JP2007201279A - トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トランジスタは、基板11の上に形成された第1の半導体層13と、第1の半導体層13の上に形成され、第1の半導体層13と比べてバンドギャップが大きい第2の半導体層14と、第2の半導体層14の上に形成され、p型の不純物を含むコントロール層15と、コントロール層15の一部と接して設けられたゲート電極20と、コントロール層15の両側方に設けられたソース電極18及びドレイン電極19とを備えている。コントロール層15と第2の半導体層14との間には、コントロール層15と比べてエッチングレートが小さい材料からなる第3の半導体層21が形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。図1は第1の実施形態に係るトランジスタの断面構成を示している。図1に示すように本実施形態のトランジスタは、面方位が(0001)の面を主面とするサファイアからなる基板11の上に順次形成された、厚さが100nmのAlNからなるバッファ層12と、チャネル層である厚さが2μmのアンドープのGaNからなる第1の半導体層13と、バリア層である厚さが25nmアンドープのAl0.2Ga0.8Nからなる第2の半導体層14と、厚さが8nmのアンドープAl0.5Ga0.5Nからなる第3の半導体層21とを備えている。
以下に、本発明の第2の実施形態について図面を参照して説明する。図6は第2の実施形態に係るトランジスタの断面構成を示している。図6に示すように本実施形態のトランジスタは、面方位の(111)面を主面とするn型のSiからなる基板31と、基板31の(111)面上に順次形成された厚さが40nmのAlNからなるバッファ層32と、厚さが1μmのアンドープGaNからなる第1の半導体層33と、厚さが25nmのアンドープAl0.2Ga0.8Nからなる第2の半導体層34と、厚さが8nmのアンドープAl0.5Ga0.5Nからなる第3の半導体層41とを備えている。
以下に、本発明の第3の実施形態について図面を参照して説明する。図7は第3の実施形態に係るトランジスタの断面構成を示している。図7に示すように本実施形態のトランジスタは、半絶縁性のガリウムヒ素(GaAs)からなる基板51と、基板51の上に順次形成されたGaAsとアルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)とが交互に積層された超格子からなるバッファ層52と、アンドープのGaAsからなる第1の半導体層53と、n型にドープされたAl0.2Ga0.8As層54と、アンドープのインジウムガリウムリン(InGaP)からなる第3の半導体層61とを備えている。
12 バッファ層
13 第1の半導体層
14 第2の半導体
14 第2の半導体層
15 コントロール層
15a p型Al0.2Ga0.8N層
16 p型コンタクト層
16 第2の半導体層
16a p型GaN層
17 パッシベーション膜
18 ソース電極
19 ドレイン電極
20 ゲート電極
21 第3の半導体層
24 第4の半導体層
31 基板
32 バッファ層
33 第1の半導体層
34 第2の半導体層
35 コントロール層
36 p型コンタクト層
37 パッシベーション膜
38 ソース電極
39 ドレイン電極
40 ゲート電極
41 第3の半導体層
42 ビア
43 メタル配線
51 基板
52 バッファ層
53 第1の半導体層
55 コントロール層
56 p型コンタクト層
57 パッシベーション膜
58 ソース電極
59 ドレイン電極
60 ゲート電極
61 第3の半導体層
Claims (10)
- 基板の上に形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に形成され、前記第1の半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に形成され、p型の不純物を含むコントロール層と、
前記コントロール層と前記第2の半導体層との間に形成された第3の半導体層と、
前記コントロール層の少なくとも一部と接して設けられたゲート電極と、
前記コントロール層の両側方に設けられたソース電極及びドレイン電極とを備え、
前記第3の半導体層は、前記コントロール層と比べてエッチングレートが小さい材料からなることを特徴とするトランジスタ。 - 前記第1の半導体層、第2の半導体層及びコントロール層は、窒素を含む化合物半導体からなることを特徴とする請求項1に記載のトランジスタ。
- 前記コントロール層は、AlxGa1-xN(0≦x≦1)からなり、
前記第3の半導体層は、AlyGa1-yN(0≦y≦1且つx<y)からなることを特徴とする請求項2に記載のトランジスタ。 - 前記コントロール層は、AlxGa1-xN(0≦x≦0.1)からなり、
前記第3の半導体は、AlyGa1-yN(x+0.1≦y≦1)からなることを特徴とする請求項3に記載のトランジスタ。 - 前記第3の半導体層は、前記第2の半導体層側から前記コントロール層側へ向かってAlの組成が減少する組成傾斜を有していることを特徴とする請求項3に記載のトランジスタ。
- 前記第3の半導体層はp型の不純物を含んでいることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記第2の半導体層と前記第3の半導体層とは、Al組成が互いに等しいAlGaNからなることを特徴とする請求項6又は6に記載のトランジスタ。
- 前記第3の半導体層が少なくともInを含む化合物半導体からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のトランジスタ。
- 前記第3の半導体層は、InGaPからなり、
第2の半導体層は、AlGaAsからなることを特徴とする請求項1に記載のトランジスタ。 - 前記基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記第1の半導体層と比べてバンドギャップが大きい第4の半導体層をさらに備えていることを特徴とする請求項1から9に記載のトランジスタ。
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