディスク原盤上に等線速、等ピッチスパイラ
ル情報トラックに沿ったビーム照射が可能となる。
【００１１】また、ターンテーブル回転と同期した回転
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
【００１２】更に、別の発明のビーム照射位置補正回路
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報から送り位置偏差情報に
変換するデータ変換回路と、偏差演算回路の出力データ
とターンテーブル振れに伴う送り位置偏差情報から、ビ
ーム照射位置誤差情報を演算出力する照射位置誤差演算
回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情報をビー
ム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有する。よっ
て、ターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差ばか
りか、送り制御誤差に伴うビーム照射位置誤差も含めた
ビーム照射位置誤差情報を一度に得ることができる。
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報から送り位置偏差情報に
変換するデータ変換回路と、偏差演算回路の出力データ
とターンテーブル振れに伴う送り位置偏差情報から、ビ
ーム照射位置誤差情報を演算出力する照射位置誤差演算
回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情報をビー
ム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有する。よっ
て、ターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差ばか
りか、送り制御誤差に伴うビーム照射位置誤差も含めた
ビーム照射位置誤差情報を一度に得ることができる。
【００１３】また、別の発明のビーム照射位置補正回路
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報を送り位置偏差情報に変
換するデータ変換回路と、ターンテーブルの回転角位置
情報を出力するターンテーブル回転角位置演算回路と、
ターンテーブルの回転角位置情報に応じて、その回転角
位置における真円度誤差情報を出力する真円度誤差情報
出力回路と、偏差演算回路出力データとターンテーブル
振れに伴う送り位置偏差情報及び真円度誤差情報から、
ビーム照射位置誤差情報を演算出力するビーム照射位置
誤差演算回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情
報をビーム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有す
る。よって、正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準とし
て、送り系の駆動制御系の制御誤差及び送り方向のター
ンテーブル振れ情報及び、ターンテーブルの振れ検出面
の真円度情報からビーム照射位置誤差をもとめているの
で、ビーム照射位置誤差情報より、更に等線速、等ピッ
チスパイラル情報トラックに対するより正確なビーム照
射位置誤差情報を得ることができる。
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報を送り位置偏差情報に変
換するデータ変換回路と、ターンテーブルの回転角位置
情報を出力するターンテーブル回転角位置演算回路と、
ターンテーブルの回転角位置情報に応じて、その回転角
位置における真円度誤差情報を出力する真円度誤差情報
出力回路と、偏差演算回路出力データとターンテーブル
振れに伴う送り位置偏差情報及び真円度誤差情報から、
ビーム照射位置誤差情報を演算出力するビーム照射位置
誤差演算回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情
報をビーム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有す
る。よって、正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準とし
て、送り系の駆動制御系の制御誤差及び送り方向のター
ンテーブル振れ情報及び、ターンテーブルの振れ検出面
の真円度情報からビーム照射位置誤差をもとめているの
で、ビーム照射位置誤差情報より、更に等線速、等ピッ
チスパイラル情報トラックに対するより正確なビーム照
射位置誤差情報を得ることができる。
【００１４】更に、ターンテーブル回転と同期した回転
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
【００１５】また、別の発明としての光ディスク原盤露
光装置は、上記のＣＬＶ駆動指令パルス生成回路によっ
て生成される駆動指令パルス列によって回転駆動手段と
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、また上記のビーム
照射位置補正回路から出力されるビーム照射位置誤差補
正信号の基づいて、光ビームあるいは電子ビームの偏向
手段を用いてビーム照射位置の補正を行なう。よって、
送り駆動制御系の制御誤差及び送り方向のターンテーブ
ル振れに伴うビーム照射位置誤差が補正されるので、高
密度な等ピッチスパイラル情報トラックを搭載した光デ
ィスク原盤の露光が可能になる。
光装置は、上記のＣＬＶ駆動指令パルス生成回路によっ
て生成される駆動指令パルス列によって回転駆動手段と
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、また上記のビーム
照射位置補正回路から出力されるビーム照射位置誤差補
正信号の基づいて、光ビームあるいは電子ビームの偏向
手段を用いてビーム照射位置の補正を行なう。よって、
送り駆動制御系の制御誤差及び送り方向のターンテーブ
ル振れに伴うビーム照射位置誤差が補正されるので、高
密度な等ピッチスパイラル情報トラックを搭載した光デ
ィスク原盤の露光が可能になる。
【００１６】更に、ターンテーブルの送り方向と直角方
向のターンテーブル振れを検出する第２の振れ検出手段
と、第２の振れ検出手段によって検出されたターンテー
ブル振れ情報に基づいて、ビーム照射位置をターンテー
ブル送り方向と直角方向に偏向可能な第２のビーム偏向
手段とを有することにより、送り駆動制御系の制御誤差
及び送り方向のターンテーブル振れ及びターンテーブル
の振れ検出面の真円度誤差に伴うビーム照射位置誤差が
補正されるので、高密度な等ピッチスパイラル情報トラ
ックを搭載した光ディスク原盤の露光が可能になる。
向のターンテーブル振れを検出する第２の振れ検出手段
と、第２の振れ検出手段によって検出されたターンテー
ブル振れ情報に基づいて、ビーム照射位置をターンテー
ブル送り方向と直角方向に偏向可能な第２のビーム偏向
手段とを有することにより、送り駆動制御系の制御誤差
及び送り方向のターンテーブル振れ及びターンテーブル
の振れ検出面の真円度誤差に伴うビーム照射位置誤差が
補正されるので、高密度な等ピッチスパイラル情報トラ
ックを搭載した光ディスク原盤の露光が可能になる。
【００１７】また、別の発明として、上記の光ディスク
原盤露光装置によって形成された等線速・等トラックピ
ッチスパイラル高密度情報トラックを有する光記録媒体
に特徴がある。よって、高密度な等線速、等ピッチスパ
イラル情報トラックが搭載可能なので、１枚の光ディス
クスタンパ及び光ディスクメディアに大容量の情報を搭
載することができる。
原盤露光装置によって形成された等線速・等トラックピ
ッチスパイラル高密度情報トラックを有する光記録媒体
に特徴がある。よって、高密度な等線速、等ピッチスパ
イラル情報トラックが搭載可能なので、１枚の光ディス
クスタンパ及び光ディスクメディアに大容量の情報を搭
載することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】送り方向のビーム照射位置誤差検
出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその
周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力する、
回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パル
ス列を基準として得られる送り偏差情報と、ターンテー
ブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム照射位置
誤差を検出する。
出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその
周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力する、
回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パル
ス列を基準として得られる送り偏差情報と、ターンテー
ブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム照射位置
誤差を検出する。
【００１９】
【実施例】はじめに、本発明の原理について説明する。
ＣＬＶ駆動によって形成される等ピッチのスパイラルト
ラックにおいて、その全トラック線路長（Ｌ）は式
