JP2002304778A - ディスクの測定方法及び測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスクに記録されたトラックピッチの検査
を、リアルタイムで実行できるようにする。 【解決手段】 回転・移動機構２１，２２により回転・
移動されるディスク９の１回転毎に、同じ回転角度位置
において回転位相信号Ｓ８Ａを発生させるとともに、こ
のディスク９の原点位置からの移動距離を、回転位相信
号Ｓ８Ａの発生時点毎にリニア・スケールエンコーダ２
３で測定し、この測定データをラッチし、このラッチさ
れた値と１回転前にラッチされ記憶された値との差分値
を得、この差分値の夫々からディスク９の１回転毎の移
動距離の変位を測定して、記録トラックピッチの乱れを
検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はディスクの測定方法
及び測定装置に関し、一例として信号記録ディスクの製
作の目的で用いられるディスク原盤の測定方法及びディ
スク原盤の測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光ディスク原盤などのディスクを
製作する場合、平面が精密に研磨されたガラス材料でな
るディスクのこの平面上に、レーザビームに対し反応す
る感度を有したフォトレジストが塗布されている光ディ
スク原盤を、暗室環境において駆動装置により所定の回
転数で回転させ、かつこの光ディスク原盤の半径方向に
所定の速度で移動させた状態において、この原盤に記録
する信号の強度に応じて変調されている状態のレーザビ
ームの焦点をこのフォトレジストの塗布層に結ばせて露
光し、この変調の状態に応じてこのフォトレジストの塗
布層を感光させ、そしてその後、このフォトレジストの
塗布層を現像処理することによりこの変調の状態に応じ
てこのフォトレジストの塗布層を感光させた部分を除去
して、この信号に応じたドットパターンでなる記録トラ
ックが形成された光ディスク原盤を製作するようにして
いる。

【０００３】そしてこのようにして製作されて最終的に
完成した光ディスク原盤、一例としてコンパクトディス
ク（以下の説明においてはＣＤと称する）製作用光ディ
スク原盤では、このようにして形成されたドットパター
ンでなる記録トラックピッチが１．６μｍと高密度の規
格が定められている。したがってこのようにして記録ト
ラックが形成される過程において、軽い地震の発生など
体感し得ない程度の振動の影響によりこの記録トラック
ピッチが部分的に乱された場合においても、この原盤が
このように高密度のトラックピッチの状態で形成される
ため、ＣＤを製作する目的で使用される原盤としては問
題になる場合がある。

【０００４】そのため最終的に完成した光ディスク原盤
に記録されたこの記録トラックピッチが、記録トラック
の全ての範囲に渡って規格を満足しているか否かが専用
の測定器により測定され検査され、規格を満足していな
い光ディスク原盤は使用不可の取り扱いを受けることに
なる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの記録
トラックパターンが形成された面の保護等の理由で、こ
の完成直後の光ディスク原盤に対してすぐにこのような
検査を行うことはなく、このガラスという非導電性のデ
ィスク原盤の表面導電化処理をおこなって後電鋳を行
い、この電鋳により形成された金属層部分をこの原盤か
ら剥離し、裏打ちする等の複数段階のプロセスを経て、
この光ディスク原盤のこの記録トラックが形成された面
に倣った光デスク製作用の金属マスタ或いは金属スタン
パを製作した後でなければこの原盤の検査に入ることは
できなかった。

【０００６】そのため、この露光中、あるいはこの露光
の直後に、光ディスク原盤のこの記録トラックが、規格
に入る範囲で形成されているか否かの判断ができないと
いう問題があり、この金属スタンパがディスク複製用に
導入されるまでの間の検査待ち時間ロスの発生、また光
ディスク原盤が規格に入っていないことが仮にこの検査
で判明した場合のこのマスタ或いはスタンパが不良品と
しての取り扱いを受けるという経済的損失の発生等の課
題があった。

【０００７】本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなさ
れたものであり、この光ディスク原盤等の信号記録ディ
スクに対して記録トラックが形成される過程において発
生したこの記録トラックピッチの乱れをこの記録の過程
或いは記録が終わり次第検出することができるようにし
て、上記課題を解決することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明ディスクの測定方
法は、回転機構により回転させた状態のディスクを、当
該ディスクの半径方向に直線移動させる移動機構を具備
したディスク回転移動装置におけるこのディスクの半径
方向の移動距離の測定方法であって、このディスクの回
転機構により回転されるディスクの１回転毎に同じ回転
角度においてパルスを発生させるとともに、この移動機
構によるディスクの原点位置からの移動距離を測定し、
この移動機構の原点からの距離をこのパルスに基づいて
ラッチして記憶し、このラッチされた値と１回転前にラ
ッチして記憶された値とを差分器により差分することに
より、ディスクの１回転毎の移動距離を計測ようにした
ことを特徴とする。

【０００９】また本発明測定装置では、回転機構により
回転させた状態のディスクを、当該ディスクの半径方向
に直線移動させる移動機構を具備したディスク回転移動
装置におけるこのディスクの半径方向の移動距離の測定
装置であって、このディスクの回転機構により回転され
るディスクの１回転毎に同じ回転角度においてパルスを
発生させるパルス発生手段と、この移動機構によるこの
ディスクの原点位置からの移動距離を測定する移動距離
測定手段と、この移動距離測定手段によって測定された
この移動機構の原点からの距離データをこのパルスに基
づいてラッチして記憶する記憶手段と、このラッチされ
た距離データ値とこの１回転前にラッチして記憶された
データ値とを差分して差分データを求める差分器とによ
りディスクの１回転毎の移動距離を計測するようにした
ことを特徴とする。

【００１０】これら本発明によれば、このディスクに対
して形成された記録トラックが潜像の形で形成された状
態であっても、そのトラックピッチを検出することがで
きる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下図１〜図４を参照して本発明
ディスクの測定方法及び本発明ディスクの測定装置の実
施の形態の一例について説明する。

