JP2003317327A - フォーマッタ駆動クロック生成方法、フォーマッタ駆動指令パルス列生成方法、光ディスク原盤露光装置及び光記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、露光光量一定のまま、すなわちＣ
ＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形
状形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力するフ
ォーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明のフォーマッタ駆動クロック生成
方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であ
るフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ
×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ²×ＶＬ）
（但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当
たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、
Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ
駆動クロック数（ｊ＝１，２，３，…））によって生成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフォーマッタ駆動ク
ロック生成方法、フォーマッタ駆動指令パルス列生成方
法、光ディスク原盤露光装置及び光記録媒体に関し、詳
細には光ビームあるいは電子ビームを用いて等線速等ピ
ッチスパイラル情報トラックを有する光ディスク原盤製
作を行う光ディスク原盤露光装置に関連し、ＣＬＶ駆動
（ConstantLinear Velocity；線速度一定）状態で、Ｃ
ＡＶ（Constant Angular Velocity；角速度一定）また
はＭＣＡＶフォーマット搭載の光ディスク原盤を形成可
能にする方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、大容量光ディスクメディアとし
て、ＤＶＤの約３０倍の記録密度（１００Ｇｂｉｔ／ｉ
ｎ^２）の光ディスクシステムを実表するための、超高密
度マスタリング装置の開発が検討されている。このよう
な密度においては、最短ピット長、ピット幅とも７０ｎ
ｍ以下となることが予想され、この時、マスタリング装
置に必要とされる記録位置精度はサブナノメートルと見
積もられている。当然、情報ピット形状あるいは情報ト
ラック形状についても同様の精度が要求されることにな
る。

【０００３】ところで、現在、光ディスクには、情報ト
ラックに沿って線速度一定に情報搭載されるＣＬＶフォ
ーマット、情報トラック上の各セクタ位置がディスク半
径線上に整列するＣＡＶフォーマット、及び情報領域を
半径方向に幾つかのゾーンに分け、ゾーン内はＣＡＶフ
ォーマットが形成され、かつ内周から外周ゾーンに向か
って情報の線密度がほぼ一定となるように構成されたＭ
ＣＡＶフォーマットがある。また、これらのフォーマッ
トを搭載した光ディスク原盤を作成方法には、露光ビー
ム照射点の露光線速が一定となるようにターンテーブル
回転速度と半径方向の移動速度を変えて駆動するＣＬＶ
駆動と、ターンテーブル回転速度、及び半径方向の移動
速度一定駆動するＣＡＶ駆動がある。通常、ＣＬＶフォ
ーマットはＣＬＶ駆動、ＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォー
マットはＣＡＶ駆動で露光が行われる。ＣＬＶ駆動にお
いては、情報トラックを形成するための露光ビーム強度
は露光期間中一定とすることにより内外周にわたり均一
な形状の情報トラックを形成できる。ＣＶＡ駆動におい
ては、露光点が外周へ移動するにつれ露光ビーム強度を
強めていかなければならない。更に、ＭＣＡＶフォーマ
ットの場合は、情報トラック形成のためのフォーマッタ
駆動クロック周波数を高めていかなければならない。こ
の、内周から外周へ向かっての露光点移動にあわせた、
露光ビーム強度の制御精度誤差、及びフォーマッタ駆動
クロックの高周波数化に伴う、形成される情報トラック
（情報ピットあるいは情報トラック溝）の形状劣化が問
題となっている。ところで、電子ビーム露光において
は、情報ピットあるいは情報トラックの形状は、ドーズ
量に依存する。このドーズ量の変化させることは電子ビ
ーム形状（径）の変化を意味し、形成される情報ピット
あるいは情報トラックの形状が異なってくることを意味
する。従って、電子ビームによる情報ピットあるいは情
報トラック形成はＣＬＶ駆動によって行われている。そ
の従来例の一つとして、特開２０００−１１４６４号公
報（以下従来例と称す）には、光ディスク原盤作製用デ
ィスクの各ピット形成部分における単位面積当たりのド
ーズ量が光ディスク原盤作製用ディスクの半径方向の位
置によらず、かつ近接するビットパターン描画部分の疎
密によらず、かつ各ピットパターン描画部分の長さによ
らず、一定となるように電子ビームを照射し、位置的に
高精度のピットを形成でき、高品質の光ディスク原盤を
得ることができる電子ビーム照射法が提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例は２回の露光工程によって情報トラック形成を行お
うとする方法であり、工程設計上望ましくない。

【０００５】本発明はこの問題点を解決するためのもの
であり、ターンテーブル移動型又は光学系移動型の光ビ
ームあるいは電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装
置においてＣＡＶフォーマット情報を露光する際に、露
光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定し
たピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする、露
光ピット情報を生成出力するフォーマッタ装置のフォー
マッタ駆動クロック生成方法、フォーマッタ駆動指令パ
ルス列生成方法、光ディスク原盤露光装置及び光記録媒
体を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに、光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に
情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマ
ッタ装置における、本発明のフォーマッタ駆動クロック
生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列
であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒ_０／
（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ²×
ＶＬ）（但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラ
ック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光
線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォー
マッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，３，…））によっ
て生成することに特徴がある。よって、ターンテーブル
移動型又は光学系移動型の光ビームあるいは電子ビーム
を用いた光ディスク原盤露光装置においてＣＡＶフォー
マット情報を露光する際に、露光光量一定のまま、すな
わちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラッ
ク溝形状形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力
するフォーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成
方法を提供できる。

【０００７】また、別の発明としての光ディスク原盤露
光装置は、光ディスク原盤を搭載するターンテーブル
と、ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報
トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用
露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、光ディス
ク原盤を搭載したターンテーブルを光ディスク原盤と平
行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記
録用露光ビームの収束照射手段を光ディスク原盤と平行
な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有
し、回転駆動手段と第１、第２の横送り駆動手段の制御
により、光ディスク原盤上に線密度一定となるように情
報トラックを形成する。そして、情報トラック生成の基
本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×
π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／
（Ｎｆ²×ＶＬ） （但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、
Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック
数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開
始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，
３，…））によって生成し、情報トラック生成の基本ク
ロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、
光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成すること
に特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわち
ＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝
形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装置を提供で
きる。

【０００８】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック
列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒzn／
（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfz
n）^２×ＶＬ） （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位
置、Ｎfzn；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォー
マッタ駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開
始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｄ＝１，２，
３，…）、Ｐ；トラックピッチ）によって生成すること
に特徴がある。よって、ターンテーブル移動型あるいは
光学系移動型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光
ディスク原盤露光装置においてＭＣＡＶフォーマット情
報を露光する際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬ
Ｖ駆動状態で、露光ピット情報を生成出力するフォーマ
ッタ装置のフォーマッタ駆動クロックの生成方法を提供
できる。

【０００９】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフ
ォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×
ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfzn）^２×Ｖ
Ｌ） （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfz
n；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆
動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からの
フォーマッタ駆動クロック数（ｄ＝１，２，３，…）、
Ｐ；トラックピッチ）によって生成し、情報トラック生
成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力さ
せながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形
成することに特徴がある。よって、露光光量一定のま
ま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるい
はトラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光
装置を提供できる。

【００１０】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック
列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ （但
し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラック
当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラックピ
ッチ、ＶＬ；露光線速、Ｌｎ；現在のトラックの線路
長）によって生成することに特徴がある。よって、ＣＬ
Ｖ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状
形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力するフォ
ーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成方法を提
供できる。

【００１１】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
によれば、露光ビームを情報トラック形成方向に移動す
る露光ビーム移動手段を有し、情報トラック生成の基本
クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラッ
ク毎に、(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ
（但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各ト
ラック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラ
ックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成し、情報ト
ラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号
を出力させながら、露光ビーム移動手段によって露光ビ
ームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ×Ｖ
Ｌ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ） （但し、Ｌｎ；現在のトラ
ックの線路長）で移動させ、光ディスク原盤上にＣＡＶ
フォーマットを形成することに特徴がある。よって、Ｃ
ＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定の
まま、即ちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいは
トラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装
置を提供できる。

【００１２】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック
列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)^２）／Ｖ
Ｌ （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光における
あるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；ト
ラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラ
ックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成することに
特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわちＣ
ＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形
状形成を可能とするフォーマッタ駆動クロック生成方法
を提供できる。

【００１３】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
によれば、露光ビームを情報トラック形成方向に移動す
る露光ビーム移動手段を有し、情報トラック生成の基本
クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラッ
ク毎に、（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)
^２）／ＶＬ （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光
におけるあるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎ
fzn；トラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、
Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成
し、情報トラック生成の基本クロック列に従って情報ト
ラック信号を出力させながら、露光ビーム移動手段によ
って露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×
π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ） （但し、Ｌｎ；
現在のトラックの線路長）で移動させ、光ディスク原盤
上にＣＡＶフォーマットを形成することに特徴がある。
よって、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態
で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能
とする光ディスク原盤露光装置を提供できる。

【００１４】更に、別の発明として、光ディスク原盤を
搭載するターンテーブルと、ターンテーブルを回転させ
る回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記
録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収
束照射手段と、光ディスク原盤を搭載したターンテーブ
ルを光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１
の横送り移動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段
を光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の
横送り移動手段とを有し、回転駆動手段と第１、第２の
横送り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線速
度一定となるように情報トラックを、形成露光ビームを
照射しながらＣＡＶディスクフォーマットを露光する光
ディスク原盤露光装置の、基本クロックと複数の遅延パ
ルスから所望のパルスを選択的に出力し、分周データと
パルス選択データをパルス毎に設定し、ターンテーブル
回転駆動指令パルス列と、横送り駆動指令パルス列と、
ＣＡＶディスクフォーマット信号生成装置動作の基準ク
ロックとなるフォーマッタ駆動指令パルス列とを生成す
るフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法によれば、基
本クロックの周波数を、［（２×π×Ｒ_０＋π×Ｐ）／
ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／ＶＬ]sec （但し、
Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｐ；トラックピッチ、Ｖ
Ｌ；ＣＬＶ駆動時の露光線速）が、基本クロックの整数
倍個相当の時間に等しくなるように設定することに特徴
がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭ
ＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、整数個の基
本クロックから整数個のターンテーブル回転駆動指令パ
ルス列とフォーマッタ駆動指令パルス列を生成するの
で、累積誤差を発生を考慮する必要無く、ターンテーブ
ル回転駆動指令パルス列及びフォーマッタ駆動指令パル
ス列生成を行うことができる。