（１）で表される。 Ｌ＝π（ｒ２−Ｒ０ ２）／Ｐ （１） ｒ＝Ｒ０＋ｎＰ （２） 但し、Ｒ０はＣＬＶ駆動の開始半径位置を、ｒは線路長
を測定しようとしているスパイラル半径位置を、Ｐはス
パイラルトラックピッチを、ｎはトラック数を各々表わ
す。また、ｎは１，２，３，…とする。式（１）、式
（２）から Ｌ＝２πＲ０ｎ＋ｎ２πＰ （３） また、式（３）から各トラックの線路長（Ｌｎ）は次の
（４）式のように表される。 Ｌｎ＝２πＲ０＋(２ｎ−１)πＰ （４）
ＣＬＶ駆動によって形成される等ピッチのスパイラルト
ラックにおいて、その全トラック線路長（Ｌ）は式
（１）で表される。 Ｌ＝π（ｒ２−Ｒ０ ２）／Ｐ （１） ｒ＝Ｒ０＋ｎＰ （２） 但し、Ｒ０はＣＬＶ駆動の開始半径位置を、ｒは線路長
を測定しようとしているスパイラル半径位置を、Ｐはス
パイラルトラックピッチを、ｎはトラック数を各々表わ
す。また、ｎは１，２，３，…とする。式（１）、式
（２）から Ｌ＝２πＲ０ｎ＋ｎ２πＰ （３） また、式（３）から各トラックの線路長（Ｌｎ）は次の
（４）式のように表される。 Ｌｎ＝２πＲ０＋(２ｎ−１)πＰ （４）
【００２０】式（４）から、隣接トラック間の線路長差
は、以下のように一定であることがわかる。 （隣接トラック間の線路長差）＝２πＰ＝一定 （５）
は、以下のように一定であることがわかる。 （隣接トラック間の線路長差）＝２πＰ＝一定 （５）
【００２１】式（２）は、求めようとするスパイラル軌
跡を、トラックを単位として、すなわち、スパイラルの
中心から線路に沿って軌跡の回転角が２πを周回する毎
の半径位置を表現している。その結果、トラック毎に、
２πＰづつトラックの線路長が増加していくということ
になる。これは、ＣＬＶ駆動において、線速をＶＬとす
ると１トラック毎に２πＰ／ＶＬづつ１トラック周回す
るに要する時間が増えることを意味している。図９及び
図１０は、この時のＣＬＶ駆動指令パルス列の周波数の
変化の様子を示している。図９はトラック毎に周波数を
更新した場合、図１０は、トラック内を複数に分割して
周波数を更新した場合である。どちらの場合も長時間内
で見た時の理想的なＣＬＶ駆動指令パルス列に対して、
誤差を持たないパルス列を生成できる。しかし、トラッ
ク内あるいはトラックを複数に分割した時間内でみる
と、時々刻々に生成される駆動指令パルスの速度指令に
は誤差を持っていた。
跡を、トラックを単位として、すなわち、スパイラルの
中心から線路に沿って軌跡の回転角が２πを周回する毎
の半径位置を表現している。その結果、トラック毎に、
２πＰづつトラックの線路長が増加していくということ
になる。これは、ＣＬＶ駆動において、線速をＶＬとす
ると１トラック毎に２πＰ／ＶＬづつ１トラック周回す
るに要する時間が増えることを意味している。図９及び
図１０は、この時のＣＬＶ駆動指令パルス列の周波数の
変化の様子を示している。図９はトラック毎に周波数を
更新した場合、図１０は、トラック内を複数に分割して
周波数を更新した場合である。どちらの場合も長時間内
で見た時の理想的なＣＬＶ駆動指令パルス列に対して、
誤差を持たないパルス列を生成できる。しかし、トラッ
ク内あるいはトラックを複数に分割した時間内でみる
と、時々刻々に生成される駆動指令パルスの速度指令に
は誤差を持っていた。
【００２２】そこで、本発明のＣＬＶ駆動指令パルス列
生成方法では、ＣＬＶ駆動指令パルス毎に周期を更新
し、時々刻々に生成される駆動指令パルスにおいて、理
想的なＣＬＶ駆動指令パルス列との誤差を無くしてい
る。図１に、本発明によるＣＬＶ駆動指令パルス列生成
方法によって生成されるパルス列の周期の変化の様子を
示す。今、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長
の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮc個とす
ると、ｎ個のＣＬＶ駆動指令パルスに相当する線路長
（Ｌｐ）は Ｌｐ＝２πＲ０ｎ／Ｎｃ＋（ｎ／Ｎｃ）２πＰ （６） また、式（６）から各ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路
長（Ｌpn）は次の（７）式のように表される。 Ｌpn＝２πＲ０／Ｎｃ＋(２ｎ−１)πＰ／Ｎｃ２ （７）
生成方法では、ＣＬＶ駆動指令パルス毎に周期を更新
し、時々刻々に生成される駆動指令パルスにおいて、理
想的なＣＬＶ駆動指令パルス列との誤差を無くしてい
る。図１に、本発明によるＣＬＶ駆動指令パルス列生成
方法によって生成されるパルス列の周期の変化の様子を
示す。今、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長
の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮc個とす
ると、ｎ個のＣＬＶ駆動指令パルスに相当する線路長
（Ｌｐ）は Ｌｐ＝２πＲ０ｎ／Ｎｃ＋（ｎ／Ｎｃ）２πＰ （６） また、式（６）から各ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路
長（Ｌpn）は次の（７）式のように表される。 Ｌpn＝２πＲ０／Ｎｃ＋(２ｎ−１)πＰ／Ｎｃ２ （７）
【００２３】式（７）から、隣接ＣＬＶ駆動指令パルス
相当の線路長差は、以下の様に一定であることがわか
る。（隣接ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路長差） ＝２πＰ／Ｎｃ２＝一定 （８）
相当の線路長差は、以下の様に一定であることがわか
る。（隣接ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路長差） ＝２πＰ／Ｎｃ２＝一定 （８）
【００２４】ここで、線速ＶＬは一定であるから（隣接
ＣＬＶ駆動指令パルスの周期長差） ＝２πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）＝一定 （９） となる。従って、 （ＣＬＶ駆動指令パルス周期） ＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ） （１０） を満たす周期のパルス列を生成することにより、理想的
なＣＬＶ駆動指令パルスの生成が実現できる。
ＣＬＶ駆動指令パルスの周期長差） ＝２πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）＝一定 （９） となる。従って、 （ＣＬＶ駆動指令パルス周期） ＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ） （１０） を満たす周期のパルス列を生成することにより、理想的
なＣＬＶ駆動指令パルスの生成が実現できる。
【００２５】このような方法で得られる、１パルス毎の
発生時刻は、駆動速度、すなわちＣＬＶ駆動指令パルス
の周期を時々刻々と変化させながら光ディスク原盤上に
等線速・等ピッチスパイラル情報トラックを形成するＣ
ＬＶ駆動状態を保証するための基準となり得る。
発生時刻は、駆動速度、すなわちＣＬＶ駆動指令パルス
の周期を時々刻々と変化させながら光ディスク原盤上に
等線速・等ピッチスパイラル情報トラックを形成するＣ
ＬＶ駆動状態を保証するための基準となり得る。
【００２６】図２は別の発明の一実施例に係るＣＬＶ駆
動指令パルス列生成装置の構成を示すブロック図であ
る。本発明の特徴は、上記説明したＣＬＶ駆動指令パル
ス列生成方法に順じ、１パルス毎に分周データ及びパル
ス選択データを更新し、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パ
ルス列出力を得ることである。図２において、本実施例
のＣＬＶ駆動指令パルス列生成装置では、基本クロック
周期（Ｔａ）内に複数の等遅延時間間隔遅延パルス群を
生成する遅延回路２１を有し、この最少分割遅延時間を
単位とし、式（１０）で与えられる周期から、次のＣＬ
Ｖ駆動指令パルスの基本クロックの分周数と遅延数を演
算し、現出力パルスのパルス選択データを加味して、分
周データ及びパルス選択データを求め、それぞれラッチ
回路２２、２３にセットさせる。演算は十分な有効桁を
もってなされ、演算誤差による影響が出力パルス精度に
現れないよう行なわれる。また、遅延時間で決まる周期
設定の最小分解能によっても、正確な周期設定が行なえ
ない場合は、最も近いパルスを出力パルスとする。ただ
し、演算上は、あくまでも正確に行ない、厳密に正しい
ＣＬＶ駆動指令パルス発生時間周辺で絶えずパルス出力
が行なわれるようにする。
動指令パルス列生成装置の構成を示すブロック図であ
る。本発明の特徴は、上記説明したＣＬＶ駆動指令パル
ス列生成方法に順じ、１パルス毎に分周データ及びパル
ス選択データを更新し、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パ
ルス列出力を得ることである。図２において、本実施例
のＣＬＶ駆動指令パルス列生成装置では、基本クロック
周期（Ｔａ）内に複数の等遅延時間間隔遅延パルス群を
生成する遅延回路２１を有し、この最少分割遅延時間を
単位とし、式（１０）で与えられる周期から、次のＣＬ
Ｖ駆動指令パルスの基本クロックの分周数と遅延数を演
算し、現出力パルスのパルス選択データを加味して、分
周データ及びパルス選択データを求め、それぞれラッチ
回路２２、２３にセットさせる。演算は十分な有効桁を
もってなされ、演算誤差による影響が出力パルス精度に
現れないよう行なわれる。また、遅延時間で決まる周期
設定の最小分解能によっても、正確な周期設定が行なえ