【００１２】先ず図２を参照して、本発明ディスクの測
定方法及び本発明ディスクの測定装置にかかわるディス
ク原盤記録装置の一例について説明する。この図２はデ
ィスクの一例としてコンパクトディスク（以下の説明に
おいてはＣＤと称する）原盤記録装置１の要部のブロッ
ク図を示し、この記録装置１は記録用光源（Ｈｅ−Ｃｄ
レーザ）２、音響光学効果形の光変調器３、信号源４、
記録光学系５、アクチエータ６、このアクチエータ６に
マウントされ支持された記録レンズ７、回転機構の一例
を構成するスピンドルモータ８、光ディスク原盤９、誤
差信号検出系の光源（Ｈｅ−Ｎｅレーザ）１０、レーザ
ビームスプリッタ１１、ハーフミラー１２、光検出器１
３、エラー検出回路部１４、データバスライン１５、ホ
ストコンピュータ１６、フォーカスサーボ回路部１７、
回転サーボ回路部１８、送りサーボ回路部１９、コント
ローラ２０、ディスク移動機構の一例を構成する送り台
送りモータ２１及び送り台２２並びにリニア・スケール
エンコーダ２３で構成されている。

【００１３】そして記録用光源２であるＨｅ−Ｃｄレー
ザ光源からの出射レーザ光Ｈ１が音響光学効果形の光変
調器３を介して信号源４からの情報信号Ｓ１により変調
され被変調レーザ光Ｈ２となされ、この被変調レーザ光
Ｈ２が記録光学系５を介してアクチエータ６にマウント
された記録レンズ７に導かれる。そしてスピンドルモー
タ８の回転軸８Ａに取付けられ、このスピンドルモータ
８によって回転駆動されるターンテーブル８Ｃに搭載さ
れ、このターンテーブル８Ｃの軸芯を中心とて回転する
ディスクの一例として、ガラス材でなる光ディスク原盤
９に形成されているフォトレジスト層９Ａに、記録レン
ズ７に導かれたこの被変調レーザ光Ｈ２が焦点Ｐを結ぶ
状態になされる。

【００１４】すなわち、この被変調レーザ光Ｈ２がこの
ように焦点Ｐが結ばれた状態になされる焦点制御のため
の誤差信号検出系の光源１０であるＨｅ−Ｎｅレーザ光
源からの出射光Ｈ３が、レーザビームスプリッタ１１を
通じ、更にハーフミラー１２によりこの記録レンズ７に
導かれ、フォトレジスト層９Ａに焦点Ｐを結び得る状態
になされてレジスト層９Ａに入射され反射される。そし
てこのレジスト層９Ａで反射された出射光Ｈ３がこの記
録レンズ７を通じ、更にハーフミラー１２により反射さ
れ、このスプリッタ１１で分光され、光検出器１３に入
射されて、この光検出器１３を介して記録レンズ７とフ
ォトレジスト層９Ａの間の距離の変動に応じたフォーカ
ス誤差信号Ｓ２が生成される。そしてこのフォーカス誤
差信号Ｓ２がエラー検出回路部１４を介してコンピュー
タで読み取り可能なエラーデータ信号Ｓ３に変換され、
データバスライン１５を通じてホストコンピュータ１６
に供給される。

【００１５】このエラーデータ信号Ｓ３に基づいて、フ
ォトレジスト層９Ａに焦点Ｐが適正に結ばれる状態にな
すためのフォーカスサーボデータ信号Ｓ４が、ホストコ
ンピュータ１６を介して生成され、データバスライン１
５を通じてフォーカスサーボ回路部１７に供給される。
このデータ信号Ｓ４がフォーカスサーボ回路部１７を介
してフォーカスサーボ駆動信号Ｓ５に変換され、このア
クチエータ６に供給される。そしてアクチエータ６がこ
の駆動信号Ｓ５に基づいて制御されて、このアクチエー
タ６にマウントされた記録レンズ７に記録光学系５を介
して導かれた被変調レーザ光Ｈ２が、このスピンドルモ
ータ８によって回転駆動されるターンテーブル８Ｃに搭
載され、この回転軸８Ａ軸を中心とて回転されている状
態の光ディスク原盤９のフォトレジスト層９Ａに焦点Ｐ
を結ぶ状態になされる。

【００１６】またホストコンピュータ１６からデータバ
スライン１５を通じて、回転サーボ回路部１８に対し回
転サーボデータ信号Ｓ６が供給され、この回転サーボ回
路部１８を介してスピンドルモータ８の回転サーボ駆動
信号Ｓ７が生成され、この回転サーボ駆動信号Ｓ７がス
ピンドルモータ８に対して駆動信号として供給される。
なお本例のごとくディスクがＣＤの場合には、ＣＤには
ＣＬＶ（ｃｏｎｓｕｔａｎｔ ｌｉｎｅａｒ ｖｅｌｏ
ｃｉｔｙ）記録方式が採用されている。よってホストコ
ンピュータ１６から回転サーボ回路部１８に対して供給
されるこの回転サーボデータ信号Ｓ６は、このＣＬＶ方
式に合わせて、焦点Ｐにおける光ディスク原盤９の回転
速度が常に線速度一定となるようにこのスピンドルモー
タ８の回転数が可変されるようにするためのデータ信号
である。

【００１７】すなわちこのスピンドルモータ８には、回
転軸８Ａの回転速度を周波数の変化に変換する周波数発
電機部及び回転軸８Ａの特定の回転位置を表す位相パル
スを発生する回転位相信号発生器部を有した発電機８Ｄ
が組み込まれており、この発電機８Ｄで生成された回転
軸８Ａの回転速度が周波数の変化に変換された周波数デ
ータ信号及びこの回転軸８Ａの特定の回転位相を表した
回転位相データ信号よりなる回転データ信号Ｓ８がデー
タバスライン１５を通じてホストコンピュータ１６に入
力され、この回転データ信号Ｓ８に基づいて焦点Ｐにお
ける光ディスク原盤９の回転速度が線速度一定となるよ
うに、この回転サーボデータ信号Ｓ６が補正される。

【００１８】また送りサーボ回路部１９に対して、ホス
トコンピュータ１６からデータバスライン１５を通じて
送り台２２の送りサーボデータ信号Ｓ９が供給され、こ
のデータ信号Ｓ９に応じた送りサーボ駆動信号Ｓ１０が
このサーボ回路部１９を介して生成され、このサーボ駆
動信号Ｓ１０が送り台送りモータ２１に供給され、この
駆動信号Ｓ１０に応じて送り台送りモータ２１が駆動さ
れて、光ディスク原盤９のフォトレジスト層９Ａに対す
る焦点Ｐの位置が、この光ディスク原盤９に対する情報
書き込みがスタートする内側の位置（以下の説明ではリ
ードイン位置と称する）からこの情報書き込みが終了す
る外側の位置（以下の説明ではリードアウト位置と称す
る）に向かってこの原盤９の半径方向に直線的に移動さ
れる状態で送り台２２が移動される。

