JPH06208724A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents
光ディスク原盤露光装置Info
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- JPH06208724A JPH06208724A JP335193A JP335193A JPH06208724A JP H06208724 A JPH06208724 A JP H06208724A JP 335193 A JP335193 A JP 335193A JP 335193 A JP335193 A JP 335193A JP H06208724 A JPH06208724 A JP H06208724A
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- JP
- Japan
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- feed
- position information
- transverse feed
- optical disc
- movement
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- Pending
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Landscapes
- Moving Of Head For Track Selection And Changing (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で、高精度な横送りが可能な光デ
ィスク原盤露光装置を提供する。 【構成】 レーザ光源から出射されたビームを光ディス
ク原盤１に照射して情報を記録する露光光学系と、ビー
ムの照射される光ディスク原盤１を回転させるスピンド
ルモータ３とを備えた光ディスク原盤露光装置におい
て、スピンドルモータ３に連設された横送りテーブル５
とこの横送りテーブル５をディスク半径方向に移動させ
る横送りネジ６とこの横送りネジ６に連結部材７を介し
て連結された横送りモータ８とよりなる横送り移動機構
９を設け、横送りテーブル５の移動距離を測定する測長
器１０と横送りモータ８の回転数を測定する回転数測定
器１１とに接続され横送り移動機構９のディスク半径方
向への駆動制御を行う横送り移動制御手段１２を設け
た。
ィスク原盤露光装置を提供する。 【構成】 レーザ光源から出射されたビームを光ディス
ク原盤１に照射して情報を記録する露光光学系と、ビー
ムの照射される光ディスク原盤１を回転させるスピンド
ルモータ３とを備えた光ディスク原盤露光装置におい
て、スピンドルモータ３に連設された横送りテーブル５
とこの横送りテーブル５をディスク半径方向に移動させ
る横送りネジ６とこの横送りネジ６に連結部材７を介し
て連結された横送りモータ８とよりなる横送り移動機構
９を設け、横送りテーブル５の移動距離を測定する測長
器１０と横送りモータ８の回転数を測定する回転数測定
器１１とに接続され横送り移動機構９のディスク半径方
向への駆動制御を行う横送り移動制御手段１２を設け
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク原盤露光装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ディスク原盤を回転させる回転
機構とその回転する光ディスク原盤をディスク半径方向
へ移動させる移動機構とを備えた光ディスク原盤露光装
置において、光ディスク原盤を高精度に作製するため
に、以下の例に述べるような各種の工夫がなされてい
る。まず、その第一の従来例として、特開昭６０−１５
４３５６号公報に「光ディスク原盤記録装置」なる名称
で開示されているものがある。これは、光ディスク原盤
を高精度に作製するために、光ディスク原盤の回転軸受
と、その光ディスク原盤のディスク半径方向にネジ送り
機構（ネジ、ナット等よりなる）を介して移動する移動
ガイドとに、空気軸受を用いている。また、高精度化を
確実なものとするために、ネジ、ナットのバックラッシ
ュ取りとして鉛直方向におもりを吊るしている。この他
に、高精度化のために精密ギヤによる減速機構を取付け
たり、記録時以外の戻り工程のスピードアップを図るた
めに早送り機構を設けている。
機構とその回転する光ディスク原盤をディスク半径方向
へ移動させる移動機構とを備えた光ディスク原盤露光装
置において、光ディスク原盤を高精度に作製するため
に、以下の例に述べるような各種の工夫がなされてい
る。まず、その第一の従来例として、特開昭６０−１５
４３５６号公報に「光ディスク原盤記録装置」なる名称
で開示されているものがある。これは、光ディスク原盤
を高精度に作製するために、光ディスク原盤の回転軸受
と、その光ディスク原盤のディスク半径方向にネジ送り
機構（ネジ、ナット等よりなる）を介して移動する移動
ガイドとに、空気軸受を用いている。また、高精度化を
確実なものとするために、ネジ、ナットのバックラッシ