ない場合は、最も近いパルスを出力パルスとする。ただ
し、演算上は、あくまでも正確に行ない、厳密に正しい
ＣＬＶ駆動指令パルス発生時間周辺で絶えずパルス出力
が行なわれるようにする。
【００２７】上記発明により得られる厳密に正確な送り
駆動指令パルス列を基準とすることにより、送り駆動制
御系の制御誤差に伴うビーム照射位置誤差と、次に説明
するように、送り方向のターンテーブル振れに伴うビー
ム照射位置誤差を同時に検出する。
駆動指令パルス列を基準とすることにより、送り駆動制
御系の制御誤差に伴うビーム照射位置誤差と、次に説明
するように、送り方向のターンテーブル振れに伴うビー
ム照射位置誤差を同時に検出する。
【００２８】図３は別の発明の第１の実施例に係るビー
ム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同
図において、偏差カウンタ３１は、基準となるＣＬＶ駆
動指令パルス（Ｐｇ）と、送り位置検出装置から出力さ
れる送り位置検出パルス（戻りパルス）（Ｌｓ）を入力
とし、送り系の送り制御誤差を演算して出力する。デー
タ変換回路３２は、ターンテーブル振れ検出信号の大き
さ応じて、すなわちターンテーブル振れ検出信号（Ｖｄ
１）のＡ／Ｄ変換回路３３の出力に応じて、振れに伴う
位置誤差データを出力する。加減算回路３４は、偏差カ
ウンタ３１からの送り系の送り位置誤差データと、デー
タ変換回路３２からのターンテーブルの振れに伴う位置
誤差データとに基づいて演算し、Ｐｇを基準に、現時点
でのビーム照射位置誤差を求め、Ｄ／Ａ変換回路３５に
よってＤ／Ａ変換後のビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）
を出力し、図示していないビーム照射位置補正手段へ出
力する。なお、ビーム位置補正回路用の送り位置情報
は、送りモータの駆動制御のために用意されている第１
の送り位置検出器の出力を用いてもよいし、専用に第２
の送り位置検出器を用意してもよい。また、一般に、送
り駆動制御系内で生成される、指令パルス列と第１の送
り位置検出器から出力される戻りパルスの偏差データを
直接ビーム位置補正回路に取り入れてもよい。
ム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同
図において、偏差カウンタ３１は、基準となるＣＬＶ駆
動指令パルス（Ｐｇ）と、送り位置検出装置から出力さ
れる送り位置検出パルス（戻りパルス）（Ｌｓ）を入力
とし、送り系の送り制御誤差を演算して出力する。デー
タ変換回路３２は、ターンテーブル振れ検出信号の大き
さ応じて、すなわちターンテーブル振れ検出信号（Ｖｄ
１）のＡ／Ｄ変換回路３３の出力に応じて、振れに伴う
位置誤差データを出力する。加減算回路３４は、偏差カ
ウンタ３１からの送り系の送り位置誤差データと、デー
タ変換回路３２からのターンテーブルの振れに伴う位置
誤差データとに基づいて演算し、Ｐｇを基準に、現時点
でのビーム照射位置誤差を求め、Ｄ／Ａ変換回路３５に
よってＤ／Ａ変換後のビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）
を出力し、図示していないビーム照射位置補正手段へ出
力する。なお、ビーム位置補正回路用の送り位置情報
は、送りモータの駆動制御のために用意されている第１
の送り位置検出器の出力を用いてもよいし、専用に第２
の送り位置検出器を用意してもよい。また、一般に、送
り駆動制御系内で生成される、指令パルス列と第１の送
り位置検出器から出力される戻りパルスの偏差データを
直接ビーム位置補正回路に取り入れてもよい。
【００２９】次に、上記発明により得られる厳密に正確
な送り駆動指令パルス列を基準とすることにより、送り
駆動制御系の制御誤差に伴うビーム照射位置誤差と、送
り方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差
及び、次に説明するように、ターンテーブル振れ検出面
の真円度誤差情報を加えたビーム照射位置誤差を検出す
る。
な送り駆動指令パルス列を基準とすることにより、送り
駆動制御系の制御誤差に伴うビーム照射位置誤差と、送
り方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差
及び、次に説明するように、ターンテーブル振れ検出面
の真円度誤差情報を加えたビーム照射位置誤差を検出す
る。
【００３０】図４は別の発明の第２の実施例に係るビー
ム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同
図において、図３と同じ参照符号は同じ構成要素を示
す。異なる構成要素として、加減算回路３４において
は、ターンテーブル振れ検出面の真円度誤差情報を合わ
せて演算する。すなわち、真円度誤差出力回路４１に
は、予めターンテーブル単体で評価された、回転角に応
じた真円度誤差情報が格納されてあり、回転位置出力回
路４２のターンテーブルの回転に応じて出力されるター
ンテーブル回転パルス（Ｔｐ）と回転原点を示す原点パ
ルス入力から得られる回転位置データ（Ｔｚ）に基づい
て真円度誤差情報を出力する。
ム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同
図において、図３と同じ参照符号は同じ構成要素を示
す。異なる構成要素として、加減算回路３４において
は、ターンテーブル振れ検出面の真円度誤差情報を合わ
せて演算する。すなわち、真円度誤差出力回路４１に
は、予めターンテーブル単体で評価された、回転角に応
じた真円度誤差情報が格納されてあり、回転位置出力回
路４２のターンテーブルの回転に応じて出力されるター
ンテーブル回転パルス（Ｔｐ）と回転原点を示す原点パ
ルス入力から得られる回転位置データ（Ｔｚ）に基づい
て真円度誤差情報を出力する。
【００３１】図５は別の発明の第３の実施例に係るビー
ム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同
図において、図４と同じ参照符号は同じ構成要素を示
す。先ず、本実施例の動作について説明すると、ターン
テーブル振れ量検出器より得られる、振れ情報をＶ
（θ）とすると、 Ｖ（θ）＝Ｒ（θ）＋ｄＲ（θ）＋ＮＲ（θ） （１１）
ム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同
図において、図４と同じ参照符号は同じ構成要素を示
す。先ず、本実施例の動作について説明すると、ターン
テーブル振れ量検出器より得られる、振れ情報をＶ
（θ）とすると、 Ｖ（θ）＝Ｒ（θ）＋ｄＲ（θ）＋ＮＲ（θ） （１１）
【００３２】ここで、Ｒ（θ）はターンテーブル回転と
同期した回転軸振れ量を、ｄＲ（θ）は振れ検出面の真
円度誤差に伴う振れ量を、ＮＲ（θ）は、ターンテーブ
ル回転と非同期な回転軸振れ量を各々表す。また、θは
ターンテーブル回転軸に取り付けられた回転角検出手段
（回転角に応じてパルスを出力する）から得られる回転
角である。
同期した回転軸振れ量を、ｄＲ（θ）は振れ検出面の真
円度誤差に伴う振れ量を、ＮＲ（θ）は、ターンテーブ
ル回転と非同期な回転軸振れ量を各々表す。また、θは
ターンテーブル回転軸に取り付けられた回転角検出手段
（回転角に応じてパルスを出力する）から得られる回転
角である。
【００３３】本実施例では、非同期成分ＮＲ（θ）は従
来例のように、複数回の測定による平均化あるいは、適
切なローパスフィルター回路によって除去され、同期軸
振れＲ（θ）は、サイン波形、Ａ×ｓｉｎ（θ）（＝Ｒ
（θ））を仮定する（同期軸振れの軌跡は、真の回転中
心を中心に円を描くとする。）。このようにすることに
よって、真円度誤差ｄＲ（θ）は
来例のように、複数回の測定による平均化あるいは、適
切なローパスフィルター回路によって除去され、同期軸
振れＲ（θ）は、サイン波形、Ａ×ｓｉｎ（θ）（＝Ｒ
（θ））を仮定する（同期軸振れの軌跡は、真の回転中
心を中心に円を描くとする。）。このようにすることに
よって、真円度誤差ｄＲ（θ）は
【００３４】
ｄＲ（θ）＝Ｖ（θ）−Ａ×ｓｉｎ（θ−φ） （１２）
【００３５】として求められる。ここで、Ａおよびφ
は、ｄＲ（θ）の一周期にわたる積分量が最小となるよ
うに設定される。このようにして得られるｄＲ（θ）を
真円度誤差情報とする。この真円度誤差情報ｄＲ（θ）
は、振れ量とターンテーブル回転角情報を入力として持
つ図示していないシステムコントローラ内部等において
ソフトウェアによって処理され求められる。求められた
真円度誤差情報は、図５に示すように、システムコント
ローラにより、真円度誤差データ格納回路５１に位置情
報に対応してデータセットされる。よって、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差データ格納回路５１への真円度誤差情報のセ
ットまで自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正
システムが構成できる。
は、ｄＲ（θ）の一周期にわたる積分量が最小となるよ
うに設定される。このようにして得られるｄＲ（θ）を
真円度誤差情報とする。この真円度誤差情報ｄＲ（θ）
は、振れ量とターンテーブル回転角情報を入力として持
つ図示していないシステムコントローラ内部等において
ソフトウェアによって処理され求められる。求められた
真円度誤差情報は、図５に示すように、システムコント
ローラにより、真円度誤差データ格納回路５１に位置情