【００１９】このような移動状態を実現するために、こ
の送り台２２がこのように送られる方向に沿ってリニア
・スケールエンコーダ２３が配設され、この送り台２２
の送り量に応じた送り量データ信号Ｓ１１がこのエンコ
ーダ２３で生成され、データバスライン１５を通じてホ
ストコンピュータ１６に入力される。そしてこのデータ
信号Ｓ１１と回転データ信号Ｓ８中の回転軸８Ａの回転
位相を表したデータ信号に基づいてこの送り台２２の送
り量が所定値、すなわちＣＤとして規定されているトラ
ックピッチ１．６μｍに一致した状態が維持されるよう
に、この送りサーボデータ信号Ｓ９がこのホストコンピ
ュータ１６において補正される。なおこのデータ信号Ｓ
１１は、この送り台２２の送り量が表現されるようにす
るために、一例としてＢＣＤ（ｂｉｎａｒｙ ｃｏｄｅ
ｄ ｄｅｃｉｍａｌ）信号として出力されるようになさ
れている。そのためこの送り台２２の送り方行に沿って
ＢＣＤの符号板がこの送り台２２側に配設され、このＢ
ＣＤデータの読み取りヘッド部材２３Ａがエンコーダ２
３に配設されて、このエンコーダ２３が構成されてい
る。

【００２０】次にＣＤ原盤の記録装置１によって光ディ
スク原盤９のフォトレジスト層９Ａに信号源４からの情
報信号Ｓ１に応じたピットパターンを露光させる動作に
ついて説明する。

【００２１】先ずコントローラ２０からホストコンピュ
ータ１６に対して、所定の露光手順を指令する。ホスト
コンピュータ１６はこの指令に応じて焦点Ｐの位置を光
ディスク原盤９のリードイン位置にセットし、フォーカ
スサーボ回路部１７を介してアクチエータ６を制御して
フォーカスサーボをおこなって記録レンズ７の位置を補
正して焦点Ｐにおいて焦点を合わせ、回転サーボデータ
信号Ｓ６をサーボ回路部１９に送り、送り台送りモータ
２１による送り台２２の送り状況を制御し、回転サーボ
データ信号Ｓ６を回転サーボ回路部１８におくり、スピ
ンドルモータ８による回転軸８Ａの回転状態を制御した
待機状態とする。

【００２２】そしてホストコンピュータ１６は、情報信
号Ｓ１に基づき生成された被変調レーザ光Ｈ２の焦点Ｐ
を記録レンズ７を介してフォトレジスト層９Ａを結ばせ
た状態が維持されるようにし、この待機状態をといて、
フォトレジスト層９Ａに対し光ディスク原盤９のリード
イン位置から光ディスク原盤９の半径方向に沿った状態
でリードアウト位置に向かってこの１．６μｍピッチの
ＣＬＶ記録トラックを露光する露光工程をスタートさせ
る。

【００２３】次に図１及び図３を参照しながら、図２と
同一の部分には同一の符号を付与して詳細な説明を省略
して本発明による記録トラックピッチの測定部の一例を
説明する。なお図１においては、図２に示した例と同様
に記録用光源２、光変調器３、信号源４、記録光学系
５、ホストコンピュータ１６及びコントローラ２０の夫
々を具備して図２と同様に構成されている。しかしなが
ら図１に示した例においてはこれらの部分を省略して示
しているので、これらの部分については図２を参照して
説明する。

【００２４】図１において２５は記録トラックピッチの
測定装置部で、この測定装置部２５は記録装置１の要部
の一部を構成している。この測定装置部２５は第１のラ
ッチ回路部２６、第２のラッチ回路部２７、回転位相信
号分離器部２８及び差分器部２９で構成されている。

【００２５】この第１のラッチ回路部２６の信号入力側
がリニア・スケールエンコーダ２３の送り量データ信号
Ｓ１１の出力側に接続され、この第１のラッチ回路部２
６の信号出力側が第２のラッチ回路部２７の信号入力側
及び差分器部２９の一方の信号入力側の夫々に接続さ
れ、この第２のラッチ回路部２７の出力側がこの差分器
部２９の他方の入力側に接続され、この差分器部２９の
出力側がデータバスライン１５に接続されている。

【００２６】そしてこの第１のラッチ回路部２６の被ラ
ッチ信号入力側に、ＢＣＤ信号としてリニア・スケール
エンコーダ２３から出力されたこのデータ信号Ｓ１１が
入力され、そして周波数発電機８Ｄから出力された回転
データ信号Ｓ８が回転位相信号分離器部２８に入力さ
れ、この回転位相信号分離器部２８を介してこの回転軸
８Ａの特定の回転位相を表した回転位相データ信号が分
離されて回転位相信号Ｓ８Ａが生成され、この回転位相
信号Ｓ８Ａが回転位相信号分離器部２８の出力側から出
力され、そしてこの回転位相信号Ｓ８Ａが、第１のラッ
チ回路部２６のラッチ信号入力端２６Ａ及び第２のラッ
チ回路部２７のラッチ信号入力端２７Ａの夫々に入力さ
れる。

【００２７】次にフォーカスサーボ回路部１７、回転サ
ーボ回路部１８及び送りサーボ回路部１９の夫々が、以
上説明したごとくホストコンピュータ１６から制御され
て、焦点Ｐの位置が光ディスク原盤９のリードイン位置
にセットされ、記録レンズ７の焦点Ｐの焦点が合わせら
れた状態からスタートする場合を一例としてこの測定装
置部２５の動作を説明する。

【００２８】記録レンズ７の焦点Ｐの焦点がフォトレジ
スト層９Ａに合わせられた状態で、回転サーボ駆動信号
Ｓ７がスピンドルモータ８に供給され、送りサーボ駆動
信号Ｓ１０が送り台送りモータ２１に供給されて光ディ
スク原盤９に対する被変調レーザ光Ｈ２による情報信号
Ｓ１の記録が開始されて、最初の回転位相信号Ｓ８Ａが
ラッチ信号入力端２６Ａ及び２７Ａの夫々に供給される
と、その時点でリニア・スケールエンコーダ２３から生
成された送り量データ信号Ｓ１１のＢＣＤ信号データ
（以下の説明においてはＢＣＤデータ信号Ｓ１１と称す
る）が第１のラッチ回路部２６に書き込まれる。