ュ取りとして鉛直方向におもりを吊るしている。この他
に、高精度化のために精密ギヤによる減速機構を取付け
たり、記録時以外の戻り工程のスピードアップを図るた
めに早送り機構を設けている。
【０００３】また、第二の従来例として、特開昭６２−
２４８１４８号公報に「光ディスク原盤カッティング装
置」なる名称で開示されているものがある。これは、光
ディスク原盤を回転させるスピンドルモータの左右両側
に２本の平行なエアースライダー装置を配設し、このエ
アースライダー装置にリニアモータを用いることにより
ディスク半径方向への精密な移動制御を行っている。ま
た、エアースライダー装置に発生する振動を除去するた
めに摩擦シューにより付加的ダンピングを付加させ、こ
れにより移動制御の一層の高精度化を図っている。
２４８１４８号公報に「光ディスク原盤カッティング装
置」なる名称で開示されているものがある。これは、光
ディスク原盤を回転させるスピンドルモータの左右両側
に２本の平行なエアースライダー装置を配設し、このエ
アースライダー装置にリニアモータを用いることにより
ディスク半径方向への精密な移動制御を行っている。ま
た、エアースライダー装置に発生する振動を除去するた
めに摩擦シューにより付加的ダンピングを付加させ、こ
れにより移動制御の一層の高精度化を図っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】第一の従来例の場合、
ネジやナット部のバックラッシュ取りとして「おもり」
を吊るしたり、高精度化やスピードアップ化を図るため
に減速機や早送り機構を設けており、これにより部品点
数が増加して機構が複雑化すると共に、一段と精密な調
整が必要となる。
ネジやナット部のバックラッシュ取りとして「おもり」
を吊るしたり、高精度化やスピードアップ化を図るため
に減速機や早送り機構を設けており、これにより部品点
数が増加して機構が複雑化すると共に、一段と精密な調
整が必要となる。
【０００５】第二の従来例の場合、リニアモータを用い
無接触状態としているが、そのエアースライダー機構に
発生する振動を除去するために摩擦シュー（付加的ダン
ピング）の取付けが必要となり、やはり部品点数が増加
し機構が複雑化して精密な調整が必要となる。
無接触状態としているが、そのエアースライダー機構に
発生する振動を除去するために摩擦シュー（付加的ダン
ピング）の取付けが必要となり、やはり部品点数が増加
し機構が複雑化して精密な調整が必要となる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、レーザ光源から出射されたビームを光ディスク原盤
に照射して情報を記録する露光光学系と、前記ビームの
照射される前記光ディスク原盤を回転させるスピンドル
モータとを備えた光ディスク原盤露光装置において、前
記スピンドルモータに連設された横送りテーブルとこの
横送りテーブルをディスク半径方向に移動させる横送り
ネジとこの横送りネジに連結部材を介して連結された横
送りモータとよりなる横送り移動機構を設け、前記横送
りテーブルの移動距離を測定する測長器と前記横送りモ
ータの回転数を測定する回転数測定器とに接続され前記
横送り移動機構の前記ディスク半径方向への駆動制御を
行う横送り移動制御手段を設けた。
は、レーザ光源から出射されたビームを光ディスク原盤
に照射して情報を記録する露光光学系と、前記ビームの
照射される前記光ディスク原盤を回転させるスピンドル
モータとを備えた光ディスク原盤露光装置において、前
記スピンドルモータに連設された横送りテーブルとこの
横送りテーブルをディスク半径方向に移動させる横送り
ネジとこの横送りネジに連結部材を介して連結された横
送りモータとよりなる横送り移動機構を設け、前記横送
りテーブルの移動距離を測定する測長器と前記横送りモ
ータの回転数を測定する回転数測定器とに接続され前記
横送り移動機構の前記ディスク半径方向への駆動制御を
行う横送り移動制御手段を設けた。
【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、横送り移動制御手段に、光ディスク原盤
のディスク半径方向への移動に際してその光ディスク原
盤の位置情報を随時読取りこの読取った位置情報とその
一つ前の位置情報との差を演算して前記光ディスク原盤
のトラックピッチと対応した送りピッチを測定する送り
ピッチ測定手段を設けた。
発明において、横送り移動制御手段に、光ディスク原盤
のディスク半径方向への移動に際してその光ディスク原
盤の位置情報を随時読取りこの読取った位置情報とその
一つ前の位置情報との差を演算して前記光ディスク原盤
のトラックピッチと対応した送りピッチを測定する送り
ピッチ測定手段を設けた。
【０００８】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
発明において、送りピッチ測定手段に、位置情報のサン
プリングタイミングを一定時間間隔で取込む一定時間情
報取込み手段を設けた。
発明において、送りピッチ測定手段に、位置情報のサン
プリングタイミングを一定時間間隔で取込む一定時間情
報取込み手段を設けた。
【０００９】請求項４記載の発明では、請求項２記載の