報に対応してデータセットされる。よって、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差データ格納回路５１への真円度誤差情報のセ
ットまで自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正
システムが構成できる。
【００３６】図６は送り方向と直角方向に第２のターン
テーブル振れ検出器を配置した様子を示す概略平面図で
ある。同図からわかるように、ターンテーブル振れ自体
が微小であるため、送り方向及び、それと直角方向の振
れを検出し、それぞれ独立な方向の振れとして取り扱っ
ても問題はない。光ディスク原盤露光装置には、この第
２の振れ検出方向に対応した第２のビーム偏向手段を搭
載し、それぞれ独立にビーム照射位置補正を行なう。
テーブル振れ検出器を配置した様子を示す概略平面図で
ある。同図からわかるように、ターンテーブル振れ自体
が微小であるため、送り方向及び、それと直角方向の振
れを検出し、それぞれ独立な方向の振れとして取り扱っ
ても問題はない。光ディスク原盤露光装置には、この第
２の振れ検出方向に対応した第２のビーム偏向手段を搭
載し、それぞれ独立にビーム照射位置補正を行なう。
【００３７】図７は別の発明の第１の実施例に係る光デ
ィスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。同図に
おいて、電子ビーム鏡筒７１では、電子ビーム源から発
する電子ビームが、ブランキング電極７２を介して、情
報トラック信号発生回路７３からの信号によってブラン
キングされる。また、電子ビームは、図３に示す構成を
有するビーム照射位置補正回路７４からのビーム照射位
置補正信号（Ｂｃ）によって、第１の偏向手段７５（電
子線露光機の場合は偏向電極、光ビーム露光機の場合は
ＡＯ偏向器が用いられる）を用い、光ディスク原盤７６
上の電子ビーム照射位置の補正を行なう。真空容器７７
内には、光ディスク原盤７６とこれを搭載するターンテ
ーブル７８、ターンテーブル７８を回転駆動するターン
テーブル回転モータ７９及びこれと同軸に構成され、回
転角に応じて回転パルスと原点パルスを出力するターン
テーブル回転パルス生成装置８０、ターンテーブル７８
の送り方向の振れを検出する第１の振れ検出器８１、こ
れらを横移動させるための送りネジ８２、この送り位置
を検出するための第２の送り位置検出器８３が内包され
る。送りネジ８２を回転する送りモータ８４は真空容器
７７の外に設置されている。
ィスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。同図に
おいて、電子ビーム鏡筒７１では、電子ビーム源から発
する電子ビームが、ブランキング電極７２を介して、情
報トラック信号発生回路７３からの信号によってブラン
キングされる。また、電子ビームは、図３に示す構成を
有するビーム照射位置補正回路７４からのビーム照射位
置補正信号（Ｂｃ）によって、第１の偏向手段７５（電
子線露光機の場合は偏向電極、光ビーム露光機の場合は
ＡＯ偏向器が用いられる）を用い、光ディスク原盤７６
上の電子ビーム照射位置の補正を行なう。真空容器７７
内には、光ディスク原盤７６とこれを搭載するターンテ
ーブル７８、ターンテーブル７８を回転駆動するターン
テーブル回転モータ７９及びこれと同軸に構成され、回
転角に応じて回転パルスと原点パルスを出力するターン
テーブル回転パルス生成装置８０、ターンテーブル７８
の送り方向の振れを検出する第１の振れ検出器８１、こ
れらを横移動させるための送りネジ８２、この送り位置
を検出するための第２の送り位置検出器８３が内包され
る。送りネジ８２を回転する送りモータ８４は真空容器
７７の外に設置されている。
【００３８】このような構成を有する光ディスク原盤露
光装置によれば、図２に示す構成を有するＣＬＶ駆動指
令パルス列生成装置８５から、送り系及び回転系駆動装
置に対して、ＣＬＶ駆動指令パルス列（Ｐｓ、Ｐｔ）が
出力される。送りモータ駆動制御系８６及びターンテー
ブル回転駆動制御系８７は、第１の送り位置検出器８８
からの第１の送り位置検出情報及びターンテーブル回転
パルス生成装置８０からの戻りパルス（Ｔｐ，Ｔｚ）を
用いて、ＣＬＶ駆動指令パルスに追従した送り駆動、回
転駆動を行なう。そして、電子ビーム照射位置の補正動
作としては、送り系ＣＬＶ駆動指令パルス（Ｐｓ）と第
２の送り位置検出器８３から得られるターンテーブルの
位置情報と、送り方向の第１の振れ検出器８１から得ら
れるターンテーブル振れ情報から、図３に示した構成を
有するビーム照射位置補正回路７４によって出力される
ビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）に基づいて第１の偏向
手段７５の偏向電極によって、電子ビーム照射位置補正
を行なう。なお、図４及び図５に示す構成を有するビー
ム照射位置補正回路を搭載する場合は、ターンテーブル
回転パルス生成装置８０から得られる、ターンテーブル
回転パルス（Ｔｐ）及び回転原点パルス（Ｔｚ）が、ビ
ーム照射位置補正回路７４へ入力されることとなる。
光装置によれば、図２に示す構成を有するＣＬＶ駆動指
令パルス列生成装置８５から、送り系及び回転系駆動装
置に対して、ＣＬＶ駆動指令パルス列（Ｐｓ、Ｐｔ）が
出力される。送りモータ駆動制御系８６及びターンテー
ブル回転駆動制御系８７は、第１の送り位置検出器８８
からの第１の送り位置検出情報及びターンテーブル回転
パルス生成装置８０からの戻りパルス（Ｔｐ，Ｔｚ）を
用いて、ＣＬＶ駆動指令パルスに追従した送り駆動、回
転駆動を行なう。そして、電子ビーム照射位置の補正動
作としては、送り系ＣＬＶ駆動指令パルス（Ｐｓ）と第
２の送り位置検出器８３から得られるターンテーブルの
位置情報と、送り方向の第１の振れ検出器８１から得ら
れるターンテーブル振れ情報から、図３に示した構成を
有するビーム照射位置補正回路７４によって出力される
ビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）に基づいて第１の偏向
手段７５の偏向電極によって、電子ビーム照射位置補正
を行なう。なお、図４及び図５に示す構成を有するビー
ム照射位置補正回路を搭載する場合は、ターンテーブル
回転パルス生成装置８０から得られる、ターンテーブル
回転パルス（Ｔｐ）及び回転原点パルス（Ｔｚ）が、ビ
ーム照射位置補正回路７４へ入力されることとなる。
【００３９】図８は別の発明の第２の実施例に係る光デ
ィスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。図７に
示した第１の実施例の光ディスク原盤露光装置との違い
は、ターンテーブルの送り方向と直角方向の振れを検出
するために、第２の振れ検出器８９と電子ビームをター
ンテーブルの送り方向と直角方向に偏向可能な第２の偏
向手段９０が追加された点である。第１の実施例と同様
な動作を行なうと同時に、第２の振れ検出器８９によっ
て検出された第２の振れ検出情報に応じて、第２の偏向
手段９０を用いて電子ビーム照射位置補正を行なってい
る。図中、第２の振れ検出器８９により検出された第２
の振れ検出情報に応じて、ビーム照射位置補正信号（Ｂ
ｃ）に変換する処理回路が必要であるが、省略してあ
る。なお、駆動系の動作、送り方向の電子ビーム照射位
置補正動作については第１の実施例と同じであるので詳
細は省略することとする。
ィスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。図７に
示した第１の実施例の光ディスク原盤露光装置との違い
は、ターンテーブルの送り方向と直角方向の振れを検出
するために、第２の振れ検出器８９と電子ビームをター
ンテーブルの送り方向と直角方向に偏向可能な第２の偏
向手段９０が追加された点である。第１の実施例と同様
な動作を行なうと同時に、第２の振れ検出器８９によっ
て検出された第２の振れ検出情報に応じて、第２の偏向
手段９０を用いて電子ビーム照射位置補正を行なってい
る。図中、第２の振れ検出器８９により検出された第２
の振れ検出情報に応じて、ビーム照射位置補正信号（Ｂ
ｃ）に変換する処理回路が必要であるが、省略してあ
る。なお、駆動系の動作、送り方向の電子ビーム照射位
置補正動作については第１の実施例と同じであるので詳
細は省略することとする。
【００４０】次に、図７及び図８に示す光ディスク原盤
露光装置を用い、高密度な等線速・等ピッチスパイラル
情報トラックが搭載した、光ディスク原盤の製作が可能
で、等線速・等トラックピッチスパイラル高密度情報ト
ラックを搭載した高密度光ディスクスタンパ及び光ディ
スクメディアができる。
露光装置を用い、高密度な等線速・等ピッチスパイラル
情報トラックが搭載した、光ディスク原盤の製作が可能
で、等線速・等トラックピッチスパイラル高密度情報ト
ラックを搭載した高密度光ディスクスタンパ及び光ディ
スクメディアができる。
【００４１】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。
のではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＣＬＶ駆
動指令パルス列生成方法は、回転駆動手段及び横送り駆
動手段に対する駆動指令パルス列を、ＣＬＶ駆動動作開
始時から１パルス毎にその周期長を一定の時間づつ変化
させながら生成出力する。よって、ターンテーブル移動
型あるいは光学系移動型の光ビーム又は電子ビームを用
いた光ディスク原盤露光装置においてＣＬＶ駆動する際
に、露光ビーム位置を補正するための基準となり得るタ
ーンテーブル及び送りの正確なＣＬＶ駆動指令パルス列