【００１５】また、横送り駆動指令パルス列は、２×π
×Ｒ_０／（Ｎｓ×ＶＬ）＋（２×ｉ−１）×π×Ｐ／
（（Ｎｓ）^２×ＶＬ） （但し、Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始
半径、Ｎｓ；横送り駆動指令パルス数、ＶＬ；露光線
速、ｉ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ）を、ｉ
番目の横送り駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置と
して、ターンテーブル回転駆動指令パルス列は、２×π
×Ｒ_０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／
（（Ｎｔ）^２×ＶＬ） （但し、Ｎｔ；ターンテーブル
回転駆動指令パルス数、ｊ＝１，２，３，…）を、ｊ番
目のターンテーブル回転駆動指令パルス列発生時刻の正
確な位置として、フォーマッタ駆動指令パルス列は、２
×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ
／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （但し、Ｎｆ；フォーマッタ
駆動指令パルス数、ｋ＝１，２，３，…）を、ｋ番目の
フォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置と
して、実際に生成されるパルス列の発生時間誤差を求め
る。よって、横送り駆動指令パルス列、ターンテーブル
回転駆動指令パルス列、フォーマッタ駆動指令パルス列
のパルス発生時間誤差情報取得方法において正確な発生
時間誤差情報を取得できるので、露光ビーム照射位置補
正情報として使用できる。

【００１６】更に、フォーマッタ駆動指令パルス列は、
２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×
Ｐ／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×（２×π
×Ｐ）／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開
始半径、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ＶＬ；
露光線速、ｋ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ、
Δθ；ターンテーブルの回転追従誤差によって生じる現
在露光位置と理想位置の回転角差、θcb；理想的なフォ
ーマッタ駆動パルスに相当する回転角）を、ｋ番目のフ
ォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置とす
る。よって、ターンテーブル回転駆動制御誤差対応する
露光ビーム照射位置誤差をフォーマッタ駆動指令パルス
周期へ変換して、露光ビーム照射位置補正を行うので、
フォーマッタ駆動指令パルス自体に含まれているパルス
発生位置誤差とターンテーブル回転駆動指令パルス自体
に含まれているパルス発生位置誤差に対応した補正だけ
となり、露光ビーム照射位置補正範囲が小さくなり、タ
ーンテーブル回転駆動制御誤差が大きい場合でも、低周
波および高周波ジッタ特性の良い高精度な情報トラック
形成が可能になる。

【００１７】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコー
ダから得られるターンテーブル回転フィードバックパル
ス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス
列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、ＣＬＶ
駆動開始からのTfbパルス列信号とTclkパルス列信号の
追従誤差を計数する計数回路と、Tfbパルス列信号の周
期を計測する周期計測回路と、Tfbパルス信号入力から
次に入力するTclkパルス信号までの時間間隔を測る時間
間隔測定回路と、計数値や測定値データをラッチするラ
ッチ回路と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号と
Tclkパルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔デ
ータから回転追従誤差データを得る演算回路とを有す
る。そして、演算回路から得られる全回転追従誤差角の
内のTfbパルス信号１パルス相当角以下の回転角差情報
（Δθａ）と、計数回路から得られる回転角差情報（Δ
θｎ）から得られる全追従回転角差情報（Δθ）と、理
想的なフォーマット駆動パルスに相当する回転角情報
（θcb）とから追従誤差情報（Δθ／θcb）を得、追従
誤差情報に基づいてフォーマット駆動パルス周期を補正
する。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣ
ＡＶディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブ
ル回転駆動誤差に伴う回転角誤差情報によりフォーマッ
ト駆動パルス周期の補正を行うので、正確なＣＡＶディ
スクフォーマットを露光できる光ディスク原盤露光装置
を提供できる。

【００１８】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、ターンテーブル回転がターンテー
ブル回転追従誤差を有しながらＣＬＶ駆動によるＣＡＶ
ディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル回
転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターン
テーブル回転フィードバックパルス列周期をPTfb、ター
ンテーブル回転駆動指令パルス列周期をPTclk、理想的
なＣＬＶ駆動時にＣＡＶディスクフォーマット露光のた
めの理想的なフォーマッタ駆動パルス周期をPFclkとし
たとき、（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclkから、フォー
マッタ駆動パルス周期補正データを得ることに特徴があ
る。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣＡ
Ｖディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル
回転駆動誤差に伴うターンテーブル回転駆動指令パルス
周期と実際に回転しているターンテーブルから得られる
フィードバックパルス周期の比情報によりフォーマット
駆動パルス周期の補正を行うので、正確なＣＡＶディス
クフォーマット露光を実現できる。

【００１９】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコー
ダから得られるターンテーブル回転フィードバックパル
ス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス
列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、Tfb及び
Tclkそれぞれの周期を計測する周期計測回路と、Tfbパ
ルスに同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PT
fb）データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）デ
ータをラッチするラッチ回路と、PFclkデータを入力デ
ータとしTclkとFclkの比データ（Ptf）を用いてPTclkを
求める演算回路とを有する。そして、PTclkデータとPTf
bデータからターンテーブル回転誤差に対応したフォー
マッタ駆動パルス周期を得るためのPFclk補正データを
得ることに特徴がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣ
ＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマット露光を行う
際、Fclkパルス周期情報からTfbパルス発生時のTclkパ
ルス周期情報を得て、ターンテーブル回転駆動誤差に伴
うターンテーブル回転駆動指令パルス周期と実際に回転
しているターンテーブルから得られるフィードバックパ
ルス周期の比情報によりフォーマット駆動パルス周期の
補正を行うので、より正確なＣＡＶディスクフォーマッ
トを露光できる光ディスク原盤露光装置を提供できる。

【００２０】更に、ターンテーブル回転駆動指令パルス
列のＣＬＶ駆動指令開始に対して、フォーマッタ駆動パ
ルス列のＣＬＶ駆動開始時間を異ならせることにより、
簡単な方法でＣＬＶ駆動でＣＡＶディスクフォーマット
露光を実現できる。

【００２１】また、他の発明としての光記録媒体は、上
記記載の光ディスク原盤露光装置によって形成されたＣ
ＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマット情報ピットあるいは
トラックを搭載したことに特徴がある。よって、大容
量、高品質な光記録媒体を提供できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】光ディスク原盤露光装置の、光デ
ィスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生
成するフォーマッタ装置における、本発明のフォーマッ
タ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の
基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２
×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ
／（Ｎｆ²×ＶＬ）（但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、
Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック
数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開
始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，
３，…））によって生成する。

【００２３】

【実施例】はじめに、本発明の原理について説明する。
ＣＬＶ駆動によって形成される等ピッチのスパイラルト
ラックにおいて、その全トラック線路長（Ｌ）は式
（１）で表される。

【００２４】 Ｌ＝π×（ｒ^２−Ｒ_０ ^２）／Ｐ （１）

【００２５】 ｒ＝Ｒ_０＋ｎ×Ｐ （ｎ＝１，２，３，…） （２）

【００２６】但し、Ｒ_０はＣＬＶ駆動の開始半径位置
を、ｒは線路長を測定しようとしているスパイラル半径
位置を、Ｐはスパイラルトラックピッチを、ｎはトラッ
ク数を各々表わす。

【００２７】式（１）、式（２）から Ｌ＝２×π×Ｒ_０×ｎ＋ｎ^２×π×Ｐ （ｎ＝１，２，３，…） （３）

【００２８】また、この式（３）から各トラックの線路
長（Ｌｎ）は次の（４）式のように表される。

【００２９】 Ｌｎ＝２×π×Ｒ_０＋(２×ｎ−１)×π×Ｐ （ｎ＝１，２，３，…） （４）

【００３０】この式（４）から、隣接トラック間の線路
長差は、以下のように一定であることがわかる。

【００３１】 （隣接トラック間の線路長差）＝２×π×Ｐ＝一定 （５）

【００３２】上記式（２）は、求めようとするスパイラ
ル軌跡を、トラックを単位として、すなわちスパイラル
の中心から線路に沿って軌跡の回転角が２πを周回する
毎の半径位置を表現している。その結果、トラック毎
に、２πＰづつトラックの線路長が増加していくという
ことになる。これは、ＣＬＶ駆動において、線速をＶＬ
とすると１トラック毎に２πＰ／ＶＬづつ１トラック周
回するに要する時間が増えることを意味している。

【００３３】次に、ＣＬＶ駆動時のターンテーブル回転
指令パルス列の生成について説明する。ＣＬＶ駆動時、
以下のように、ターンテーブル回転指令パルス列の１パ
ルス毎に周期を更新することにより、理想的なＣＬＶ駆
動ターンテーブル回転指令パルスを生成できる。

【００３４】今、１トラック（ターンテーブル１回転相
当長の情報トラック）に在るべき、ターンテーブル回転
指令パルス数をＮｔ個とすると（ターンテーブル軸に取
り付けられる回転位置検出器の分割数に等しい）、ｍ個
のターンテーブル回転指令パルスに相当する線路長（Ｌ
ｐ）は、上記式（３）のｎにｍ／Ｎｔを代入して、

【００３５】 Ｌｐ＝２×π×Ｒ_０×ｍ／Ｎｔ＋（ｍ／Ｎｔ）^２×π×Ｐ （ｍ＝１，２，３，…） （６）

【００３６】また、この式（６）から各ターンテーブル
回転指令パルス相当の線路長（Ｌpｍ）は次の（７）式
のように表される。

【００３７】 Ｌpｍ＝２×π×Ｒ_０／Ｎｔ＋(２×ｍ−１)×π×Ｐ／Ｎｔ^２ （ｍ＝１，２，３，…） （７）

【００３８】この式（７）から、隣接ターンテーブル回
転指令パルス相当の線路長差は、以下のように一定であ
ることがわかる。

【００３９】 （隣接ターンテーブル回転指令パルス相当の線路長差）＝２×π×Ｐ／Ｎｔ^２ ＝一定 （８）

【００４０】ここで、線速ＶＬは一定であるから （隣接ターンテーブル回転指令パルスの周期長差）＝２×π×Ｐ／（Ｎｔ^２× ＶＬ）＝一定 （９） となる。

【００４１】従って、 （ターンテーブル回転指令パルス周期） ＝２×π×Ｒ_０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（Ｎｔ^２×ＶＬ ） （ｋ＝１，２，３，…） （１０）