発明において、送りピッチ測定手段に、位置情報のサン
プリングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基
準として取込む原点信号情報取込み手段を設けた。
発明において、送りピッチ測定手段に、位置情報のサン
プリングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基
準として取込む原点信号情報取込み手段を設けた。
【００１０】請求項５記載の発明では、請求項２記載の
発明において、送りピッチ測定手段に、位置情報の演算
結果によりディスク半径方向への移動に異常があること
が判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停止
させる横移動停止手段を設けた。
発明において、送りピッチ測定手段に、位置情報の演算
結果によりディスク半径方向への移動に異常があること
が判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停止
させる横移動停止手段を設けた。
【００１１】
【作用】請求項１記載の発明では、横送り移動制御手段
から得られた駆動信号をもとに横送り移動機構を用いて
光ディスク原盤をディスク半径方向に移動させるように
したので、送りピッチ精度の大幅な改善がなされ、単純
な送り機構で高精度な送りが可能となる。
から得られた駆動信号をもとに横送り移動機構を用いて
光ディスク原盤をディスク半径方向に移動させるように
したので、送りピッチ精度の大幅な改善がなされ、単純
な送り機構で高精度な送りが可能となる。
【００１２】請求項２記載の発明では、送りピッチ測定
手段によりトラックピッチに対応した送りピッチを測定
することにより、移動速度、その移動の際の駆動電流、
移動した位置を各々フィードバックしたゲイン調整が可
能となり、しかも、横送りを高精度化する時の基準尺度
との対応を早めることが可能となる。
手段によりトラックピッチに対応した送りピッチを測定
することにより、移動速度、その移動の際の駆動電流、
移動した位置を各々フィードバックしたゲイン調整が可
能となり、しかも、横送りを高精度化する時の基準尺度
との対応を早めることが可能となる。
【００１３】請求項３記載の発明では、一定時間情報取
込み手段により光ディスク原盤の位置情報のサンプリン
グタイミングを一定時間間隔で取込むことにより、一定
速度で移動するような場合にデータを正確に取り出すこ
とが可能となる。
込み手段により光ディスク原盤の位置情報のサンプリン
グタイミングを一定時間間隔で取込むことにより、一定
速度で移動するような場合にデータを正確に取り出すこ
とが可能となる。
【００１４】請求項４記載の発明では、原点信号情報取
込み手段により光ディスク原盤の位置情報のサンプリン
グタイミングをスピンドルモータの原点信号を基準とし
て取込むことにより、光ディスク原盤のトラックピッチ
に対応したデータを正確に得ることが可能となる。
込み手段により光ディスク原盤の位置情報のサンプリン
グタイミングをスピンドルモータの原点信号を基準とし
て取込むことにより、光ディスク原盤のトラックピッチ
に対応したデータを正確に得ることが可能となる。
【００１５】請求項５記載の発明では、横移動停止手段
により光ディスク原盤の送り異常及び仕様値外の誤った
トラックピッチを作製するようなことをなくすことが可
能となる。
により光ディスク原盤の送り異常及び仕様値外の誤った
トラックピッチを作製するようなことをなくすことが可
能となる。
【００１６】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。まず、光ディスク原盤露光装置の全体構成を図１に
基づいて説明する。光ディスク原盤１はターンテーブル
２上に置かれており、このターンテーブル２はスピンド
ルモータ３により回転されるようになっている。このス
ピンドルモータ３の下面にはエンコーダ４が取付けられ
ている。前記スピンドルモータ３の外周面には横送りテ
ーブル５が固定されている。この横送りテーブル５は、
このテーブルをディスク半径方向に移動させるための直
線状の横送りネジ６に連結されている。この横送りネジ
６は、連結部材７を介して、横送りモータとしてのＤＣ
モータ８と接続されている。前記横送りテーブル５と、
前記横送りネジ６と、前記連結部材７と、前記ＤＣモー
タ８とは、横送り移動機構９を構成している。
る。まず、光ディスク原盤露光装置の全体構成を図１に
基づいて説明する。光ディスク原盤１はターンテーブル
２上に置かれており、このターンテーブル２はスピンド
ルモータ３により回転されるようになっている。このス
ピンドルモータ３の下面にはエンコーダ４が取付けられ
ている。前記スピンドルモータ３の外周面には横送りテ
ーブル５が固定されている。この横送りテーブル５は、
このテーブルをディスク半径方向に移動させるための直
線状の横送りネジ６に連結されている。この横送りネジ
６は、連結部材７を介して、横送りモータとしてのＤＣ
モータ８と接続されている。前記横送りテーブル５と、
前記横送りネジ６と、前記連結部材７と、前記ＤＣモー
タ８とは、横送り移動機構９を構成している。