生成方法を提供でき、更にこのＣＬＶ駆動指令パルス列
を基準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能と
なる。
動指令パルス列生成方法は、回転駆動手段及び横送り駆
動手段に対する駆動指令パルス列を、ＣＬＶ駆動動作開
始時から１パルス毎にその周期長を一定の時間づつ変化
させながら生成出力する。よって、ターンテーブル移動
型あるいは光学系移動型の光ビーム又は電子ビームを用
いた光ディスク原盤露光装置においてＣＬＶ駆動する際
に、露光ビーム位置を補正するための基準となり得るタ
ーンテーブル及び送りの正確なＣＬＶ駆動指令パルス列
生成方法を提供でき、更にこのＣＬＶ駆動指令パルス列
を基準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能と
なる。
【００４３】また、別の発明のＣＬＶ駆動指令パルス列
生成装置は、基準クロック発生回路と、基準クロックを
分周する分周回路と、分周データをラッチする分周デー
タラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし
複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出
力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択
出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパ
ルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチす
る遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ
駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延
パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有
し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、
分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ
回路にセットされる。よって、時間を基準とし、光ディ
スク原盤上に等線速・等ピッチスパイラル情報トラック
を形成するための厳密に正確な時刻に駆動指令パルスを
発生させているので、このＣＬＶ駆動指令パルス列を基
準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能とな
る。
生成装置は、基準クロック発生回路と、基準クロックを
分周する分周回路と、分周データをラッチする分周デー
タラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし
複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出
力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択
出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパ
ルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチす
る遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ
駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延
パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有
し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、
分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ
回路にセットされる。よって、時間を基準とし、光ディ
スク原盤上に等線速・等ピッチスパイラル情報トラック
を形成するための厳密に正確な時刻に駆動指令パルスを
発生させているので、このＣＬＶ駆動指令パルス列を基
準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能とな
る。
【００４４】更に、別の発明の送り方向のビーム照射位
置誤差検出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス
毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出
力する、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動
指令パルス列を基準として得られる送り偏差情報と、タ
ーンテーブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム
照射位置誤差を検出する。よって、ターンテーブル振れ
に伴うビーム照射位置誤差ばかりか、送り制御誤差に伴
うビーム照射位置誤差も含めたビーム照射位置誤差情報
を一度に得ることができる。
置誤差検出方法は、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス
毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出
力する、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動
指令パルス列を基準として得られる送り偏差情報と、タ
ーンテーブルの送り方向の振れ情報とに基づいてビーム
照射位置誤差を検出する。よって、ターンテーブル振れ
に伴うビーム照射位置誤差ばかりか、送り制御誤差に伴
うビーム照射位置誤差も含めたビーム照射位置誤差情報
を一度に得ることができる。
【００４５】また、上記送り方向のビーム照射位置誤差
検出方法によって得られる送り方向のビーム照射位置誤
差情報に対し、予め測定されたターンテーブル振れ検出
面の真円度誤差情報を用い、ターンテーブルの回転角位
置に応じて、送り方向のビーム照射位置誤差情報に補正
を加え、真の送り方向のビーム照射位置誤差情報を得
る。よって、上記送り方向のビーム照射位置誤差検出方
法によって得られるビーム照射位置誤差情報を用いたビ
ーム照射位置誤差補正を行なうと同時に、送り方向と直
角方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差
補正も行なうので、より正確に光ディスク原盤上に等線
速、等ピッチスパイラル情報トラックにそったビーム照
射が可能となる。
検出方法によって得られる送り方向のビーム照射位置誤
差情報に対し、予め測定されたターンテーブル振れ検出
面の真円度誤差情報を用い、ターンテーブルの回転角位
置に応じて、送り方向のビーム照射位置誤差情報に補正
を加え、真の送り方向のビーム照射位置誤差情報を得
る。よって、上記送り方向のビーム照射位置誤差検出方
法によって得られるビーム照射位置誤差情報を用いたビ
ーム照射位置誤差補正を行なうと同時に、送り方向と直
角方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差
補正も行なうので、より正確に光ディスク原盤上に等線
速、等ピッチスパイラル情報トラックにそったビーム照
射が可能となる。
【００４６】更に、別の発明のビーム照射位置誤差補正
方法によれば、第１の偏向手段によりビーム照射位置補
正を行なうと同時に、ターンテーブルの送り方向と直角
方向の振れを検出し、検出した送り方向と直角方向の振
れ情報に基づいて、ビーム照射位置を送り方向と直角方
向に偏向してビーム照射位置を補正する。よって、上記
送り方向のビーム照射位置誤差検出方法によって得られ
るビーム照射位置誤差情報を用いたビーム照射位置誤差
補正を行うと同時に、送り方向と直角方向のターンテー
ブル振れに伴うビーム照射位置誤差補正も行うので、よ
り正確に光ディスク原盤上に等線速、等ピッチスパイラ
ル情報トラックに沿ったビーム照射が可能となる。
方法によれば、第１の偏向手段によりビーム照射位置補
正を行なうと同時に、ターンテーブルの送り方向と直角
方向の振れを検出し、検出した送り方向と直角方向の振
れ情報に基づいて、ビーム照射位置を送り方向と直角方
向に偏向してビーム照射位置を補正する。よって、上記
送り方向のビーム照射位置誤差検出方法によって得られ
るビーム照射位置誤差情報を用いたビーム照射位置誤差
補正を行うと同時に、送り方向と直角方向のターンテー
ブル振れに伴うビーム照射位置誤差補正も行うので、よ
り正確に光ディスク原盤上に等線速、等ピッチスパイラ
ル情報トラックに沿ったビーム照射が可能となる。
【００４７】また、ターンテーブル回転と同期した回転
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
【００４８】更に、別の発明のビーム照射位置補正回路
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報から送り位置偏差情報に
変換するデータ変換回路と、偏差演算回路の出力データ
とターンテーブル振れに伴う送り位置偏差情報から、ビ
ーム照射位置誤差情報を演算出力する照射位置誤差演算
回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情報をビー