【００４２】を満たす周期のパルス列を生成することに
より、理想的なＣＬＶ駆動ターンテーブル回転指令パル
スの生成が実現できる。

【００４３】図１はターンテーブル回転指令パルスの周
期の変化の様子を示す図である。同図において、縦軸が
周期、横軸が経過時間である。スライダ駆動指令パルス
もまた、同様に生成される。

【００４４】ここで、光ディスク原盤上に形成される情
報ピットあるいはアドレス情報等を含んだ蛇行溝（以後
これらを合わせて情報トラックという）を形成するため
の露光ビーム強度の変調信号信号あるいは蛇行信号を出
力するフォーマッタ（ここでのフォーマッタは情報トラ
ック形成のための最小時間単位を有するフォーマッタ駆
動クロックによって動作しているものとする。）のフォ
ーマッタ駆動クロック（Fclk）を、上述したターンテー
ブル回転指令パルス列の生成方法と同様にして生成す
る。

【００４５】今、１トラック（ターンテーブル１回転相
当長の情報トラック）に在るべき、フォーマッタ駆動ク
ロック数をＮｆ個とし、今ＣＡＶフォーマットを形成す
るのであるから想定しているのでＮｆは整数とすると、
ｊ個のフォーマッタ駆動クロックに相当する線路長（Ｌ
ｐ）は

【００４６】 Ｌｐ＝２×π×Ｒ_０×ｊ／Ｎｆ＋（ｊ／Ｎｆ）^２×π×Ｐ （ｊ＝１，２，３，…） （１１）

【００４７】また、この式（１１）から各フォーマッタ
駆動クロック相当の線路長（Ｌpｊ）は次の（１２）式
のように表される。

【００４８】 Ｌpｊ＝２×π×Ｒ_０／Ｎｆ+(２×ｊ−１)×π×Ｐ／Ｎｆ^２ （ｊ＝１，２，３，…） （１２）

【００４９】この式（１２）から、隣接フォーマッタ駆
動クロック相当の線路長差は、以下のように一定である
ことがわかる。

【００５０】 （隣接フォーマッタ駆動クロック相当の線路長差）＝２×π×Ｐ／Ｎｆ^２＝一 定 （１３）

【００５１】ここで、線速ＶＬは一定であるから、 （隣接フォーマッタ駆動クロックの周期長差）＝２×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ ）＝一定 （１４） となる。

【００５２】従って、 （フォーマッタ駆動クロック周期）＝２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２× ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ） （ｊ＝１，２，３，…） （１５）

【００５３】を満たす周期のパルス列を生成し、理想的
なＣＬＶ駆動状態で式（１５）に示されるフォーマッタ
駆動クロックに従って情報トラック信号を出力させるこ
とにより、ＣＡＶフォーマットを形成することができ
る。

【００５４】図２はＣＡＶフォーマットに対するフォー
マッタ駆動クロック周期の変化の様子を示す図である。
上記式（１５）に従って、フォーマッタ駆動クロックを
生成することによりＣＬＶ駆動状態でＣＡＶフォーマッ
トを露光するためのフォーマッタ駆動クロックを生成で
きる。具体的には、２×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ）時間
長を基本クロックとする分周回路によって構成される。

【００５５】また、ＣＬＶ駆動における、ＭＣＡＶフォ
ーマット露光時のフォーマッタ駆動クロック周期は以下
の式（１６）によって求められる。

【００５６】 （露光時のフォーマッタ駆動クロック周期） ＝２×π×Ｒｚn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（Ｎfzn^２× ＶＬ） （ｄ＝１，２，３，…） （１６）

【００５７】ここで、Ｒznは各ゾーンの開始半径位置、
Ｎfznは各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッ
タ駆動クロック数を示す。

【００５８】図３はＭＣＡＶフォーマットに対応したフ
ォーマッタ駆動クロック周期の変化の様子を示す図であ
る。同図に示す例では、ゾーン毎に情報線密度が等しく
なるようにフォーマッタ駆動クロックが生成されてい
る。ＣＬＶ駆動状態において、上記式（１６）に従って
フォーマッタ駆動クロックを生成することにより光ディ
スク原盤上にＭＣＡＶフォーマットを形成することがで
きる。また、上記式（１６）に従ってフォーマッタ駆動
クロックを生成することによりＣＬＶ駆動状態でＭＣＡ
Ｖフォーマットを露光するためのフォーマッタ駆動クロ
ックを生成できる。

【００５９】本発明では、フォーマッタ駆動クロックは
トラック毎に更新し、トラック内では一定の周期のクロ
ックを生成する。同時に、トラック毎に露光ビーム照射
位置をＣＡＶフォーマット形成方向（ターンテーブル回
転方向と逆方向）に２×π×Ｐ相当長の等速移動（露光
ビーム位置は直線的に変化）を繰り返す。この様子を図
４に示す。次の式（１７）にトラック毎に更新されるフ
ォーマッタ駆動クロック周期を示す。上記式（１２）で
ｊ＝１として、

【００６０】 （フォーマッタ駆動クロック周期） ＝(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ （１７）

【００６１】ここで、Ｒｔはこのトラックの開始半径位
置で、Ｎｆは、このトラック上に対応したフォーマッタ
駆動クロックの数である。

【００６２】よって、露光ビーム照射位置を、次の式
（１８）で与えられる速度で、ＣＡＶフォーマット形成
方向（ターンテーブル回転方向と逆方向）に移動させる
ことにより、ＣＬＶ駆動状態でＣＡＶフォーマットを形
成することができる。

【００６３】 （露光ビーム移動速度）＝２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ） （１８）

【００６４】あるいは、 （露光ビーム位置）＝（２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ））×ｔ （１９）

【００６５】ここで、Ｌｎは、現在のトラックの線路長
で、上記式（４）で与えられる。ｔはトラック露光開始
からの時間である。

【００６６】次に、図４を用いて動作を説明する。露光
ビームは、これから形成されるであろう情報トラックに
そって、２×π×Ｐ長移動した時点（ａ）で、１トラッ
クの情報トラック形成を完了する。この時、同時にフォ
ーマッタ出力信号も、ちょうど１トラック分の情報トラ
ック形成信号出力を完了する。その後、露光ビームは移
動開始前の位置に戻され、式（１７）及び式（１８）に
従って、次のトラックに対してのフォーマッタ駆動クロ
ック周期の更新、及び露光ビーム移動速度の更新が行わ
れる。ターンテーブルが回転し、露光終端部が露光ビー
ム照射位置にきた時点から、再び１トラック分のフォー
マット信号出力と、露光ビームの移動を開始する。

【００６７】以上の動作をトラック毎に繰り返すことに
より、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶフォーマットを光ディ
スク原盤上に形成できる。

【００６８】本発明でも、ＣＡＶの場合と同ように、フ
ォーマッタ駆動クロックはトラック毎に更新し、トラッ
ク毎に露光ビーム照射位置をＭＣＡＶフォーマット形成
方向（ターンテーブル回転方向と逆方向）に２×π×Ｐ
相当長の等速移動を繰り返す。次の式（２０）にトラッ
ク毎に更新されるフォーマッタ駆動クロック周期を示
す。

【００６９】 （フォーマッタ駆動クロック周期）＝（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／( Ｎfzn)^２）／ＶＬ （２０） とする。

【００７０】ここで、Ｒznはこのトラックの開始半径位
置で、Ｎfznは、このトラック上に対応したフォーマッ
タ駆動クロックの数である。

【００７１】ＣＡＶの場合と同ように、露光ビーム照射
位置を、上記式（１８）で与えられる速度で、ＭＣＡＶ
フォーマット形成方向（ターンテーブル回転方向と逆方
向）に移動させることにより、ＣＬＶ駆動状態でＭＣＡ
Ｖフォーマットを形成することができる。

【００７２】図５は本発明の一実施例に係る光ディスク
原盤露光装置の構成を示するブロック図である。同図に
示す本実施例の光ディスク原盤露光装置において、露光
レーザ５１はフォトレジストを塗布したガラス原盤５５
を露光し、露光光学系５２は露光レーザ５１から出射さ
れたレーザ光を整形し、フォーカスアクチュエータ５４
へ露光光を導く。フォーカスアクチュエータ５４は、入
射した露光レーザ光を極小スポットに集光させ、絶え
ず、そのビームウエスト位置をフォトレジスト位置に保
つようにフォーカス制御する。光変調器５３は、ガラス
原盤５５上にプリエンボスピットやグルーブを形成する
信号を発生させるフォーマット信号発生器６５からの信
号Foutに基づいて露光レーザ光をｏｎ／ｏｆｆする。基
本クロック発生器６６はフォーマッタ６５を駆動するた
めのフォーマッタ基本クロック（CLK）を発生する。ガ
ラス原盤５５はエアスピンドルモータ５６に吸着され回
転させられる。これと同時に、フォーカスアクチュエー
タ５４はエアスライダモータ５８によって半径方向に移
動する。また、エンコーダ５７はエアスピンドルモータ
５６に取り付けられ、回転に応じパルス列を出力する。
リニアエンコーダ６４は露光スポットの半径位置を検出
し、リニアエンコーダ出力パルス（SLenc）を出力す
る。ドライバ５９，６１は、それぞれ、スライダ及びス
ピンドルを駆動するためのドライバである。制御回路６
０，６２は、駆動系コントローラ６３によって指示され
る移動及び回転指令に対して、滑らかにそして精度良く
スライダ及びスピンドルを追従させるための制御回路で
ある。ここで、リニアエンコーダ６４の値をプリセット
するための絶対位置を検出するためのセンサは省略して
ある。また、光ディスク原盤露光装置は各種ディスクフ
ォーマットに対応して２ビーム露光、露光ビームの蛇行
等々の設定が必要になるが、それらに要する各種露光光
学系等は本発明に直接関係しないので省略している。