【００１７】また、前記横送りテーブル５に近接した位
置には、このテーブルの移動距離を測定する測長器とし
てのレーザスケール１０が配置されている。前記ＤＣモ
ータ８には、このモータの回転数を測定するために回転
数測定器としてのタコメータゼネレータ１１が取付けら
れている。前記レーザスケール１０と前記タコメータゼ
ネレータ１１とには、前記横送り移動機構９のディスク
半径方向への駆動制御を行う横送り移動制御手段として
の横送り移動制御回路１２が接続されている。この横送
り移動制御回路１２は、偏倍回路１３と、パルス合成回
路１４と、アップダウンカウンタ１５と、Ｄ／Ａ変換器
１６と、電流アンプ１７と、パワーアンプ１８と、速度
検出回路１９と、速度データ変換部２０と、パルス変換
部２１と、表示カウンタ２２と、サブコンピュータ２３
と、ホストコンピュータ２４とより構成されている。
置には、このテーブルの移動距離を測定する測長器とし
てのレーザスケール１０が配置されている。前記ＤＣモ
ータ８には、このモータの回転数を測定するために回転
数測定器としてのタコメータゼネレータ１１が取付けら
れている。前記レーザスケール１０と前記タコメータゼ
ネレータ１１とには、前記横送り移動機構９のディスク
半径方向への駆動制御を行う横送り移動制御手段として
の横送り移動制御回路１２が接続されている。この横送
り移動制御回路１２は、偏倍回路１３と、パルス合成回
路１４と、アップダウンカウンタ１５と、Ｄ／Ａ変換器
１６と、電流アンプ１７と、パワーアンプ１８と、速度
検出回路１９と、速度データ変換部２０と、パルス変換
部２１と、表示カウンタ２２と、サブコンピュータ２３
と、ホストコンピュータ２４とより構成されている。
【００１８】この場合、前記偏倍回路１３と、前記表示
カウンタ２２と、前記サブコンピュータ２３とは、送り
ピッチ測定手段としての送りピッチ測定回路２５を構成
している。この送りピッチ測定回路２５は、光ディスク
原盤１のディスク半径方向への移動に際してその光ディ
スク原盤１の位置情報を随時読取りこの読取った位置情
報とその一つ前の位置情報との差を演算して光ディスク
原盤１のトラックピッチと対応した送りピッチを測定す
る。また、この送りピッチ測定回路２５は、図示しな
い、位置情報のサンプリングタイミングを一定時間間隔
で取込む一定時間情報取込み手段と、位置情報のサンプ
リングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基準
として取込む原点信号情報取込み手段と、位置情報の演
算結果によりディスク半径方向への移動に異常があるこ
とが判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停
止させる横移動停止手段とを備えている。これら各種手
段は、主にサブコンピュータ２３を用いて動作制御がな
される。
カウンタ２２と、前記サブコンピュータ２３とは、送り
ピッチ測定手段としての送りピッチ測定回路２５を構成
している。この送りピッチ測定回路２５は、光ディスク
原盤１のディスク半径方向への移動に際してその光ディ
スク原盤１の位置情報を随時読取りこの読取った位置情
報とその一つ前の位置情報との差を演算して光ディスク
原盤１のトラックピッチと対応した送りピッチを測定す
る。また、この送りピッチ測定回路２５は、図示しな
い、位置情報のサンプリングタイミングを一定時間間隔
で取込む一定時間情報取込み手段と、位置情報のサンプ
リングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基準
として取込む原点信号情報取込み手段と、位置情報の演
算結果によりディスク半径方向への移動に異常があるこ
とが判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停
止させる横移動停止手段とを備えている。これら各種手
段は、主にサブコンピュータ２３を用いて動作制御がな
される。
【００１９】このような構成において、一定時間情報取
込み手段、原点信号情報取込み手段、横移動停止手段の
各種手段の具体的な動作を中心にして説明する。ＤＣモ
ータ８の後端に接続されたタコメータゼネレータ１１に
よりそのモータの送り速度を検出し、この検出された信
号は速度検出回路１９に送られる。その検出された信号
は速度データ変換部２０からＤ／Ａ変換器１６に送られ
ることにより速度フィードバック制御がなされ、また、
その検出された信号は速度検出回路１９からパルス変換
部２１を介してアップダウンカウンタ１５に送られるこ
とにより位置フィードバック制御がなされる。また、ホ
ストコンピュータ２４からはｃｗパルス２６とｃｃｗパ
ルス２７とがパルス合成回路１４に加えられており、こ
のパルス合成回路１４ではレーザスケール１０から偏倍
回路１３を介して送られたｕｐ、ｄｏｗｎのパルス積
と、ｃｗパルス２６及びｃｃｗパルス２７のパルス積と
の間に差が発生し、この差信号はアップダウンカウンタ
１５、Ｄ／Ａ変換器１６、電流アンプ１７、パワーアン
プ１８と送られ増幅信号となる。このパワーアンプ１８
からの信号は電流アンプ１７に送られることにより電流
フィードバック制御系を構成している。そして、その増