【００２９】そして光ディスク原盤９が１回転して次の
回転位相信号Ｓ８Ａが生成され、ラッチ信号入力端２６
Ａ及び２７Ａの夫々に供給されると、この第１のラッチ
回路部２６に書き込まれていたこのＢＣＤデータ信号Ｓ
１１が読み出されて第２のラッチ回路部２７に書き込ま
れるとともに、当該信号Ｓ８Ａが生成された時点でこの
エンコーダ２３から生成されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１
が第１のラッチ回路部２６に対して重ね書き（ｏｖｅｒ
ｗｉｔｅ）されて記憶される。そしてこの第１のラッチ
回路部２６に記憶されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１が差分
器部２９の一方の入力端に供給され、第２のラッチ回路
部２７に記憶されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１が差分器部
２９の他方の入力端に供給されて、差分器部２９の一方
の入力端に供給されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１と他方の
入力端に供給されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１の差の値が
この差分器部２９で求められて第１の差分値信号Ｓ１２
−１が生成され、この第１の差分値信号Ｓ１２−１がデ
ータバスライン１５を通じてホストコンピュータ１６に
供給され、このホストコンピュータ１６のメモリ手段１
６Ａに記憶される。

【００３０】そして更に光ディスク原盤９が更に１回転
して次の回転位相信号Ｓ８Ａが生成され、当該信号Ｓ８
Ａがラッチ信号入力端２６Ａ及び２７Ａの夫々に供給さ
れると、この第１のラッチ回路部２６に書き込まれてい
たこのＢＣＤデータ信号Ｓ１１が読み出されて第２のラ
ッチ回路部２７に重ね書きされて書き込まれるととも
に、当該信号Ｓ８Ａが生成された時点でこのエンコーダ
２３から生成されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１が第１のラ
ッチ回路部２６に対して重ね書きされて記憶される。そ
してこの第１のラッチ回路部２６に記憶されたＢＣＤデ
ータ信号Ｓ１１が差分器部２９の一方の入力端に供給さ
れ、第２のラッチ回路部２７に記憶されたＢＣＤデータ
信号Ｓ１１が差分器部２９の他方の入力端に供給され
て、この差分器部２９の一方の入力端に供給されたＢＣ
Ｄデータ信号Ｓ１１と他方の入力端に供給されたＢＣＤ
データ信号Ｓ１１の差の値が差分器部２９で求められて
第２の差分値信号Ｓ１２−２が生成され、この第２の差
分値信号Ｓ１２−２がデータバスライン１５を通じてホ
ストコンピュータ１６に供給され、このホストコンピュ
ータ１６のメモリ手段１６Ａに記憶される。

【００３１】そして焦点Ｐの位置が光ディスク原盤９の
リードアウト位置に達するまで、この差分値信号を求め
る動作が繰り返されて、第１の差分値信号Ｓ１２−１、
第２の差分値信号Ｓ１２−２、………、Ｓ１２−ｎ（ｎ
は自然数）を求めることにより記録トラックピッチを測
定し、この記録トラックピッチの測定値がこのホストコ
ンピュータ１６のメモリ手段１６Ａに記憶される。

【００３２】つぎに本発明による記録トラックピッチの
測定装置であって、この測定装置による測定値を、記録
トラックピッチの偏差値として表示できるようにした例
を、図１及び図３を参照して説明する。

【００３３】図３は、これら第１の差分値信号Ｓ１２−
１、第２の差分値信号Ｓ１２−２、………、第ｎの差分
値信号Ｓ１２−ｎの夫々について、別途定めた基準値か
らの偏差値をこのホストコンピュータ１６により求め、
更にこの求められた偏差値がこの基準値からの許容値の
範囲を超えているか否かを判断するための、ホストコン
ピュータ１６の動作を説明するフロー図である。

【００３４】図３にフロー図として示したこのホストコ
ンピュータ１６におけるプログラムの実行がステップＳ
Ｔ１でスタートされてステップＳＴ２に移行する。そし
てこのステップＳＴ２において、焦点Ｐの位置が光ディ
スク原盤９のリードアウト位置に達したか否かが判断さ
れ、達していない（Ｎｏ）と判断された場合にはステッ
プＳＴ３に移行して回転位相信号Ｓ８Ａが生成されたか
否かが判断され、この信号Ｓ８Ａが生成された（Ｙｅ
ｓ）と判断された場合にはステップＳＴ４に移行する。
一方このステップＳＴ３においてこの信号Ｓ８Ａが生成
されていない（Ｎｏ）と判断された場合にはステップＳ
Ｔ２に戻り、このステップＳＴ２以下の判断を再度繰り
返す。

【００３５】このステップＳＴ４において、この信号Ｓ
８Ａが生成された時点におけるこの差分値のＢＣＤデー
タで表されるトラックピッチデータの、標準トラックピ
ッチの値（本例ではＣＤの標準トラックピッチである
１．６μｍ）に対する偏差値を求め、これら偏差値をホ
ストコンピュータ１６のメモリ手段１６Ａに記憶させて
ステップＳＴ５に移行する。そしてステップＳＴ４にお
いて求められた偏差値が許容トラックピッチの値（一例
としてＣＤの標準トラックピッチの値の５０％）を超え
るか否かがこのステップＳＴ５において判断される。

【００３６】そしてこのステップＳＴ５における判断の
結果、この許容トラックピッチの値の５０％を超える
（Ｙｅｓ）と判断された場合にはステップＳＴ６に移行
し、このトラックピッチの値及びこの時点でリニア・ス
ケールエンコーダ２３から出力されたＢＣＤデータ信号
Ｓ１１から求めた記録トラック位置データ、並びにリー
ドイン位置に焦点Ｐあった時からこの記録トラック位置
に焦点Ｐが達するまでの経過時間情報がホストコンピュ
ータ１６によりそのメモリ１６Ａに記憶されてから、ス
テップＳＴ２に戻り、このステップＳＴ２以下の判断を
再度実行する。