【００７３】以上の構成によりＣＬＶ駆動は、先に述べ
た方法によりターンテーブル回転指令パルス列及びスラ
イダ駆動指令パルスが、ターンテーブル駆動指令パルス
生成回路６７及びスライダ駆動指令パルス生成回路６８
によって生成される。フォーマッタ駆動クロック生成回
路６９は、式（１５）あるいは式（１６）に従ってフォ
ーマッタ駆動クロック（Fclk）を生成する。基本クロッ
クの分周回路と、クロック生成毎に分周データを更新す
るように構成される。

【００７４】このような構成を有する本実施例の光ディ
スク原盤露光装置によって、ＣＬＶ駆動を行い、フォー
ッマッタ駆動クロック生成装置によって、式（１５）あ
るいは式（１６）に従ってフォーマッタ駆動クロック
（Fclk）を生成することによりＣＬＶ駆動でのＣＡＶあ
るいはＭＣＡＶフォーマットを搭載した光ディスク原盤
の製作が可能となる。

【００７５】図６は本発明の別の実施例に係る光ディス
ク原盤露光装置の構成を示すブロック図である。同図に
おいて、図５と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異
なる構成要素として、本実施例の光ディスク原盤露光装
置は、露光ビーム偏向回路７０を有する。また、露光ビ
ーム偏向回路７０にはフォーマット駆動クロック生成回
路６９からの露光ビーム偏向信号Ｐｖが供給される。露
光ビーム偏向信号Ｐｖには、式（１７）あるいは式（２
０）に従って生成されるフォーマッタ駆動クロック生成
と同期して、式（１９）に従った露光ビーム位置偏向信
号である。

【００７６】以上の構成により、ＣＬＶ駆動でのＣＡＶ
あるいはＭＣＡＶフォーマットを搭載した光ディスク原
盤の製作が可能となる。また、光ディスク原盤露光装置
を用いれば、ＣＬＶ駆動状態で露光を行うことにより、
高精度な情報トラック形状を有するＣＡＶフォーマット
あるいはＭＣＡＶフォーマットを搭載したスタンパ、光
ディスクメディアができる。

【００７７】図７は各指令パルス発生回路の構成を示す
ブロック図である。同図において、基本クロック発生回
路７１によって発生するフォーマッタ基本クロック（CL
K）周波数を、［（２×π×Ｒ_０＋π×Ｐ）／ＶＬ］se
c、かつ[２×π×Ｐ／ＶＬ]secが、フォーマッタ基本ク
ロック（CLK）の整数倍個相当の時間に等しくなるよう
に設定しているので、図８に示すように、１トラック毎
（ターンテーブル１回転）の図７のフォーマッタ駆動指
令パルス列発生回路７２と図７のターンテーブル回転駆
動指令パルス列発生回路７３は、整数個のフォーマッタ
基本クロック（CLK）から整数個のフォーマッタ駆動指
令パルス列（Fclk）とターンテーブル回転駆動指令パル
ス列（Tclk）を生成することができる。従って、正確な
パルス発生位置を演算によって求める際に、トラック毎
に累積誤差をキャンセルすることができる。また、ＭＣ
ＡＶディスクフォーマットを形成する場合も、上記の条
件を満たすフォーマッタ基本クロック（CLK）を用い
て、ゾーン毎に、１トラック毎（ターンテーブル１回
転）の生成フォーマッタ駆動指令パルス数を変えること
により同様の効果のもと、情報トラックの形成ができ
る。

【００７８】また、フォーマッタ基本クロック（CLK）
周波数を、［（２×π×Ｒ_０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、
かつ［Ｍ×２×π×Ｐ／ＶＬ］secが、フォーマッタ基
本クロック（CLK）の整数倍個相当の時間に等しくなる
ように設定、あるいは、［（２×π×Ｒ_０＋π×Ｐ）／
ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／（ＶＬ×Ｍ）]secが、フ
ォーマッタ基本クロック（CLK）の整数倍個相当の時間
に等しくなるように設定であってもよい、演算の有効精
度に応じてＭ（整数）を選ぶことにより効率的なシステ
ム構成ができる。

【００７９】更に、前述したように、ＣＬＶ駆動状態で
ＣＡＶディスクフォーマットを形成する際の正確なフォ
ーマッタ駆動指令パルス列、正確なターンテーブル回転
駆動指令パルス列、正確な横送り駆動指令パルス列の発
生時間（基本クロック数に相当）は、式（１０）、式
（１１）、式（１２）によって与えられる。これらの式
に用いることにより、各指令パルス列の正確なパルス発
生時間（基本クロック数に相当）を求めることができ
る。

【００８０】本発明における各パルス生成回路は、離散
的に設定される遅延パルス群からの選択的抽出によって
得られるパルス列から構成されるので、特別な場合を除
いてパルス発生時間は、正確なパルス発生時間に対し誤
差を有する。その様子を図９に、フォーマッタ駆動指令
パルス列を例に示す。同図中のd1，d2，d3，…は、正確
なフォーマッタ駆動指令パルス列に対する、Fclkの発生
時間誤差である。ここで、図１０に、本発明によるパル
スジェネレートシステムの全体構成を示す。同図に示す
ように、パルス信号の出力と同時にその出力パルス信号
（Sclk、Tclk、Fclk）が持っている正確な発生位置から
の誤差情報（dSclk、dTclk、dFclk）が出力される。ま
た、図１１に、フォーマッタ駆動指令パルス列を例にパ
ルス信号と誤差情報出力のタイミングチャートを示す。
誤差補正が可能なように、誤差情報はパルス信号に先だ
って出力される。更に、誤差情報を出力するための具体
的な構成としては、図１２に示すように、予め誤差デー
タを演算によって求め、誤差データ記憶回路７５に格納
しておき、パルスカウンタ７６によりパルス信号出力に
合わせ順次誤差データ（dFclk）を出力させる等の構成
がある。ここで、誤差情報は、正確な指令パルス発生時
間（基本クロック数に相当）に対する、実際に出力され
るパルス信号の発生時間（基本クロック数に相当）の誤
差時間（基本クロック数に相当）であり、またＣＬＶ駆
動、すなわち線速一定での駆動であることから、線速
（ＶＬ）×誤差時間によって位置誤差情報として得るこ
とができる。

【００８１】また、図１３に示す送り方向の露光ビーム
照射位置補正装置７８によって、送り方向の露光ビーム
照射位置補正に関連し、横送り駆動指令パルスの誤差情
報と、送り駆動系の駆動制御誤差情報を用いることによ
り、正確な送り方向の露光ビーム照射位置を求めること
ができる。本発明の露光ビーム照射位置補正装置は、横
送り駆動指令パルスの発生時間誤差を含めた送り方向の
露光ビーム照射位置の補正を行う。

【００８２】更に、図１４に示すトラック方向の露光ビ
ーム照射位置補正装置７９によって、トラック方向の露
光ビーム照射位置補正に関連し、フォーマッタ駆動指令
パルスの誤差情報を用いることにより、フォーマッタ駆
動指令パルスに含まれる高周波ジッタ成分について、正
確なトラック方向の露光ビーム照射位置を求めることが
できる。よって、本発明の露光ビーム照射位置補正装置
は、フォーマッタ駆動指令パルスの発生時間誤差のトラ
ック方向の露光ビーム照射位置の補正を行うことができ
る。

【００８３】また、図１５に示すトラック方向の露光ビ
ーム照射位置補正装置８０によって、更にトラック方向
の露光ビーム照射位置補正に関連し、ターンテーブル回
転駆動指令パルスの誤差情報と、回転駆動系の駆動制御
誤差情報を用いることにより、ターンテーブル回転駆動
制御誤差に含まれる低周波ジッタ成分について、正確な
トラック方向の露光ビーム照射位置を求めることができ
る。詳細には、図１５のトラック方向の露光ビーム照射
位置補正装置８０は、図１６に示すように、偏差カウン
タ８０−１により回転駆動指令パルス列（Tclk）と回転
エンコーダのフィードバックパルス（Tfb）の偏差（Δ
θ）を演算し、露光半径位置情報（ｒ）からデータ変換
テーブル８０−２、あるいは演算によってトラック方向
の位置誤差（ｒ×Δθ）を求め、Ｄ／Ａ変換器８０−３
によりトラック方向の露光ビーム照射位置補正信号を生
成する。よって、本発明におけるトラック方向の露光ビ
ーム照射位置補正装置は、フォーマッタ駆動指令パルス
の発生時間誤差に加え、ターンテーブル回転駆動指令パ
ルスの誤差及びターンテーブル回転駆動制御誤差のトラ
ック方向の露光ビーム照射位置の補正を行うことができ
る。

【００８４】次に、ターンテーブルの回転駆動制御誤差
によって、露光ビーム照射位置に、情報トラックに沿っ
てΔＬの誤差を生じた場合、正確な露光ビーム照射時間
としてはΔＬ／ＶＬ（sec）だけの誤差を生じているこ
とになる。従って、上記式（１１）にこの項を加えた、

【００８５】 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｆ）^２×Ｖ Ｌ）−（Δθ／θcb）×（２×π×Ｐ）／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （ｋ＝１，２，３，…） （２１）

【００８６】をフォーマッタ駆動指令パルスの正確な発
生時間とし、フォーマッタ駆動指令パルス（Fclk）を生
成し、Ｆ−ＰＧから出力されるパルス発生時間誤差情報
を求める。ここで、Δθはターンテーブルの回転追従誤
差によって生じる現在の露光位置と理想の位置の回転角
差で、θcbは形成しようとしているＣＡＶフォーマット
上の１個の理想的なフォーマット駆動パルスに相当する
回転角である。よって、この時フォーマッタ駆動指令パ
ルス列は、ターンテーブル回転駆動制御誤差に同期し
て、その周期を変化させることになるが、露光ビーム照
射位置の補正としては、ターンテーブル回転駆動制御誤
差の影響を補正する必要がなくなり、補正範囲を狭める
ことができることになる。