幅信号はＤＣモータ８に送られることにより、ＤＣモー
タ８は「送りピッチ」の誤差を少なくする方向に回転
し、送り誤差がほとんどゼロになった位置で停止する。
込み手段、原点信号情報取込み手段、横移動停止手段の
各種手段の具体的な動作を中心にして説明する。ＤＣモ
ータ８の後端に接続されたタコメータゼネレータ１１に
よりそのモータの送り速度を検出し、この検出された信
号は速度検出回路１９に送られる。その検出された信号
は速度データ変換部２０からＤ／Ａ変換器１６に送られ
ることにより速度フィードバック制御がなされ、また、
その検出された信号は速度検出回路１９からパルス変換
部２１を介してアップダウンカウンタ１５に送られるこ
とにより位置フィードバック制御がなされる。また、ホ
ストコンピュータ２４からはｃｗパルス２６とｃｃｗパ
ルス２７とがパルス合成回路１４に加えられており、こ
のパルス合成回路１４ではレーザスケール１０から偏倍
回路１３を介して送られたｕｐ、ｄｏｗｎのパルス積
と、ｃｗパルス２６及びｃｃｗパルス２７のパルス積と
の間に差が発生し、この差信号はアップダウンカウンタ
１５、Ｄ／Ａ変換器１６、電流アンプ１７、パワーアン
プ１８と送られ増幅信号となる。このパワーアンプ１８
からの信号は電流アンプ１７に送られることにより電流
フィードバック制御系を構成している。そして、その増
幅信号はＤＣモータ８に送られることにより、ＤＣモー
タ８は「送りピッチ」の誤差を少なくする方向に回転
し、送り誤差がほとんどゼロになった位置で停止する。
【００２０】送りピッチの測定方法としては、レーザス
ケール１０から偏倍回路１３を介して表示カウンタ２２
に送られ、この表示カウンタ２２から横送りテーブル５
の位置データがサブコンピュータ２３に送られ演算がな
されることにより行われる。この場合、送りピッチの測
定データ（位置情報）の取込み手段としては、一定時間
間隔のタイミングによる方法と、スピンドルモータ３に
取付けられたエンコーダ４の１回転当たりの原点信号が
発生するタイミングによる方法とのどちらかで行うこと
ができる。以下、具体例について述べる。
ケール１０から偏倍回路１３を介して表示カウンタ２２
に送られ、この表示カウンタ２２から横送りテーブル５
の位置データがサブコンピュータ２３に送られ演算がな
されることにより行われる。この場合、送りピッチの測
定データ（位置情報）の取込み手段としては、一定時間
間隔のタイミングによる方法と、スピンドルモータ３に
取付けられたエンコーダ４の１回転当たりの原点信号が
発生するタイミングによる方法とのどちらかで行うこと
ができる。以下、具体例について述べる。
【００２１】ＣＡＶ（Ｃonstant Ａngular Ｖelocity：
回転角一定）の露光装置において、ディスク原盤面に
１．６μｍのピッチを得る露光では、スピンドルモータ
３の回転は一定で、横送りテーブル５は一定速度となる
ため、光ディスク原盤１で得られるトラックピッチと対
応する送りピッチは、一定時間間隔（０．２ｓｅｃ）で
取込み、位置情報の差Ｔ（＝Ｔn−Ｔn-1）として測定す
ることができる。なお、Ｔn は時間ｎで読取った位置情
報を示し、Ｔn-1 はその一つ前の時間ｎ−１で読取った
位置情報を示す。
回転角一定）の露光装置において、ディスク原盤面に
１．６μｍのピッチを得る露光では、スピンドルモータ
３の回転は一定で、横送りテーブル５は一定速度となる
ため、光ディスク原盤１で得られるトラックピッチと対
応する送りピッチは、一定時間間隔（０．２ｓｅｃ）で
取込み、位置情報の差Ｔ（＝Ｔn−Ｔn-1）として測定す
ることができる。なお、Ｔn は時間ｎで読取った位置情
報を示し、Ｔn-1 はその一つ前の時間ｎ−１で読取った
位置情報を示す。
【００２２】また、ＣＬＶ（Ｃonstant Ｌinear Ｖeloc
ity：線速一定） の露光装置において、一定ピッチを得
るためには、スピンドルモータ３の回転数は内周と外周
とでは倍異なり、送り速度も異なるが、スピンドルモー
タ３の原点信号の１回転当たりの信号を基準として取込
むことにより、トラックピッチに対応した送りピッチを
測定することができる。
ity：線速一定） の露光装置において、一定ピッチを得
るためには、スピンドルモータ３の回転数は内周と外周
とでは倍異なり、送り速度も異なるが、スピンドルモー
タ３の原点信号の１回転当たりの信号を基準として取込
むことにより、トラックピッチに対応した送りピッチを
測定することができる。
【００２３】さらに、位置情報の差Ｔ（＝Ｔn−Ｔn-1）
によって得られた演算結果から仕様を満足しないような
状態が発生した場合には、サブコンピュータ２３からＩ
／Ｏ２３ａを通してホストコンピュータ２４へ異常停止
信号の情報が送られ、これにより必要に応じて移動が停
止される。
によって得られた演算結果から仕様を満足しないような
状態が発生した場合には、サブコンピュータ２３からＩ
／Ｏ２３ａを通してホストコンピュータ２４へ異常停止
信号の情報が送られ、これにより必要に応じて移動が停
止される。
【００２４】図２は、送りピッチ測定回路２５により送
りピッチを測定した実験値を示すものであり、測定本数
Ｎ（＝４０）に対する送りピッチＰ（μｍ）の値を表わ