【００３７】一方このステップＳＴ５においてこの許容
トラックピッチの値の５０％を超えない（Ｎｏ）と判断
された場合にはステップＳＴ２に戻り、このステップＳ
Ｔ２以降の判断を再度実行する。そしてこのステップＳ
Ｔ２において、リニア・スケールエンコーダ２３から出
力されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１から求めた記録トラッ
ク位置データに基づいて、焦点Ｐの位置がリードアウト
位置に達した（Ｙｅｓ）と判断された場合にはステップ
ＳＴ７に移行する。

【００３８】そしてこのステップＳＴ７において、それ
までにホストコンピュータ１６のメモリ１６Ａに記憶さ
れた、この許容トラックピッチの値より大きいと判断さ
れたトラックピッチのデータ及びＢＣＤデータ信号Ｓ１
１から求めたこのように判断された時点での記録トラッ
ク位置データ、並びにリードイン位置に焦点Ｐがあった
時からこのように判断された時点における記録トラック
位置にこの焦点Ｐが達するまでの経過時間データの夫々
が、一例としてコントローラ２０に設けたモニター表示
装置２０Ａの表示画面にホストコンピュータ１６によっ
て一覧表示される。但し一覧表示の内容については図示
を省略した。

【００３９】したがって図１及び図３に示した記録トラ
ックピッチの測定装置の一例によれば、この記録トラッ
クピッチの許容偏差値より大であったトラックピッチデ
ータ、許容偏差値より大であったトラックピッチが発生
した記録トラック位置データ、及びリードイン位置に焦
点Ｐあった時からこのように判断された時点における記
録トラック位置にこの焦点Ｐが達するまでの経過時間デ
ータの夫々が、光ディスク原盤９に対するこの情報信号
の記録が終了した時点において、モニター表示装置２０
Ａの表示画面に一目瞭然な状態で表示することができ
る。したがってこのモニター表示装置２０Ａの表示画面
に表示された内容から、原盤の記録装置１で光ディスク
原盤９に記録された記録トラックパターンのリードイン
位置からリードアウト位置までの間のトラックピッチの
変動状態、例えば標準トラックピッチの値に対する記録
トラックピッチの偏差値が許容偏差値を超えているトラ
ック位置を容易に判別できる。

【００４０】なおモニタ表示装置２０Ａの表示画面にこ
のように一覧表示される時点を、一例としてステップＳ
Ｔ６の実行直後の時点に設定し、このモニタ表示装置２
０Ａの表示画面に表示させるようにしてもよい。

【００４１】つぎに図１及び図３示したこの記録トラッ
クピッチの測定装置のほかの一例を図１及び図４を参照
して説明する。

【００４２】図４はホストコンピュータ１６により実行
される内容をステップＳＴ１０〜ＳＴ１９としてフロー
図である。このホストコンピュータ１６におけるプログ
ラムの実行がスタートされるとステップＳＴ１１に移行
し、このステップＳＴ１１において、ホストコンピュー
タ１６に内蔵されているデータレジスタ手段１６Ｂの記
憶内容がゼロにクリヤされてステップＳＴ１２に移行す
る。

【００４３】このステップＳＴ１２において、焦点Ｐの
位置が光ディスク原盤９のリードアウト位置に達したか
否かが判断され、達していない（Ｎｏ）と判断された場
合にはステップＳＴ１３に移行し、リニア・スケールエ
ンコーダ２３から出力されたＢＣＤデータ信号Ｓ１１の
データ値に基づき、この焦点Ｐの位置がリードイン位置
からリードアウト位置に向かって所定距離（本例では、
一例としてＣＤの標準トラックピッチ１００本分の移動
距離）移動したか否かが判断される。

【００４４】そしてステップＳＴ１３においてこの所定
距離だけ移動していない（Ｎｏ）と判断された場合には
ステップＳＴ１５に移行する。一方このステップＳＴ１
３においてこの所定量移動した（Ｙｅｓ）と判断された
場合には、その時点でステップＳＴ１４に移行し、その
時点における焦点Ｐの移動位置データをＢＣＤデータ信
号Ｓ１１のデータ値に基づき生成し、データレジスタ手
段１６Ｂに記憶されている偏差値データとともにメモリ
手段１６Ａに記憶させて、データレジスタ手段１６Ｂに
記憶されているデータの内容をゼロクリヤし、ステップ
ＳＴ１５に移行する。

【００４５】このステップＳＴ１５において回転位相信
号Ｓ８Ａが生成されたか否かが判断され、この回転位相
信号Ｓ８Ａが生成された（Ｙｅｓ）と判断された場合に
はステップＳＴ１６に移行し、この信号Ｓ８Ａが生成さ
れていない（Ｎｏ）と判断された場合にはステップＳＴ
１２に戻り、このステップＳＴ１２以降のステップの判
断を再度繰り返す。

【００４６】このステップＳＴ１６において、この信号
Ｓ８Ａが生成された時点におけるトラックピッチデータ
と１つ前の時点におけるトラックピッチデータの間の差
分値のＢＣＤデータで表されるトラックピッチと、標準
トラックピッチの値（本例ではＣＤの標準トラックピッ
チである１．６μｍ）の間の偏差値を求めて、ステップ
ＳＴ１７に移行する。

【００４７】このステップＳＴ１７において、データレ
ジスタ手段１６Ｂに記憶されている以前の偏差値とこの
ステップＳＴ１６において求められた今回の偏差値を比
較する。この比較の結果、このステップＳＴ１６におい
て求められた今回の偏差値の方が小さい（Ｎｏ）と判断
された場合にはステップＳＴ１２に戻りこのステップＳ
Ｔ１２以降のステップの判断を再度繰り返す。

【００４８】一方このステップＳＴ１６において求めら
れた今回偏差値の方が大きい（Ｙｅｓ）と判断された場
合にはステップＳＴ１８に移行し、このステップＳＴ１
６において求められた偏差値でデータレジスタ１６Ａを
重ね書きしてこのデータレジスタ１６Ａの内容を更新し
て、ステップＳＴ１２に戻りこのステップＳＴ１２以降
のステップの判断を再度繰り返す。

【００４９】そしてステップＳＴ１３において、ＢＣＤ
データ信号Ｓ１１に基づいて、焦点Ｐの位置がリードイ
ン位置からリードアウト位置に向かってこの所定量移動
したか或いは所定時間が経過したか否かが判断され、こ
の所定距離移動した或いは所定時間が経過した（Ｙｅ
ｓ）と判断された場合にはステップＳＴ１４に移行す
る。