【００８７】ここで、ターンテーブルに取り付けられ、
ターンテーブルの回転角に応じてパルス信号を出力する
エンコーダ製作にあたっては、その出力信号の位置誤差
を全く無くすことは難しい。一般には、若干の位置誤差
が含まれる。このような誤差は制御誤差を正しく評価す
ることを妨げる。本発明では、このような、エンコーダ
の出力信号に元々組み込まれている誤差を、予めエンコ
ーダ出力パルス毎に測定し、その情報を用いて、正確な
ターンテーブル回転駆動制御誤差情報を得ることによ
り、更に正確な、トラック方向の露光ビーム照射位置補
正を実現する。図１７にエンコーダパルス位置誤差情報
出力回路の例を示す。各エンコーダ出力パルス毎の回転
位置誤差情報はエンコーダパルス位置誤差データ記憶回
路８１に格納され、Ｚパルス（エンコーダ１回転に１パ
ルス出力される原点パルス）でカウントクリアされ、エ
ンコーダパルス（回転角に応じて出力されるパルス）で
カウントされるカウンタ８２を用い、エンコーダ出力パ
ルスに応じて順次エンコーダパルス位置誤差データ記憶
回路８１から対応するエンコーダパルス位置誤差誤差情
報を出力される。トラック方向の露光ビーム照射位置補
正信号生成装置において、このエンコーダパルス位置誤
差誤差情報を含めて、露光ビーム照射位置補正信号を生
成することにより、より正確な情報トラックが形成され
る。

【００８８】図１８は電子ビームを使った光ディスク原
盤露光装置の基本構成を示す図である。電子ビーム鏡筒
９０内に電子銃９１、ブランカー手段９２、トラック方
向への電子ビーム照射位置偏向手段９３、送り方向への
電子ビーム照射位置偏向手段９４、真空容器９５内のタ
ーンテーブル９６上に搭載された光ディスク原盤９７上
に電子ビームを絞り込むフォーカス手段等によって構成
される露光機本体、及びターンテーブル９６の回転駆動
制御手段９８、横送り駆動制御手段９９、情報トラック
信号を生成するフォーマッタ１００、そして各駆動指令
パルス列及び各誤差情報を出力するパルスジェネレート
システム１０１、トラック方向の露光ビーム照射位置補
正信号（Ｂt）を出力するトラック方向ビーム照射位置
補正回路１０２、送り方向の露光ビーム照射位置補正信
号（Ｂs）を出力する送り方向ビーム照射位置補正回路
１０３を含んで構成されている。また、パルスジェネレ
ートシステム１０１は、ＣＬＶ駆動状態でガラス原盤上
にＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマットの情報トラック
を形成するための、上述の実施例に従ってFclkとdFclk
（正確なFclkに対するFclkの誤差情報）、TclkとdTclk
（正確なTclkに対するTclkの誤差情報）、SclkとdSclk
（正確なSclkに対するSclkの誤差情報）を出力する。タ
ーンテーブル駆動制御回路９８と横送り駆動制御回路９
９は、それぞれTclk、Sclkを指令パルスとしてターンテ
ーブルを回転させながら横移動させる。この時、同時に
回転駆動制御誤差情報及び送り駆動制御誤差情報を出力
する。トラック方向ビーム位置補正回路１０２は、Fclk
とdFclkを用い、あるいは更にTclkとdTclk、回転駆動制
御誤差情報を用い、トラック方向の露光ビーム照射位置
補正信号を生成しこれによってトラック方向のビーム照
射位置偏向手段９３によってビーム照射位置の補正を行
い、また送り方向ビーム位置補正回路１０３は、Sclkと
dSclk、及び送り駆動制御誤差情報を用い、送り方向の
露光ビーム照射位置補正信号を生成しこれによって送り
方向のビーム照射位置偏向手段９４によってビーム照射
位置の補正を行い、高精度なＣＡＶあるいはＭＣＡＶデ
ィスクフォーマットの情報トラックを形成する。

【００８９】ここで、一般にＣＬＶ駆動時の光ディスク
原盤露光装置に搭載されるターンテーブルの回転は、図
１９にTfbとして示すように、ターンテーブル回転駆動
指令パルス列に対し定常的な回転角度誤差とターンテー
ブル回転に同期した回転変動含む回転駆動追従誤差を有
している。また、図２０は、ＣＬＶ駆動開始時点から同
一個数番目に相当するパルスTclk１/２/３とパルスTfb
１、Tfb２、Tfb３の時間方向の位置関係を模式的に示し
ている。同図では、ＣＬＶ駆動が内周から外周に向かっ
て行われているので時間の経過と伴にTclkパルス周期
（PTclk）はパルス毎に長くなる。すなわち、ターンテ
ーブル回転指令速度が遅くなるが、ターンテーブル回転
は、それに追従して回転することができずに定常的な回
転角誤差（Ddc）と変動誤差（Dac）を有しながら回転し
ている様子を示している。このようにターンテーブル回
転追従誤差がある場合、フォーマッタ駆動パルスを従来
通り理想的なパルス列Fclkとして露光してもガラス原盤
上に正確なＣＡＶディスクフォーマットを形成すること
はできない。図２１に示すように、ターンテーブル回転
誤差に合わせてフォーマッタ駆動パルス周期を補正する
必要がある。図中、F'clkが補正されたフォーマッタ駆
動パルス周期である。

【００９０】図２２は本発明によるフォーマット駆動パ
ルス生成回路の構成を示すブロック図である。同図に示
すフォーマット駆動パルス生成回路によれば、ターンテ
ーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られ
るターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）
信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信
号と基本クロック（CLK）と、ＣＬＶ駆動開始からのTfb
パルス列信号とTclkパルス列信号の追従誤差

【００９１】Δθn；回転角差のTfb相当角の整数値

【００９２】を計数する計数回路１０４と、またTfbパ
ルス列信号の周期を計測する周期計測回路１０５とTfb
パルス信号入力から次に入力するTclkパルス信号までの
時間間隔を測る時間間隔測定回路１０６と、それぞれの
計数値、測定値データをラッチするラッチ回路１０７〜
１１０と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号とTc
lkパルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔デー
タから回転追従誤差データ

【００９３】Δθａ；回転角差のTfb相当角の小数値

【００９４】を得る演算回路１１１と、この演算回路１
１１から得られる全回転追従誤差角の内のTfbパルス信
号１パルス相当角以下のデータ（Δθａ）と、Tfbパル
ス列信号とTclkパルス列信号の追従誤差（Δθn）を計
数する計数回路から得られる全回転追従誤差角データ
（Δθ＝Δθｎ＋Δθａ）と、

【００９５】θcb；理想的なフォーマット駆動パルスに
相当する回転角（ＣＡＶディスクフォーマットを形成す
るのであるから、θcbは露光期間中一定。）から、加算
演算回路１１２によって追従誤差情報Δθ／θcbを得
る。この情報を基に、式（１５）に補正項を加え、ｋ番
目のフォーマット駆動パルス周期を

【００９６】 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ） −（Δθ／θcb）×２×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ） （ｋ＝１，２，３，…） （２２） から得る。

【００９７】次に、図２３に示すように、理想的なター
ンテーブル駆動指令パルス周期（PTclk）とターンテー
ブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られる
ターンテーブル回転フィードバックパルス列周期（PTf
b）の比と同じ比率で、理想的なフォーマット駆動パル
スの周期が補正されれば、ターンテーブル回転追従誤差
に関わらず露光されるＣＡＶディスクフォーマットの情
報トラックは正確に露光される。

【００９８】また、ターンテーブル回転駆動指令パルス
列周期をPTclk、理想的なＣＬＶ駆動時にＣＡＶディス
クフォーマット露光のための理想的なフォーマッタ駆動
パルス周期をPFclkとしたとき、（PTclk−PTfb）×PFcl
k／PTclkから、フォーマッタ駆動パルスの周期補正を行
えば、すなわち、

【００９９】 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ） −（（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclk）×２×π×Ｐ／（Ｎｆ^２×ＶＬ） （ｋ＝１，２，３，…） （２３） からｋ番目のフォーマット駆動パルスを生成する。

【０１００】また、PTfb×PFclk／PTclkから直接、周期
補正されたフォーマッタ駆動パルス周期（PF'clk）を求
めても良い。

【０１０１】図２４は本発明による、ターンテーブル回
転駆動誤差に対応したフォーマッタ駆動パルス生成のた
めのフォーマッタ駆動パルス周期補正データ取得回路の
構成を示すブロック図である。同図に示すフォーマッタ
駆動パルス周期補正データ取得回路は、ターンテーブル
回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるター
ンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号と
ターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基
本クロック（CLK）を用い、Tfb及びTclkそれぞれの周期
を計測する周期計測回路１１３，１１４と、Tfbパルス
に同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PTfb）
データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）データ
をラッチするラッチ回路１１５〜１１７と、PFclkデー
タを入力データとしTclkとFclkの比データ（Ptf；理想
的なＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット露光
において、Ptf＝PTclk／PFclkは常に一定である。）を
用いてPTclkを求めるデータ変換回路１１８と、PTclkデ
ータとPTfbデータからターンテーブル回転誤差に対応し
たフォーマッタ駆動パルス周期を得るためのPFclk周期
補正データを得る演算回路１１９とを含んで構成されて
いる。

【０１０２】上述したフォーマット駆動パルス生成方法
において、ターンテーブル回転駆動誤差に対応したフォ
ーマッタ駆動パルス周期を求めるには、式（２２）ある
いは式（２３）に示した演算、及び最終的にはパルス生
成回路の分周データ及び遅延パルス選択データを算出し
なければならない。これら演算を行うに際しては、ハー
ドウェアで演算させるにしろ、ソフトウェアで演算する
にしろ有効桁の設定に応じ誤差を伴う。１トラックある
いはセクタ長が最小設定周期分解能の整数倍相当長で構
成されるＣＡＶディスクフォーマットでは、理想的には
トラック毎あるいはセクタ相当長毎にフォーマッタ駆動
パルス生成回路における端数データ（パルス周期の最小
設定周期分解能相当に満たない周期データ部分）が０に
なるはずであり、これは、ターンテーブル回転駆動誤差
に対応して周期補正を行ったフォーマット駆動パルスに
おいても同様である。図２６に示すように、図中のP0パ
ルス発生位置を演算で求める（パルス周期を求める）
際、端数データが値をもっていた場合は０にリセットす
る。