す。また、図３、図４は、従来との比較例を示すもので
ある。図３は、Ｎ＝３５００に対する本回路により測定
した送りピッチの変化の様子を示し、図４は、Ｎ＝３５
００に対する従来の回路により測定した送りピッチの変
化の様子を示すものである。従って、これから判るよう
に、従来の測定方法による場合には送りピッチの誤差範
囲を０．１μｍ以内にしか納めることができないのに対
して、本発明による場合には送りピッチの誤差範囲を
０．０５μｍ以内に納めることができるようになり、こ
れにより高精度な横送り精度を保つことができるように
なる。
りピッチを測定した実験値を示すものであり、測定本数
Ｎ（＝４０）に対する送りピッチＰ（μｍ）の値を表わ
す。また、図３、図４は、従来との比較例を示すもので
ある。図３は、Ｎ＝３５００に対する本回路により測定
した送りピッチの変化の様子を示し、図４は、Ｎ＝３５
００に対する従来の回路により測定した送りピッチの変
化の様子を示すものである。従って、これから判るよう
に、従来の測定方法による場合には送りピッチの誤差範
囲を０．１μｍ以内にしか納めることができないのに対
して、本発明による場合には送りピッチの誤差範囲を
０．０５μｍ以内に納めることができるようになり、こ
れにより高精度な横送り精度を保つことができるように
なる。
【００２５】上述したように、横送り移動制御回路１２
から得られた駆動信号をもとに、横送り移動機構９によ
り光ディスク原盤１をディスク半径方向に移動させるよ
うにしたので、送りピッチ精度の大幅な改善を図ること
ができ、これにより単純な送り機構で高精度な送りを行
うことができる。また、送りピッチ測定回路２５を用い
てトラックピッチに対応した送りピッチを測定したこと
により、速度、電流、位置を各々フィードバックしたゲ
イン調整が行え、しかも、横送りを高精度化する時の基
準尺度との対応を早めることができる。さらに、一定時
間情報取込み手段により光ディスク原盤１の位置情報の
サンプリングタイミングを一定時間間隔で取込むことに
よって、一定速度で移動するような場合にデータを正確
に取り出すことができる。さらにまた、原点信号情報取
込み手段により光ディスク原盤１の位置情報のサンプリ
ングタイミングをスピンドルモータ３の原点信号を基準
として取込むことによって、光ディスク原盤１のトラッ
クピッチに対応したデータを正確に得ることができる。
また、横移動停止手段によって、光ディスク原盤１の送
り異常や仕様値外の誤ったトラックピッチを作製するよ
うなことがなくなり生産性の向上を図ることができる。
しかも、このようなことから、高精度な横送りの送り精
度の維持や管理、さらには、光ディスク原盤１の品質の
管理を行うことができるようになる。
から得られた駆動信号をもとに、横送り移動機構９によ
り光ディスク原盤１をディスク半径方向に移動させるよ
うにしたので、送りピッチ精度の大幅な改善を図ること
ができ、これにより単純な送り機構で高精度な送りを行
うことができる。また、送りピッチ測定回路２５を用い
てトラックピッチに対応した送りピッチを測定したこと
により、速度、電流、位置を各々フィードバックしたゲ
イン調整が行え、しかも、横送りを高精度化する時の基
準尺度との対応を早めることができる。さらに、一定時
間情報取込み手段により光ディスク原盤１の位置情報の
サンプリングタイミングを一定時間間隔で取込むことに
よって、一定速度で移動するような場合にデータを正確
に取り出すことができる。さらにまた、原点信号情報取
込み手段により光ディスク原盤１の位置情報のサンプリ
ングタイミングをスピンドルモータ３の原点信号を基準
として取込むことによって、光ディスク原盤１のトラッ
クピッチに対応したデータを正確に得ることができる。
また、横移動停止手段によって、光ディスク原盤１の送
り異常や仕様値外の誤ったトラックピッチを作製するよ
うなことがなくなり生産性の向上を図ることができる。
しかも、このようなことから、高精度な横送りの送り精
度の維持や管理、さらには、光ディスク原盤１の品質の
管理を行うことができるようになる。
【００２６】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、レーザ光源から
出射されたビームを光ディスク原盤に照射して情報を記
録する露光光学系と、前記ビームの照射される前記光デ
ィスク原盤を回転させるスピンドルモータとを備えた光
ディスク原盤露光装置において、前記スピンドルモータ
に連設された横送りテーブルとこの横送りテーブルをデ
ィスク半径方向に移動させる横送りネジとこの横送りネ
ジに連結部材を介して連結された横送りモータとよりな
る横送り移動機構を設け、前記横送りテーブルの移動距
離を測定する測長器と前記横送りモータの回転数を測定
する回転数測定器とに接続され前記横送り移動機構の前
記ディスク半径方向への駆動制御を行う横送り移動制御
手段を設けたので、横送り移動制御手段から得られた駆
動信号をもとに横送り移動機構を用いて光ディスク原盤
をディスク半径方向に移動させることにより、送りピッ
チ精度の大幅な改善を図ることができ、単純な送り機構
で高精度な送りを行うことができるものである。
出射されたビームを光ディスク原盤に照射して情報を記