【００５０】そしてこのステップＳＴ１４においてこの
焦点Ｐの移動位置をＢＣＤデータ信号信号Ｓ１１に基づ
き演算して生成し、このデータレジスタ１６Ａに記憶さ
れている偏差値、即ちこの所定距離移動した範囲におけ
るトラックピッチの最大の偏差値、所定経過時間毎にお
けるトラックピッチの最大の偏差値及びこの最大の偏差
値が生成されたときの焦点Ｐの位置のリードイン位置か
らの移動距離の夫々のデータをホストコンピュータ１６
に記憶させ、データレジスタ１６Ａの記憶内容をゼロに
クリヤしてステップＳＴ１５に移行し、このステップＳ
Ｔ１５以下の各ステップの判断を再度繰り返してステッ
プＳＴ１２に移行する。

【００５１】そしてこのステップＳＴ１２において、焦
点Ｐの位置が光ディスク原盤９のリードアウト位置に達
したか否かが判断され、達していない（Ｎｏ）と判断さ
れた場合にはこのステップＳＴ１３以下の各ステップの
判断を再度繰り返してこのステップＳＴ１３に戻る判断
を繰り返して、このステップＳＴ１２において、焦点Ｐ
の位置が光ディスク原盤９のリードアウト位置に達した
（Ｙｅｓ）と判断された場合には、ステップ１９に移行
する。

【００５２】したがってこの図１及び図４に示された例
によれば、このステップＳＴ１９において、焦点Ｐの位
置がリードイン位置からリードアウト位置に向かって所
定距離移動する毎或いは所定の経過時間毎の記録トラッ
クピッチの偏差値の最大値、この偏差値の最大値が生成
された時のこの焦点Ｐのリードイン位置からの移動距離
の夫々のデータが、リードイン位置からリードアウト位
置に向かって所定距離移動する毎或いは所定時間経過す
る毎の一覧のかたちで、ホストコンピュータ１６により
このホストコンピュータ１６から読み出されてこのモニ
ター表示装置２０Ａに表示される。

【００５３】したがってこの図１及び図４に示された例
によれば、この表示結果により、標準トラックピッチの
値に対する記録トラックピッチの偏差値が許容偏差値を
超えている場合のこの所定の範囲毎の最大値を容易にみ
つけることができる。また光ディスク原盤９に対して情
報信号の記録が終了した直後において、記録トラックピ
ッチのこの偏差値を一目瞭然な状態で判別することがで
きる。またステップＳＴ１３におけるこの所定の範囲あ
るいは経過時間を変更可能としてもよいことは勿論であ
る。

【００５４】なお図１〜図４に示した例においては、デ
ィスクの測定方法及び測定装置の対象としてＣＤ原盤の
記録装置１を引用して本発明を説明した。しかしながら
本発明においてこのＣＤ原盤の記録装置は、本発明の一
例であり、本発明によるディスクの測定方法及び測定装
置の対象としてＭＤ（ｍｉｎｉｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（ｄ
ｉｇｉｔａｌ ｖｅｒｓａｔｉｌｅ ｄｉｓｃ）等の光
記録ディスク製作用の原盤、ＭＯ（ｍａｇｎｅｔｏ−ｏ
ｐｔｉｃｄｉｓｃ）等の光磁気記録用ディスク或いはＨ
Ｄ（ｈａｒｄ ｄｉｓｋ）等の磁気記録用ディスク等、
記録トラックピッチを測定する必要のある各種の信号記
録方式の信号記録媒体の測定方法及び測定装置として本
発明を適用し得ることは勿論である。

【００５５】

【発明の効果】記録媒体に記録トラックが形成される過
程において発生したこの記録トラックピッチの乱れを、
遅くともこの記録が終わり次第検出することができ、し
たがって検査結果が出るまでの待ち時間が短縮され、こ
の検査待ちによる時間ロスの減少が期待でき、さらに信
号記録媒体に問題が存在していた場合の早期発見が実現
できる。したがってこの検査の工程における工数の無駄
及び資材の無駄を省くことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による記録トラックピッチの測定部の一
例を説明するブロック図である。

【図２】本発明のディスク原盤記録装置の一例を説明す
るブロック図である。

【図３】この記録トラックピッチの測定部の動作の一例
を説明するフローチャート図である。

【図４】この記録トラックピッチの測定部の動作の他の
一例を説明するフローチャート図である。

【符号の説明】

１‥‥原盤の記録装置、２‥‥記録用光源（Ｈｅ−Ｃｄ
レーザ光源）、４‥‥信号源、８‥‥スピンドルモー
タ、８Ｄ‥‥発電機、９‥‥光ディスク原盤、１４‥‥
エラー検出回路部、１７‥‥フォーカスサーボ回路部、
２１‥‥送り台送りモータ、２２‥‥送り台、２３‥‥
リニア・スケールエンコーダ、２５‥‥記録トラックピ
ッチの測定装置部、Ｓ８‥‥回転データ信号