【０１０３】本発明によるＣＡＶディスクフォーマット
は、ターンテーブルに付帯している回転エンコーダの１
パルスの回転角相当長の情報トラックが整数個のフォー
マッタ駆動パルス相当長に等しく構成される。図２７中
（Tenc）と（Fclk）は、理想的なＣＬＶ駆動時の時間方
向の理想的ターンテーブル回転エンコーダパルスと理想
的なフォーマッタ駆動パルスの配置を示す。図２８は、
実際の回転エンコーダパルス（Tfb）とターンテーブル
回転駆動誤差に対応して補正済みのフォーマッタ駆動パ
ルス（F'clk）と、Tfbに同期して出力されるP0パルスを
示す。P0パルス生成のための演算時に、端数データが生
じた場合はこの時点で０にリセットされる。回転エンコ
ーダパルス相当に同期して端数データのリセットが行え
るので、図２６に示したリセットに比べ少数回のフォー
マッタ駆動パルス周期演算毎にリセットすることができ
るる。従って、累積誤差伝播に対する安全性が増す。あ
るいは、演算時の有効桁数の減ずることができる。

【０１０４】また、フォーマット駆動パルス生成方法に
おいて、パルス周期設定最小分解能以下の周期設定デー
タをパルス位置誤差情報が、比較的頻繁に端数データの
リセットが行われる場合、端数データにおける演算誤差
の影響は少ない。従って、この端数データを用いてトラ
ック方向の露光ビーム照射位置補正を行うことにより、
高精度なＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット
露光が実現する。

【０１０５】更に、ターンテーブル回転駆動誤差が定常
的な誤差（一定回転角差）を有し、変動誤差が少ない場
合、図２９に示すように、フォーマッタ駆動パルス生成
のＣＬＫ生成開始時間を遅らせることにより、PTclkとP
Tfbの比に対応した、周期補正済みのフォーマッタ駆動
パルスとすることができる。

【０１０６】また、本発明において使用される横送り駆
動指令パルス列、ターンテーブル回転駆動指令パルス列
及びフォーマッタ駆動パルス列は図３０に示される構成
のパルスジェネレータ回路によって生成されているもの
とする。パルス生成の基本動作を図３０及び図３１で説
明する。図３０に示す生成回路は、分周データラッチ回
路１２０、分周回路１２１、遅延回路１２２、遅延パル
ス選択回路１２３、遅延パルス選択データラッチ回路１
２４を含んで構成されている。その動作は、図３１に示
すように、基本クロック（ＣＬＫ）を図３０の分周回路
１２１で分周し、その結果得られる分周パルスを遅延回
路１２２へ入力し、そこで得られる微小時間分解能を有
する遅延パルス群の中から、所望の発生時間にもっとも
近いパルスを選んで出力パルスとするものである。分周
データ及び遅延パルス選択データは、出力パルス毎に更
新される。なお、分周データ及び遅延パルス選択データ
は、予め全出力パルスに対して求めておき分周データラ
ッチ回路１２０及び遅延パルス選択データラッチ回路１
２４に格納し、パルス番号カウンタ等により順次出力さ
せても良いし、逐一演算によって求めても良い。このパ
ルス生成回路においては図３１に示すように、遅延値が
離散的に設定されるので、個々の生成パルスは特殊な場
合を除いて、目的とした理想的なパルス発生位置に対し
て誤差を持って出力される。

【０１０７】なお、上述したように、光ディスク原盤露
光装置のＣＬＶ駆動によるターンテーブル回転駆動誤差
を補正したＣＡＶディスクフォーマット露光が行われて
おり、電子ビーム露光によれば、大容量、高精度、高速
アクセス可能な光ディスクスタンパあるいはメディアを
実現することができる。

【０１０８】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。

【０１０９】

【発明の効果】以上説明したように、光ディスク原盤露
光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成する
ための信号を生成するフォーマッタ装置における、本発
明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報
トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動
クロックを、２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ
−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ²×ＶＬ）（但し、Ｒ_０；露光
開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット
駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッ
チ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数
（ｊ＝１，２，３，…））によって生成することに特徴
がある。よって、ターンテーブル移動型又は光学系移動
型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光ディスク原
盤露光装置においてＣＡＶフォーマット情報を露光する
際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態
で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能
とする、露光ピット情報を生成出力するフォーマッタ装
置のフォーマッタ駆動クロック生成方法を提供できる。

【０１１０】また、別の発明としての光ディスク原盤露
光装置は、光ディスク原盤を搭載するターンテーブル
と、ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報
トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用
露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、光ディス
ク原盤を搭載したターンテーブルを光ディスク原盤と平
行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記
録用露光ビームの収束照射手段を光ディスク原盤と平行
な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有
し、回転駆動手段と第１、第２の横送り駆動手段の制御
により、光ディスク原盤上に線密度一定となるように情
報トラックを形成する。そして、情報トラック生成の基
本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×
π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／
（Ｎｆ²×ＶＬ） （但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、
Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック
数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開
始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，
３，…））によって生成し、情報トラック生成の基本ク
ロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、
光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成すること
に特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわち
ＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝
形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装置を提供で
きる。

【０１１１】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック
列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒzn／
（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfz
n）^２×ＶＬ） （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位
置、Ｎfzn；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォー
マッタ駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開
始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｄ＝１，２，
３，…）、Ｐ；トラックピッチ）によって生成すること
に特徴がある。よって、ターンテーブル移動型あるいは
光学系移動型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光
ディスク原盤露光装置においてＭＣＡＶフォーマット情
報を露光する際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬ
Ｖ駆動状態で、露光ピット情報を生成出力するフォーマ
ッタ装置のフォーマッタ駆動クロックの生成方法を提供
できる。

【０１１２】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフ
ォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×
ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfzn）^２×Ｖ
Ｌ） （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfz
n；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆
動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からの
フォーマッタ駆動クロック数（ｄ＝１，２，３，…）、
Ｐ；トラックピッチ）によって生成し、情報トラック生
成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力さ
せながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形
成することに特徴がある。よって、露光光量一定のま
ま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるい
はトラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光
装置を提供できる。

【０１１３】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック
列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ （但
し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラック
当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラックピ
ッチ、ＶＬ；露光線速、Ｌｎ；現在のトラックの線路
長）によって生成することに特徴がある。よって、ＣＬ
Ｖ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状
形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力するフォ
ーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成方法を提
供できる。

【０１１４】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
によれば、露光ビームを情報トラック形成方向に移動す
る露光ビーム移動手段を有し、情報トラック生成の基本
クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラッ
ク毎に、(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ
（但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各ト
ラック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラ
ックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成し、情報ト
ラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号
を出力させながら、露光ビーム移動手段によって露光ビ
ームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ×Ｖ
Ｌ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ） （但し、Ｌｎ；現在のトラ
ックの線路長）で移動させ、光ディスク原盤上にＣＡＶ
フォーマットを形成することに特徴がある。よって、Ｃ
ＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定の
まま、即ちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいは
トラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装
置を提供できる。

【０１１５】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック
列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)^２）／Ｖ
Ｌ （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光における
あるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；ト
ラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラ
ックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成することに
特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわちＣ
ＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形
状形成を可能とするフォーマッタ駆動クロック生成方法
を提供できる。

【０１１６】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
によれば、露光ビームを情報トラック形成方向に移動す
る露光ビーム移動手段を有し、情報トラック生成の基本
クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラッ
ク毎に、（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)
^２）／ＶＬ （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光
におけるあるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎ
fzn；トラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、
Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成
し、情報トラック生成の基本クロック列に従って情報ト
ラック信号を出力させながら、露光ビーム移動手段によ
って露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×
π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ） （但し、Ｌｎ；
現在のトラックの線路長）で移動させ、光ディスク原盤
上にＣＡＶフォーマットを形成することに特徴がある。
よって、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態
で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能
とする光ディスク原盤露光装置を提供できる。

【０１１７】更に、別の発明として、光ディスク原盤を
搭載するターンテーブルと、ターンテーブルを回転させ
る回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記
録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収
束照射手段と、光ディスク原盤を搭載したターンテーブ
ルを光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１
の横送り移動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段
を光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の
横送り移動手段とを有し、回転駆動手段と第１、第２の
横送り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線速
度一定となるように情報トラックを、形成露光ビームを
照射しながらＣＡＶディスクフォーマットを露光する光
ディスク原盤露光装置の、基本クロックと複数の遅延パ
ルスから所望のパルスを選択的に出力し、分周データと
パルス選択データをパルス毎に設定し、ターンテーブル
回転駆動指令パルス列と、横送り駆動指令パルス列と、
ＣＡＶディスクフォーマット信号生成装置動作の基準ク
ロックとなるフォーマッタ駆動指令パルス列とを生成す
るフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法によれば、基
本クロックの周波数を、［（２×π×Ｒ_０＋π×Ｐ）／
ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／ＶＬ]sec （但し、
Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｐ；トラックピッチ、Ｖ
Ｌ；ＣＬＶ駆動時の露光線速）が、基本クロックの整数
倍個相当の時間に等しくなるように設定することに特徴
がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭ
ＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、整数個の基
本クロックから整数個のターンテーブル回転駆動指令パ
ルス列とフォーマッタ駆動指令パルス列を生成するの
で、累積誤差を発生を考慮する必要無く、ターンテーブ
ル回転駆動指令パルス列及びフォーマッタ駆動指令パル
ス列生成を行うことができる。