ム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有する。よっ
て、ターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差ばか
りか、送り制御誤差に伴うビーム照射位置誤差も含めた
ビーム照射位置誤差情報を一度に得ることができる。
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報から送り位置偏差情報に
変換するデータ変換回路と、偏差演算回路の出力データ
とターンテーブル振れに伴う送り位置偏差情報から、ビ
ーム照射位置誤差情報を演算出力する照射位置誤差演算
回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情報をビー
ム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有する。よっ
て、ターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差ばか
りか、送り制御誤差に伴うビーム照射位置誤差も含めた
ビーム照射位置誤差情報を一度に得ることができる。
【００４９】また、別の発明のビーム照射位置補正回路
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報を送り位置偏差情報に変
換するデータ変換回路と、ターンテーブルの回転角位置
情報を出力するターンテーブル回転角位置演算回路と、
ターンテーブルの回転角位置情報に応じて、その回転角
位置における真円度誤差情報を出力する真円度誤差情報
出力回路と、偏差演算回路出力データとターンテーブル
振れに伴う送り位置偏差情報及び真円度誤差情報から、
ビーム照射位置誤差情報を演算出力するビーム照射位置
誤差演算回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情
報をビーム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有す
る。よって、正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準とし
て、送り系の駆動制御系の制御誤差及び送り方向のター
ンテーブル振れ情報及び、ターンテーブルの振れ検出面
の真円度情報からビーム照射位置誤差をもとめているの
で、ビーム照射位置誤差情報より、更に等線速、等ピッ
チスパイラル情報トラックに対するより正確なビーム照
射位置誤差情報を得ることができる。
は、ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位
置検出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの
偏差を演算する偏差演算回路と、第１の振れ検出手段か
ら得られるターンテーブル振れに応じて出力される電圧
情報をデジタル情報に変換するＡ／Ｄ変換回路と、ター
ンテーブル振れのデジタル情報を送り位置偏差情報に変
換するデータ変換回路と、ターンテーブルの回転角位置
情報を出力するターンテーブル回転角位置演算回路と、
ターンテーブルの回転角位置情報に応じて、その回転角
位置における真円度誤差情報を出力する真円度誤差情報
出力回路と、偏差演算回路出力データとターンテーブル
振れに伴う送り位置偏差情報及び真円度誤差情報から、
ビーム照射位置誤差情報を演算出力するビーム照射位置
誤差演算回路と、演算出力されるビーム照射位置誤差情
報をビーム偏向電圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有す
る。よって、正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準とし
て、送り系の駆動制御系の制御誤差及び送り方向のター
ンテーブル振れ情報及び、ターンテーブルの振れ検出面
の真円度情報からビーム照射位置誤差をもとめているの
で、ビーム照射位置誤差情報より、更に等線速、等ピッ
チスパイラル情報トラックに対するより正確なビーム照
射位置誤差情報を得ることができる。
【００５０】更に、ターンテーブル回転と同期した回転
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
軸振れ量をｓｉｎ波形状とすることにより、予め、ター
ンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無
くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、
データの処理はソフトウェアによって処理され測定から
真円度誤差情報格納回路への真円度誤差情報のセットま
で自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システ
ムが構成できる。
【００５１】また、別の発明としての光ディスク原盤露
光装置は、上記のＣＬＶ駆動指令パルス生成回路によっ
て生成される駆動指令パルス列によって回転駆動手段と
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、また上記のビーム
照射位置補正回路から出力されるビーム照射位置誤差補
正信号の基づいて、光ビームあるいは電子ビームの偏向
手段を用いてビーム照射位置の補正を行なう。よって、
送り駆動制御系の制御誤差及び送り方向のターンテーブ
ル振れに伴うビーム照射位置誤差が補正されるので、高
密度な等ピッチスパイラル情報トラックを搭載した光デ
ィスク原盤の露光が可能になる。
光装置は、上記のＣＬＶ駆動指令パルス生成回路によっ
て生成される駆動指令パルス列によって回転駆動手段と
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、また上記のビーム
照射位置補正回路から出力されるビーム照射位置誤差補
正信号の基づいて、光ビームあるいは電子ビームの偏向
手段を用いてビーム照射位置の補正を行なう。よって、
送り駆動制御系の制御誤差及び送り方向のターンテーブ
ル振れに伴うビーム照射位置誤差が補正されるので、高
密度な等ピッチスパイラル情報トラックを搭載した光デ
ィスク原盤の露光が可能になる。
【００５２】更に、ターンテーブルの送り方向と直角方
向のターンテーブル振れを検出する第２の振れ検出手段
と、第２の振れ検出手段によって検出されたターンテー
ブル振れ情報に基づいて、ビーム照射位置をターンテー
ブル送り方向と直角方向に偏向可能な第２のビーム偏向
手段とを有することにより、送り駆動制御系の制御誤差
及び送り方向のターンテーブル振れ及びターンテーブル
の振れ検出面の真円度誤差に伴うビーム照射位置誤差が
補正されるので、高密度な等ピッチスパイラル情報トラ
ックを搭載した光ディスク原盤の露光が可能になる。
向のターンテーブル振れを検出する第２の振れ検出手段
と、第２の振れ検出手段によって検出されたターンテー
ブル振れ情報に基づいて、ビーム照射位置をターンテー
ブル送り方向と直角方向に偏向可能な第２のビーム偏向
手段とを有することにより、送り駆動制御系の制御誤差
及び送り方向のターンテーブル振れ及びターンテーブル
の振れ検出面の真円度誤差に伴うビーム照射位置誤差が
補正されるので、高密度な等ピッチスパイラル情報トラ
ックを搭載した光ディスク原盤の露光が可能になる。
【００５３】また、別の発明として、上記の光ディスク
原盤露光装置によって形成された等線速・等トラックピ
ッチスパイラル高密度情報トラックを有する光記録媒体
に特徴がある。よって、高密度な等線速、等ピッチスパ
イラル情報トラックが搭載可能なので、１枚の光ディス
クスタンパ及び光ディスクメディアに大容量の情報を搭
載することができる。
原盤露光装置によって形成された等線速・等トラックピ
ッチスパイラル高密度情報トラックを有する光記録媒体
に特徴がある。よって、高密度な等線速、等ピッチスパ
イラル情報トラックが搭載可能なので、１枚の光ディス
クスタンパ及び光ディスクメディアに大容量の情報を搭
載することができる。
【図１】本発明のＣＬＶ駆動指令パルスの周期の変化を
示す図である。
示す図である。
【図２】別の発明の一実施例に係るＣＬＶ駆動指令パル
ス列生成回路の構成を示すブロック図である。
ス列生成回路の構成を示すブロック図である。
【図３】別の発明の第１の実施例に係るビーム照射位置
補正回路の構成を示すブロック図である。
補正回路の構成を示すブロック図である。
【図４】別の発明の第２の実施例に係るビーム照射位置
補正回路の構成を示すブロック図である。
補正回路の構成を示すブロック図である。
【図５】別の発明の第３の実施例に係るビーム照射位置
補正回路の構成を示すブロック図である。
補正回路の構成を示すブロック図である。
【図６】ターンテーブル振れ検出器の配置を示す概略図
である。
である。
【図７】別の発明の第１の実施例例に係る光ディスク原
盤露光装置の構成を示す概略図である。
盤露光装置の構成を示す概略図である。
【図８】別の発明の第２の実施例例に係る光ディスク原
盤露光装置の構成を示す概略図である。
盤露光装置の構成を示す概略図である。
【図９】従来のＣＬＶ駆動指令パルス列方法におけるト
ラック毎に周波数を更新した場合ＣＬＶ駆動指令パルス
列の周波数の変化の様子を示す図である。
ラック毎に周波数を更新した場合ＣＬＶ駆動指令パルス
列の周波数の変化の様子を示す図である。
【図１０】従来のＣＬＶ駆動指令パルス列方法における
トラック内を複数に分割して周波数を更新した場合ＣＬ