録する露光光学系と、前記ビームの照射される前記光デ
ィスク原盤を回転させるスピンドルモータとを備えた光
ディスク原盤露光装置において、前記スピンドルモータ
に連設された横送りテーブルとこの横送りテーブルをデ
ィスク半径方向に移動させる横送りネジとこの横送りネ
ジに連結部材を介して連結された横送りモータとよりな
る横送り移動機構を設け、前記横送りテーブルの移動距
離を測定する測長器と前記横送りモータの回転数を測定
する回転数測定器とに接続され前記横送り移動機構の前
記ディスク半径方向への駆動制御を行う横送り移動制御
手段を設けたので、横送り移動制御手段から得られた駆
動信号をもとに横送り移動機構を用いて光ディスク原盤
をディスク半径方向に移動させることにより、送りピッ
チ精度の大幅な改善を図ることができ、単純な送り機構
で高精度な送りを行うことができるものである。
【００２７】請求項２記載の発明は、横送り移動制御手
段に、光ディスク原盤のディスク半径方向への移動に際
してその光ディスク原盤の位置情報を随時読取りこの読
取った位置情報とその一つ前の位置情報との差を演算し
て前記光ディスク原盤のトラックピッチと対応した送り
ピッチを測定する送りピッチ測定手段を設けたので、速
度、電流、位置を各々フィードバックしたゲイン調整を
行うことができ、しかも、横送りを高精度化する時の基
準尺度との対応を早めることができるものである。
段に、光ディスク原盤のディスク半径方向への移動に際
してその光ディスク原盤の位置情報を随時読取りこの読
取った位置情報とその一つ前の位置情報との差を演算し
て前記光ディスク原盤のトラックピッチと対応した送り
ピッチを測定する送りピッチ測定手段を設けたので、速
度、電流、位置を各々フィードバックしたゲイン調整を
行うことができ、しかも、横送りを高精度化する時の基
準尺度との対応を早めることができるものである。
【００２８】請求項３記載の発明は、送りピッチ測定手
段に、位置情報のサンプリングタイミングを一定時間間
隔で取込む一定時間情報取込み手段を設けたので、一定
速度で移動するような場合にデータを正確に取り出すこ
とができるものである。
段に、位置情報のサンプリングタイミングを一定時間間
隔で取込む一定時間情報取込み手段を設けたので、一定
速度で移動するような場合にデータを正確に取り出すこ
とができるものである。
【００２９】請求項４記載の発明は、請求項２記載の発
明において、送りピッチ測定手段に、位置情報のサンプ
リングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基準
として取込む原点信号情報取込み手段を設けたので、光
ディスク原盤のトラックピッチに対応したデータを正確
に得ることができるものである。
明において、送りピッチ測定手段に、位置情報のサンプ
リングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基準
として取込む原点信号情報取込み手段を設けたので、光
ディスク原盤のトラックピッチに対応したデータを正確
に得ることができるものである。
【００３０】請求項５記載の発明は、請求項２記載の発
明において、送りピッチ測定手段に、位置情報の演算結
果によりディスク半径方向への移動に異常があることが
判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停止さ
せる横移動停止手段を設けたので、光ディスク原盤の送
り異常や仕様値外の誤ったトラックピッチを作製するよ
うなことをなくし生産性を向上させることができるもの
である。
明において、送りピッチ測定手段に、位置情報の演算結
果によりディスク半径方向への移動に異常があることが
判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停止さ
せる横移動停止手段を設けたので、光ディスク原盤の送
り異常や仕様値外の誤ったトラックピッチを作製するよ
うなことをなくし生産性を向上させることができるもの
である。
【図１】本発明の一実施例である光ディスク原盤露光装
置の構成を示す全体構成図である。
置の構成を示す全体構成図である。
【図２】本発明の回路構成により求めた測定本数に対す
る送りピッチの値を示す特性図である。
る送りピッチの値を示す特性図である。
【図３】図２の測定本数を変えた場合に対する送りピッ
チの値を示す特性図である。
チの値を示す特性図である。
【図４】従来の回路構成により求めた測定本数に対する
送りピッチの値を示す特性図である。
送りピッチの値を示す特性図である。
１ 光ディスク原盤 ３ スピンドルモータ ５ 横送りテーブル ６ 横送りネジ ７ 連結部材 ８ 横送りモータ ９ 横送り移動機構 １０ 測長器 １１ 回転数測定器 １２ 横送り移動制御手段 ２５ 送りピッチ測定手段
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ光源から出射されたビームを光デ
ィスク原盤に照射して情報を記録する露光光学系と、前
記ビームの照射される前記光ディスク原盤を回転させる
スピンドルモータとを備えた光ディスク原盤露光装置に
おいて、前記スピンドルモータに連設された横送りテー