【手続補正書】

【提出日】平成１３年５月２２日（２００１．５．２
２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】このような移動状態を実現するために、こ
の送り台２２がこのように送られる方向に沿ってリニア
・スケールエンコーダ２３が配設され、この送り台２２
の送り量に応じた送り量データ信号Ｓ１１がこのエンコ
ーダ２３で生成され、データバスライン１５を通じてホ
ストコンピュータ１６に入力される。そしてこのデータ
信号Ｓ１１に基づいてこの送り台２２の送り量が所定
値、すなわちＣＤとして規定されているトラックピッチ
１．６μｍに一致した状態が維持されるように、この送
りサーボデータ信号Ｓ９がこのホストコンピュータ１６
において補正される。なおこのデータ信号Ｓ１１は、こ
の送り台２２の送り量が表現されるようにするために、
一例としてバイナリ（ｂｉｎａｒｙ）信号として出力さ
れるようになされている。そのためこの送り台２２の送
り方行に沿って符号板がこの送り台２２側に配設され、
このデータの読み取りヘッド部材２３Ａがエンコーダ２
３に配設されて、このエンコーダ２３が構成されてい
る。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】そしてこの第１のラッチ回路部２６の被ラ
ッチ信号入力側に、バイナリ信号としてリニア・スケー
ルエンコーダ２３から出力されたこのデータ信号Ｓ１１
が入力され、そして周波数発電機８Ｄから出力された回
転データ信号Ｓ８が回転位相信号分離器部２８に入力さ
れ、この回転位相信号分離器部２８を介してこの回転軸
８Ａの特定の回転位相を表した回転位相データ信号が分
離されて回転位相信号Ｓ８Ａが生成され、この回転位相
信号Ｓ８Ａが回転位相信号分離器部２８の出力側から出
力され、そしてこの回転位相信号Ｓ８Ａが、第１のラッ
チ回路部２６のラッチ信号入力端２６Ａ及び第２のラッ
チ回路部２７のラッチ信号入力端２７Ａの夫々に入力さ
れる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２８】記録レンズ７の焦点Ｐの焦点がフォトレジ
スト層９Ａに合わせられた状態で、回転サーボ駆動信号
Ｓ７がスピンドルモータ８に供給され、送りサーボ駆動
信号Ｓ１０が送り台送りモータ２１に供給されて光ディ
スク原盤９に対する被変調レーザ光Ｈ２による情報信号
Ｓ１の記録が開始されて、最初の回転位相信号Ｓ８Ａが
ラッチ信号入力端２６Ａ及び２７Ａの夫々に供給される
と、その時点でリニア・スケールエンコーダ２３から生
成された送り量データ信号Ｓ１１のバイナリ信号データ
（以下の説明においてはデータ信号Ｓ１１と称する）が
第１のラッチ回路部２６に書き込まれる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２９】そして光ディスク原盤９が１回転して次の
回転位相信号Ｓ８Ａが生成され、ラッチ信号入力端２６
Ａ及び２７Ａの夫々に供給されると、この第１のラッチ
回路部２６に書き込まれていたこのデータ信号Ｓ１１が
読み出されて第２のラッチ回路部２７に書き込まれると
ともに、当該信号Ｓ８Ａが生成された時点でこのエンコ
ーダ２３から生成されたデータ信号Ｓ１１が第１のラッ
チ回路部２６に対して重ね書き（ｏｖｅｒｗｉｔｅ）さ
れて記憶される。そしてこの第１のラッチ回路部２６に
記憶されたデータ信号Ｓ１１が差分器部２９の一方の入
力端に供給され、第２のラッチ回路部２７に記憶された
データ信号Ｓ１１が差分器部２９の他方の入力端に供給
されて、差分器部２９の一方の入力端に供給されたデー
タ信号Ｓ１１と他方の入力端に供給されたデータ信号Ｓ
１１の差の値がこの差分器部２９で求められて第１の差
分値信号Ｓ１２−１が生成され、この第１の差分値信号
Ｓ１２−１がデータバスライン１５を通じてホストコン
ピュータ１６に供給され、このホストコンピュータ１６
のメモリ手段１６Ａに記憶される。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３０】そして更に光ディスク原盤９が更に１回転
して次の回転位相信号Ｓ８Ａが生成され、当該信号Ｓ８
Ａがラッチ信号入力端２６Ａ及び２７Ａの夫々に供給さ
れると、この第１のラッチ回路部２６に書き込まれてい
たこのデータ信号Ｓ１１が読み出されて第２のラッチ回
路部２７に重ね書きされて書き込まれるとともに、当該
信号Ｓ８Ａが生成された時点でこのエンコーダ２３から
生成されたデータ信号Ｓ１１が第１のラッチ回路部２６
に対して重ね書きされて記憶される。そしてこの第１の
ラッチ回路部２６に記憶されたデータ信号Ｓ１１が差分
器部２９の一方の入力端に供給され、第２のラッチ回路
部２７に記憶されたデータ信号Ｓ１１が差分器部２９の
他方の入力端に供給されて、この差分器部２９の一方の
入力端に供給されたデータ信号Ｓ１１と他方の入力端に
供給されたデータ信号Ｓ１１の差の値が差分器部２９で
求められて第２の差分値信号Ｓ１２−２が生成され、こ
の第２の差分値信号Ｓ１２−２がデータバスライン１５
を通じてホストコンピュータ１６に供給され、このホス
トコンピュータ１６のメモリ手段１６Ａに記憶される。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３５】このステップＳＴ４において、この信号Ｓ
８Ａが生成された時点におけるこの差分値のバイナリデ
ータで表されるトラックピッチデータの、標準トラック
ピッチの値（本例ではＣＤの標準トラックピッチである
１．６μｍ）に対する偏差値を求め、これら偏差値をホ
ストコンピュータ１６のメモリ手段１６Ａに記憶させて
ステップＳＴ５に移行する。そしてステップＳＴ４にお
いて求められた偏差値が許容トラックピッチの値（一例
としてＣＤの標準トラックピッチの値の５０％）を超え
るか否かがこのステップＳＴ５において判断される。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】そしてこのステップＳＴ５における判断の
結果、この許容トラックピッチの値の５０％を超える
（Ｙｅｓ）と判断された場合にはステップＳＴ６に移行
し、このトラックピッチの値及びこの時点でリニア・ス
ケールエンコーダ２３から出力されたデータ信号Ｓ１１
から求めた記録トラック位置データ、並びにリードイン
位置に焦点Ｐあった時からこの記録トラック位置に焦点
Ｐが達するまでの経過時間情報がホストコンピュータ１
６によりそのメモリ１６Ａに記憶されてからステップＳ
Ｔ２に戻り、このステップＳＴ２以下の判断を再度実行
する。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】一方このステップＳＴ５においてこの許容
トラックピッチの値の５０％を超えない（Ｎｏ）と判断
された場合にはステップＳＴ２に戻り、このステップＳ
Ｔ２以降の判断を再度実行する。そしてこのステップＳ
Ｔ２において、リニア・スケールエンコーダ２３から出
力されたデータ信号Ｓ１１から求めた記録トラック位置
データに基づいて、焦点Ｐの位置がリードアウト位置に
達した（Ｙｅｓ）と判断された場合にはステップＳＴ７
に移行する。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３８】そしてこのステップＳＴ７において、それ
までにホストコンピュータ１６のメモリ１６Ａに記憶さ
れた、この許容トラックピッチの値より大きいと判断さ
れたトラックピッチのデータ及びデータ信号Ｓ１１から
求めたこのように判断された時点での記録トラック位置
データ、並びにリードイン位置に焦点Ｐがあった時から
このように判断された時点における記録トラック位置に
この焦点Ｐが達するまでの経過時間データの夫々が、一
例としてコントローラ２０に設けたモニタ表示装置２０
Ａの表示画面にホストコンピュータ１６によって一覧表
示される。但し一覧表示の内容については図示を省略し
た。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４３】このステップＳＴ１２において、焦点Ｐの
位置が光ディスク原盤９のリードアウト位置に達したか
否かが判断され、達していない（Ｎｏ）と判断された場
合にはステップＳＴ１３に移行し、リニア・スケールエ
ンコーダ２３から出力されたデータ信号Ｓ１１のデータ
値に基づき、この焦点Ｐの位置がリードイン位置からリ
ードアウト位置に向かって所定距離（本例では、一例と
してＣＤの標準トラックピッチ１００本分の移動距離）
移動したか否かが判断される。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】そしてステップＳＴ１３においてこの所定
距離だけ移動していない（Ｎｏ）と判断された場合には
ステップＳＴ１５に移行する。一方このステップＳＴ１
３においてこの所定量移動した（Ｙｅｓ）と判断された
場合には、その時点でステップＳＴ１４に移行し、その
時点における焦点Ｐの移動位置データをデータ信号Ｓ１
１のデータ値に基づき生成し、データレジスタ手段１６
Ｂに記憶されている偏差値データとともにメモリ手段１
６Ａに記憶させて、データレジスタ手段１６Ｂに記憶さ
れているデータの内容をゼロクリヤし、ステップＳＴ１
５に移行する。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４６】このステップＳＴ１６において、この信号
Ｓ８Ａが生成された時点におけるトラックピッチデータ
と１つ前の時点におけるトラックピッチデータの間の差
分値のバイナリデータで表されるトラックピッチと、標
準トラックピッチの値（本例ではＣＤの標準トラックピ
ッチである１．６μｍ）の間の偏差値を求めて、ステッ
プＳＴ１７に移行する。