Ｖ駆動指令パルス列の周波数の変化の様子を示す図であ
る。
トラック内を複数に分割して周波数を更新した場合ＣＬ
Ｖ駆動指令パルス列の周波数の変化の様子を示す図であ
る。
２１；遅延回路、２２，２３；ラッチ回路、３１；偏差
カウンタ、３２；データ変換回路、３３；Ａ／Ｄ変換回
路、３４；加減算回路、３５；Ｄ／Ａ変換回路、４１；
真円度誤差出力回路、４２；回転位置出力回路、５１；
真円度誤差データ格納回路、７１；電子ビーム鏡筒、７
２；ブランキング電極、７３；情報トラック信号発生回
路、７４；ビーム照射位置補正回路、７５；第１の偏向
手段、７６；光ディスク原盤、７７；真空容器、７８；
ターンテーブル、７９；ターンテーブル回転モータ、８
０；ターンテーブル回転パルス生成装置、８１；第１の
振れ検出器、８２；送りネジ、８３；第２の送り位置検
出器、８４；送りモータ、８５；ＣＬＶ駆動指令パルス
列生成装置、８６；送りモータ駆動制御系、８７；ター
ンテーブル回転駆動制御系、８８；第１の送り位置検出
器、８９；第２の振れ検出器、９０；第２の偏向手段。
カウンタ、３２；データ変換回路、３３；Ａ／Ｄ変換回
路、３４；加減算回路、３５；Ｄ／Ａ変換回路、４１；
真円度誤差出力回路、４２；回転位置出力回路、５１；
真円度誤差データ格納回路、７１；電子ビーム鏡筒、７
２；ブランキング電極、７３；情報トラック信号発生回
路、７４；ビーム照射位置補正回路、７５；第１の偏向
手段、７６；光ディスク原盤、７７；真空容器、７８；
ターンテーブル、７９；ターンテーブル回転モータ、８
０；ターンテーブル回転パルス生成装置、８１；第１の
振れ検出器、８２；送りネジ、８３；第２の送り位置検
出器、８４；送りモータ、８５；ＣＬＶ駆動指令パルス
列生成装置、８６；送りモータ駆動制御系、８７；ター
ンテーブル回転駆動制御系、８８；第１の送り位置検出
器、８９；第２の振れ検出器、９０；第２の偏向手段。
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フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5D090 AA01 BB01 CC01 DD01 EE01
FF02 HH03 KK17
5D109 KA04 KB40 KD41
5D117 AA02 CC04 EE17 FF23 FX02
FX08
5D118 BA01 BB09 BF03 CA14 CD05
CD06
5D121 AA09 BB21 BB38
Claims (12)
- 【請求項１】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
ルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段
と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
て記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束
照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載
したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内
で相対的に横移動させる横送り駆動手段とを有し、回転
駆動手段及び横送り駆動手段の制御により光ディスク原
盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成する
ＣＬＶ駆動で露光する光ディスク原盤露光装置であっ
て、 回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パル
ス列を、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周
期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力すること
を特徴とするＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法。 - 【請求項２】 基準クロック発生回路と、基準クロック
を分周する分周回路と、分周データをラッチする分周デ
ータラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力と
し複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の
出力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選
択出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力し
パルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチ
する遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬ
Ｖ駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅
延パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを
有し、 周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、分周
データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ回路
にセットされることを特徴とするＣＬＶ駆動指令パルス
列生成装置。 - 【請求項３】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
ルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段
と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
て記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束
照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載
したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内
で相対的に横移動させる横送り駆動手段と、ターンテー
ブルの移動位置又は収束照射手段の移動位置を検出する
ための送り位置検出手段と、該送り位置検出情報と送り
駆動指令パルスとから得られる送り偏差情報を出力する
送り偏差情報抽出手段と、記録用光ビーム又は電子ビー
ムの露光スポット位置を制御する光ビーム又は電子ビー
ムの第１の偏向手段と、ターンテーブルの送り方向の振
れを検出し振れ情報を出力する第１の振れ検出手段とを
有し、送り駆動指令パルス列によって回転駆動手段及び
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、回転駆動手段及び
横送り駆動手段の制御により光ディスク原盤上に線密度
一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動で
露光する光ディスク原盤露光装置であって、 ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周期長を一
定の時間づつ変化させながら生成出力する、回転駆動手
段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パルス列を基準
として得られる送り偏差情報と、ターンテーブルの送り
方向の振れ情報とに基づいてビーム照射位置誤差を検出
することを特徴とする送り方向のビーム照射位置誤差検
出方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の送り方向のビーム照射位
置誤差検出方法によって得られる送り方向のビーム照射
位置誤差情報に対し、予め測定されたターンテーブル振
れ検出面の真円度誤差情報を用い、ターンテーブルの回
転角位置に応じて、前記送り方向のビーム照射位置誤差
情報に補正を加え、真の送り方向のビーム照射位置誤差
情報を得る送り方向のビーム照射位置誤差検出方法。 - 【請求項５】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
ルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段
と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
て記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束
照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載
したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内
で相対的に横移動させる横送り駆動手段と、ターンテー
ブルの移動位置又は収束照射手段の移動位置を検出する
ための送り位置検出手段と、該送り位置検出情報と送り
駆動指令パルスとから得られる送り偏差情報を出力する
送り偏差情報抽出手段と、記録用光ビーム又は電子ビー
ムの露光スポット位置を制御する光ビーム又は電子ビー
ムの第１の偏向手段と、ターンテーブルの送り方向の振
れを検出し振れ情報を出力する第１の振れ検出手段とを
有し、送り駆動指令パルス列によって回転駆動手段及び