【０１１８】また、横送り駆動指令パルス列は、２×π
×Ｒ_０／（Ｎｓ×ＶＬ）＋（２×ｉ−１）×π×Ｐ／
（（Ｎｓ）^２×ＶＬ） （但し、Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始
半径、Ｎｓ；横送り駆動指令パルス数、ＶＬ；露光線
速、ｉ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ）を、ｉ
番目の横送り駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置と
して、ターンテーブル回転駆動指令パルス列は、２×π
×Ｒ_０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／
（（Ｎｔ）^２×ＶＬ） （但し、Ｎｔ；ターンテーブル
回転駆動指令パルス数、ｊ＝１，２，３，…）を、ｊ番
目のターンテーブル回転駆動指令パルス列発生時刻の正
確な位置として、フォーマッタ駆動指令パルス列は、２
×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ
／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （但し、Ｎｆ；フォーマッタ
駆動指令パルス数、ｋ＝１，２，３，…）を、ｋ番目の
フォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置と
して、実際に生成されるパルス列の発生時間誤差を求め
る。よって、横送り駆動指令パルス列、ターンテーブル
回転駆動指令パルス列、フォーマッタ駆動指令パルス列
のパルス発生時間誤差情報取得方法において正確な発生
時間誤差情報を取得できるので、露光ビーム照射位置補
正情報として使用できる。

【０１１９】更に、フォーマッタ駆動指令パルス列は、
２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×
Ｐ／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×（２×π
×Ｐ）／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開
始半径、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ＶＬ；
露光線速、ｋ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ、
Δθ；ターンテーブルの回転追従誤差によって生じる現
在露光位置と理想位置の回転角差、θcb；理想的なフォ
ーマッタ駆動パルスに相当する回転角）を、ｋ番目のフ
ォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置とす
る。よって、ターンテーブル回転駆動制御誤差対応する
露光ビーム照射位置誤差をフォーマッタ駆動指令パルス
周期へ変換して、露光ビーム照射位置補正を行うので、
フォーマッタ駆動指令パルス自体に含まれているパルス
発生位置誤差とターンテーブル回転駆動指令パルス自体
に含まれているパルス発生位置誤差に対応した補正だけ
となり、露光ビーム照射位置補正範囲が小さくなり、タ
ーンテーブル回転駆動制御誤差が大きい場合でも、低周
波および高周波ジッタ特性の良い高精度な情報トラック
形成が可能になる。

【０１２０】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコー
ダから得られるターンテーブル回転フィードバックパル
ス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス
列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、ＣＬＶ
駆動開始からのTfbパルス列信号とTclkパルス列信号の
追従誤差を計数する計数回路と、Tfbパルス列信号の周
期を計測する周期計測回路と、Tfbパルス信号入力から
次に入力するTclkパルス信号までの時間間隔を測る時間
間隔測定回路と、計数値や測定値データをラッチするラ
ッチ回路と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号と
Tclkパルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔デ
ータから回転追従誤差データを得る演算回路とを有す
る。そして、演算回路から得られる全回転追従誤差角の
内のTfbパルス信号１パルス相当角以下の回転角差情報
（Δθａ）と、計数回路から得られる回転角差情報（Δ
θｎ）から得られる全追従回転角差情報（Δθ）と、理
想的なフォーマット駆動パルスに相当する回転角情報
（θcb）とから追従誤差情報（Δθ／θcb）を得、追従
誤差情報に基づいてフォーマット駆動パルス周期を補正
する。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣ
ＡＶディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブ
ル回転駆動誤差に伴う回転角誤差情報によりフォーマッ
ト駆動パルス周期の補正を行うので、正確なＣＡＶディ
スクフォーマットを露光できる光ディスク原盤露光装置
を提供できる。

【０１２１】更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロッ
ク生成方法によれば、ターンテーブル回転がターンテー
ブル回転追従誤差を有しながらＣＬＶ駆動によるＣＡＶ
ディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル回
転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターン
テーブル回転フィードバックパルス列周期をPTfb、ター
ンテーブル回転駆動指令パルス列周期をPTclk、理想的
なＣＬＶ駆動時にＣＡＶディスクフォーマット露光のた
めの理想的なフォーマッタ駆動パルス周期をPFclkとし
たとき、（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclkから、フォー
マッタ駆動パルス周期補正データを得ることに特徴があ
る。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣＡ
Ｖディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル
回転駆動誤差に伴うターンテーブル回転駆動指令パルス
周期と実際に回転しているターンテーブルから得られる
フィードバックパルス周期の比情報によりフォーマット
駆動パルス周期の補正を行うので、正確なＣＡＶディス
クフォーマット露光を実現できる。

【０１２２】また、別の発明の光ディスク原盤露光装置
は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコー
ダから得られるターンテーブル回転フィードバックパル
ス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス
列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、Tfb及び
Tclkそれぞれの周期を計測する周期計測回路と、Tfbパ
ルスに同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PT
fb）データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）デ
ータをラッチするラッチ回路と、PFclkデータを入力デ
ータとしTclkとFclkの比データ（Ptf）を用いてPTclkを
求める演算回路とを有する。そして、PTclkデータとPTf
bデータからターンテーブル回転誤差に対応したフォー
マッタ駆動パルス周期を得るためのPFclk補正データを
得ることに特徴がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣ
ＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマット露光を行う
際、Fclkパルス周期情報からTfbパルス発生時のTclkパ
ルス周期情報を得て、ターンテーブル回転駆動誤差に伴
うターンテーブル回転駆動指令パルス周期と実際に回転
しているターンテーブルから得られるフィードバックパ
ルス周期の比情報によりフォーマット駆動パルス周期の
補正を行うので、より正確なＣＡＶディスクフォーマッ
トを露光できる光ディスク原盤露光装置を提供できる。

【０１２３】更に、ターンテーブル回転駆動指令パルス
列のＣＬＶ駆動指令開始に対して、フォーマッタ駆動パ
ルス列のＣＬＶ駆動開始時間を異ならせることにより、
簡単な方法でＣＬＶ駆動でＣＡＶディスクフォーマット
露光を実現できる。

【０１２４】また、他の発明としての光記録媒体は、上
記記載の光ディスク原盤露光装置によって形成されたＣ
ＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマット情報ピットあるいは
トラックを搭載したことに特徴がある。よって、高精度
な情報ピット形状あるいは情報トラック溝形状を搭載し
ている光記録媒体を提供でき、高品質な情報ピットある
いは情報トラック再生信号を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ターンテーブル回転指令パルスの周期の変化の
様子を示す図である。

【図２】ＣＡＶフォーマットに対するフォーマッタ駆動
クロック周期の変化の様子を示す図である。

【図３】ＭＣＡＶフォーマットに対応したフォーマッタ
駆動クロック周期の変化の様子を示す図である。

【図４】トラック毎に露光ビーム照射位置をＣＡＶフォ
ーマット形成方向に２×π×Ｐ相当長の等速移動を繰り
返す様子を示す図である。

【図５】本発明の一実施例に係る光ディスク原盤露光装
置の構成を示するブロック図である。

【図６】本発明の別の実施例に係る光ディスク原盤露光
装置の構成を示すブロック図である。

【図７】各指令パルス発生回路の構成を示すブロック図
である。

【図８】各指令パルスの発生の様子を示すタイムチャー
トである。

【図９】フォーマッタ駆動指令パルス列を示すタイムチ
ャートである。

【図１０】本発明によるパルスジェネレートシステムの
全体構成を示す図である。

【図１１】フォーマッタ駆動指令パルス列におけるパル
ス信号と誤差情報出力信号を示すタイムチャートであ
る。

【図１２】誤差情報を出力するための具体的な構成を示
すブロック図である。

【図１３】送り方向の露光ビーム照射位置補正装置を示
すブロック図である。

【図１４】トラック方向の露光ビーム照射位置補正装置
を示すブロック図である。

【図１５】トラック方向の露光ビーム照射位置補正装置
を示すブロック図である。

【図１６】トラック方向の露光ビーム照射位置補正装置
の構成を示すブロック図である。

【図１７】エンコーダパルス位置誤差情報出力回路の構
成を示すブロック図である。

【図１８】電子ビームを使った光ディスク原盤露光装置
の基本構成を示す図である。

【図１９】ターンテーブル回転駆動指令パルスとターン
テーブル回転戻りパルスの周期の変化の様子を示す図で
ある。

【図２０】ターンテーブル回転駆動指令パルスとターン
テーブル回転戻りパルスを示すタイムチャートである。

【図２１】ターンテーブル回転変動に対応したフォーマ
ッタ駆動パルスの周期の変換の様子を示す図である。

【図２２】本発明によるフォーマット駆動パルス生成回
路の構成を示すブロック図である。

【図２３】周期比を用いた補正の様子を示す図である。

【図２４】本発明におけるフォーマッタ駆動パルス周期
補正データ取得回路の構成を示すブロック図である。

【図２５】フォーマッタ駆動指令パルス補正データの獲
得タイミングを示すタイムチャートである。

【図２６】フォーマッタ駆動指令パルス補正データの端
数データリセットの様子を示す図である。

【図２７】ＣＡＶディスクフォーマットの様子を示す図
である。

【図２８】エンコーダパルス毎の端数データリセットの
様子を示す図である。

【図２９】フォーマッタ駆動パルス周期の補正の様子を
示す図である。

【図３０】パルスジェネレータ回路の構成を示すブロッ
ク図である。

【図３１】パルス生成の動作を示すタイムチャートであ
る。

【符号の説明】

５１；露光レーザ、５２；露光光学系、５３；光変調
器、５４；フォーカスアクチュエータ、５５；ガラス原
盤、５６；エアスピンドルモータ、５７；エンコーダ、
５８；エアスライダモータ、５９，６１；ドライバ、６
０，６２；制御回路、６３；駆動系コントローラ、６
４；リニアエンコーダ、６５；フォーマット信号発生
器、６６；基本クロック発生器、６７；ターンテーブル
駆動指令パルス生成回路、６８；スライダ駆動指令パル
ス生成回路、６９；フォーマッタ駆動クロック生成回
路、７０；露光ビーム偏向回路。

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【手続補正書】

【提出日】平成１４年５月１４日（２００２．５．１
４）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２９】