【手続補正１３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４９】そしてステップＳＴ１３において、データ
信号Ｓ１１に基づいて、焦点Ｐの位置がリードイン位置
からリードアウト位置に向かってこの所定量移動したか
或いは所定時間が経過したか否かが判断され、この所定
距離移動した或いは所定時間が経過した（Ｙｅｓ）と判
断された場合にはステップＳＴ１４に移行する。

【手続補正１４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】そしてこのステップＳＴ１４においてこの
焦点Ｐの移動位置をデータ信号Ｓ１１に基づき演算して
生成し、このデータレジスタ１６Ａに記憶されている偏
差値、即ちこの所定距離移動した範囲におけるトラック
ピッチの最大の偏差値、所定経過時間毎におけるトラッ
クピッチの最大の偏差値及びこの最大の偏差値が生成さ
れたときの焦点Ｐの位置のリードイン位置からの移動距
離の夫々のデータをホストコンピュータ１６に記憶さ
せ、データレジスタ１６Ａの記憶内容をゼロにクリヤし
てステップＳＴ１５に移行し、このステップＳＴ１５以
下の各ステップの判断を再度繰り返してステップＳＴ１
２に移行する。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲垣 敬夫 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 2F069 AA02 AA06 BB17 CC07 DD15 GG11 GG39 HH14 MM23 MM34 NN00 NN09 NN25 QQ05 QQ07 5D121 BB38 HH18

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転機構により回転させた状態のディス
   クを、当該ディスクの半径方向に直線移動させる移動機
   構を具備したディスク回転移動装置における前記ディス
   クの前記半径方向の移動距離の測定方法であって、前記
   ディスクの回転機構により回転される前記ディスクの１
   回転毎に同じ回転角度においてパルスを発生させるとと
   もに、前記移動機構による前記ディスクの原点位置から
   の移動距離を測定し、前記移動機構の原点からの距離を
   前記パルスに基づいてラッチして記憶し、このラッチさ
   れた値と１回転前にラッチして記憶された値とを差分器
   により差分することにより、前記ディスクの１回転毎の
   移動距離を計測するようにしたことを特徴とするディス
   クの測定方法。
2. 【請求項２】 前記請求項１記載のディスクが、ディス
   ク原盤であることを特徴とするディスクの測定方法。
3. 【請求項３】 回転機構により回転させた状態のディス
   クを、当該ディスクの半径方向に直線移動させる移動機
   構を具備したディスク回転移動装置における前記ディス
   クの前記半径方向の移動距離の測定装置であって、 前記ディスクの回転機構により回転される前記ディスク
   の１回転毎に同じ回転角度においてパルスを発生させる
   パルス発生手段と、 前記移動機構による前記ディスクの原点位置からの移動
   距離を測定する移動距離測定手段と、 前記移動距離測定手段によって測定された前記移動機構
   の原点からの距離データを前記パルスに基づいてラッチ
   して記憶する記憶手段と、 前記ラッチされたデータと前記１回転前にラッチして記
   憶されたデータとを差分して差分データを求める差分器
   とによりディスクの１回転毎の移動距離を計測するよう
   にしたことを特徴とするディスクの測定装置。
4. 【請求項４】 前記請求項３記載のディスクの測定装置
   が、ディスク原盤の半径方向の移動距離の測定装置であ
   ることを特徴とするディスクの測定装置。
5. 【請求項５】 前記請求項３及び４記載のディスクの測
   定装置が、前記差分器により求めた前記ディスクの１回
   転毎の差分データに基づき、前記ディスクの前記所定移
   動距離毎の前記差分データの最大値を計測することので
   きる計測手段を有することを特徴とする測定装置。
6. 【請求項６】 前記請求項３及び４記載の測定装置が、
   前記差分器により求めた前記ディスクの１回転毎の差分
   データに基づき、所定時間毎の前記差分データの最大値
   を計測することのできる計測手段を有することを特徴と
   するディスクの測定装置。
7. 【請求項７】 前記請求項３及び４記載の測定装置が、
   前記差分器により求めた前記所定移動距離毎の前記差分
   データの最大値及び所定時間毎の前記差分データの最大
   値が、予め定められている最大値を超えたときに、当該
   最大値のデータ及び当該最大値が生成された時点の前記
   移動機構の原点からの距離データを記憶する手段を有す
   ることを特徴とするディスクの測定装置。