ブルとこの横送りテーブルをディスク半径方向に移動さ
せる横送りネジとこの横送りネジに連結部材を介して連
結された横送りモータとよりなる横送り移動機構を設
け、前記横送りテーブルの移動距離を測定する測長器と
前記横送りモータの回転数を測定する回転数測定器とに
接続され前記横送り移動機構の前記ディスク半径方向へ
の駆動制御を行う横送り移動制御手段を設けたことを特
徴とする光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項２】 横送り移動制御手段は、光ディスク原盤
のディスク半径方向への移動に際してその光ディスク原
盤の位置情報を随時読取りこの読取った位置情報とその
一つ前の位置情報との差を演算して前記光ディスク原盤
のトラックピッチと対応した送りピッチを測定する送り
ピッチ測定手段を有することを特徴とする請求項１記載
の光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項３】 送りピッチ測定手段は、位置情報のサン
プリングタイミングを一定時間間隔で取込む一定時間情
報取込み手段を有することを特徴とする請求項２記載の
光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項４】 送りピッチ測定手段は、位置情報のサン
プリングタイミングをスピンドルモータの原点信号を基
準として取込む原点信号情報取込み手段を有することを
特徴とする請求項２記載の光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項５】 送りピッチ測定手段は、位置情報の演算
結果によりディスク半径方向への移動に異常があること
が判明した場合に異常停止信号を発してその移動を停止
させる横移動停止手段を有することを特徴とする請求項
２記載の光ディスク原盤露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP335193A JPH06208724A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | 光ディスク原盤露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP335193A JPH06208724A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | 光ディスク原盤露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06208724A true JPH06208724A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=11554935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP335193A Pending JPH06208724A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | 光ディスク原盤露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06208724A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002304778A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-18 | Sony Corp | ディスクの測定方法及び測定装置 |
| KR20030084399A (ko) * | 2002-04-26 | 2003-11-01 | 삼성전기주식회사 | 광 디스크의 트랙 편차 보정방법 |
| JP2007242184A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置 |
-
1993
- 1993-01-12 JP JP335193A patent/JPH06208724A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002304778A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-18 | Sony Corp | ディスクの測定方法及び測定装置 |
| KR20030084399A (ko) * | 2002-04-26 | 2003-11-01 | 삼성전기주식회사 | 광 디스크의 트랙 편차 보정방법 |
| JP2007242184A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク原盤露光装置 |
| JP4559984B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2010-10-13 | 株式会社リコー | 光ディスク原盤露光装置 |
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