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスク原盤露光装置の、光ディスク
   原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成する
   フォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生
   成方法において、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×
   Ｐ／（Ｎｆ²×ＶＬ） （ｊ＝１，２，３，…） （但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当
   たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、
   Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ
   駆動クロック数）によって生成することを特徴とするフ
   ォーマッタ駆動クロック生成方法。
2. 【請求項２】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
   ルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、
   情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記
   録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記
   光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光
   ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送
   り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記
   光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横
   送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、
   第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原
   盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成する
   ＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×
   Ｐ／（Ｎｆ²×ＶＬ） （ｊ＝１，２，３，…） （但し、Ｒ_０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当
   たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、
   Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ
   駆動クロック数）によって生成し、前記情報トラック生
   成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力さ
   せながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形
   成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
3. 【請求項３】 光ディスク原盤露光装置の、光ディスク
   原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成する
   フォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生
   成方法において、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、 ２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π
   ×Ｐ／（（Ｎfzn）^２×ＶＬ） （ｄ＝１，２，３，…） （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfzn；各ゾ
   ーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロッ
   ク数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からのフォーマ
   ッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ）によって生
   成することを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成
   方法。
4. 【請求項４】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
   ルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、
   情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記
   録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記
   光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光
   ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送
   り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記
   光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横
   送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、
   第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原
   盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成する
   ＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、 ２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π
   ×Ｐ／（（Ｎfzn）^２×ＶＬ） （ｄ＝１，２，３，…） （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfzn；各ゾ
   ーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロッ
   ク数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からのフォーマ
   ッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ）によって生
   成し、前記情報トラック生成の基本クロック列に従って
   情報トラック信号を出力させながら、光ディスク原盤上
   にＣＡＶフォーマットを形成することを特徴とする光デ
   ィスク原盤露光装置。
5. 【請求項５】 光ディスク原盤露光装置の、光ディスク
   原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成する
   フォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生
   成方法において、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、トラック毎に、 (２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ （但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラ
   ック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラッ
   クピッチ、ＶＬ；露光線速、Ｌｎ；現在のトラックの線
   路長）によって生成することを特徴とするフォーマッタ
   駆動クロック生成方法。
6. 【請求項６】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
   ルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、
   情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記
   録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記
   光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光
   ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送
   り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記
   光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横
   送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、
   第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原
   盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成する
   ＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、 露光ビームを情報トラック形成方向に移動する露光ビー
   ム移動手段を有し、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、トラック毎に、 (２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ^２)／ＶＬ （但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラ
   ック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラッ
   クピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成し、前記情報
   トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信
   号を出力させながら、前記露光ビーム移動手段によって
   露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×
   Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）で移動させ、（但し、
   Ｌｎ；現在のトラックの線路長）光ディスク原盤上にＣ
   ＡＶフォーマットを形成することを特徴とする光ディス
   ク原盤露光装置。
7. 【請求項７】 光ディスク原盤露光装置の、光ディスク
   原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成する
   フォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生
   成方法において、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、トラック毎に、 （２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)^２）／Ｖ
   Ｌ （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光におけるある
   ゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；トラッ
   ク当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラック
   ピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成することを特徴
   とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
8. 【請求項８】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
   ルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、
   情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記
   録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記
   光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光
   ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送
   り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記
   光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横
   送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、
   第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原
   盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成する
   ＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、 露光ビームを情報トラック形成方向に移動する露光ビー
   ム移動手段を有し、 情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ
   駆動クロックを、トラック毎に、 （２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)^２）／Ｖ
   Ｌ （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光におけるある
   ゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；トラッ
   ク当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラック
   ピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成し、前記情報ト
   ラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号
   を出力させながら、前記露光ビーム移動手段によって露
   光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ
   ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）で移動させ、（但し、Ｌ
   ｎ；現在のトラックの線路長）光ディスク原盤上にＣＡ
   Ｖフォーマットを形成することを特徴とする光ディスク
   原盤露光装置。
9. 【請求項９】 光ディスク原盤を搭載するターンテーブ
   ルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、
   情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記
   録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記
   光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光
   ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送
   り移動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記
   光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横
   送り移動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、
   第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原
   盤上に線速度一定となるように情報トラックを、形成露
   光ビームを照射しながらＣＡＶディスクフォーマットを
   露光する光ディスク原盤露光装置の、基本クロックと複
   数の遅延パルスから所望のパルスを選択的に出力し、分
   周データとパルス選択データをパルス毎に設定し、ター
   ンテーブル回転駆動指令パルス列と、横送り駆動指令パ
   ルス列と、ＣＡＶディスクフォーマット信号生成装置動
   作の基準クロックとなるフォーマッタ駆動指令パルス列
   とを生成するフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法に
   おいて、 前記基本クロックの周波数を、 ［（２×π×Ｒ_０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、かつ[２×π
   ×Ｐ／ＶＬ]sec が、（但し、Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｐ；トラック
   ピッチ、ＶＬ；ＣＬＶ駆動時の露光線速）前記基本クロ
   ックの整数倍個相当の時間に等しくなるように設定する
   ことを特徴とするフォーマッタ駆動指令パルス列生成方
   法。
10. 【請求項１０】 前記横送り駆動指令パルス列は、 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｓ×ＶＬ）＋（２×ｉ−１）×π×
    Ｐ／（（Ｎｓ）^２×ＶＬ） （但し、Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｎｓ；横送り駆動
    指令パルス数、ＶＬ；露光線速、ｉ＝１，２，３，…、
    Ｐ；トラックピッチ）を、ｉ番目の前記横送り駆動指令
    パルス列発生時刻の正確な位置として、前記ターンテー
    ブル回転駆動指令パルス列は、 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×
    Ｐ／（（Ｎｔ）^２×ＶＬ） （但し、Ｎｔ；ターンテーブル回転駆動指令パルス数、
    ｊ＝１，２，３，…）を、ｊ番目の前記ターンテーブル
    回転駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、 前記フォーマッタ駆動指令パルス列は、 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×
    Ｐ／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （但し、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ｋ＝
    １，２，３，…）を、ｋ番目の前記フォーマッタ駆動指
    令パルス列発生時刻の正確な位置として、 実際に生成されるパルス列の発生時間誤差を求める請求
    項９記載のフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法。
11. 【請求項１１】 前記フォーマッタ駆動指令パルス列
    は、 ２×π×Ｒ_０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×
    Ｐ／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×（２×π
    ×Ｐ）／（（Ｎｆ）^２×ＶＬ） （Ｒ_０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｎｆ；フォーマッタ駆動
    指令パルス数、ＶＬ；露光線速、ｋ＝１，２，３，…、
    Ｐ；トラックピッチ、Δθ；ターンテーブルの回転追従
    誤差によって生じる現在露光位置と理想位置の回転角
    差、θcb；理想的なフォーマッタ駆動パルスに相当する
    回転角）を、ｋ番目の前記フォーマッタ駆動指令パルス
    列発生時刻の正確な位置とする請求項１０記載のフォー
    マッタ駆動指令パルス列生成方法。
12. 【請求項１２】 光ディスク原盤を搭載するターンテー
    ブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段
    と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
    て記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、
    前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前
    記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の
    横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を
    前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２
    の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第
    １、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディス
    ク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成
    するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置におい
    て、 ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダか
    ら得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列
    （Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（T
    clk）信号と基本クロック（CLK）を用い、ＣＬＶ駆動開
    始からのTfbパルス列信号とTclkパルス列信号の追従誤
    差を計数する計数回路と、Tfbパルス列信号の周期を計
    測する周期計測回路と、Tfbパルス信号入力から次に入
    力するTclkパルス信号までの時間間隔を測る時間間隔測
    定回路と、計数値や測定値データをラッチするラッチ回
    路と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号とTclkパ
    ルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔データか
    ら回転追従誤差データを得る演算回路とを有し、 該演算回路から得られる全回転追従誤差角の内のTfbパ
    ルス信号１パルス相当角以下の回転角差情報（Δθａ）
    と、前記計数回路から得られる回転角差情報（Δθｎ）
    から得られる全追従回転角差情報（Δθ）と、理想的な
    フォーマット駆動パルスに相当する回転角情報（θcb）
    とから追従誤差情報（Δθ／θcb）を得、該追従誤差情
    報に基づいてフォーマット駆動パルス周期を補正するこ
    とを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
13. 【請求項１３】 光ディスク原盤露光装置の、光ディス
    ク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成す
    るフォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック
    生成方法において、 ターンテーブル回転がターンテーブル回転追従誤差を有
    しながらＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット
    露光を行う際、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回
    転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィード
    バックパルス列周期をPTfb、ターンテーブル回転駆動指
    令パルス列周期をPTclk、理想的なＣＬＶ駆動時にＣＡ
    Ｖディスクフォーマット露光のための理想的なフォーマ
    ッタ駆動パルス周期をPFclkとしたとき、 （PTclk−PTfb）×PFclk／PTclk から、フォーマッタ駆動パルス周期補正データを得るこ
    とを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
14. 【請求項１４】 光ディスク原盤を搭載するターンテー
    ブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段
    と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づい
    て記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、
    前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前
    記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の
    横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を
    前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２
    の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第
    １、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディス
    ク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成
    するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置におい
    て、 ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダか
    ら得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列
    （Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（T
    clk）信号と基本クロック（CLK）を用い、Tfb及びTclk
    それぞれの周期を計測する周期計測回路と、Tfbパルス
    に同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PTfb）
    データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）データ
    をラッチするラッチ回路と、PFclkデータを入力データ
    としTclkとFclkの比データ（Ptf）を用いてPTclkを求め
    る演算回路とを有し、 PTclkデータとPTfbデータからターンテーブル回転誤差
    に対応したフォーマッタ駆動パルス周期を得るためのPF
    clk補正データを得ることを特徴とする光ディスク原盤
    露光装置。
15. 【請求項１５】 ターンテーブル回転駆動指令パルス列
    のＣＬＶ駆動指令開始に対して、フォーマッタ駆動パル
    ス列のＣＬＶ駆動開始時間を異ならせる請求項１４記載
    の光ディスク原盤露光装置。
16. 【請求項１６】 請求項２，４，６，８，１２，１４の
    いずれかに記載の光ディスク原盤露光装置によって形成
    されたＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマット情報ピット
    あるいはトラックを搭載したことを特徴とする光記録媒
    体。