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、回転駆動手段及び
横送り駆動手段の制御により光ディスク原盤上に線密度
一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動で
露光する光ディスク原盤露光装置であって、 第１の偏向手段によりビーム照射位置補正を行なうと同
時に、ターンテーブルの送り方向と直角方向の振れを検
出し、検出した送り方向と直角方向の振れ情報に基づい
て、ビーム照射位置を送り方向と直角方向に偏向してビ
ーム照射位置を補正することを特徴とするビーム照射位
置誤差補正方法。 - 【請求項６】 前記ターンテーブル回転と同期した回転
軸振れ量をｓｉｎ波形状とする請求項５に記載のビーム
照射位置補正方法。 - 【請求項７】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
ルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段
と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
て記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束
照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載
したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内
で相対的に横移動させる横送り駆動手段と、ターンテー
ブルの移動位置又は収束照射手段の移動位置を検出する
ための送り位置検出手段と、該送り位置検出情報と送り
駆動指令パルスとから得られる送り偏差情報を出力する
送り偏差情報抽出手段と、記録用光ビーム又は電子ビー
ムの露光スポット位置を制御する光ビーム又は電子ビー
ムの第１の偏向手段と、ターンテーブルの送り方向の振
れを検出し振れ情報を出力する第１の振れ検出手段とを
有し、送り駆動指令パルス列によって回転駆動手段及び
横送り駆動手段の駆動制御を行ない、回転駆動手段及び
横送り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線密
度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動
で露光する光ディスク原盤露光装置であって、 ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位置検
出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの偏差
を演算する偏差演算回路と、 前記第１の振れ検出手段から得られるターンテーブル振
れに応じて出力される電圧情報をデジタル情報に変換す
るＡ／Ｄ変換回路と、 ターンテーブル振れのデジタル情報から送り位置偏差情
報に変換するデータ変換回路と、 前記偏差演算回路の出力データとターンテーブル振れに
伴う送り位置偏差情報から、ビーム照射位置誤差情報を
演算出力する照射位置誤差演算回路と、 演算出力されるビーム照射位置誤差情報をビーム偏向電
圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有することを特徴とす
るビーム照射位置補正回路。 - 【請求項８】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
ルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段
と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
て記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束
照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載
したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内
で相対的に横移動させる横送り駆動手段と、ターンテー
ブルの移動位置又は収束照射手段の移動位置を検出する
ための送り位置検出手段と、該送り位置検出情報と送り
駆動指令パルスとから得られる送り偏差情報を出力する
送り偏差情報抽出手段と、記録用光ビーム又は電子ビー
ムの露光スポット位置を制御する光ビーム又は電子ビー
ムの第１の偏向手段と、ターンテーブルの送り方向の振
れを検出し振れ情報を出力する第１の振れ検出手段とを
有し、送り駆動指令パルス列によって回転駆動手段と横
送り駆動手段の駆動制御を行ない、回転駆動手段と横送
り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線密度一
定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動で露
光する光ディスク原盤露光装置であって、 ＣＬＶ駆動指令パルス列とターンテーブルの送り位置検
出装置とから移動に応じて出力される戻りパルスの偏差
を演算する偏差演算回路と、 前記第１の振れ検出手段から得られるターンテーブル振
れに応じて出力される電圧情報をデジタル情報に変換す
るＡ／Ｄ変換回路と、 ターンテーブル振れのデジタル情報を送り位置偏差情報
に変換するデータ変換回路と、 ターンテーブルの回転角位置情報を出力するターンテー
ブル回転角位置演算回路と、 ターンテーブルの回転角位置情報に応じて、その回転角
位置における真円度誤差情報を出力する真円度誤差情報
出力回路と、 前記偏差演算回路出力データとターンテーブル振れに伴
う送り位置偏差情報及び真円度誤差情報から、ビーム照
射位置誤差情報を演算出力するビーム照射位置誤差演算
回路と、 演算出力されるビーム照射位置誤差情報をビーム偏向電
圧に変換するＤ／Ａ変換回路とを有することを特徴とす
るビーム照射位置補正回路。 - 【請求項９】 前記ターンテーブル回転と同期した回転
軸振れ量をｓｉｎ波形状とする請求項７又は８に記載の
ビーム照射位置補正回路。 - 【請求項１０】 光ディスク原盤を搭載するターンテー
ブルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手
段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づ
いて記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収
束照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭
載したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面
内で相対的に横移動させる横送り駆動手段と、ターンテ
ーブルの移動位置又は収束照射手段の移動位置を検出す
るための送り位置検出手段と、該送り位置検出情報と送
り駆動指令パルスとの差異を示す送り偏差情報を出力す
る送り偏差情報抽出手段と、記録用光ビーム又は電子ビ
ームの露光スポット位置を制御する光ビーム又は電子ビ
ームの第１の偏向手段と、ターンテーブルの送り方向の
振れを検出し振れ情報を出力する第１の振れ検出手段と
を有し、送り駆動指令パルス列によって回転駆動手段及
び横送り駆動手段の駆動制御を行ない、回転駆動手段及
び横送り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線
密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆
動で露光する光ディスク原盤露光装置において、 請求項２記載のＣＬＶ駆動指令パルス生成回路によって
生成される駆動指令パルス列によって回転駆動手段と横
送り駆動手段の駆動制御を行ない、請求項７〜９のいず
れかに記載のビーム照射位置補正回路から出力されるビ
ーム照射位置誤差補正信号の基づいて、光ビームあるい
は電子ビームの偏向手段を用いてビーム照射位置の補正
を行なう光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項１１】 ターンテーブルの送り方向と直角方向
のターンテーブル振れを検出する第２の振れ検出手段
と、該第２の振れ検出手段によって検出されたターンテ
ーブル振れ情報に基づいて、ビーム照射位置をターンテ
ーブル送り方向と直角方向に偏向可能な第２のビーム偏
向手段とを有する請求項１０記載の光ディスク原盤露光
装置。 - 【請求項１２】 請求項１０又は１１に記載の光ディス
ク原盤露光装置によって形成された等線速・等トラック
ピッチスパイラル高密度情報トラックを有する光記録媒
体。
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|---|---|---|---|
| JP2001222795A JP4580592B2 (ja) | 2001-07-24 | 2001-07-24 | 光ディスク原盤露光装置 |
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- 2001-07-24 JP JP2001222795A patent/JP4580592B2/ja not_active Expired - Fee Related
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